JPH0215164A - 複合材料 - Google Patents
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- JPH0215164A JPH0215164A JP16616088A JP16616088A JPH0215164A JP H0215164 A JPH0215164 A JP H0215164A JP 16616088 A JP16616088 A JP 16616088A JP 16616088 A JP16616088 A JP 16616088A JP H0215164 A JPH0215164 A JP H0215164A
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業−１−の利用分野］
本発明は、航空機や宇宙関連部品の軽量耐熱材料として
有用な複合材料に関するものである。
有用な複合材料に関するものである。
［従来の技術及び課題］
Ｔ１又はＴｉ合金は、軽量で比強度か高いため、航空機
や宇宙関連の各種部品として開発されてきたか、最近、
高温祠料としても注１」されている。
や宇宙関連の各種部品として開発されてきたか、最近、
高温祠料としても注１」されている。
しかしなから、Ｔ１又はＴｉ合金は高温耐酸化性が著し
く劣るため、使用温度が制限されるという問題かあった
。
く劣るため、使用温度が制限されるという問題かあった
。
このようなことから、Ｔｉ又はＴｉ合金の基材上に高温
耐酸化性の優れたＴｉ Ａｌ基金属間化合物の薄膜層を
被覆して複合材料とすることが試みられている。しかし
ながら、かかる複合材料においても高温の酸化性雰囲気
に曝ずと、Ｔｉ Ａｌ基金属間化合物の薄膜層中のＡＪ
が基材側へ内方拡散し、次第にＡＪ２濃度の低い薄膜層
が形成されるようになり、最後には耐酸化性を有するＴ
ｊ Ａ、ｆｆ系金属間化合物の薄膜層か自失して耐酸化
性処理の効果が消滅してしまうという問題かあった。
耐酸化性の優れたＴｉ Ａｌ基金属間化合物の薄膜層を
被覆して複合材料とすることが試みられている。しかし
ながら、かかる複合材料においても高温の酸化性雰囲気
に曝ずと、Ｔｉ Ａｌ基金属間化合物の薄膜層中のＡＪ
が基材側へ内方拡散し、次第にＡＪ２濃度の低い薄膜層
が形成されるようになり、最後には耐酸化性を有するＴ
ｊ Ａ、ｆｆ系金属間化合物の薄膜層か自失して耐酸化
性処理の効果が消滅してしまうという問題かあった。
本発明は、上記従来の課題を解決するためになされたも
ので、軽量性、耐熱性に優れていると共に、高温下での
耐酸化性を改善した複合材料を提供し７ようとするもの
である。
ので、軽量性、耐熱性に優れていると共に、高温下での
耐酸化性を改善した複合材料を提供し７ようとするもの
である。
［課題を解決するための手段］
本発明は、ｐｔイオン又はＰｔとＡｌの両イオンのｌ＋
人により表面にＰｔ相もしくはＰｔ −Ａｌ相か形成さ
れたＴｉ又はＴｉ合金からなる基材と、この基材のＰｔ
相もしくはＰＬ−Ａｌ相が形成された表面に被覆された
Ｔｉ Ａｆ系金金属間化合物薄膜層とを具備したことを
特徴とする複合材料である。
人により表面にＰｔ相もしくはＰｔ −Ａｌ相か形成さ
れたＴｉ又はＴｉ合金からなる基材と、この基材のＰｔ
相もしくはＰＬ−Ａｌ相が形成された表面に被覆された
Ｔｉ Ａｆ系金金属間化合物薄膜層とを具備したことを
特徴とする複合材料である。
上記Ｔｉ合金としては、例えばＴｉにＡ、ｆｆ、■、Ｍ
ｏ、ＣｒＳＭｎ、Ｆｅなとの遷移金属、及びこれらの遷
移金属と共に含有されるＣ１０からなる組成を挙げるこ
とができる。
ｏ、ＣｒＳＭｎ、Ｆｅなとの遷移金属、及びこれらの遷
移金属と共に含有されるＣ１０からなる組成を挙げるこ
とができる。
上記Ｔｉ ＡＪ系金属間化合物としては、Ｔｉ３Ａｌ、
Ｔｊ Ａｌ、ＴｉＡｌ３等を挙げることかできる。特に
、ＴｊＡｌ系金属間化合物の薄膜層による尚温での耐酸
化性はその表面にＡＪ２２０３保護彼膜か形成されるこ
とによってなされることから、該Ｔｉ ＡＪ系金属間化
合物としてはＡＩｍの多いＴｉＡｌ、Ｔｉ ＡＪ３を用
いることか望ましい。こうしたＴｉ ＡＪ系金属間化合
物の薄膜層の基材表面への被覆手段としては、各種のＣ
ＶＤ法、又は真空薄石法、高周波スパッタリング法、マ
クネトロンスパッタリング法、イオンビームスパッタリ
ング法なとのＰＶＤ法、或いは蒸着とイオン注入とを同
時に行なうイオンミキシング法等を採用し得るが、基材
界面での密着性を向−１−させる観点から前記イオンミ
キシング法が好適である。
Ｔｊ Ａｌ、ＴｉＡｌ３等を挙げることかできる。特に
、ＴｊＡｌ系金属間化合物の薄膜層による尚温での耐酸
化性はその表面にＡＪ２２０３保護彼膜か形成されるこ
とによってなされることから、該Ｔｉ ＡＪ系金属間化
合物としてはＡＩｍの多いＴｉＡｌ、Ｔｉ ＡＪ３を用
いることか望ましい。こうしたＴｉ ＡＪ系金属間化合
物の薄膜層の基材表面への被覆手段としては、各種のＣ
ＶＤ法、又は真空薄石法、高周波スパッタリング法、マ
クネトロンスパッタリング法、イオンビームスパッタリ
ング法なとのＰＶＤ法、或いは蒸着とイオン注入とを同
時に行なうイオンミキシング法等を採用し得るが、基材
界面での密着性を向−１−させる観点から前記イオンミ
キシング法が好適である。
また、本発明は−１−記基材表面にＳｉ Ｓｃ、Ｙ、
ＬａＸＣｅ及びＨｆから選はれる１種又は２種以上をイ
オン注入されたＴｊ Ａｌ基金属間化合物の薄膜層を被
覆したことを特徴とする複合材料である。
ＬａＸＣｅ及びＨｆから選はれる１種又は２種以上をイ
オン注入されたＴｊ Ａｌ基金属間化合物の薄膜層を被
覆したことを特徴とする複合材料である。
［作用］
本発明によれば、Ｔｉ又はＴｉ合金からなる基材におけ
るｐｔイオン又はｐｔとＡｌの両イオンの注入によりｐ
ｔ相もしくはＰＬ −Ａｌ相が形成された表面にＴｉ
ＡＪ系金属間化合物の薄膜層を被覆することによって、
高温酸化性雰囲気に曝した場合に該薄層膜から拡散され
るＡｌは前記基材表面のｐｔ相もしくはＰｔ −Ａｌ相
と反応してＰｔ−ＡＪ化合物として固定化するため、該
薄膜層中のＡＪの基材側への拡散を防止できる。その結
果、Ｔｉ ＡＪ系金属間化合物の２層膜層中に充分な量
のＡＪ！を含有させることができるため、高温酸化性雰
囲気下においてＴｉ Ａ、ｅ系金属間化合物の薄膜層の
表層に酸化保護被膜として寄与するＡ Ｉ ２０ Ｂを
形成でき、Ｔｉ又はＴｉ合金の優れた軽量性、耐熱性と
共にＴｉ Ａｆ３ｆ属間化合物の薄膜層による高温耐酸
化性が効果的に付与された複合材料を得ることかできる
。また、Ｍ、利表面へのｐｔ相もしくはＰｔ−Ａｌ相の
形成を、イオン注入手段により行なうことによって基材
表面に高純度のｐｔ相もしくはＰｔ −Ａｌ２相を形成
できること、所定な原子数単位でかつ目的とした濃度分
布を有するｐｔ相もしくはＰｔ −Ａ、１２相を精度よ
く形成できること、Ｐｔ−Ａｌ２相を形成する際にｐｔ
とＡｌを各々独立的に制御して導入できること、等の利
点を有する。更に、Ｔｉ Ａｌ３金属間化合物の薄膜層
をイオンミキシング法により基材表面に形成することに
よって、基材表面でのミキシング作用により薄膜層の基
材に対する密着性を向上できる。しかも、基材と薄膜層
との間にそれらの組成的傾斜構造を有する中間層を形成
できるため、応力歪みを緩和できる。
るｐｔイオン又はｐｔとＡｌの両イオンの注入によりｐ
ｔ相もしくはＰＬ −Ａｌ相が形成された表面にＴｉ
ＡＪ系金属間化合物の薄膜層を被覆することによって、
高温酸化性雰囲気に曝した場合に該薄層膜から拡散され
るＡｌは前記基材表面のｐｔ相もしくはＰｔ −Ａｌ相
と反応してＰｔ−ＡＪ化合物として固定化するため、該
薄膜層中のＡＪの基材側への拡散を防止できる。その結
果、Ｔｉ ＡＪ系金属間化合物の２層膜層中に充分な量
のＡＪ！を含有させることができるため、高温酸化性雰
囲気下においてＴｉ Ａ、ｅ系金属間化合物の薄膜層の
表層に酸化保護被膜として寄与するＡ Ｉ ２０ Ｂを
形成でき、Ｔｉ又はＴｉ合金の優れた軽量性、耐熱性と
共にＴｉ Ａｆ３ｆ属間化合物の薄膜層による高温耐酸
化性が効果的に付与された複合材料を得ることかできる
。また、Ｍ、利表面へのｐｔ相もしくはＰｔ−Ａｌ相の
形成を、イオン注入手段により行なうことによって基材
表面に高純度のｐｔ相もしくはＰｔ −Ａｌ２相を形成
できること、所定な原子数単位でかつ目的とした濃度分
布を有するｐｔ相もしくはＰｔ −Ａ、１２相を精度よ
く形成できること、Ｐｔ−Ａｌ２相を形成する際にｐｔ
とＡｌを各々独立的に制御して導入できること、等の利
点を有する。更に、Ｔｉ Ａｌ３金属間化合物の薄膜層
をイオンミキシング法により基材表面に形成することに
よって、基材表面でのミキシング作用により薄膜層の基
材に対する密着性を向上できる。しかも、基材と薄膜層
との間にそれらの組成的傾斜構造を有する中間層を形成
できるため、応力歪みを緩和できる。
また、基材表面にＳｉ、５ｃＳｙ、、Ｌａ、Ｃｅ及びＨ
ｒから選ばれる１種又は２種以上をイオン注入されたＴ
ｉ ＡＩ！系金属間化合物の薄膜層を被覆することによ
って、高温酸化性雰囲気で該薄膜層表面に形成された耐
酸化性保護被膜としてのＡ ｌ！ ２０３層の該薄膜層
に対する密着性を前記８１等のイオン注入成分により向
上できる。しかも、かかるＡ１２２０３層の密着性向上
成分はＴｉ Ａ、ｆ’系金金属間化合物薄膜層自体の耐
酸化性を阻害させないために該薄膜層に対して微量添加
する必要かあるが、イオン注入手法を採用することによ
って該成分を微量かつ正確に薄膜層に導入することか可
能となる。
ｒから選ばれる１種又は２種以上をイオン注入されたＴ
ｉ ＡＩ！系金属間化合物の薄膜層を被覆することによ
って、高温酸化性雰囲気で該薄膜層表面に形成された耐
酸化性保護被膜としてのＡ ｌ！ ２０３層の該薄膜層
に対する密着性を前記８１等のイオン注入成分により向
上できる。しかも、かかるＡ１２２０３層の密着性向上
成分はＴｉ Ａ、ｆ’系金金属間化合物薄膜層自体の耐
酸化性を阻害させないために該薄膜層に対して微量添加
する必要かあるが、イオン注入手法を採用することによ
って該成分を微量かつ正確に薄膜層に導入することか可
能となる。
「発明の実施例］
以下、本発明の実施例を詳細に説明する。
実施例１
まず、純Ｔｉを加工して９０ｍｍ Ｘ ’ａｏｍｍ Ｘ
５ ｍｍの板利を製作し７た後、この板材の片面を鏡
面研磨した。
５ ｍｍの板利を製作し７た後、この板材の片面を鏡
面研磨した。
つついて、この板材を蒸イご１とイオン注入機能を同−
真空内に有する真空チャンバ内に設置した後、質量分離
されたＡズイオンを加速電圧８０１（ｅＶ。
真空内に有する真空チャンバ内に設置した後、質量分離
されたＡズイオンを加速電圧８０１（ｅＶ。
ドース量１． Ｍ １０” ／ｃｒＡの条件で、Ｐｔイ
オンを加速電圧１１３０１ｃｅＶ、ドース量０．５ Ｘ
１０１７ ／ｃｄの条件で夫々板材にイオンｌ十人し
た。ひきつづき、同一チャンハ内においてＴｉ Ａｌ
（１：Ｉ ）合金のターゲットにスパッタ電圧３ｋＶ、
電流密度２．５ ｍ Ａ ／ ｃＭの条件でＡｒイオン
を衝突させてＴｉ Ａｆｆ１合金を板材にスパンタリン
グ蒸着を行ないなから、別のイオン源から電圧１００Ｖ
、電流密度０．３ｍＡ／ｃｎの条件で板材をＡｒイオン
アシスト処理を行なって板材のＰｔ −Ａ、ｆｆ相か形
成された表面に厚さ３μｍのＴｉ ＡＪ金合金らなる薄
膜層を形成して複合材料を製造した。
オンを加速電圧１１３０１ｃｅＶ、ドース量０．５ Ｘ
１０１７ ／ｃｄの条件で夫々板材にイオンｌ十人し
た。ひきつづき、同一チャンハ内においてＴｉ Ａｌ
（１：Ｉ ）合金のターゲットにスパッタ電圧３ｋＶ、
電流密度２．５ ｍ Ａ ／ ｃＭの条件でＡｒイオン
を衝突させてＴｉ Ａｆｆ１合金を板材にスパンタリン
グ蒸着を行ないなから、別のイオン源から電圧１００Ｖ
、電流密度０．３ｍＡ／ｃｎの条件で板材をＡｒイオン
アシスト処理を行なって板材のＰｔ −Ａ、ｆｆ相か形
成された表面に厚さ３μｍのＴｉ ＡＪ金合金らなる薄
膜層を形成して複合材料を製造した。
真空チャンバから取出した複合材料を肉眼及び光学顕微
鏡で観察した。その結果、複合材料表面に形成されたＴ
ｊ Ａ、ｌｌ’合金薄膜層のクラ・ンク、剥離等の欠陥
は全く認められなかった。
鏡で観察した。その結果、複合材料表面に形成されたＴ
ｊ Ａ、ｌｌ’合金薄膜層のクラ・ンク、剥離等の欠陥
は全く認められなかった。
実施例２
ます、Ｔ１合金（Ｂ Ａ）−４Ｖ−Ｔｉ）を加工して３
Ｇｍｍ Ｘ ３０ｍｍ Ｘ ５ ｍｍの板材を製作した
後、この板材の片面を鏡面研磨した。つづいて、この板
材を蒸着とイオン注入機能を同−真空内に有する真空チ
ャンバ内に設置した後、質量分離されたＰｔイオンを加
速電圧ＩＢＯｋｅＶ、 ドーズ量０．５ Ｘ １０”
／ｃｌの条件て板材にイオン注入した。
Ｇｍｍ Ｘ ３０ｍｍ Ｘ ５ ｍｍの板材を製作した
後、この板材の片面を鏡面研磨した。つづいて、この板
材を蒸着とイオン注入機能を同−真空内に有する真空チ
ャンバ内に設置した後、質量分離されたＰｔイオンを加
速電圧ＩＢＯｋｅＶ、 ドーズ量０．５ Ｘ １０”
／ｃｌの条件て板材にイオン注入した。
ひきつつき、同一チャンバ内においてＥＢ蒸着法のトリ
プルハース方式によりＴ１を３．８人／ｓｅｃの蒸着速
度で、Ａｌを５．７ Ａ ／ ｓｅｅの蒸着速度で夫々
板材のイオン注入層表面に真空蒸着を行ないなから、パ
ケット型イオン源によりＡｒイオンを加速電圧１０ｋ
ｅ Ｖ、電流７５ｍ Ａの条件で板材に照射して、厚さ
３μｍのＴｉ Ａｌ！３合金からなる薄膜層を形成して
複合材料を製造した。
プルハース方式によりＴ１を３．８人／ｓｅｃの蒸着速
度で、Ａｌを５．７ Ａ ／ ｓｅｅの蒸着速度で夫々
板材のイオン注入層表面に真空蒸着を行ないなから、パ
ケット型イオン源によりＡｒイオンを加速電圧１０ｋ
ｅ Ｖ、電流７５ｍ Ａの条件で板材に照射して、厚さ
３μｍのＴｉ Ａｌ！３合金からなる薄膜層を形成して
複合材料を製造した。
真空チャンバから取出した複合材料を肉眼及び光学顕微
鏡で観察した。その結果、複合材料表面に形成されたＴ
ｉ Ａｌ！合金薄膜層のクラック、剥離等の欠陥は全く
認められなかった。
鏡で観察した。その結果、複合材料表面に形成されたＴ
ｉ Ａｌ！合金薄膜層のクラック、剥離等の欠陥は全く
認められなかった。
比較例］
まず、実施例］と同様な純Ｔｉからなる板材の鏡面研磨
したｊ′１面にＰＬめっきを施し、Ａｌの１１２０°Ｃ
てのパンク処理を行ない、更にｐｔめっきを施した後、
１１５０°Ｃての拡散処理を施した。つづいて、この板
材を蒸着とイオン注入機能を同−真空内に有する真空チ
ャンバ内に設置した後、実施例１と同様な方法によりｐ
ｔとＡ、ｆｌ’が拡散処理された板材表面に厚さ３μｍ
のＴｉ Ａｌ合金からなる薄膜層を形成して複合材料を
製造した。
したｊ′１面にＰＬめっきを施し、Ａｌの１１２０°Ｃ
てのパンク処理を行ない、更にｐｔめっきを施した後、
１１５０°Ｃての拡散処理を施した。つづいて、この板
材を蒸着とイオン注入機能を同−真空内に有する真空チ
ャンバ内に設置した後、実施例１と同様な方法によりｐ
ｔとＡ、ｆｌ’が拡散処理された板材表面に厚さ３μｍ
のＴｉ Ａｌ合金からなる薄膜層を形成して複合材料を
製造した。
比較例２
まず、実施例２と同様なＴｉ合金からなる板材の鏡面研
磨した片面にｐｔめっきを施し、Ａ、ＩＩ’の１２０°
Ｃでのバック処理を行ない、更にｐｔめっきを施した後
、１１５０°Ｃでの拡散処理を施した。つづいて、この
板４」を蒸着とイオン注入機能を同−真空内に有する真
空チャンバ内に設置した後、実施例２と同様な方法によ
り板材のＰｔ 、！＝Ａｌか拡散処理された表面に厚さ
３μｍのＴｉ Ａｆ３Ｔ３合金なる薄膜層を形成して複
合材料を製造した。
磨した片面にｐｔめっきを施し、Ａ、ＩＩ’の１２０°
Ｃでのバック処理を行ない、更にｐｔめっきを施した後
、１１５０°Ｃでの拡散処理を施した。つづいて、この
板４」を蒸着とイオン注入機能を同−真空内に有する真
空チャンバ内に設置した後、実施例２と同様な方法によ
り板材のＰｔ 、！＝Ａｌか拡散処理された表面に厚さ
３μｍのＴｉ Ａｆ３Ｔ３合金なる薄膜層を形成して複
合材料を製造した。
しかして、本実施例１．２及び比較例１．２の複合材料
を９００°Ｃの高温酸化雰囲気中に８０時間放置して高
温酸化試験を行ない、試験後の各複合材料の外観を調べ
た。その結果を後掲する第１表に示す。
を９００°Ｃの高温酸化雰囲気中に８０時間放置して高
温酸化試験を行ない、試験後の各複合材料の外観を調べ
た。その結果を後掲する第１表に示す。
実施例３
実施例１と同様な方法により純Ｔ１からなる板材の鏡面
研磨した片面にＡ、ｆ？イオン及びｐｔイオンを注入し
た後、板材のＰｔ −Ａｌ１相か形成された表面に厚さ
３μｍのＴｉ Ａ、ｆｆ合金からなる薄膜層を形成した
。つついて、Ｙイオンを加速電圧１２０ ｋ ｅ Ｖ、
電流０．４ｍＡ、 ドーズ量５ ＸＩＯ” ／ａｊの条
件で薄膜層にイオン注入して複合材料を製造した。
研磨した片面にＡ、ｆ？イオン及びｐｔイオンを注入し
た後、板材のＰｔ −Ａｌ１相か形成された表面に厚さ
３μｍのＴｉ Ａ、ｆｆ合金からなる薄膜層を形成した
。つついて、Ｙイオンを加速電圧１２０ ｋ ｅ Ｖ、
電流０．４ｍＡ、 ドーズ量５ ＸＩＯ” ／ａｊの条
件で薄膜層にイオン注入して複合材料を製造した。
しかして、本実施例３及び前述した実施例１の複合材料
を酸化雰囲気下において９００℃まで昇温し、この後常
温まで下げる急熱急冷操作を１０回繰返す高温酸化試験
を行ない、試験後の各複合材料の酸化に伴う重量増及び
外観を調べた。その結果を後掲する第２表に示す。
を酸化雰囲気下において９００℃まで昇温し、この後常
温まで下げる急熱急冷操作を１０回繰返す高温酸化試験
を行ない、試験後の各複合材料の酸化に伴う重量増及び
外観を調べた。その結果を後掲する第２表に示す。
実施例４
実施例１と同様な方法により純Ｔｊからなる板材の鏡面
研磨した片面にＡＪイオン及びｐｔイオンを注入した後
、板材のＰｔ −Ａｌ相か形成された表面に厚さ３μ■
１のＴｉ Ａｊ！合金からなる薄膜層を形成した。つづ
いて、Ｓｉイオンを加速電圧１２［） ｋ ｅ Ｖ、電
流０．５ｍＡ、ドーズｍ２ Ｘ １０’ ” ／ ｔｉ
の条件で薄膜層にイオン注入し、更にＣｅイオンを加速
電圧１６０ ｋ ｅ Ｖ、電流０．１ｍＡ、ドース量２
Ｘ １０１” ／ （：Ａの条件で薄膜層にイオン注
入して腹合材料を製造した。
研磨した片面にＡＪイオン及びｐｔイオンを注入した後
、板材のＰｔ −Ａｌ相か形成された表面に厚さ３μ■
１のＴｉ Ａｊ！合金からなる薄膜層を形成した。つづ
いて、Ｓｉイオンを加速電圧１２［） ｋ ｅ Ｖ、電
流０．５ｍＡ、ドーズｍ２ Ｘ １０’ ” ／ ｔｉ
の条件で薄膜層にイオン注入し、更にＣｅイオンを加速
電圧１６０ ｋ ｅ Ｖ、電流０．１ｍＡ、ドース量２
Ｘ １０１” ／ （：Ａの条件で薄膜層にイオン注
入して腹合材料を製造した。
しかして、本実施例４及び前述した実施例１の複合材料
を酸化雰囲気下において９００℃まで昇温し、この後常
温まで下げる急熱急冷操作を２０回繰返す高温酸化試験
を行ない、試験後の各複合Ｈ料の酸化に伴う重量増及び
外観を調べた。その結果を後掲する第３表に示す。
を酸化雰囲気下において９００℃まで昇温し、この後常
温まで下げる急熱急冷操作を２０回繰返す高温酸化試験
を行ない、試験後の各複合Ｈ料の酸化に伴う重量増及び
外観を調べた。その結果を後掲する第３表に示す。
以上、後掲する第１表から第３表より明らかなように本
実施例１〜４の複合材料は、優れた高温耐酸化性を有す
ることがわかる。また、板材上のＴｉ Ａ、ｆｆ金属間
化合物からなる薄膜層にＹイオンを注入した実施例３の
複合材料は、同処理を施さない実施例１の複合材料に比
べて苛酷な条件下の高温酸化雰囲気においてより優れた
耐酸化性を有することがわかる。史に、板材上のＴｉ
Ａｌ金属間化合物からなる薄膜層にＳｉイオン及びＣｅ
イオンを注入した実施例４の複合制料は、同処理を施さ
ない実施例］の複合材料に比べてより苛酷な条件下の高
温酸化雰囲気において一層優れた耐酸化性を有すること
がわかる。
実施例１〜４の複合材料は、優れた高温耐酸化性を有す
ることがわかる。また、板材上のＴｉ Ａ、ｆｆ金属間
化合物からなる薄膜層にＹイオンを注入した実施例３の
複合材料は、同処理を施さない実施例１の複合材料に比
べて苛酷な条件下の高温酸化雰囲気においてより優れた
耐酸化性を有することがわかる。史に、板材上のＴｉ
Ａｌ金属間化合物からなる薄膜層にＳｉイオン及びＣｅ
イオンを注入した実施例４の複合制料は、同処理を施さ
ない実施例］の複合材料に比べてより苛酷な条件下の高
温酸化雰囲気において一層優れた耐酸化性を有すること
がわかる。
［発明の効果］
以」−詳述した如く、本発明によれば軽量性、耐熱性に
優れていると共に、高温下での耐酸化性が著しく改善さ
れ、航空機や宇宙関連の各種部品として極めて有用な複
合材料を提供できる。
優れていると共に、高温下での耐酸化性が著しく改善さ
れ、航空機や宇宙関連の各種部品として極めて有用な複
合材料を提供できる。
第１表
第３表
Claims (2)
- （１）Ｐｔイオン又はＰｔとＡｌの両イオンの注入によ
り表面にＰｔ相もしくはＰｔ−Ａｌ相が形成されたＴｉ
又はＴｉ合金からなる基材と、この基材のＰｔ相もしく
はＰｔ−Ａｌ相が形成された表面に被覆されたＴｉＡｌ
系金属間化合物の薄膜層とを具備したことを特徴とする
複合材料。 - （２）ＴｉＡｌ系金属間化合物の薄膜層は、Ｓｉ、Ｓｃ
、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ及びＨｆから選ばれる１種又は２種以
上をイオン注入したものからなることを特徴とする請求
項１記載の複合材料。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16616088A JPH0215164A (ja) | 1988-07-04 | 1988-07-04 | 複合材料 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16616088A JPH0215164A (ja) | 1988-07-04 | 1988-07-04 | 複合材料 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0215164A true JPH0215164A (ja) | 1990-01-18 |
| JPH0587592B2 JPH0587592B2 (ja) | 1993-12-17 |
Family
ID=15826183
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16616088A Granted JPH0215164A (ja) | 1988-07-04 | 1988-07-04 | 複合材料 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0215164A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03100166A (ja) * | 1989-09-14 | 1991-04-25 | Kobe Steel Ltd | 耐摩耗性Ｔｉ又はＴｉ基合金部材 |
| JPH03193859A (ja) * | 1989-12-22 | 1991-08-23 | Nippon Steel Corp | 耐酸化性を改善したＴｉＡｌ系金属間化合物構造材およびその製造方法 |
| EP1505171A1 (en) * | 2003-08-05 | 2005-02-09 | General Electric Company | Ion implantation of turbine engine rotor component |
| CN108504977A (zh) * | 2018-04-28 | 2018-09-07 | 江西科技师范大学 | 一种钛合金抗高温氧化涂层的制备方法 |
| CN117187751A (zh) * | 2023-09-20 | 2023-12-08 | 安徽科技学院 | 一种基于气相沉积可控制备小尺寸铂基金属间化合物的方法及其应用 |
-
1988
- 1988-07-04 JP JP16616088A patent/JPH0215164A/ja active Granted
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03100166A (ja) * | 1989-09-14 | 1991-04-25 | Kobe Steel Ltd | 耐摩耗性Ｔｉ又はＴｉ基合金部材 |
| JPH03193859A (ja) * | 1989-12-22 | 1991-08-23 | Nippon Steel Corp | 耐酸化性を改善したＴｉＡｌ系金属間化合物構造材およびその製造方法 |
| EP1505171A1 (en) * | 2003-08-05 | 2005-02-09 | General Electric Company | Ion implantation of turbine engine rotor component |
| US7455890B2 (en) * | 2003-08-05 | 2008-11-25 | General Electric Company | Ion implantation of turbine engine rotor component |
| CN108504977A (zh) * | 2018-04-28 | 2018-09-07 | 江西科技师范大学 | 一种钛合金抗高温氧化涂层的制备方法 |
| CN117187751A (zh) * | 2023-09-20 | 2023-12-08 | 安徽科技学院 | 一种基于气相沉积可控制备小尺寸铂基金属间化合物的方法及其应用 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0587592B2 (ja) | 1993-12-17 |
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