JPH02158180A - コロナ予備電離器 - Google Patents
コロナ予備電離器Info
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- JPH02158180A JPH02158180A JP31207688A JP31207688A JPH02158180A JP H02158180 A JPH02158180 A JP H02158180A JP 31207688 A JP31207688 A JP 31207688A JP 31207688 A JP31207688 A JP 31207688A JP H02158180 A JPH02158180 A JP H02158180A
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- Japan
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- corona
- dielectric
- ionizer
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- WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L calcium difluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ca+2] WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims abstract description 16
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- ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L magnesium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Mg+2] ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims abstract description 15
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
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- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、放電電極対間（以下放電空間）のレーザガス
を電離させるためにコロナ予備電離器を用いた高効率、
長寿命なパルスガスレーザに関するものである。
を電離させるためにコロナ予備電離器を用いた高効率、
長寿命なパルスガスレーザに関するものである。
（従来の技術）
レーザガスの電離にコロナ予備電離器を用いた従来のパ
ルスガスレーザの一例を第５図に示す。このパルスガス
レーザについては、文献［昭和６２年レーザ学会学術講
演会第７次犬会講演予稿集Ｊ ｌ９８７年、５ｏｐｒｖ
ｓに詳剛Ｇこ記載されている。この従来のパルスガスレ
ーザでは、励起回路に容量移行型励起回路を用い、レー
ザガスの電離にコロナ予備電離器を用いている。このパ
ルスガスレーザで用いているコロナ予備電離器は、放電
面から背面に向かって開かれた多数の貫通穴を持つ穴開
き電極１２と、この穴開き電極１２の背面に設置され、
穴開き電極１２と対向する面にコロナ電極１１を持つコ
ロナ誘電体１０とから構成されている。
ルスガスレーザの一例を第５図に示す。このパルスガス
レーザについては、文献［昭和６２年レーザ学会学術講
演会第７次犬会講演予稿集Ｊ ｌ９８７年、５ｏｐｒｖ
ｓに詳剛Ｇこ記載されている。この従来のパルスガスレ
ーザでは、励起回路に容量移行型励起回路を用い、レー
ザガスの電離にコロナ予備電離器を用いている。このパ
ルスガスレーザで用いているコロナ予備電離器は、放電
面から背面に向かって開かれた多数の貫通穴を持つ穴開
き電極１２と、この穴開き電極１２の背面に設置され、
穴開き電極１２と対向する面にコロナ電極１１を持つコ
ロナ誘電体１０とから構成されている。
このパルスガスレーザにおいて、レーザ発振を行わせる
ためには、スパークギャップ１４を導通させ充電用コン
デンサ１５の充電エネルギーをピーキングコンデンサ１
６に移行させる。この時、コロナ電極１１と穴開き電極
１２との間にピーキングコンデンサ１６間の端子間電圧
が印加される。このため、コロナ誘電体１０の穴開き電
極１２側の面にコロナ放電が生じ紫外線が発生する。こ
の紫外線が穴開き電極１２に開けられた多数の穴を通し
てレーザ励起を行う放電空間１３に照射され、レーザガ
スが電離する。この結果、放電空間１３に安定なレーザ
励起を行うグロー放電が起き、効率よくレーザ出力を得
ることができる。
ためには、スパークギャップ１４を導通させ充電用コン
デンサ１５の充電エネルギーをピーキングコンデンサ１
６に移行させる。この時、コロナ電極１１と穴開き電極
１２との間にピーキングコンデンサ１６間の端子間電圧
が印加される。このため、コロナ誘電体１０の穴開き電
極１２側の面にコロナ放電が生じ紫外線が発生する。こ
の紫外線が穴開き電極１２に開けられた多数の穴を通し
てレーザ励起を行う放電空間１３に照射され、レーザガ
スが電離する。この結果、放電空間１３に安定なレーザ
励起を行うグロー放電が起き、効率よくレーザ出力を得
ることができる。
（発明が解決しようとする課題）
ところで、コロナ予備電離器を用いた従来のパルスガス
レーザにおいては、コロナ予備電離器をレーザガス中に
設置しているためコロナ誘電体であるアルミナがレーザ
ガスに含まれるハロゲンガスと化学反応を生じ、不純物
の発生及びハロゲンガスの減少を起こす。このため、レ
ーザガス寿命が劣化し、短時間でレーザ出力が減少する
欠点があった。
レーザにおいては、コロナ予備電離器をレーザガス中に
設置しているためコロナ誘電体であるアルミナがレーザ
ガスに含まれるハロゲンガスと化学反応を生じ、不純物
の発生及びハロゲンガスの減少を起こす。このため、レ
ーザガス寿命が劣化し、短時間でレーザ出力が減少する
欠点があった。
本発明の目的は、レーザガスの寿命の劣化が少ないコロ
ナ予備電離器を提供することである。
ナ予備電離器を提供することである。
（課題を解決するための手段）
本発明によるコロナ予備電離器は、穴開き電極の裏面か
らコロナ予備電離を行うコロナ電極とそれを囲むコロナ
誘電体とからなるコロナ予備電離器において、コロナ誘
電体としてフッ化マグネシウムまたはフッ化カルシウム
、あるいはフッ化マグネシウムまたはフッ化カルシウム
を被覆した誘電体を用いることを特徴としている。
らコロナ予備電離を行うコロナ電極とそれを囲むコロナ
誘電体とからなるコロナ予備電離器において、コロナ誘
電体としてフッ化マグネシウムまたはフッ化カルシウム
、あるいはフッ化マグネシウムまたはフッ化カルシウム
を被覆した誘電体を用いることを特徴としている。
（作用）
本発明によるコロナ予備電離器に用いられるコロナ誘電
体として、フッ化マグネシウムやフッ化カルシウム、ま
たはフッ化マグネシウムやフッ化カルシウムを被覆した
誘電体を使用している。
体として、フッ化マグネシウムやフッ化カルシウム、ま
たはフッ化マグネシウムやフッ化カルシウムを被覆した
誘電体を使用している。
フッ化マグネシウ、ムやフッ化カルシウムは、ハロゲン
ガスと化学反応を起こしにくい耐ハロゲン性の高い物質
である。このため、レーザガスに含まれるハロゲンガス
との化学反応による不純物の発生やハロゲンガスの減少
によるレーザガスの劣化が防げ、レーザガスの長寿命化
が図れる。
ガスと化学反応を起こしにくい耐ハロゲン性の高い物質
である。このため、レーザガスに含まれるハロゲンガス
との化学反応による不純物の発生やハロゲンガスの減少
によるレーザガスの劣化が防げ、レーザガスの長寿命化
が図れる。
（実施例）
次に、図面を用いて本発明の詳細な説明する。第１図、
第２図、第３図及び第４図は、本発明の一実施例の断面
図を各々示している。
第２図、第３図及び第４図は、本発明の一実施例の断面
図を各々示している。
第１図及び第ジ図に断面図を示した各々のコロナ予備電
離器のコロナ誘電体は、第５図に示した従来のコロナ誘
電体と異なり、フッ化マグネシウム１やフッ化カルシウ
ム４をコロナ誘電体として用いている。
離器のコロナ誘電体は、第５図に示した従来のコロナ誘
電体と異なり、フッ化マグネシウム１やフッ化カルシウ
ム４をコロナ誘電体として用いている。
さらに、第３図及び第４図に断面図を示した第３の発明
及び第４の発明を用いた各々のコロナ予備電離器のコロ
ナ誘電体は、第５図に示した従来のコロナ誘電体と異な
り、フッ化マグネシウム５やフッ化カルシウム８を被覆
した誘電体９用いている。このような被覆は蒸着により
容易に形成できる。
及び第４の発明を用いた各々のコロナ予備電離器のコロ
ナ誘電体は、第５図に示した従来のコロナ誘電体と異な
り、フッ化マグネシウム５やフッ化カルシウム８を被覆
した誘電体９用いている。このような被覆は蒸着により
容易に形成できる。
上記したように、フッ化マグネシウム１．５やフッ化カ
ルシウム４．８はハロゲンガスと化学反応を起こしにく
い耐ハロゲン性の高い物質であるため、不純物の発生や
ハロゲンガスの減少が抑えられ、レーザガスが長寿命に
なる。
ルシウム４．８はハロゲンガスと化学反応を起こしにく
い耐ハロゲン性の高い物質であるため、不純物の発生や
ハロゲンガスの減少が抑えられ、レーザガスが長寿命に
なる。
（発明の効果）
以上述べたように、本発明によるコロナ予備電離器では
レーザガスの劣化が少なくレーザガスが従来のものに比
べ数倍長寿命になる。
レーザガスの劣化が少なくレーザガスが従来のものに比
べ数倍長寿命になる。
第１図、第２図、第３図及び第４図は各々本発明の一実
施例であるコロナ誘電体の断面図、第５図は従来のコロ
ナ予備電離器を用いたパルスガスレーザの構成図を示し
ている。 １．５・・・フッ化マグネシウム、２．６．１１・・、
コロ＋ｉ極、３．７．１２・・・穴開き電極、４，８・
・・フッ化カルシウム、９，１０・・・誘電体、１３・
・・放電空間、１４・・・スパークギャップ、１５・・
・充電用コンデンサ、１６・・・ピーキングコンデンサ
。
施例であるコロナ誘電体の断面図、第５図は従来のコロ
ナ予備電離器を用いたパルスガスレーザの構成図を示し
ている。 １．５・・・フッ化マグネシウム、２．６．１１・・、
コロ＋ｉ極、３．７．１２・・・穴開き電極、４，８・
・・フッ化カルシウム、９，１０・・・誘電体、１３・
・・放電空間、１４・・・スパークギャップ、１５・・
・充電用コンデンサ、１６・・・ピーキングコンデンサ
。
Claims (2)
- （１）穴開き電極の裏面からコロナ予備電離を行う、コ
ロナ電極とそれを囲むコロナ誘電体とからなるコロナ予
備電離器において、前記コロナ誘電体としてフッ化マグ
ネシウムまたはフッ化カルシウムを用いたことを特徴と
するコロナ予備電離器。 - （２）穴開き電極の裏面からコロナ予備電離を行うコロ
ナ電極とそれを囲むコロナ誘電体とからなるコロナ予備
電離器において、前記コロナ誘電体としてフッ化マグネ
シウムまたはフッ化カルシウムを被覆した誘電体を用い
ることを特徴とするコロナ予備電離器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31207688A JPH0716045B2 (ja) | 1988-12-12 | 1988-12-12 | コロナ予備電離器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31207688A JPH0716045B2 (ja) | 1988-12-12 | 1988-12-12 | コロナ予備電離器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02158180A true JPH02158180A (ja) | 1990-06-18 |
| JPH0716045B2 JPH0716045B2 (ja) | 1995-02-22 |
Family
ID=18024946
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31207688A Expired - Lifetime JPH0716045B2 (ja) | 1988-12-12 | 1988-12-12 | コロナ予備電離器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0716045B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1287592A4 (en) * | 2000-06-09 | 2005-11-09 | Cymer Inc | GAS LASER WITH DI-ELECTRIC ELECTRODE WITH BLADE |
| EP1297594A4 (en) * | 2000-06-09 | 2006-03-08 | Cymer Inc | LONG-LASTING ELECTRODES FOR GAS DISCHARGE LASER |
| JP2009200520A (ja) * | 2000-03-15 | 2009-09-03 | Komatsu Ltd | ガスレーザ用電極、その電極を用いたレーザチャンバ及びガスレーザ装置 |
-
1988
- 1988-12-12 JP JP31207688A patent/JPH0716045B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009200520A (ja) * | 2000-03-15 | 2009-09-03 | Komatsu Ltd | ガスレーザ用電極、その電極を用いたレーザチャンバ及びガスレーザ装置 |
| EP1287592A4 (en) * | 2000-06-09 | 2005-11-09 | Cymer Inc | GAS LASER WITH DI-ELECTRIC ELECTRODE WITH BLADE |
| EP1297594A4 (en) * | 2000-06-09 | 2006-03-08 | Cymer Inc | LONG-LASTING ELECTRODES FOR GAS DISCHARGE LASER |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0716045B2 (ja) | 1995-02-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |