JPH02140970U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH02140970U JPH02140970U JP4631089U JP4631089U JPH02140970U JP H02140970 U JPH02140970 U JP H02140970U JP 4631089 U JP4631089 U JP 4631089U JP 4631089 U JP4631089 U JP 4631089U JP H02140970 U JPH02140970 U JP H02140970U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tube
- tubular site
- site
- tubular
- wall
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Waste-Gas Treatment And Other Accessory Devices For Furnaces (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
Description
第1図は、本考案の一実施例の温度検出用管状
サイトの断面図。第2図は、本考案の異なる一実
施例の温度検出用管状サイトの断面図。第3図は
、本考案のさらに異なる一実施例の温度検出用管
状サイトの断面図。第4図は、本考案のさらに別
の一実施例の温度検出用管状サイトの断面図。第
5図は、本考案の他の一実施例の温度検出用管状
サイトの断面図、第6図は、従来の温度検出用管
状サイトの断面図。 1……反応炉壁、2……管状サイト、3,3A
,3B……補助管、4……補助管の一端面、5…
…サイトガラス、6……補助管の他端面、7……
基体、8,8A……Oリング、9……ガスの流入
口、11……内管の一端部、12……内管の他端
部、13……内管、14……凸部、20……スト
ツパ、100……先端部。
サイトの断面図。第2図は、本考案の異なる一実
施例の温度検出用管状サイトの断面図。第3図は
、本考案のさらに異なる一実施例の温度検出用管
状サイトの断面図。第4図は、本考案のさらに別
の一実施例の温度検出用管状サイトの断面図。第
5図は、本考案の他の一実施例の温度検出用管状
サイトの断面図、第6図は、従来の温度検出用管
状サイトの断面図。 1……反応炉壁、2……管状サイト、3,3A
,3B……補助管、4……補助管の一端面、5…
…サイトガラス、6……補助管の他端面、7……
基体、8,8A……Oリング、9……ガスの流入
口、11……内管の一端部、12……内管の他端
部、13……内管、14……凸部、20……スト
ツパ、100……先端部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 1 反応炉壁より立ち上がつて設けられた、炉外
部より温度検出を行なうための温度検出用管状サ
イトにおいて、管状サイト内径より小さい外径を
有し、その一端面がサイトガラス近傍に、他端面
が炉内の被温度検出体表面近傍に達し、管状サイ
ト内壁に、シール部材を介して挿填した補助管と
、前記サイトガラスとサイトガラスに最も近いシ
ール部材との間の前記管状サイト内壁の任意の位
置に設けた、管内置換用ガスの流入口とを備えた
ことを特徴とする温度検出用管状サイト。 2 反応炉壁より立ち上がつて設けられた、炉外
部より温度検出を行なうための温度検出用管サイ
トにおいて、管状サイト全長より短かく、管状サ
イト内径より小さい外径を有し、前記管状サイト
内壁面との間に気密を保つて一端部で固定されて
、他端部が、サイトガラス近傍に達するよう挿填
された内管と、該内管一端部とサイトガラス間の
、管状サイト内壁の任意の位置に設けた管内置換
用ガスの流入口と、さらに、前記管状サイト内壁
面にシール部材を介して挿填されて、前記管状サ
イトの前記内管より反応炉側の内壁面に設けた凸
部でその一端面が支えられ、他端面が被温度検出
体表面近傍に達した補助管とを備えたことを特徴
とする温度検出用管状サイト。 3 反応炉壁より立ち上がつて設けられた、炉外
部より温度検出を行なうための温度検出用管状サ
イトにおいて、管状サイト全長より短かく、管状
サイト内径より小さい外径を有し、該管状サイト
内壁面との間に気密を保つて一端部で固定されて
、他端部が、サイトガラス近傍に達するよう挿填
された内管と、該内管一端部とサイトガラス間の
、管状サイト内壁の任意の位置に設けた管内置換
用ガスの流入口と、さらに、前記管状サイト内壁
面に、シール部材を介して挿填されて、前記内管
の反応炉側の端面でその一端面が支えられ、他端
面が被温度検出体表面近傍に達した補助管とを備
えたことを特徴とする温度検出用管状サイト。 4 補助管の被温度検出体側の端面が、斜めもし
くは段違いに切断され先端部を有する形状であつ
て、被温度検出体表面近傍の気流上流側において
、前記端面の先端部が、該被温度検出体に最も近
くなるよう、前記補助管を、前記管状サイト内壁
に挿填したことを特徴とする請求項1乃至3のい
ずれか一項に記載の温度検出用管状サイト。 5 補助管の内径が被温度検出体側ほど縮径して
いることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか
一項に記載の温度検出用管状サイト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4631089U JPH086239Y2 (ja) | 1989-04-21 | 1989-04-21 | 温度検出用管状サイト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4631089U JPH086239Y2 (ja) | 1989-04-21 | 1989-04-21 | 温度検出用管状サイト |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02140970U true JPH02140970U (ja) | 1990-11-26 |
| JPH086239Y2 JPH086239Y2 (ja) | 1996-02-21 |
Family
ID=31561282
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4631089U Expired - Lifetime JPH086239Y2 (ja) | 1989-04-21 | 1989-04-21 | 温度検出用管状サイト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH086239Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1032195A (ja) * | 1996-07-16 | 1998-02-03 | Oki Electric Ind Co Ltd | 酸窒化膜製造用ランプ加熱炉 |
-
1989
- 1989-04-21 JP JP4631089U patent/JPH086239Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1032195A (ja) * | 1996-07-16 | 1998-02-03 | Oki Electric Ind Co Ltd | 酸窒化膜製造用ランプ加熱炉 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH086239Y2 (ja) | 1996-02-21 |