JPH02150141U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案装置の一実施例の側面概念構
造図、第２図は、同じく他の実施例、第３図は別
の実施例のそれぞれ斜視概念構造図を示すもので
ある。 １…コンタクトホイール、２…コンタクトベル
ト、３，１６および１８…空気圧式バネ機構、４
…被研磨物（ワーク）、５…エンドレス研磨材ベ
ルト、６，９および１７…基台側支点、７および
１５…中間支点、８…アーム、１０…基台、１１
…テンシヨンプーリ、１２…エアシリンダ、１３
…駆動用プーリ、１４…コンタクト機構ユニツト
支点、１９…駆動用電動機、Ａ，Ｂ…コンタクト
機構ユニツト。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 固体弾性材に裏打ちされた可撓性ある層に
   塗（接）着・固定された研磨材に対し周動、旋回
   、往復等の運動力を与える機構を施したコンタク
   ト機構ユニツトを、一つのアーム部材を介して揺
   動可能に基台に枢着すると共に、少くとも前記研
   磨材の周動方向を含む面内で、被研磨物表面に対
   し一定の接圧力を与えるような、前記固体弾性材
   の特性とは異なるバネ特性を備えたバネ機構の両
   端を、前記基台およびアーム部材の中間に枢着し
   、固体弾性材と複合形バネを形成して成る定圧押
   当て機構付き研磨装置。 (2) アーム部材の基台に対する枢着支点におい
   て、前記アーム部材が３６０゜方向に揺動可能で
   あつて、また、アーム部材それ自体および、前記
   アーム部材中間と基台との間を連結する前記固体
   弾性材の特性とは異なるバネ機構に対し、前記ア
   ーム部材の長手方向に、および前記バネ機構に、
   それぞれ直交して伸縮する前記固体弾性材の特性
   とは異なる特性を備えたバネ機構を施して、それ
   ぞれ、その両端をアーム部材それ自体ならびにア
   ーム部材中間と基台とを連結して枢支し、前記固
   体弾性材と複合バネを形成して成る請求項(1)記
   載の定圧押当て機構付き研磨装置。 (3) 固体弾性材はコンタクトホイールと駆動プ
   ーリとの間に張設・懸架された合成ゴム、合成樹
   脂性のエンドレスタイミングベルトであることを
   特徴とする請求項(1)または(2)記載の定圧押当て
   機構付き研磨装置。