JPH0214873U - - Google Patents

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JPH0214873U
JPH0214873U JP9213688U JP9213688U JPH0214873U JP H0214873 U JPH0214873 U JP H0214873U JP 9213688 U JP9213688 U JP 9213688U JP 9213688 U JP9213688 U JP 9213688U JP H0214873 U JPH0214873 U JP H0214873U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、本考案の実施例であるバルブ装置の
マニホールド部の斜視図、第２図は、第１図のマ
ニホールド部にベローズバルブを組み込んだ本考
案の実施例の断面図、第３図は、本考案のバルブ
装置の流体回路構成図、第４図は、本考案の別の
実施例を示す図、第５図は、従来の原料供給系の
バルブ装置を示す図、及び第６図は、従来の原料
供給系のバルブ装置の別の例を示す図である。 １…バルブ装置、３…導出口、３ａ…導出路、
３ｂ…導出路終端部、４ａ，４ｂ，４ｃ…弁形成
空間、５ａ，５ｂ，５ｃ…導入口、６ａ，６ｂ，
６ｃ…導入路、１０ａ，１０ｂ，１０ｃ…ベント
側弁形成空間、１１…ベントライン、１１ａ…ベ
ント口、１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１４ａ，１４
ｂ，１４ｃ…ベローズバルブ、１５ａ，１５ｂ，
１５ｃ…原料ガスボンベ、１６…反応炉。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 複数の導入口と少なくとも１つの導出口とを
    有し、前記導入口より流入した流体を選択的に前
    記導出口へ導くバルブ装置において、 前記複数の導入口に連通する導入路は前記導出
    口に連通する導出路の終端部に放射状に接続され
    、かつそれぞれの流路の開閉を行うバルブ機構が
    前記導入路と前記導出路との接続部のそれぞれに
    設けられ、前記導入路、導出路、導入口及び導出
    口が１つのブロツク内に形成されていることを特
    徴とするバルブ装置。 ２ 前記バルブ装置が外部に連通したベント用流
    路を有し、前記ベント用流路が前記導入路のそれ
    ぞれに接続され、前記ベント用流路との開閉を行
    うバルブ機構が前記ベント用流路と前記導入路と
    の接続部に設けられている請求項１記載のバルブ
    装置。
JP1988092136U 1988-07-12 1988-07-12 バルブ装置 Expired - Lifetime JPH0710143Y2 (ja)

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JPH0710143Y2 JPH0710143Y2 (ja) 1995-03-08

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JPH0710143Y2 (ja) 1995-03-08

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