JPH0214495U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0214495U JPH0214495U JP9338888U JP9338888U JPH0214495U JP H0214495 U JPH0214495 U JP H0214495U JP 9338888 U JP9338888 U JP 9338888U JP 9338888 U JP9338888 U JP 9338888U JP H0214495 U JPH0214495 U JP H0214495U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inlet flange
- pump
- opening
- vacuum chamber
- rotation shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
第１図は本考案によるターボ分子ポンプの一実
施例を示す側面取付状態図、第２図は従来のター
ボ分子ポンプを示す側面取付状態図である。 １１……ターボ分子ポンプ、１２……真空チヤ
ンバ、１２ａ……開口、１４……吸気口フランジ
、１４ａ……開口、１５……排気口フランジ、Ｃ
……ポンプ回転軸。
施例を示す側面取付状態図、第２図は従来のター
ボ分子ポンプを示す側面取付状態図である。 １１……ターボ分子ポンプ、１２……真空チヤ
ンバ、１２ａ……開口、１４……吸気口フランジ
、１４ａ……開口、１５……排気口フランジ、Ｃ
……ポンプ回転軸。
Claims (1)
- 真空チヤンバの開口に接続して気体分子を吸引
する吸気口フランジを有し、ポンプ回転軸の取付
姿勢が垂直に限定されるターボ分子ポンプにおい
て、前記吸気口フランジの開口が水平方向に対向
するよう形成したことを特徴とするターボ分子ポ
ンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9338888U JPH0214495U (ja) | 1988-07-13 | 1988-07-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9338888U JPH0214495U (ja) | 1988-07-13 | 1988-07-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0214495U true JPH0214495U (ja) | 1990-01-30 |
Family
ID=31317844
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9338888U Pending JPH0214495U (ja) | 1988-07-13 | 1988-07-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0214495U (ja) |
-
1988
- 1988-07-13 JP JP9338888U patent/JPH0214495U/ja active Pending
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