JPH0215417A - 磁気記録媒体およびその製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体およびその製造方法Info
- Publication number
- JPH0215417A JPH0215417A JP63166144A JP16614488A JPH0215417A JP H0215417 A JPH0215417 A JP H0215417A JP 63166144 A JP63166144 A JP 63166144A JP 16614488 A JP16614488 A JP 16614488A JP H0215417 A JPH0215417 A JP H0215417A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- film
- magnetic
- magnetic recording
- carbon
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は磁気記憶装置（磁気ディスク装置または磁気テ
ープ装置など）に用いられる磁気記録媒体及びその製造
方法に関する。
ープ装置など）に用いられる磁気記録媒体及びその製造
方法に関する。
従来の技術
近年、コンピューターのファイルメモリーとして磁気記
憶装置は高密度化・大容量化されており、磁気記憶装置
に用いられる磁気記録媒体はこれに適応し得る金属薄膜
磁性体を用いるなど新しい構成の開発がめざましい。そ
の中でら、記録媒体としての信頼性を維持する必要性か
ら、記録担体である磁性体が損傷することを防ぐため、
優れた保護層の開発が望まれている。
憶装置は高密度化・大容量化されており、磁気記憶装置
に用いられる磁気記録媒体はこれに適応し得る金属薄膜
磁性体を用いるなど新しい構成の開発がめざましい。そ
の中でら、記録媒体としての信頼性を維持する必要性か
ら、記録担体である磁性体が損傷することを防ぐため、
優れた保護層の開発が望まれている。
しかしながら磁気記録の特徴として、高記録密度を実現
するためには記録再生に用いる磁気ヘッドと磁性体の間
隙を極めて小さ（する必要があり、このため保護層は可
能な限り薄いく厚さ数〜数十ｎ ｍ ）形状で、磁気ヘ
ッドの高速摺動による摩耗や、水分や、無機塩類の影響
による腐食などから磁性体を保護する必要があり、適用
できる材料は限られる。
するためには記録再生に用いる磁気ヘッドと磁性体の間
隙を極めて小さ（する必要があり、このため保護層は可
能な限り薄いく厚さ数〜数十ｎ ｍ ）形状で、磁気ヘ
ッドの高速摺動による摩耗や、水分や、無機塩類の影響
による腐食などから磁性体を保護する必要があり、適用
できる材料は限られる。
従来、磁気記録媒体の保護層として、カーボン膜、金属
膜（Ｃｒ等）、金属酸化物膜（Ｃｏ。
膜（Ｃｒ等）、金属酸化物膜（Ｃｏ。
等）が提案されている。また、フッ素含有有機ポリマー
粉末を溶媒乾燥法を用いて被覆しようとした例（例えば
特開昭６２−５７１２３）がある。
粉末を溶媒乾燥法を用いて被覆しようとした例（例えば
特開昭６２−５７１２３）がある。
発明が解決しようとする課題
しかしながら従来の構成では、化学的に安定でしかも均
一性良く磁性体を被覆しうる保護層が形成できない。例
えば金属膜は薄膜形状では有効な保護皮膜となり得ない
し、またカーボン膜を除いては摩擦摩耗に弱いため、実
用上要求される保護性能をもった磁気記録媒体が得られ
なかった。
一性良く磁性体を被覆しうる保護層が形成できない。例
えば金属膜は薄膜形状では有効な保護皮膜となり得ない
し、またカーボン膜を除いては摩擦摩耗に弱いため、実
用上要求される保護性能をもった磁気記録媒体が得られ
なかった。
課題を解決するための手段
この課題を解決するために本発明は、磁性体上に保護層
として、下層がカーボン膜中間層が有機ポリマー膜、上
層がカーボン膜からなる多層薄膜を備え、本発明の磁気
記録媒体の製造方法は磁性体上にカーボン膜を被覆した
後有機ポリマー膜をスパッタリング法で形成する工程か
らなるものである。
として、下層がカーボン膜中間層が有機ポリマー膜、上
層がカーボン膜からなる多層薄膜を備え、本発明の磁気
記録媒体の製造方法は磁性体上にカーボン膜を被覆した
後有機ポリマー膜をスパッタリング法で形成する工程か
らなるものである。
作用
本発明はこの構成により、化学的に極めて安定な分子構
造からなり、水分や無機塩類を効果的に遮蔽し磁性体の
腐食を防ぐが機械強度が脆弱で摩耗しやすい有機ポリマ
ーに上層カーボン膜を被覆した構造にすることで、磁気
ヘッドの接触摺動による保護層と磁性体の損傷を防ぎ、
また下層カーボン膜を被覆した効果によりスパッタリン
グ法を用いて極めて均一性が良く化学的に安定な有機ポ
リマー膜を形成することができ、耐摩擦摩耗性、耐食性
の優れた、信頼性の高い磁気記録媒体が得られる。
造からなり、水分や無機塩類を効果的に遮蔽し磁性体の
腐食を防ぐが機械強度が脆弱で摩耗しやすい有機ポリマ
ーに上層カーボン膜を被覆した構造にすることで、磁気
ヘッドの接触摺動による保護層と磁性体の損傷を防ぎ、
また下層カーボン膜を被覆した効果によりスパッタリン
グ法を用いて極めて均一性が良く化学的に安定な有機ポ
リマー膜を形成することができ、耐摩擦摩耗性、耐食性
の優れた、信頼性の高い磁気記録媒体が得られる。
実施例
第１図は本発明の一実施例における磁気記録媒体を示す
部分断面図である。第１図において、１はアルミニウノ
２、合金からなる基板、２は基板１上に形成された膜厚
２０１．ｔｍのＮ１−Ｐ合金層、３は２の合金層上に形
成されたＣｒ下地層をもつｃｏ−Ｎｉ磁性層、４は保護
層を構成する膜５１０ｎｍの下層カーボン膜、５は保護
層を構成する膜厚２ｎｍのポリテトラフルオロエチレン
中間膜、６は保護層を構成する膜厚２０ｎｍの上層カー
ボン膜である。ポリテトラフルオロエチレン中間膜は、
−（ＣＦ、ＣＦよ）−構造を持ち下層カーボン膜形成に
続いて、アルゴン圧１０ｍＴｏｒｒの雰囲気中で高周波
スパッタリング法により形成した。
部分断面図である。第１図において、１はアルミニウノ
２、合金からなる基板、２は基板１上に形成された膜厚
２０１．ｔｍのＮ１−Ｐ合金層、３は２の合金層上に形
成されたＣｒ下地層をもつｃｏ−Ｎｉ磁性層、４は保護
層を構成する膜５１０ｎｍの下層カーボン膜、５は保護
層を構成する膜厚２ｎｍのポリテトラフルオロエチレン
中間膜、６は保護層を構成する膜厚２０ｎｍの上層カー
ボン膜である。ポリテトラフルオロエチレン中間膜は、
−（ＣＦ、ＣＦよ）−構造を持ち下層カーボン膜形成に
続いて、アルゴン圧１０ｍＴｏｒｒの雰囲気中で高周波
スパッタリング法により形成した。
比較例１
実施例と同様にして、但し保Ｎ層を膜厚５０ｎｍのポリ
テトラフルオロエチレン膜だけとした磁気記録媒体を作
成した。
テトラフルオロエチレン膜だけとした磁気記録媒体を作
成した。
比較例２
実施例と同様にして、但し保護層を膜厚１０ｎｍの下層
カーボン膜と膜厚２ｎｍの上層ポリテトラフルオロエチ
レン膜だけの２層膜とした磁気記録媒体を作成した。
カーボン膜と膜厚２ｎｍの上層ポリテトラフルオロエチ
レン膜だけの２層膜とした磁気記録媒体を作成した。
比較例３
実施例と同様にして、但し保護層を膜厚２０ｎｍの下層
Ｃｒ膜と膜厚２０ｎｍの上層カーボン膜とした磁気記録
媒体を作成した。
Ｃｒ膜と膜厚２０ｎｍの上層カーボン膜とした磁気記録
媒体を作成した。
上記のように作成した磁気記録媒体について、それぞれ
のｆｌｉｔ摩擦摩耗性・耐食性を調べた。
のｆｌｉｔ摩擦摩耗性・耐食性を調べた。
第２図は磁気記録媒体の耐摩耗性を示す特性図である。
第２図において横軸は磁気ヘッドの摺動回数、縦軸は摩
耗量である。
耗量である。
第３図は磁気記録媒体の摩擦係数変化を示す特性図であ
る。第３図において横軸は磁気ヘッドの摺動回数、縦軸
は摩擦係数である。
る。第３図において横軸は磁気ヘッドの摺動回数、縦軸
は摩擦係数である。
第４図は磁気記録媒体の耐食性を示す特性図であり第４
図において縦軸はＣｏ−Ｎｉ磁性層の腐食損失量である
。ここで磁気記録媒体は腐食促進環境として濃度１ ｍ
ｏ ｌ ／ Ｌの塩水に１５時間侵潰した。
図において縦軸はＣｏ−Ｎｉ磁性層の腐食損失量である
。ここで磁気記録媒体は腐食促進環境として濃度１ ｍ
ｏ ｌ ／ Ｌの塩水に１５時間侵潰した。
実施例の磁気記録媒体は、優れた耐摩耗性・低摩擦性並
びに耐食性を示した。一方、比較例ではこれらの特性を
すべて満足するものは得られなかった。
びに耐食性を示した。一方、比較例ではこれらの特性を
すべて満足するものは得られなかった。
以上のように本実施例によれば、膜厚がそれぞれ下層カ
ーボンＩＩ１１０ｎｍ、中間層ポリテトラフルオロエチ
レン膜２ ｎ ｍ ％上層カーボン膜２０ｎｍ１合計３
２ｎｍの薄膜形態でありながら、従来に無い優だ保護性
能を持ち、これにより磁気記録媒体の信頼性を飛躍的に
向上することができた。
ーボンＩＩ１１０ｎｍ、中間層ポリテトラフルオロエチ
レン膜２ ｎ ｍ ％上層カーボン膜２０ｎｍ１合計３
２ｎｍの薄膜形態でありながら、従来に無い優だ保護性
能を持ち、これにより磁気記録媒体の信頼性を飛躍的に
向上することができた。
発明の効果
本発明は、分子構造として化学的に極めて安定な−（Ｃ
ＦユＣＦｚ）ｎ−からなり、水分や無機塩類を効果的に
遮蔽し磁性体の腐食を防ぐが機械強度が脆弱なフッ素系
重合体ポリテトラエチレン薄膜と、磁気ヘッドの接触・
摺動からこのポリテトラエチレン薄膜と磁性層の摩擦摩
耗を低減する上層カーボン膜の相乗効果により、磁性層
に対し優れた保護効果を持つ保護膜が得られる。また、
防食性を高めるのに必要な均一な薄膜の形成が困難であ
ったポリテトラフルオロエチレンを、磁性体表面をカー
ボンｎλで被覆した後スパッタリング法で形成する工程
としたことで、ポリテトラフルオロエチレン膜厚が数ｎ
ｍの超薄膜でも均一性のよい薄膜が得られ、これらの効
果により極めて信頼性の高い磁気記録媒体を実現できる
ものである。
ＦユＣＦｚ）ｎ−からなり、水分や無機塩類を効果的に
遮蔽し磁性体の腐食を防ぐが機械強度が脆弱なフッ素系
重合体ポリテトラエチレン薄膜と、磁気ヘッドの接触・
摺動からこのポリテトラエチレン薄膜と磁性層の摩擦摩
耗を低減する上層カーボン膜の相乗効果により、磁性層
に対し優れた保護効果を持つ保護膜が得られる。また、
防食性を高めるのに必要な均一な薄膜の形成が困難であ
ったポリテトラフルオロエチレンを、磁性体表面をカー
ボンｎλで被覆した後スパッタリング法で形成する工程
としたことで、ポリテトラフルオロエチレン膜厚が数ｎ
ｍの超薄膜でも均一性のよい薄膜が得られ、これらの効
果により極めて信頼性の高い磁気記録媒体を実現できる
ものである。
第１図は本発明の一実施例における磁気記録媒体の部分
断面図、第２図は実施例と比較例１、比較例２、比較例
３の磁気記録媒体について、磁気ヘッドの摺動回数と摩
耗量の関係を表す特性図、第３図は実施例と比較例１、
比較例２、比較例３の磁気記録媒体について、磁気ヘッ
ドの摺動回数き摩擦係数の関係を表す特性図、第４図は
同様の磁気記録媒体について、腐食促進環境における磁
性体の損失量を表す特性図である。 １・・・アルミニウム合金からなる基板２・・・Ｎ１−
Ｐ合金層 ３・・・Ｃｒ下地をもつＣ０−Ｎｉ磁性体４・・・保護
層を構成する下層カーボン１ｊ々５・・・保護層を構成
するポリテトラエチレン膜６・・・保護層を構成する上
層カーボン膜栗野重孝 代理人の氏名 弁理士 ≠ｍ ほか１名第 図 第 図 謂勤回衣 第 図 摺動目枚 第 図
断面図、第２図は実施例と比較例１、比較例２、比較例
３の磁気記録媒体について、磁気ヘッドの摺動回数と摩
耗量の関係を表す特性図、第３図は実施例と比較例１、
比較例２、比較例３の磁気記録媒体について、磁気ヘッ
ドの摺動回数き摩擦係数の関係を表す特性図、第４図は
同様の磁気記録媒体について、腐食促進環境における磁
性体の損失量を表す特性図である。 １・・・アルミニウム合金からなる基板２・・・Ｎ１−
Ｐ合金層 ３・・・Ｃｒ下地をもつＣ０−Ｎｉ磁性体４・・・保護
層を構成する下層カーボン１ｊ々５・・・保護層を構成
するポリテトラエチレン膜６・・・保護層を構成する上
層カーボン膜栗野重孝 代理人の氏名 弁理士 ≠ｍ ほか１名第 図 第 図 謂勤回衣 第 図 摺動目枚 第 図
Claims (2)
- （１）磁性体の上に設けられるカーボン膜と、前記カー
ボン膜の上に設けられる有機ポリマー膜と、前記有機ポ
リマー膜の上に設けられるカーボン膜とを有することを
特徴とする磁気記録媒体。 - （２）磁性体上にカーボン膜を被覆した後、有機ポリマ
ー膜をスパッタリング法で形成し、その上にカーボン被
膜を被覆することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63166144A JPH0215417A (ja) | 1988-07-04 | 1988-07-04 | 磁気記録媒体およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63166144A JPH0215417A (ja) | 1988-07-04 | 1988-07-04 | 磁気記録媒体およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0215417A true JPH0215417A (ja) | 1990-01-19 |
Family
ID=15825864
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63166144A Pending JPH0215417A (ja) | 1988-07-04 | 1988-07-04 | 磁気記録媒体およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0215417A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11737632B2 (en) | 2005-12-02 | 2023-08-29 | Irobot Corporation | Modular robot |
-
1988
- 1988-07-04 JP JP63166144A patent/JPH0215417A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11737632B2 (en) | 2005-12-02 | 2023-08-29 | Irobot Corporation | Modular robot |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5110676A (en) | Magnetic recording medium incorporating metallic magnetic thin film | |
| US6245417B1 (en) | Magnetic recording medium comprising multilayered carbon-containing protective overcoats | |
| US6238780B1 (en) | Magnetic recording medium comprising multilayered carbon-containing protective overcoats | |
| US6572958B1 (en) | Magnetic recording media comprising a silicon carbide corrosion barrier layer and a c-overcoat | |
| JPH0215417A (ja) | 磁気記録媒体およびその製造方法 | |
| JPS6292114A (ja) | 磁気記録媒体及びその製造方法 | |
| JPH0785461A (ja) | 磁気記録媒体とその製造方法 | |
| JPH05114128A (ja) | メタル薄膜型磁気デイスク媒体およびその製造方法 | |
| JP2000011342A (ja) | クリーニングテープおよびその製造方法 | |
| JPS62246129A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP2659016B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP3108156B2 (ja) | 磁気記録媒体およびその製造方法 | |
| JP2861081B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP2701447B2 (ja) | 磁気記録テープ | |
| JPS60237623A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0475573B2 (ja) | ||
| JPH01182920A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH02273315A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS6222231A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH05325167A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0227518A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS63197022A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH02282915A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH01173431A (ja) | 塗布型磁性媒体の製造方法 | |
| JPS62277623A (ja) | 磁気記録媒体 |