JPH02148003A - 多層膜表面反射鏡 - Google Patents
多層膜表面反射鏡Info
- Publication number
- JPH02148003A JPH02148003A JP30301288A JP30301288A JPH02148003A JP H02148003 A JPH02148003 A JP H02148003A JP 30301288 A JP30301288 A JP 30301288A JP 30301288 A JP30301288 A JP 30301288A JP H02148003 A JPH02148003 A JP H02148003A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- layer
- refractive index
- reflecting mirror
- multilayer film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 216
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 42
- 239000012788 optical film Substances 0.000 claims abstract description 26
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 23
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 23
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 23
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 41
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 31
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 abstract description 7
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 5
- -1 MgF2 Chemical compound 0.000 abstract description 4
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 150000002222 fluorine compounds Chemical class 0.000 abstract description 2
- 229910001635 magnesium fluoride Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 abstract description 2
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 abstract description 2
- 150000003568 thioethers Chemical class 0.000 abstract description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 46
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 21
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 4
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 238000010422 painting Methods 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 2
- 229910020187 CeF3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 241000282412 Homo Species 0.000 description 1
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229910001179 chromel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N hafnium(IV) oxide Inorganic materials O=[Hf]=O CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 229910001026 inconel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明は反射鏡に係り、特に防眩性、高視認性、装飾性
、生産性、コスト性等に優れた多層膜表面反射鏡に関す
る。本発明の多層膜表面反射鏡は、自動車用バックミラ
ー、路上の危険防止用凸面鏡(カーブミラー)、装飾ミ
ラー等に主として用いられるが、その他の用途にも幅広
く利用される。
、生産性、コスト性等に優れた多層膜表面反射鏡に関す
る。本発明の多層膜表面反射鏡は、自動車用バックミラ
ー、路上の危険防止用凸面鏡(カーブミラー)、装飾ミ
ラー等に主として用いられるが、その他の用途にも幅広
く利用される。
「従来技術」
多層膜表面反射鏡の一例として、特開昭63−1658
05号公報には、ガラス基板の片面に誘電体多層膜を設
け、さらに同一基板の裏面に光吸収膜を設けてなり、前
記誘電体多層膜は交互に異なる屈折率を有する誘電体膜
を3〜6層順次積層して構成されており、かつ誘電体多
層膜を構成する3〜6層の誘電体膜の少くとも1層はλ
/2の光学膜厚を有する多層膜表面反射鏡が開示されて
いる。
05号公報には、ガラス基板の片面に誘電体多層膜を設
け、さらに同一基板の裏面に光吸収膜を設けてなり、前
記誘電体多層膜は交互に異なる屈折率を有する誘電体膜
を3〜6層順次積層して構成されており、かつ誘電体多
層膜を構成する3〜6層の誘電体膜の少くとも1層はλ
/2の光学膜厚を有する多層膜表面反射鏡が開示されて
いる。
第2図に示す、人間の目の暗順応比視感度V′(λ)(
同図、曲線(1)参照)及び自動車ヘッドライト(ハロ
ゲンランプ)の分光エネルギー特性P(λ)(同図、直
線(2)参照)並びにそれらの積P(λ)xv’(λ)
(同図、曲線(3)参照)から明らかなように、夜間の
追従車のヘッドライトが目に感じる光の波長は主に48
0 nm〜550nmであり、この波長領域での反射率
が低いことが防眩効果を得るための重要な要素であるが
、前記特開昭63−165805号公報に記載の多層膜
表面反射鏡は、その分光反射率特性を第3図に示すよう
に、480nm〜550nmの波長領域において反射率
が低く防眩効果に優れている。またこの反射鏡は防眩に
必要な波長領域では、反射率が低く、その他の波長領域
では、反射率が高くなっているので視認性にも優れてい
る。
同図、曲線(1)参照)及び自動車ヘッドライト(ハロ
ゲンランプ)の分光エネルギー特性P(λ)(同図、直
線(2)参照)並びにそれらの積P(λ)xv’(λ)
(同図、曲線(3)参照)から明らかなように、夜間の
追従車のヘッドライトが目に感じる光の波長は主に48
0 nm〜550nmであり、この波長領域での反射率
が低いことが防眩効果を得るための重要な要素であるが
、前記特開昭63−165805号公報に記載の多層膜
表面反射鏡は、その分光反射率特性を第3図に示すよう
に、480nm〜550nmの波長領域において反射率
が低く防眩効果に優れている。またこの反射鏡は防眩に
必要な波長領域では、反射率が低く、その他の波長領域
では、反射率が高くなっているので視認性にも優れてい
る。
[従来技術の問題点]
しかしながら、特開昭63−165805号公報に記載
の多層膜表面反射鏡は、ガラス基板の片面に設けられる
誘電体多層膜の層数が3〜6層と多く、誘電体多層膜の
形成のための真空蒸着工程が複雑となるばかりでなく、
同一基板の裏面に、前記真空蒸着工程と別工程で塗装、
焼成して光吸収体膜を形成する必要があるので、生産性
が悪く、コストアップにつながるという欠点があった。
の多層膜表面反射鏡は、ガラス基板の片面に設けられる
誘電体多層膜の層数が3〜6層と多く、誘電体多層膜の
形成のための真空蒸着工程が複雑となるばかりでなく、
同一基板の裏面に、前記真空蒸着工程と別工程で塗装、
焼成して光吸収体膜を形成する必要があるので、生産性
が悪く、コストアップにつながるという欠点があった。
1[発明が解決しようとする問題点]
本発明の目的は従来の表面反射鏡の上述の如き問題点を
解消し、防眩性、視認性に優れているだけでなく、生産
性、コスト性等にも優れた表面反射鏡を提供することに
ある。
解消し、防眩性、視認性に優れているだけでなく、生産
性、コスト性等にも優れた表面反射鏡を提供することに
ある。
[問題点を解決するための手段]
本発明は上述の問題点を解決するためになされたもので
あり、本発明の多層膜表面反射鏡は、基材の片面に金属
ないし半導体膜を設け、さらにその上に1層以上の屈折
率物質層からなる光学膜厚が3λ0/4(λ0は設計の
中心となる光の波長である)の誘電体、膜を設けてなる
ことを特徴とする。
あり、本発明の多層膜表面反射鏡は、基材の片面に金属
ないし半導体膜を設け、さらにその上に1層以上の屈折
率物質層からなる光学膜厚が3λ0/4(λ0は設計の
中心となる光の波長である)の誘電体、膜を設けてなる
ことを特徴とする。
以下、本発明の詳細な説明する。
本発明の多層膜表面反射鏡において用いられる基材とし
ては、透明基材が好ましいが、基材は透明でなくても良
い。この基材は両面が平面を有する基板や、少なくとも
一面が凸面又は凹面を有する基板(例えば平凹板、平凸
板、凹凸板、両凹板、両凸板なと)であるのが好ましい
。基材の好ましい材質としてはガラスやプラスチックが
挙げられるが、その他の材質のものを用いることもでき
る。
ては、透明基材が好ましいが、基材は透明でなくても良
い。この基材は両面が平面を有する基板や、少なくとも
一面が凸面又は凹面を有する基板(例えば平凹板、平凸
板、凹凸板、両凹板、両凸板なと)であるのが好ましい
。基材の好ましい材質としてはガラスやプラスチックが
挙げられるが、その他の材質のものを用いることもでき
る。
本発明の多層膜表面反射鏡においては、上記基材の片面
に金属ないし半導体膜が設けられ、さらにその上に誘電
体膜が設けられている。
に金属ないし半導体膜が設けられ、さらにその上に誘電
体膜が設けられている。
そこで先ず、本発明の多層膜表面反射鏡において、基材
の片面に設けられる金属ないし半導体膜について説明す
る。
の片面に設けられる金属ないし半導体膜について説明す
る。
この金属ないし半導体膜は、反射膜として機能するもの
であり、反射率が30%以上、特に50〜80%である
ものを用いるのが好ましい。このような金属ないし半導
体膜としては、C1−5Ni、Rh、AI、Ag、Co
、Fe、Si、Geなどの金属ないし半導体の単体や、
これらの金属ないし半導体の少なくとも1種を含む合金
などが用いられる。合金の例としては、インコネル(N
i80重量%、Cr14重量%、Fe6重量%から主と
して構成され、その池の不純物を微量含む)やクロメル
(Ni80ii量%、Cr2O重景%から主として構成
され、その他の不純物を微量含む)が挙げられる。金属
ないし半導体膜は、1層の金属ないし半導体層によって
形成しても良いが、特に反射鏡の反射率を可視領域で上
げるには、1層の金属ないし半導体股上にさらに反射率
の高い異種の金属ないし半導体膜を形成することもでき
る。
であり、反射率が30%以上、特に50〜80%である
ものを用いるのが好ましい。このような金属ないし半導
体膜としては、C1−5Ni、Rh、AI、Ag、Co
、Fe、Si、Geなどの金属ないし半導体の単体や、
これらの金属ないし半導体の少なくとも1種を含む合金
などが用いられる。合金の例としては、インコネル(N
i80重量%、Cr14重量%、Fe6重量%から主と
して構成され、その池の不純物を微量含む)やクロメル
(Ni80ii量%、Cr2O重景%から主として構成
され、その他の不純物を微量含む)が挙げられる。金属
ないし半導体膜は、1層の金属ないし半導体層によって
形成しても良いが、特に反射鏡の反射率を可視領域で上
げるには、1層の金属ないし半導体股上にさらに反射率
の高い異種の金属ないし半導体膜を形成することもでき
る。
また3種以上の金属ないし半導体層を形成してもよい。
この金属ないし半導体膜の形成方法としては、後記誘電
体膜の場合と同様のコーティング方法(蒸着法、スパッ
タリング法、イオンブレーティング法、CVD法など)
が採用される。
体膜の場合と同様のコーティング方法(蒸着法、スパッ
タリング法、イオンブレーティング法、CVD法など)
が採用される。
次に、前記金属ないし半導体股上に設けられる誘電体膜
について説明すると、この誘電体膜は、1層以上の屈折
率物質層からなる光学膜厚が3^0/4(λOは設計の
中心となる光の波長である)の誘電体膜である。ここに
前記屈折率物質層は、屈折率が1.3〜2.4の屈折率
物質によって形成するのが好ましく、このような屈折率
物質としては、Sin、TiO2、Ta205 、Zr
O2,5i02 、HfO2、AI203等の酸化物や
MgF2 、CeF3等の弗化物やZnS等の硫化物お
よびこれらの混合物が適宜用いられる。
について説明すると、この誘電体膜は、1層以上の屈折
率物質層からなる光学膜厚が3^0/4(λOは設計の
中心となる光の波長である)の誘電体膜である。ここに
前記屈折率物質層は、屈折率が1.3〜2.4の屈折率
物質によって形成するのが好ましく、このような屈折率
物質としては、Sin、TiO2、Ta205 、Zr
O2,5i02 、HfO2、AI203等の酸化物や
MgF2 、CeF3等の弗化物やZnS等の硫化物お
よびこれらの混合物が適宜用いられる。
上記の如く誘電体膜の光学膜厚は3λ0/4に限定され
る。この膜厚を上記に限定した理由は、この限定により
はじめて防眩性および視認性共にずぐれた反射特性が得
られるからである。
る。この膜厚を上記に限定した理由は、この限定により
はじめて防眩性および視認性共にずぐれた反射特性が得
られるからである。
光学膜厚が3λO/4の前記誘電体膜は、1層の屈折率
物質層によって形成しても良いが、光学膜厚がλO/4
の1種の屈折率物質層と、これに隣接する、光学膜厚が
2^o/4の他種の屈折率物質層とによって光学膜厚が
3λo、/4の誘電体膜を形成しても良い。
物質層によって形成しても良いが、光学膜厚がλO/4
の1種の屈折率物質層と、これに隣接する、光学膜厚が
2^o/4の他種の屈折率物質層とによって光学膜厚が
3λo、/4の誘電体膜を形成しても良い。
また、光学膜厚がλo/4の1種の屈折率物質層と、λ
0/4の他種の屈折率物質層と、λO/4のさらに他種
の屈折率物質層とによって光学膜厚が3λO/4の誘電
体膜を形成しても良い。さらに光学膜厚が3λo/4の
前記誘電体、膜は、光学膜厚がλo/4の1種の屈折率
物質と、この両側に設けられた、光学膜厚がλo/4の
他種の屈折率物質層によって形成され、両側に設けられ
た屈折率物質層が同種のものであっても良い。
0/4の他種の屈折率物質層と、λO/4のさらに他種
の屈折率物質層とによって光学膜厚が3λO/4の誘電
体膜を形成しても良い。さらに光学膜厚が3λo/4の
前記誘電体、膜は、光学膜厚がλo/4の1種の屈折率
物質と、この両側に設けられた、光学膜厚がλo/4の
他種の屈折率物質層によって形成され、両側に設けられ
た屈折率物質層が同種のものであっても良い。
この誘電体膜の形成方法としては、蒸着法、スパッタ法
、イオンブレーティング法等の物理的コーティング方法
あるいはCVD法、有機溶液からの薄膜形成法等のコー
ティング方法が挙げられる。
、イオンブレーティング法等の物理的コーティング方法
あるいはCVD法、有機溶液からの薄膜形成法等のコー
ティング方法が挙げられる。
[実施例]
以下実施例を挙げて本発明の好ましい具体例を説明する
が、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない
。
が、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない
。
実施例1
第1図(A)は本発明の多層膜表面反射鏡の好ましい実
施例の要部拡大断面図であり、図中、1はガラス基板、
2はCr膜、3は屈折率1.46のS i02からなる
光学膜厚3λo/4(本実施例において、設計の中心と
なる光の波長λ0は540nmであり、従って3λO/
4は405nmである)の屈折率膜層(3M層)である
。すなわち、この実施例の多層膜表面反射鏡はガラス基
板の片面に基板側からC1−膜−3M層の順で多層膜が
形成されている。この多層膜表面反射鏡の分光反射特性
を第4図に示す。第4図から明らかなように、この実施
例の多層膜表面反射鏡は、後記比較例の多層膜表面反射
鏡に比べて、暗順応比視感度とへラドライトの分光エネ
ルギーの積の高い領域にほぼ相当する480nm−58
0nmの反射率が低下しているので防眩性にすぐれ、か
つ人間の目にとって明るさの感度の低い青及び赤の波長
である400nI11〜480nIl+(青)及び58
011111〜700t1m(赤)における反射率が上
昇しているので、視認性にすぐれている。
施例の要部拡大断面図であり、図中、1はガラス基板、
2はCr膜、3は屈折率1.46のS i02からなる
光学膜厚3λo/4(本実施例において、設計の中心と
なる光の波長λ0は540nmであり、従って3λO/
4は405nmである)の屈折率膜層(3M層)である
。すなわち、この実施例の多層膜表面反射鏡はガラス基
板の片面に基板側からC1−膜−3M層の順で多層膜が
形成されている。この多層膜表面反射鏡の分光反射特性
を第4図に示す。第4図から明らかなように、この実施
例の多層膜表面反射鏡は、後記比較例の多層膜表面反射
鏡に比べて、暗順応比視感度とへラドライトの分光エネ
ルギーの積の高い領域にほぼ相当する480nm−58
0nmの反射率が低下しているので防眩性にすぐれ、か
つ人間の目にとって明るさの感度の低い青及び赤の波長
である400nI11〜480nIl+(青)及び58
011111〜700t1m(赤)における反射率が上
昇しているので、視認性にすぐれている。
実施例2
第1図(B)は本発明の多層膜表面反射鏡の他の実施例
の要部拡大断面図であり、図中、1−1−はガラス基板
、12はCr膜、13はRh膜、14は屈折率1446
のS i 02からなる光学膜厚3λO/4(本実施例
において、設計の中心となる光の波長は540nmであ
り、従って3λo/4は405 nmである)の屈折率
膜層(3M層)である。
の要部拡大断面図であり、図中、1−1−はガラス基板
、12はCr膜、13はRh膜、14は屈折率1446
のS i 02からなる光学膜厚3λO/4(本実施例
において、設計の中心となる光の波長は540nmであ
り、従って3λo/4は405 nmである)の屈折率
膜層(3M層)である。
すなわち、この実施例の多層膜表面反射鏡はガラス基板
の片面に基板側からC1−膜→RhRh膜間3M層で多
層膜が形成されている。
の片面に基板側からC1−膜→RhRh膜間3M層で多
層膜が形成されている。
この多層膜表面反射鏡は第5図より明らかなように、実
施例1の多層膜表面反射鏡とほぼ同様の分光反射特性を
示し、防眩性および視認性にすぐれている。また実施例
1の多層膜表面反射鏡よりも全体的に反射率が向上し5
ており、高反射性を有している。
施例1の多層膜表面反射鏡とほぼ同様の分光反射特性を
示し、防眩性および視認性にすぐれている。また実施例
1の多層膜表面反射鏡よりも全体的に反射率が向上し5
ており、高反射性を有している。
実施例3
第1図(C)は本発明の多層膜表面反射鏡の他の実施例
の要部拡大断面図であ1八図中、21はガラス基板、2
2はGe膜、23は屈折率1.46の8102からなる
光学膜厚3^O/4(本実施例において、設計の中心と
なる光の波長λ0は540nmであり、従って3λo/
4は405nmである)の屈折率膜層(3M層)である
。すなわち、この実施例の多層膜表面反射鏡はガラス基
板の片面に基板側からGe膜−3M層の順で多層膜が形
成されている。
の要部拡大断面図であ1八図中、21はガラス基板、2
2はGe膜、23は屈折率1.46の8102からなる
光学膜厚3^O/4(本実施例において、設計の中心と
なる光の波長λ0は540nmであり、従って3λo/
4は405nmである)の屈折率膜層(3M層)である
。すなわち、この実施例の多層膜表面反射鏡はガラス基
板の片面に基板側からGe膜−3M層の順で多層膜が形
成されている。
この多層膜表面反射鏡は、第6図に示すように、実施例
1の多層膜表面反射鏡とほぼ同様の分光反射特性を示し
、防眩性および視認性にすぐれている。
1の多層膜表面反射鏡とほぼ同様の分光反射特性を示し
、防眩性および視認性にすぐれている。
実施例4
第1−図(D>は本発明の多層膜表面反射鏡の他の実施
例の要部拡大断面図であり、図r4=1,31はガラス
基板、32はCr膜、33は屈折率12.46のS]、
02からなる光学膜厚λo/4(本実施例において、設
計の中心となる光の波長λ0は540nmであり、従っ
てλo/4は1350mである)の屈折率膜層(M1層
)、34は屈折率1.63のAl2O3からなる光学膜
厚2λo/4(270nm)の屈折率膜層(2M2層)
である。ずなわち、この実施例の多層膜表面反射鏡はガ
ラス基板の片面に基板側からCr膜→M 層92M2屑
の順で多層膜が形成されている(なお、M1層と2M2
層によって光学膜厚3λ0/4の屈折率膜層(3M層)
が形成されている)。
例の要部拡大断面図であり、図r4=1,31はガラス
基板、32はCr膜、33は屈折率12.46のS]、
02からなる光学膜厚λo/4(本実施例において、設
計の中心となる光の波長λ0は540nmであり、従っ
てλo/4は1350mである)の屈折率膜層(M1層
)、34は屈折率1.63のAl2O3からなる光学膜
厚2λo/4(270nm)の屈折率膜層(2M2層)
である。ずなわち、この実施例の多層膜表面反射鏡はガ
ラス基板の片面に基板側からCr膜→M 層92M2屑
の順で多層膜が形成されている(なお、M1層と2M2
層によって光学膜厚3λ0/4の屈折率膜層(3M層)
が形成されている)。
この多層膜表面反射鏡は、第4図に示された実施例1の
多層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示し、防眩性
および視認性にすぐれている。
多層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示し、防眩性
および視認性にすぐれている。
実施例5
第1図(E)は本発明の多層膜表面反射鏡の他の実施例
の要部拡大断面図であり、図中、4]−はガラス基板、
42はCr膜、43はRh膜、44は屈折率1.46の
S i 02からなる光学膜厚λO/4(本実施例にお
いて、設計の中心となる光の波長λOは540nmであ
り、従ってλo/4は135nmである)の屈折率膜層
(M1層)、45は屈折率1,63のA1203からな
る光学膜厚2λo /4 (270nm)の屈折率膜層
(2M2層)である。すなわち、この実施例の多層膜表
面反射鏡は、ガラス基板の片面に基板側からCr膜→R
h膜→M1層→2M2層の順で多層膜が形成されている
(なおM 層と2M2層によって光学膜厚3λo/4の
屈折率膜層(3M層)が形成されている)。
の要部拡大断面図であり、図中、4]−はガラス基板、
42はCr膜、43はRh膜、44は屈折率1.46の
S i 02からなる光学膜厚λO/4(本実施例にお
いて、設計の中心となる光の波長λOは540nmであ
り、従ってλo/4は135nmである)の屈折率膜層
(M1層)、45は屈折率1,63のA1203からな
る光学膜厚2λo /4 (270nm)の屈折率膜層
(2M2層)である。すなわち、この実施例の多層膜表
面反射鏡は、ガラス基板の片面に基板側からCr膜→R
h膜→M1層→2M2層の順で多層膜が形成されている
(なおM 層と2M2層によって光学膜厚3λo/4の
屈折率膜層(3M層)が形成されている)。
この多層膜表面反射鏡は第5図に示さ′Fした実施例2
の多層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示し、防眩
性および視認性にすぐれている。また高反射性を有して
いる。
の多層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示し、防眩
性および視認性にすぐれている。また高反射性を有して
いる。
実施例6
第1−図(F)は本発明の多層膜表面反射鏡の他の実施
例の要部拡大断面図であり、図中、51はガラス基板、
52はGe膜、53は屈折率]−946のS i 02
からなる光学膜厚λO/4(本実施例において、設計の
中心となる光の波長λOは540nmであり、従ってλ
o/4は135nmである)の屈折率膜層(M1層〉、
54は屈折率1.63のA l 203からなる光学膜
厚2λo/4(270n…)の屈折率膜層(2M2層)
である。すなわち、この実施例の多層膜表面反射鏡はガ
ラス基板の片面に基板側からGe膜→M1層→2M2層
の順で多層膜が形成されている(なおM1層と2M2層
によって光学膜厚3λ0/4の屈折率膜層(3M層)が
形成されている)。
例の要部拡大断面図であり、図中、51はガラス基板、
52はGe膜、53は屈折率]−946のS i 02
からなる光学膜厚λO/4(本実施例において、設計の
中心となる光の波長λOは540nmであり、従ってλ
o/4は135nmである)の屈折率膜層(M1層〉、
54は屈折率1.63のA l 203からなる光学膜
厚2λo/4(270n…)の屈折率膜層(2M2層)
である。すなわち、この実施例の多層膜表面反射鏡はガ
ラス基板の片面に基板側からGe膜→M1層→2M2層
の順で多層膜が形成されている(なおM1層と2M2層
によって光学膜厚3λ0/4の屈折率膜層(3M層)が
形成されている)。
この多層膜表面反射鏡は第6図に示された、実施例3の
多層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示し、防眩性
および視認性にすぐれている。
多層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示し、防眩性
および視認性にすぐれている。
実施例7
第1図(G)は本発明の多層膜表面反射鏡の他の実施例
の要部拡大断面図であり、図中、61はガラス基板、6
2はCr膜、63は屈折率1.63のAl2O3からな
る光学膜厚λO/4(本実施例において、設計の中心と
なる光の波長λ0は540nmであり、従ってλo/4
は135nmである)の屈折率膜/iJ(M1層)、6
4は屈折率1゜63のCe F 3からなる光学膜厚λ
O/4(]、35nm)の屈折率膜層(M27im)
、65は屈折率146のSj、02からなる光学膜厚λ
O/4(1350…)の屈折率膜層(M3層)である。
の要部拡大断面図であり、図中、61はガラス基板、6
2はCr膜、63は屈折率1.63のAl2O3からな
る光学膜厚λO/4(本実施例において、設計の中心と
なる光の波長λ0は540nmであり、従ってλo/4
は135nmである)の屈折率膜/iJ(M1層)、6
4は屈折率1゜63のCe F 3からなる光学膜厚λ
O/4(]、35nm)の屈折率膜層(M27im)
、65は屈折率146のSj、02からなる光学膜厚λ
O/4(1350…)の屈折率膜層(M3層)である。
すなわち、この実施例の多層膜表面反射鏡はガラス基板
の片面に基板側からCr膜→M 層−M2層→M3層の
順で多層膜が形成されている(なおM1層とM2層とM
3層によって光学膜厚3λo/4の屈折率膜層(3M層
りが形成されている)。
の片面に基板側からCr膜→M 層−M2層→M3層の
順で多層膜が形成されている(なおM1層とM2層とM
3層によって光学膜厚3λo/4の屈折率膜層(3M層
りが形成されている)。
この多層膜表面反射鏡は第4図に示した実施例1の多層
膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示し、防眩性およ
び視認性にすぐれている。
膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示し、防眩性およ
び視認性にすぐれている。
実施例8
第1図(H)は本発明の多層膜表面反射鏡の他の実施例
の要部拡大断面図であり、図中、7]−はガラス基板、
72はCr膜、73はRh膜、74は屈折率1.63の
Al2O3からなる光学膜厚λO/4(本実施例におい
て、設計の中心となる光の波長^Oは540nmであり
、従ってλO/4は1350mである〉の屈折率膜層(
M1層)、75は屈折率1.63のCe F 3からな
る光学膜厚^0 /4 (135nm)の屈折率膜層(
M2層)、76は屈折率1.46の3102からなる光
学膜厚λO/4 (135nm)の屈折率膜層(M3層
)である。すなわち、この実施例の多層膜表面反射鏡は
ガラス基板の片面に基板側からCr膜−R,h膜→M1
層−M22分間3層の順で多層膜が形成されている(な
おM 層とM2層とへ月層にょって光学膜厚3λ0/4
の屈折率膜層(3M層)が形成されている)。
の要部拡大断面図であり、図中、7]−はガラス基板、
72はCr膜、73はRh膜、74は屈折率1.63の
Al2O3からなる光学膜厚λO/4(本実施例におい
て、設計の中心となる光の波長^Oは540nmであり
、従ってλO/4は1350mである〉の屈折率膜層(
M1層)、75は屈折率1.63のCe F 3からな
る光学膜厚^0 /4 (135nm)の屈折率膜層(
M2層)、76は屈折率1.46の3102からなる光
学膜厚λO/4 (135nm)の屈折率膜層(M3層
)である。すなわち、この実施例の多層膜表面反射鏡は
ガラス基板の片面に基板側からCr膜−R,h膜→M1
層−M22分間3層の順で多層膜が形成されている(な
おM 層とM2層とへ月層にょって光学膜厚3λ0/4
の屈折率膜層(3M層)が形成されている)。
この多層膜表面反射鏡は、第5図に示された、実施例2
の多層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示し1、防
眩性および視認性にすぐれている。
の多層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示し1、防
眩性および視認性にすぐれている。
また高い反射性を有している。
実施例9
第1図(I)は、本発明の多層膜表面反射鏡の他の実施
例の要部拡大断面図であり、図中、8]−はガラス基板
、82はGe膜、83は屈折率1゜63のAl2O3か
らなる光学膜厚λo/4(本実施例において、設計の中
心となる光の波長λ0は540nmであり、従ってλo
/4は135nmである)の屈折率膜層(M1層)、8
4は屈折率1゜63のCe F 2からなる光学膜厚λ
o/4(135nm)の屈折率膜層(M2層〉、85は
屈折率1゜46のS i02からなる光学膜厚λO/4
(1350…)の屈折率膜層(IVI3層)である。す
なわち、この実施例の多層膜表面反射鏡は、ガラス基板
の片面に基板側からGe膜→M 層−M2層→M3層の
順で多層膜が形成されている(なおM1層とM2層とM
3層によって光学膜厚3λo/4の屈折率膜層(3M層
)が形成されている)。
例の要部拡大断面図であり、図中、8]−はガラス基板
、82はGe膜、83は屈折率1゜63のAl2O3か
らなる光学膜厚λo/4(本実施例において、設計の中
心となる光の波長λ0は540nmであり、従ってλo
/4は135nmである)の屈折率膜層(M1層)、8
4は屈折率1゜63のCe F 2からなる光学膜厚λ
o/4(135nm)の屈折率膜層(M2層〉、85は
屈折率1゜46のS i02からなる光学膜厚λO/4
(1350…)の屈折率膜層(IVI3層)である。す
なわち、この実施例の多層膜表面反射鏡は、ガラス基板
の片面に基板側からGe膜→M 層−M2層→M3層の
順で多層膜が形成されている(なおM1層とM2層とM
3層によって光学膜厚3λo/4の屈折率膜層(3M層
)が形成されている)。
この多層膜表面反射鏡は第6図に示された実施例3の多
層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示し、防眩性お
よび視認性にすぐれている。
層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示し、防眩性お
よび視認性にすぐれている。
実施例10
第1図(、J)は本発明の多層膜表面反射鏡の他の実施
例の要部拡大面図であり、図中、91はガラス基板、9
2はCr膜、93は屈折率1,63のA I 203か
らなる光学膜厚λO/4(本実施例において、設計の中
心となる光の波長は5400…であり、従ってλo/4
は1351mである)の屈折率膜層(MlN)、94は
屈折率1,63のCe F 3からなる光学膜厚λO/
4 (135nm)の屈折率膜層(M2層)、95は屈
折率1.63のA 1203からなる光学膜厚λO/4
(135nm)の屈折率層(M1層)である。すなわち
、この実施例の多層膜表面反射鏡はガラス基板の片面に
基板側からCr膜→M 層−M2層−M1層の順で多層
膜が形成されている(なお2つのMllと1つのM2層
によって光学膜厚3^o/4の屈折率膜層(3M層)が
形成されている)。
例の要部拡大面図であり、図中、91はガラス基板、9
2はCr膜、93は屈折率1,63のA I 203か
らなる光学膜厚λO/4(本実施例において、設計の中
心となる光の波長は5400…であり、従ってλo/4
は1351mである)の屈折率膜層(MlN)、94は
屈折率1,63のCe F 3からなる光学膜厚λO/
4 (135nm)の屈折率膜層(M2層)、95は屈
折率1.63のA 1203からなる光学膜厚λO/4
(135nm)の屈折率層(M1層)である。すなわち
、この実施例の多層膜表面反射鏡はガラス基板の片面に
基板側からCr膜→M 層−M2層−M1層の順で多層
膜が形成されている(なお2つのMllと1つのM2層
によって光学膜厚3^o/4の屈折率膜層(3M層)が
形成されている)。
この多層膜表面反射鏡は第4図に示された実施例1の多
層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示し、防眩性お
よび視認性にすぐれている。
層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示し、防眩性お
よび視認性にすぐれている。
実施例11
第1図(K)は本発明の多層膜表面反射鏡の他の実施例
の要部拡大断面図であり、図中、101はガラス基板、
102はCr膜、103はRh膜、104は屈折率1.
63のAl2O3からなる光学膜厚λO/4(本実施例
において、設計の中心となる光の波長λOは540nI
Ilであり、従ってλo/4は135nmである)の屈
折率膜1(M1層)、]−05は屈折率1.63のCe
F 3からなる光学膜厚λO/4 (135nm)の
屈折率膜層(M2層〉、106は屈折率1.63のAl
2O3からなる光学膜厚λo /4 (135nm)の
屈折率膜層(M1層)である。すなわち、この実施例の
多層膜表面反射鏡はガラス基板の片面に基板側からCr
膜→Rh膜→M 層→M2層→M1層の順で多層膜が形
成されている(なお2つのM1層と千つのM2層によっ
て光学膜厚3λo/4の屈折率膜層(3M層)が形成さ
れている)。
の要部拡大断面図であり、図中、101はガラス基板、
102はCr膜、103はRh膜、104は屈折率1.
63のAl2O3からなる光学膜厚λO/4(本実施例
において、設計の中心となる光の波長λOは540nI
Ilであり、従ってλo/4は135nmである)の屈
折率膜1(M1層)、]−05は屈折率1.63のCe
F 3からなる光学膜厚λO/4 (135nm)の
屈折率膜層(M2層〉、106は屈折率1.63のAl
2O3からなる光学膜厚λo /4 (135nm)の
屈折率膜層(M1層)である。すなわち、この実施例の
多層膜表面反射鏡はガラス基板の片面に基板側からCr
膜→Rh膜→M 層→M2層→M1層の順で多層膜が形
成されている(なお2つのM1層と千つのM2層によっ
て光学膜厚3λo/4の屈折率膜層(3M層)が形成さ
れている)。
この多層膜表面反射鏡は第5図に示された実施例2の多
層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示し、防眩性お
よび視認性にすぐれている。また高い反射性を有してい
る。
層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示し、防眩性お
よび視認性にすぐれている。また高い反射性を有してい
る。
実施例12
第1図(L)は本発明の多層膜表面反射鏡の他の実施例
の要部拡大断面図であり、図中、111はガラス基板、
1]−2はGe膜、113は屈折率1.63のA I
203からなる光学膜厚λo/4(本実施例において、
設計の中心となる光の波長λOは540nmであり、従
ってλO/4は135nmである)の屈折率膜層(M1
層)、114は屈折率]、、6BのCeF からなる
光学膜厚λ0/4(135nm)の屈折率膜層(M2層
)、]−15は屈折率1.63のAI Oからなる光
学膜厚λ0 /4 (135nm)の屈折率膜層(IV
11層)である。すなわち、この実施例の多層膜表面反
射鏡はガラス基板の片面に基板側からGe膜−M1層→
M2層→M1層の順で多層膜が形成されている(なお2
つのM層層と1つのM層層によって光学膜厚3λo/4
の屈折率膜層(3M層)が形成されている)。
の要部拡大断面図であり、図中、111はガラス基板、
1]−2はGe膜、113は屈折率1.63のA I
203からなる光学膜厚λo/4(本実施例において、
設計の中心となる光の波長λOは540nmであり、従
ってλO/4は135nmである)の屈折率膜層(M1
層)、114は屈折率]、、6BのCeF からなる
光学膜厚λ0/4(135nm)の屈折率膜層(M2層
)、]−15は屈折率1.63のAI Oからなる光
学膜厚λ0 /4 (135nm)の屈折率膜層(IV
11層)である。すなわち、この実施例の多層膜表面反
射鏡はガラス基板の片面に基板側からGe膜−M1層→
M2層→M1層の順で多層膜が形成されている(なお2
つのM層層と1つのM層層によって光学膜厚3λo/4
の屈折率膜層(3M層)が形成されている)。
この多層膜表面反射鏡は第6図に示された実施例3の多
層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示し、防眩性お
よび視認性にすぐれている。
層膜表面反射鏡と同様の分光反射特性を示し、防眩性お
よび視認性にすぐれている。
実施例1〜12における誘電体膜の各層を等価膜に置き
換えても同様の反射特性か得られる。
換えても同様の反射特性か得られる。
比較例
第7図(A>、(B)は本発明の実施例1の多層膜表面
反射鏡において、屈折率1.46の5i02からなる光
学膜厚3λo/4の屈折率層(3M層)を、同一物質で
光学膜厚2^0/4の屈折率膜層(2M層)、光学膜厚
4λo/4の屈折率膜N(4M層)にそれぞれ変えた、
比較例の多層膜表面反射鏡の要部拡大断面図であり、図
中、121.131はガラス基板、122,132はC
r膜、123は2M層、13Bは4M層である。
反射鏡において、屈折率1.46の5i02からなる光
学膜厚3λo/4の屈折率層(3M層)を、同一物質で
光学膜厚2^0/4の屈折率膜層(2M層)、光学膜厚
4λo/4の屈折率膜N(4M層)にそれぞれ変えた、
比較例の多層膜表面反射鏡の要部拡大断面図であり、図
中、121.131はガラス基板、122,132はC
r膜、123は2M層、13Bは4M層である。
すなわちこの比較例の多層膜表面反射鏡はガラス基板の
片面に基板側からCr膜→2M!(または4M層)の順
で多層膜が形成されている。
片面に基板側からCr膜→2M!(または4M層)の順
で多層膜が形成されている。
この比較例の多層膜表面反射鏡の分光反射特性を第8図
に示す(なお図中、(1)の曲線はCr膜上に2M層を
有する場合、(2)の曲線はCr膜上に4M層を有する
場合に該当する)。
に示す(なお図中、(1)の曲線はCr膜上に2M層を
有する場合、(2)の曲線はCr膜上に4M層を有する
場合に該当する)。
第8図から明らかなように、比較例の多層膜表面反射鏡
は、実施例1〜12の多層膜表面反射鏡と異なり、暗順
応比視感度とヘッドライトの分光エネルギーの積の高い
領域480−550nmの反射率が高くなっているので
、防眩性が悪く、かつ人間にとって明るさの感度の低い
青及び赤の波長である430n…〜480nm(青)及
び580nm〜700nm(赤)における反射率が低く
なっているため視認性も悪くなっている。
は、実施例1〜12の多層膜表面反射鏡と異なり、暗順
応比視感度とヘッドライトの分光エネルギーの積の高い
領域480−550nmの反射率が高くなっているので
、防眩性が悪く、かつ人間にとって明るさの感度の低い
青及び赤の波長である430n…〜480nm(青)及
び580nm〜700nm(赤)における反射率が低く
なっているため視認性も悪くなっている。
よって防眩性および視認性をもつ多層膜表面反射鏡を得
るためには実施例1〜12及び比較例かられかるように
ガラス基板の片面に基板側から金属ないし半導体膜及び
光学膜厚3λo/4の3M層をこの順で形成させること
が必須であることが明らかとなった。
るためには実施例1〜12及び比較例かられかるように
ガラス基板の片面に基板側から金属ないし半導体膜及び
光学膜厚3λo/4の3M層をこの順で形成させること
が必須であることが明らかとなった。
[発明の効果]
本発明の多層膜表面反射鏡は次のような技術的効果を有
する。
する。
(1)防眩性にすぐれている。
本発明の反射鏡は第4〜6図から明らかなように、第2
図、曲線(3)によって示されるP(λ)xV’(λ)
の値の大きな領域にほぼ相当する480nmから600
nmで反射率が低いので防眩効果にすぐれている。
図、曲線(3)によって示されるP(λ)xV’(λ)
の値の大きな領域にほぼ相当する480nmから600
nmで反射率が低いので防眩効果にすぐれている。
(11)視認性にすぐれている。
本発明の反射鏡は第4〜6図に示すように防眩に必要な
波長領域では反射率が低く、その他の波長領域で反射率
が高くなっているので、すぐれた視認性が確保される。
波長領域では反射率が低く、その他の波長領域で反射率
が高くなっているので、すぐれた視認性が確保される。
また本発明の反射鏡は明るさの感度の良い緑の領域(4
90〜580nm)の反射率を青の領域(400〜48
0nm)や赤の領域(590〜750nm)よりも下げ
てあり、結果として青、赤の目の感度の低い色を増感す
ることから色の分別性(コントラスト)が向上するとい
う利点もある。
90〜580nm)の反射率を青の領域(400〜48
0nm)や赤の領域(590〜750nm)よりも下げ
てあり、結果として青、赤の目の感度の低い色を増感す
ることから色の分別性(コントラスト)が向上するとい
う利点もある。
(iii)装飾性、ファツション性にすぐれている。
本発明の反射鏡は防眩性及び視認性を追及した結果、そ
の反射色がマゼンタ色を帯びている。
の反射色がマゼンタ色を帯びている。
このマゼンタ色は高級感を与え、他の反射鏡との差別化
が可能となる。
が可能となる。
(iv)生産性、コスト性にすぐれている。
本発明の反射鏡の製造においては、形成される誘電体膜
の層数が少ないことおよびこの誘電体膜と金属ないし半
導体膜とを同一の成膜手段によって形成することができ
ること等の利点を有するので、形成される誘電体多層膜
の層数が多く、かつ光吸収膜の塗装、焼成の必要な、前
記特開昭63 165805号公報の反射鏡の場合と異
なり、生産性及びコスト性にすぐれている。
の層数が少ないことおよびこの誘電体膜と金属ないし半
導体膜とを同一の成膜手段によって形成することができ
ること等の利点を有するので、形成される誘電体多層膜
の層数が多く、かつ光吸収膜の塗装、焼成の必要な、前
記特開昭63 165805号公報の反射鏡の場合と異
なり、生産性及びコスト性にすぐれている。
以上、要するに本発明によれば、層数が少ないにも拘ら
ず、防眩性、視認性、装飾性、有害光線カット性等の利
点を有する多層膜表面反射鏡が提供された。
ず、防眩性、視認性、装飾性、有害光線カット性等の利
点を有する多層膜表面反射鏡が提供された。
第1図は本発明の多層膜表面反射鏡の要部拡大断面図、
第2図は人間の目の暗順応比視感度および自動車前照灯
の分光エネルギー特性並びにそれらの積である人間の目
に感じる自動車前照灯の分光エネルギー特性図、第3図
は従来の反射鏡の分光反射特性図、第4図、第5図及び
第6図は本発明の反射鏡の分光反射特性図、第7図は比
較例の多層膜表面反射鏡の要部拡大断面図、第8図は比
較例の反射鏡の分光反射特性図である。
第2図は人間の目の暗順応比視感度および自動車前照灯
の分光エネルギー特性並びにそれらの積である人間の目
に感じる自動車前照灯の分光エネルギー特性図、第3図
は従来の反射鏡の分光反射特性図、第4図、第5図及び
第6図は本発明の反射鏡の分光反射特性図、第7図は比
較例の多層膜表面反射鏡の要部拡大断面図、第8図は比
較例の反射鏡の分光反射特性図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、基材の片面に金属ないし半導体膜を設け、さらにそ
の上に1層以上の屈折率物質層からなる光学膜厚が3λ
_0/4(λ_0は設計の中心となる光の波長である)
の誘電体膜を設けてなることを特徴とする多層膜表面反
射鏡。 2、光学膜厚が3λ_0/4の前記誘電体膜が、1層の
屈折率物質層によって形成されている、請求項1に記載
の多層膜表面反射鏡。 3、光学膜厚が3λ_0/4の前記誘電体膜が、光学膜
厚がλ_0/4の1種の屈折率物質層と、光学膜厚が2
λ_0/4の他種の屈折率物質層とによって形成されて
いる、請求項1に記載の多層膜表面反射鏡。 4、光学膜厚が3λ_0/4の前記誘電体膜が、光学膜
厚がλ_0/4の1種の屈折率物質層と、光学膜厚がλ
_0/4の他種の屈折率物質層と、光学膜厚がλ_0/
4のさらに他種の屈折率物質層とによって形成されてい
る、請求項1に記載の多層膜表面反射鏡。 5、光学膜厚が3λ_0/4の前記誘電体膜が、光学膜
厚がλ_0/4の1種の屈折率物質層と、この両側に設
けられた、光学膜厚がλ_0/4の他種の屈折率物質層
とによって形成され、両側に設けられた屈折率物質層が
同種のものである、請求項1に記載の多層膜表面反射鏡
。 6、金属ないし半導体膜が1層又は2層以上の金属ない
し半導体層によって形成されている、請求項1〜5に記
載の多層膜表面反射鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63303012A JP2719375B2 (ja) | 1988-11-30 | 1988-11-30 | 多層膜表面反射鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63303012A JP2719375B2 (ja) | 1988-11-30 | 1988-11-30 | 多層膜表面反射鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02148003A true JPH02148003A (ja) | 1990-06-06 |
| JP2719375B2 JP2719375B2 (ja) | 1998-02-25 |
Family
ID=17915878
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63303012A Expired - Lifetime JP2719375B2 (ja) | 1988-11-30 | 1988-11-30 | 多層膜表面反射鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2719375B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0933959A (ja) * | 1995-07-14 | 1997-02-07 | Olympus Optical Co Ltd | 位相制御膜構造体 |
| WO2018216122A1 (ja) * | 2017-05-23 | 2018-11-29 | 株式会社島津製作所 | 耐熱性反射鏡、ガス濃度モニタ及び耐熱性反射鏡の製造方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59188602A (ja) * | 1983-04-11 | 1984-10-26 | Nippon Soken Inc | 自動車用反射鏡 |
| JPS63165805A (ja) * | 1986-12-27 | 1988-07-09 | Hoya Corp | 多層膜表面反射鏡 |
-
1988
- 1988-11-30 JP JP63303012A patent/JP2719375B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59188602A (ja) * | 1983-04-11 | 1984-10-26 | Nippon Soken Inc | 自動車用反射鏡 |
| JPS63165805A (ja) * | 1986-12-27 | 1988-07-09 | Hoya Corp | 多層膜表面反射鏡 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0933959A (ja) * | 1995-07-14 | 1997-02-07 | Olympus Optical Co Ltd | 位相制御膜構造体 |
| WO2018216122A1 (ja) * | 2017-05-23 | 2018-11-29 | 株式会社島津製作所 | 耐熱性反射鏡、ガス濃度モニタ及び耐熱性反射鏡の製造方法 |
| JPWO2018216122A1 (ja) * | 2017-05-23 | 2020-01-16 | 株式会社島津製作所 | 耐熱性反射鏡、ガス濃度モニタ及び耐熱性反射鏡の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2719375B2 (ja) | 1998-02-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2719367B2 (ja) | 多層膜表面反射鏡 | |
| JP2561946B2 (ja) | 多層膜裏面反射鏡 | |
| JP2509922B2 (ja) | 多層膜表面反射鏡 | |
| JPS6374005A (ja) | 多層膜裏面反射鏡 | |
| US3679291A (en) | Filter with neutral transmitting multilayer coating having asymmetric reflectance | |
| JP2887530B2 (ja) | 車両特に自動車用バックミラー | |
| JP2001141916A (ja) | 有色防曇鏡 | |
| JPH0315723B2 (ja) | ||
| JP4484275B2 (ja) | 白熱電球 | |
| JPS62108207A (ja) | 着色鏡 | |
| JPS60212704A (ja) | 反射鏡 | |
| JPH0437805A (ja) | 積層薄膜よりなる反射鏡 | |
| JPS60212705A (ja) | 反射鏡 | |
| JP2719368B2 (ja) | 多層膜表面反射鏡 | |
| JP2719375B2 (ja) | 多層膜表面反射鏡 | |
| JPH0264602A (ja) | 多層膜裏面反射鏡 | |
| JPS6015604A (ja) | 自動車用反射鏡 | |
| JPS59188602A (ja) | 自動車用反射鏡 | |
| JP3266335B2 (ja) | 裏面反射鏡 | |
| JP4469932B2 (ja) | 自動車用電球 | |
| JPS61133902A (ja) | 自動車用反射鏡 | |
| JPH04275503A (ja) | 2層膜裏面反射鏡 | |
| JPS60140201A (ja) | 多層膜裏面後視鏡 | |
| JPH02178603A (ja) | 着色鏡 | |
| JPS6098405A (ja) | 多層膜裏面反射鏡 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081114 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091114 Year of fee payment: 12 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091114 Year of fee payment: 12 |