JPH02143902A - 磁気ヘッドチップの製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドチップの製造方法Info
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- JPH02143902A JPH02143902A JP29887088A JP29887088A JPH02143902A JP H02143902 A JPH02143902 A JP H02143902A JP 29887088 A JP29887088 A JP 29887088A JP 29887088 A JP29887088 A JP 29887088A JP H02143902 A JPH02143902 A JP H02143902A
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- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims abstract description 17
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 19
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 10
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 3
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 3
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 2
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
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- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、ＶＴＲ等に使用される磁気へットチップの製
造方法に関し、特に、コアブロックの接合予定面を研削
する工程の改良に関する。
造方法に関し、特に、コアブロックの接合予定面を研削
する工程の改良に関する。
［従来技術］
この種の磁気ヘッドチップは一般に次のような方法で製
造している。まず、−１のフェライト等の強磁性体より
なるコアブロックにトラック溝。
造している。まず、−１のフェライト等の強磁性体より
なるコアブロックにトラック溝。
■溝を各々を形成し、第４図に示すように、研削川面盤
１００上に、トラック溝１０１が形成された複数のコア
ブロック１０２のそれぞれの接合予定面（ギャップ形成
面）１０３を上側にして貼着固定し、該研削川面盤１０
０を回転テーブル１０４上に襠Ｆ１取り付け、上下動自
在の回転研削砥石１０５によってコアブロック１０２の
各接合予定面１０３を研削する。そして、研削川面盤１
００を回転テーブルから取り外して鏡面研磨用テーブル
（図示せず）に押し当て、ダイアモンド砥粒等によって
各コアブロック１０２の接合予定面１０３を鏡面研磨す
る。次いで、互いに接合す／＜き−組のコアブロック１
０２のいずれか一方又は双方の接合予定面１０３に、非
磁性体のギャップスペーサ膜を形成し、接合予定面１０
３同士を突合わせた状態で、■溝に載置したガラス棒を
加熱により溶融流し込み融着させて、双方のコアブロッ
クを接合する。そして、このコアブロック接合体のギャ
ップを有するヘッド頂頭面を曲面研磨し、各トラック溝
１０１のところで所定のアジマス角をもっでスライスす
ることによって、磁気ヘッドチップを製造している。
１００上に、トラック溝１０１が形成された複数のコア
ブロック１０２のそれぞれの接合予定面（ギャップ形成
面）１０３を上側にして貼着固定し、該研削川面盤１０
０を回転テーブル１０４上に襠Ｆ１取り付け、上下動自
在の回転研削砥石１０５によってコアブロック１０２の
各接合予定面１０３を研削する。そして、研削川面盤１
００を回転テーブルから取り外して鏡面研磨用テーブル
（図示せず）に押し当て、ダイアモンド砥粒等によって
各コアブロック１０２の接合予定面１０３を鏡面研磨す
る。次いで、互いに接合す／＜き−組のコアブロック１
０２のいずれか一方又は双方の接合予定面１０３に、非
磁性体のギャップスペーサ膜を形成し、接合予定面１０
３同士を突合わせた状態で、■溝に載置したガラス棒を
加熱により溶融流し込み融着させて、双方のコアブロッ
クを接合する。そして、このコアブロック接合体のギャ
ップを有するヘッド頂頭面を曲面研磨し、各トラック溝
１０１のところで所定のアジマス角をもっでスライスす
ることによって、磁気ヘッドチップを製造している。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、上記方法で磁気へラドチップを製造する
場合は、コアブロック１０２の接合予定面１０３を研削
する工程において、つぎのような問題点があった。即ち
、回転テーブル１０４を回転させながら、その上の研削
用面上１００に貼着したコアブロック１０２の接合予定
面１０３を回転する研削砥石１０５で研削すると、各コ
アブロック１０２の研削方向がランダムになり、回転テ
ーブル１０４の回動に伴って研削方向が変化する。
場合は、コアブロック１０２の接合予定面１０３を研削
する工程において、つぎのような問題点があった。即ち
、回転テーブル１０４を回転させながら、その上の研削
用面上１００に貼着したコアブロック１０２の接合予定
面１０３を回転する研削砥石１０５で研削すると、各コ
アブロック１０２の研削方向がランダムになり、回転テ
ーブル１０４の回動に伴って研削方向が変化する。
例えば、第４図に示す状態のときは、コアブロック１０
２ （１０２ａ）の接合予定面１０３がトラック溝１０
１に対してほぼ直交する方向に研削され、一方コアブロ
ック１０２（１０２ｂ）の接合予定面１０３は、トラッ
ク溝１０１とほぼ平行方向に研削されることになる。こ
のように、研磨方向がランダムであると、第５図に示す
ように、トラック溝１０１とほぼ平行方向に研磨される
ときに、各トラック溝１０１の溝縁に大きい欠損（以下
、チッピングという）１０６が生じ、そのチッピング量
りは平均約３８μｍにも達する。このような大きいチッ
ピングが生じると、後工程の鏡面研磨において相当量の
研磨が必要となるので、研磨時間が長くなり、また、ト
ラック溝１０１の巾が変化して、最終的に製造される磁
気へラドチップのトラック巾の寸法誤差が大きくなると
いう問題がある。尚、コアブロック１０２の接合予定面
１０３に形成されたＶ溝では、研削工程において研削砥
石１０５によってほぼ平行方向に研削されるが、接合面
と傾斜面を形成するため従来よりチッピングが生じ難い
。
２ （１０２ａ）の接合予定面１０３がトラック溝１０
１に対してほぼ直交する方向に研削され、一方コアブロ
ック１０２（１０２ｂ）の接合予定面１０３は、トラッ
ク溝１０１とほぼ平行方向に研削されることになる。こ
のように、研磨方向がランダムであると、第５図に示す
ように、トラック溝１０１とほぼ平行方向に研磨される
ときに、各トラック溝１０１の溝縁に大きい欠損（以下
、チッピングという）１０６が生じ、そのチッピング量
りは平均約３８μｍにも達する。このような大きいチッ
ピングが生じると、後工程の鏡面研磨において相当量の
研磨が必要となるので、研磨時間が長くなり、また、ト
ラック溝１０１の巾が変化して、最終的に製造される磁
気へラドチップのトラック巾の寸法誤差が大きくなると
いう問題がある。尚、コアブロック１０２の接合予定面
１０３に形成されたＶ溝では、研削工程において研削砥
石１０５によってほぼ平行方向に研削されるが、接合面
と傾斜面を形成するため従来よりチッピングが生じ難い
。
［ｆｆ、ｄを解決するための手段］
上記課題を解決するために、本発明の磁気へラドチップ
の製造方法は、トラック溝を形成したコアブロックの接
合予定面を、研削砥石でトラック溝と直交する方向に研
削する工程を含むことを特徴とする。
の製造方法は、トラック溝を形成したコアブロックの接
合予定面を、研削砥石でトラック溝と直交する方向に研
削する工程を含むことを特徴とする。
［作用］
本発明のように、研削砥石によってコアブロックの接合
予定面をトラック溝と直交する゛方向に研削すると、
トラック溝の溝縁に殆どチッピングを生じることがなく
なり、そのチッピング量が平均７μｍ程度に抑えられる
ことが実験的に確認された。
予定面をトラック溝と直交する゛方向に研削すると、
トラック溝の溝縁に殆どチッピングを生じることがなく
なり、そのチッピング量が平均７μｍ程度に抑えられる
ことが実験的に確認された。
［実施例］
以下、図面を参照して本発明の一実施例を説明する。
第１図から第３図はそれぞれ本発明の一実施例にかかる
磁気へラドチップの製造方法の説明図である。第１図は
、本発明の製造方法により製造される磁気ヘッドチップ
となる多結晶Ｍｎ−Ｚｎフェライト等の強磁性体で製作
された一対のコアブロック１． １であり、ギャップが
形成される接合予定面２，２には、所定の間隔をもって
複数のトラック溝３が切削加工されると共に、各トラッ
ク溝３と直交してＶ型溝４が形成される。
磁気へラドチップの製造方法の説明図である。第１図は
、本発明の製造方法により製造される磁気ヘッドチップ
となる多結晶Ｍｎ−Ｚｎフェライト等の強磁性体で製作
された一対のコアブロック１． １であり、ギャップが
形成される接合予定面２，２には、所定の間隔をもって
複数のトラック溝３が切削加工されると共に、各トラッ
ク溝３と直交してＶ型溝４が形成される。
上記トラック溝・３が形成されたコアブロック１は、次
に、各コアブロックｌの接合予定面２が面一となるよう
に研削される。この研削工程は、第２図に示すように、
固定された円盤状の研削川面盤５と、該研削川面盤５と
ほぼ同じ外径を有して水平状態で上下動自在の研削砥石
６によって行なわれる。上記研削砥石６は、外部駆動機
構（図示せず）に接続された回転軸６１によって回動す
る基部６２とその下端周縁に設けられた砥石部６３とよ
りなる。この砥石部６３は、各コアブロックｌの接合予
定面２の幅より多少広い幅を有したリング状を呈してお
り、例えば、セラミックボンドダイヤモンド砥石＃６０
０等が用いられ、必要とあれば、適宜削り屑を逃すため
の溝が形成されたものでもよい。
に、各コアブロックｌの接合予定面２が面一となるよう
に研削される。この研削工程は、第２図に示すように、
固定された円盤状の研削川面盤５と、該研削川面盤５と
ほぼ同じ外径を有して水平状態で上下動自在の研削砥石
６によって行なわれる。上記研削砥石６は、外部駆動機
構（図示せず）に接続された回転軸６１によって回動す
る基部６２とその下端周縁に設けられた砥石部６３とよ
りなる。この砥石部６３は、各コアブロックｌの接合予
定面２の幅より多少広い幅を有したリング状を呈してお
り、例えば、セラミックボンドダイヤモンド砥石＃６０
０等が用いられ、必要とあれば、適宜削り屑を逃すため
の溝が形成されたものでもよい。
上記研削工程では、各コアブロックｌの接合予定面２を
上側にして、実施例では研削川面盤５を４等分した周縁
４箇所に貼着固定してから、上記研削砥石６を回動状態
で下降させ、下端周縁のリング状砥石部６３によって各
コアブロック１の接合予定面２が全て面一となるよに研
削される。このように、研削砥石６を外部駆動機構によ
って回動させて研削用面ｕ５に向かって水平に下降させ
ると、各コアブロックｌの接合予定面２に形成されたト
ラック溝３は、研削砥石６の下端砥石部６１と直交する
方向で面一状態に研削される。この状態で研削すると、
各トラック溝３の溝＆ｔ３１には殆とチッピングを生じ
ることなく研削できる。
上側にして、実施例では研削川面盤５を４等分した周縁
４箇所に貼着固定してから、上記研削砥石６を回動状態
で下降させ、下端周縁のリング状砥石部６３によって各
コアブロック１の接合予定面２が全て面一となるよに研
削される。このように、研削砥石６を外部駆動機構によ
って回動させて研削用面ｕ５に向かって水平に下降させ
ると、各コアブロックｌの接合予定面２に形成されたト
ラック溝３は、研削砥石６の下端砥石部６１と直交する
方向で面一状態に研削される。この状態で研削すると、
各トラック溝３の溝＆ｔ３１には殆とチッピングを生じ
ることなく研削できる。
例えば、研削砥石６の回転数を２８０Ｏｒｐｍとし、研
削送り速度を１０μｍ／ｍｉｎといった研削条件で研削
すると、各トラック溝３の溝縁３１に生じるチッピング
量が平均して７μｍ程度と極めて少なく抑えられること
が確認された。
削送り速度を１０μｍ／ｍｉｎといった研削条件で研削
すると、各トラック溝３の溝縁３１に生じるチッピング
量が平均して７μｍ程度と極めて少なく抑えられること
が確認された。
各コアブロックｌの接合予定面２が全て面一状態で且つ
、それぞれのトラック溝３の溝縁３１にチッピングが殆
と生じることなく研削されると、次に、第３図に示すよ
うに、研削用画盤５上に各コアブロックｌを貼着した状
態のまま、反転させて裏面側に上下動自在で回動する回
動軸５１を取り付け、各コアブロック１の接合予定面２
を鏡面研磨用テーブル７上に押し当て、ダイアモンド砥
粒等によってさらに各コアブロックｌの接合予定面２を
研磨し、各トラック溝３に形成されたチッピングを削り
取ると共に、各接合予定面２を鏡面に仕上げる。このと
き、各トラック溝３の溝縁３１には殆どチッピングが生
じていないので、少ない研Ｍ＠でチッピングが削り取ら
れ、各トラック溝３の巾が変化する心配も殆どなく、し
かも短時間で鏡面研磨できるようになる。
、それぞれのトラック溝３の溝縁３１にチッピングが殆
と生じることなく研削されると、次に、第３図に示すよ
うに、研削用画盤５上に各コアブロックｌを貼着した状
態のまま、反転させて裏面側に上下動自在で回動する回
動軸５１を取り付け、各コアブロック１の接合予定面２
を鏡面研磨用テーブル７上に押し当て、ダイアモンド砥
粒等によってさらに各コアブロックｌの接合予定面２を
研磨し、各トラック溝３に形成されたチッピングを削り
取ると共に、各接合予定面２を鏡面に仕上げる。このと
き、各トラック溝３の溝縁３１には殆どチッピングが生
じていないので、少ない研Ｍ＠でチッピングが削り取ら
れ、各トラック溝３の巾が変化する心配も殆どなく、し
かも短時間で鏡面研磨できるようになる。
接合予定面２を鏡面研磨して各トラック溝３の濡縁３１
に形成されたチッピングが削り取られたコアブロック１
は、互いに接合すべき一組のコアブロック１． １のい
ずれか一方又は双方の接合予定面２に、非磁性体のギャ
ップスペーサ膜を形成して、それぞれの接合予定面２．
２同士を突合わせ状態で、■溝に！置したガラス棒を加
熱により溶融流し込み融着させ、双方のコアブロック１
゜１を接合一体とする。そして、このコアブロック接合
体のギャップを有するヘット頂頭面を曲面研磨し、各ト
ラック溝３のところで所定のアジマス角をもってスライ
スすることによって、ｍ％ヘッドチップが製造される。
に形成されたチッピングが削り取られたコアブロック１
は、互いに接合すべき一組のコアブロック１． １のい
ずれか一方又は双方の接合予定面２に、非磁性体のギャ
ップスペーサ膜を形成して、それぞれの接合予定面２．
２同士を突合わせ状態で、■溝に！置したガラス棒を加
熱により溶融流し込み融着させ、双方のコアブロック１
゜１を接合一体とする。そして、このコアブロック接合
体のギャップを有するヘット頂頭面を曲面研磨し、各ト
ラック溝３のところで所定のアジマス角をもってスライ
スすることによって、ｍ％ヘッドチップが製造される。
このようにして製造された磁気へラドチップは、各コア
ブロックｌのトラック溝３の巾が殆ど変化していないの
で、トラック巾の寸法誤差が殆ど生していない磁気ヘッ
ドチップとなる。
ブロックｌのトラック溝３の巾が殆ど変化していないの
で、トラック巾の寸法誤差が殆ど生していない磁気ヘッ
ドチップとなる。
ここで、上記実施例では、リング状の研削砥石６を回転
させて、円盤状の研削用画盤５上周縁に貼着されたコア
ブロック１の接合予定面をトラック溝３と直交する方向
に研削する方法を説明したが、これに限らず、研削用両
盤を長板状とし、該研削川面盤上に貼着されたコアブロ
ックｌのトラック溝３と直交するように、前後、又は左
右方向に研削砥石を移動させて研削してもよい。尚、コ
アブロック１の接合予定面２に形成された■溝４では、
研削工程において研削砥石６によってほぼ平行方向に研
削されるが、接合面と傾斜面を形成するため従来よりチ
ッピングが生じ難い。
させて、円盤状の研削用画盤５上周縁に貼着されたコア
ブロック１の接合予定面をトラック溝３と直交する方向
に研削する方法を説明したが、これに限らず、研削用両
盤を長板状とし、該研削川面盤上に貼着されたコアブロ
ックｌのトラック溝３と直交するように、前後、又は左
右方向に研削砥石を移動させて研削してもよい。尚、コ
アブロック１の接合予定面２に形成された■溝４では、
研削工程において研削砥石６によってほぼ平行方向に研
削されるが、接合面と傾斜面を形成するため従来よりチ
ッピングが生じ難い。
［発明の効果］
以上の説明から明らかなように、本発明の磁気ヘッドの
製造方法では、研削工程において、研削砥石によってコ
アブロックの接合予定面をトラック溝の溝縁に殆とチッ
ピングを生じることなく研削できるので、研削後の鏡面
研磨工程では、その研磨量も少なくなって短時間で研ｍ
でき、トラック溝の巾も殆と変化せず、最終的に製造さ
れた磁気へラドチップのトラック巾にばらつきが生じ難
くなるといった効果を奏する。
製造方法では、研削工程において、研削砥石によってコ
アブロックの接合予定面をトラック溝の溝縁に殆とチッ
ピングを生じることなく研削できるので、研削後の鏡面
研磨工程では、その研磨量も少なくなって短時間で研ｍ
でき、トラック溝の巾も殆と変化せず、最終的に製造さ
れた磁気へラドチップのトラック巾にばらつきが生じ難
くなるといった効果を奏する。
第１図から第３図は本発明の一実旋例にかかる磁気へラ
ドチップの製造方法の説明図であり、第１１ｆｆｌはコ
アブロックの斜視図、第２図は研削工程を示す一部破断
斜視図、第３図は鏡面研磨工程を示す側面図であり、第
４図は、従来の研削工程を示す上面図、第５図はコアブ
ロックの上面図である。 ｌ・・・コアブロック、 ２・・・接合予定面、 ３・・・トラック溝、 ６・・・研削砥石。 特 許 出 願 人 関西日本電気株式会社 第２図 菓３図
ドチップの製造方法の説明図であり、第１１ｆｆｌはコ
アブロックの斜視図、第２図は研削工程を示す一部破断
斜視図、第３図は鏡面研磨工程を示す側面図であり、第
４図は、従来の研削工程を示す上面図、第５図はコアブ
ロックの上面図である。 ｌ・・・コアブロック、 ２・・・接合予定面、 ３・・・トラック溝、 ６・・・研削砥石。 特 許 出 願 人 関西日本電気株式会社 第２図 菓３図
Claims (1)
- （１）トラック溝を形成したコアブロックの接合予定面
を、研削砥石でトラック溝と直交する方向に研削する工
程を含むことを特徴とする磁気ヘッドチップの製造方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29887088A JPH02143902A (ja) | 1988-11-25 | 1988-11-25 | 磁気ヘッドチップの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29887088A JPH02143902A (ja) | 1988-11-25 | 1988-11-25 | 磁気ヘッドチップの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02143902A true JPH02143902A (ja) | 1990-06-01 |
Family
ID=17865253
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29887088A Pending JPH02143902A (ja) | 1988-11-25 | 1988-11-25 | 磁気ヘッドチップの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02143902A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008253774A (ja) * | 2008-03-31 | 2008-10-23 | Olympus Corp | 内視鏡装置 |
| US20160306165A1 (en) * | 2013-12-24 | 2016-10-20 | Olympus Corporation | Endoscope |
-
1988
- 1988-11-25 JP JP29887088A patent/JPH02143902A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008253774A (ja) * | 2008-03-31 | 2008-10-23 | Olympus Corp | 内視鏡装置 |
| US20160306165A1 (en) * | 2013-12-24 | 2016-10-20 | Olympus Corporation | Endoscope |
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