JPH02140970U - - Google Patents

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JPH02140970U
JPH02140970U JP4631089U JP4631089U JPH02140970U JP H02140970 U JPH02140970 U JP H02140970U JP 4631089 U JP4631089 U JP 4631089U JP 4631089 U JP4631089 U JP 4631089U JP H02140970 U JPH02140970 U JP H02140970U
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JP
Japan
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tube
tubular site
site
tubular
wall
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JP4631089U
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  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Waste-Gas Treatment And Other Accessory Devices For Furnaces (AREA)
  • Radiation Pyrometers (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は、本考案の一実施例の温度検出用管状
サイトの断面図。第2図は、本考案の異なる一実
施例の温度検出用管状サイトの断面図。第3図は
、本考案のさらに異なる一実施例の温度検出用管
状サイトの断面図。第4図は、本考案のさらに別
の一実施例の温度検出用管状サイトの断面図。第
5図は、本考案の他の一実施例の温度検出用管状
サイトの断面図、第6図は、従来の温度検出用管
状サイトの断面図。 1……反応炉壁、2……管状サイト、3,3A
,3B……補助管、4……補助管の一端面、5…
…サイトガラス、6……補助管の他端面、7……
基体、8,8A……Oリング、9……ガスの流入
口、11……内管の一端部、12……内管の他端
部、13……内管、14……凸部、20……スト
ツパ、100……先端部。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 1 反応炉壁より立ち上がつて設けられた、炉外
    部より温度検出を行なうための温度検出用管状サ
    イトにおいて、管状サイト内径より小さい外径を
    有し、その一端面がサイトガラス近傍に、他端面
    が炉内の被温度検出体表面近傍に達し、管状サイ
    ト内壁に、シール部材を介して挿填した補助管と
    、前記サイトガラスとサイトガラスに最も近いシ
    ール部材との間の前記管状サイト内壁の任意の位
    置に設けた、管内置換用ガスの流入口とを備えた
    ことを特徴とする温度検出用管状サイト。 2 反応炉壁より立ち上がつて設けられた、炉外
    部より温度検出を行なうための温度検出用管サイ
    トにおいて、管状サイト全長より短かく、管状サ
    イト内径より小さい外径を有し、前記管状サイト
    内壁面との間に気密を保つて一端部で固定されて
    、他端部が、サイトガラス近傍に達するよう挿填
    された内管と、該内管一端部とサイトガラス間の
    、管状サイト内壁の任意の位置に設けた管内置換
    用ガスの流入口と、さらに、前記管状サイト内壁
    面にシール部材を介して挿填されて、前記管状サ
    イトの前記内管より反応炉側の内壁面に設けた凸
    部でその一端面が支えられ、他端面が被温度検出
    体表面近傍に達した補助管とを備えたことを特徴
    とする温度検出用管状サイト。 3 反応炉壁より立ち上がつて設けられた、炉外
    部より温度検出を行なうための温度検出用管状サ
    イトにおいて、管状サイト全長より短かく、管状
    サイト内径より小さい外径を有し、該管状サイト
    内壁面との間に気密を保つて一端部で固定されて
    、他端部が、サイトガラス近傍に達するよう挿填
    された内管と、該内管一端部とサイトガラス間の
    、管状サイト内壁の任意の位置に設けた管内置換
    用ガスの流入口と、さらに、前記管状サイト内壁
    面に、シール部材を介して挿填されて、前記内管
    の反応炉側の端面でその一端面が支えられ、他端
    面が被温度検出体表面近傍に達した補助管とを備
    えたことを特徴とする温度検出用管状サイト。 4 補助管の被温度検出体側の端面が、斜めもし
    くは段違いに切断され先端部を有する形状であつ
    て、被温度検出体表面近傍の気流上流側において
    、前記端面の先端部が、該被温度検出体に最も近
    くなるよう、前記補助管を、前記管状サイト内壁
    に挿填したことを特徴とする請求項1乃至3のい
    ずれか一項に記載の温度検出用管状サイト。 5 補助管の内径が被温度検出体側ほど縮径して
    いることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか
    一項に記載の温度検出用管状サイト。
JP4631089U 1989-04-21 1989-04-21 温度検出用管状サイト Expired - Lifetime JPH086239Y2 (ja)

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JP4631089U JPH086239Y2 (ja) 1989-04-21 1989-04-21 温度検出用管状サイト

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JP4631089U JPH086239Y2 (ja) 1989-04-21 1989-04-21 温度検出用管状サイト

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JPH02140970U true JPH02140970U (ja) 1990-11-26
JPH086239Y2 JPH086239Y2 (ja) 1996-02-21

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ID=31561282

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JP4631089U Expired - Lifetime JPH086239Y2 (ja) 1989-04-21 1989-04-21 温度検出用管状サイト

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JP (1) JPH086239Y2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1032195A (ja) * 1996-07-16 1998-02-03 Oki Electric Ind Co Ltd 酸窒化膜製造用ランプ加熱炉

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1032195A (ja) * 1996-07-16 1998-02-03 Oki Electric Ind Co Ltd 酸窒化膜製造用ランプ加熱炉

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Publication number Publication date
JPH086239Y2 (ja) 1996-02-21

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