JPH02141992U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図はグロ放電負荷の一例の説明図、第２図
は従来のグロー放電負荷電源装置の説明図、第３
図は従来回路における異常放電消弧動作の説明図
、第４図はグロー放電領域への移行経過の説明図
、第５図は本考案の一実施例回路図である。 １……ガスボンベ、２……真空ポンプ、３……
気密容器、４……被処理物、５……直流電源、Ａ
……直流電圧発生回路、Ｂ……定電圧制御回路、
Ｃ……電源回路、６……インバータ回路、７……
昇圧トランス、８……整流用ダイオード、９……
平滑回路、１０……出力電流検出器、１１……異
常放電電流検出用比較回路、１２……位相制御回
路、１３……出力側電流検出用比較回路、１４…
…１次側電流検出器、１５……交直変換回路、１
６……１次側電流検出用比較回路、１７……オア
ゲート、１８……異常放電制御回路、Ｄ……グロ
ー放電移行回路、Ｅ……異常放電制御回路の動作
阻止用回路、Ｆ……放電エネルギ供給用電圧垂下
回路、１９……出力側電流検出用増幅器、２０…
…放電開始位置検出用比較回路、２１……タイマ
回路、２２……電流側路用ダイオード、２３……
ピークレベル検出回路、２４……垂下機能付与回
路。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. インバータ回路と整流平滑回路を備えた直流電
   圧発生回路と、この回路の出力電流を検出してグ
   ロー放電電流を一定に制御する位相制御回路と、
   異常放電時の出力側電流の検出回路と、この出力
   により動作して前記インバータ回路による負荷へ
   の電力供給を遮断する異常放電制御回路を備えた
   グロー放電負荷用電源装置において、前記異常放
   電電流検出回路の電流検出レベルより電流検出レ
   ベルの高い放電開始位置検出回路と、放電開始よ
   り安定なグロー放電への移行に要する時間だけ、
   前記異常放電時の出力電流検出回路出力を側路し
   て前記異常放電制御回路が受け付けないようにす
   るタイマ回路と、平滑用チヨークの出力電流のピ
   ークレベルの検出回路とその出力により動作して
   グロー放電領域への移行まで、前記インバータ回
   路の出力電圧を垂下させて前記電源回路が過負荷
   とならないように放電エネルギを供給する垂下機
   能付与回路を設けたことを特徴とするグロー放電
   負荷用電源装置。