JPH02140968U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02140968U JPH02140968U JP4745989U JP4745989U JPH02140968U JP H02140968 U JPH02140968 U JP H02140968U JP 4745989 U JP4745989 U JP 4745989U JP 4745989 U JP4745989 U JP 4745989U JP H02140968 U JPH02140968 U JP H02140968U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crucible
- lid
- ion beam
- cluster ion
- crucible body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims 6
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims 5
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図ａは本考案の第１実施例の斜視図、同図
ｂは同上の正面図、同図ｃは同上の側面図、第２
図は同上の縦断面図、第３図ａは本考案の第２実
施例の斜視図、同図ｂは同上の正面図、第４図は
本考案の第３実施例の斜視図、第５図は同上の縦
断面図、第６図は本考案の第４実施例の斜視図、
第７図は従来例の概略構成図である。 １……るつぼ本体、２……ノズル、３……蓋体
、４……テーパー状の部分である。
ｂは同上の正面図、同図ｃは同上の側面図、第２
図は同上の縦断面図、第３図ａは本考案の第２実
施例の斜視図、同図ｂは同上の正面図、第４図は
本考案の第３実施例の斜視図、第５図は同上の縦
断面図、第６図は本考案の第４実施例の斜視図、
第７図は従来例の概略構成図である。 １……るつぼ本体、２……ノズル、３……蓋体
、４……テーパー状の部分である。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 蒸着すべき物質を収納して加熱するための
るつぼ本体と、るつぼ本体で加熱されて蒸発した
物質を噴射するノズルを備える蓋体とからなるク
ラスターイオンビーム蒸着用るつぼにおいて、蓋
体のるつぼ本体と接触する部分に、蓋体をるつぼ
本体に嵌合するにつれて蓋体がるつぼ本体に密着
固定されるようなテーパー状の部分を設けたこと
を特徴とするクラスターイオンビーム蒸着用るつ
ぼ。 (2) 蓋体に取り外し用のつまみを設けたことを
特徴とする請求項１記載のクラスターイオンビー
ム蒸着用るつぼ。 (3) 取り外し用のつまみは、テーパー状の部分
を延長して形成されており、蓋体とるつぼ本体と
の密着固定を解除する方向に可撓性を有すること
を特徴とする請求項２記載のクラスターイオンビ
ーム蒸着用るつぼ。 (4) 蒸着すべき物質を収納して加熱するための
るつぼ本体と、るつぼ本体で加熱されて蒸発した
物質を噴射するノズルを備える蓋体とからなるク
ラスターイオンビーム蒸着用るつぼにおいて、る
つぼ本体の蓋体と接触する部分に、蓋体をるつぼ
本体に嵌合するにつれて蓋体がるつぼ本体に密着
固定されるようなテーパー状の部分を設けたこと
を特徴とするクラスターイオンビーム蒸着用るつ
ぼ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4745989U JPH02140968U (ja) | 1989-04-21 | 1989-04-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4745989U JPH02140968U (ja) | 1989-04-21 | 1989-04-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02140968U true JPH02140968U (ja) | 1990-11-26 |
Family
ID=31563404
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4745989U Pending JPH02140968U (ja) | 1989-04-21 | 1989-04-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02140968U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012057235A (ja) * | 2010-09-13 | 2012-03-22 | Hitachi Zosen Corp | 真空蒸着装置 |
-
1989
- 1989-04-21 JP JP4745989U patent/JPH02140968U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012057235A (ja) * | 2010-09-13 | 2012-03-22 | Hitachi Zosen Corp | 真空蒸着装置 |