JPH02146752U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02146752U JPH02146752U JP5582789U JP5582789U JPH02146752U JP H02146752 U JPH02146752 U JP H02146752U JP 5582789 U JP5582789 U JP 5582789U JP 5582789 U JP5582789 U JP 5582789U JP H02146752 U JPH02146752 U JP H02146752U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- air
- intermediate chamber
- valve mechanism
- ultra
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本案実施例の正面図、第２図は同じく
拡大図、第３図は同じく応用例を示す図である。 １……鏡筒、２……中間室、３……電子銃室、
８……中間排気ポンプ、１０……弁体、１３……
弁体軸。
拡大図、第３図は同じく応用例を示す図である。 １……鏡筒、２……中間室、３……電子銃室、
８……中間排気ポンプ、１０……弁体、１３……
弁体軸。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 超高真空電子顕微鏡の電子銃で超高真空を保
持するための中間室を装備する装置において、中
間室の上下面をエアーロツクするバルブを有する
ことを特徴とする電子顕微鏡。 ２ 上記エアーロツクバルブ駆動軸に複数の弁体
を装着したことを特徴とするバルブ機構。 ３ 上記エアーロツクバルブ機構で中間室を排気
するポンプ部も同時にエアーロツクする弁体を装
着したことを特徴とするバルブ機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5582789U JPH02146752U (ja) | 1989-05-17 | 1989-05-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5582789U JPH02146752U (ja) | 1989-05-17 | 1989-05-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02146752U true JPH02146752U (ja) | 1990-12-13 |
Family
ID=31579123
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5582789U Pending JPH02146752U (ja) | 1989-05-17 | 1989-05-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02146752U (ja) |
-
1989
- 1989-05-17 JP JP5582789U patent/JPH02146752U/ja active Pending