JPH02158917A - 金属薄膜型記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は高信頼性を有する量産性に優れた金属薄膜型磁
気記録媒体の製造方法に関するもので。

映像機器及び情報機器分野等の産業分野で利用されるも
のである。

従来の技術 近年磁気記録媒体は磁気記録密度の向上に見られるよう
にその技術的発展はめざましいものかある。従来の磁気
記録媒体の例としてオーデオ、ビデオ用テープ材料に用
いられるγ−ＦｅＯ粉末。

ＣｒＯ粉末、純鉄粉末などを樹脂等のバインダーと共に
高分子フィルム上に塗着せしめた。いわゆる塗布型の磁
気記録媒体がある。

しかし、従来の塗布型テープより保持力、記録密度、電
磁変換特性を改良するため真空蒸着法、メツキ、イオン
プレーチイング、スパッタリングなどの方法でＦｅ＋　
　Ｎｉ１　Ｃｏｔ　　Ｃｒ等の磁性金属を単独もしくは
合金で高分子フィルム上に蒸着する金属薄膜型磁気記録
媒体の検討がなされている。また強磁性金属薄膜型の記
録媒体として、斜方蒸着法をもちいたオーデオ用テープ
が既に実用化されている。強磁性金属薄膜型テープは真
空蒸着法等に見られるようにテープの表面性は従来の塗
布型テープと比較して非常に優れ、数百Ａ以下の表面性
である。例えば蒸着テープをビデオ用テープとして利用
した場合には、ノイズの少ない高画質が得られる。

次に従来の真空蒸着法による金属薄膜型テープの製造法
を述べる。第３図は真空蒸着装置の工程概略図で、高分
子フィルム２１を送りだし軸２２にセットし冷却ドラム
を経て巻取り軸２４で巻取る。この時下方より電子ビー
ム２５で強磁性金属２Ｂを溶解し、蒸発させ前記高分子
フィルム２１表面上に蒸着する。蒸着時に不用な磁性金
属は遮へい板２７でカットする。この時速へい板は蒸着
時の最小入射角θを規制し通常最小入射角４０度以上で
行れ、９０度〜４０度迄連続的に高分子フィルム上に蒸
着される。

発明が解決しようとする課題 しかしながら、上記の製造法により造られた蒸着テープ
は高画質が得られる反面繰り返し走行に伴う画質の劣化
、あるいは高温高温環境下における錆の発生等信顆性に
乏しい欠点を有していた。

本発明は上記の問題に鑑み発明されたものであって、高
画質が得られ、かつ繰り返し走行に伴う画質の劣化や高
温高湿環境下における錆の発生等も全くなく、信頼性の
高い金属薄膜型記録媒体を提供することを目的とするも
のである。

課題を解決するための手段 上記目的を達成するため、請求項１の発明は高分子フィ
ルム上に形成される磁性金属表面に反応性ガスと酸素系
ガスを吹き付けることにより金属酸化物層を形成する事
を特徴とし、望ましくは請求項１の発明において磁性金
属薄膜フィルムの金属薄膜面を加熱して用いることを特
徴とする。

作用 本発明によれば、磁性金属表面に過剰酸素を含む反応性
ガスを吹き付けることにより従来に比べ、厚く、高次な
酸化層が形成されるなど表面改質がはかられ、欠陥の少
ない安定な保ｗＩ層の存在によって、繰り返し走行に伴
う画質の劣化や高温高温環境下における錆の発生等が解
消し、信頼性が高まる。

実施例 以下本発明の実施例について図面を参照しながら説明す
る。

実施例１ 本発明の第１の実施例を第１図に基づいて説明する。

図示するように、ポリエステルフィルム１を巻出ロール
２にセットし、冷却回転ドラム３を経て巻取りロール軸
４で巻取られる。強磁性金属Ｇ。

−Ｎｉ合金６を電子ビーム５で溶解し、下方より叙法蒸
着でポリエステルフィルム１上に蒸着する。

蒸着後、ポリエステルフィルム１は遮へい板７上を通過
するが、この時酸素ガス導入ノズル８から酸素ガスを、
かつ反応性ガス導入ノズル９から一酸化炭素ガスを２対
１の割合で磁性金属蒸気流に向かって吹き付ける。

実施例２ 本発明の第２の実施例を第２図に基づいて説明する。

従来例の方法で造られた強磁性金属薄膜フィルム９を巻
出ロール１０にセットし、昇温可能な回転ドラム１１を
経て巻取りロール１２でまきとる。

この時下方より複数個のハロゲンランプ１３で前記フィ
ルム９を磁性金属面を加熱しながら実施例１と同様にガ
スノズル１４．１５から酸素ガストー酸化炭素ガスを吹
き付ける。耐熱フィルム表面上の温度は２００℃位を示
すよう設定した。

実施例３ 実施例２に於て加熱源としてハロゲンランプの代わりに
加熱可能な回転ドラムを用い、これに高分子フィルムを
添装させ、以下実施例２と同様に酸素ガスと一酸化炭素
ガスを吹き付ける。

以上の様な実施例１〜３による金属薄膜型磁気記録媒体
の性能と効果について述べる。

金属薄膜の評価法は市販の８ミリデツキを評価用に改造
し、繰り返し走行試験を行うことで耐久性を調べた。ま
た錆試験については６０°ＣＣ−９０％の高温高湿環境
下での経時変化を比較した。

その結果を下表に示す。

表 なお、上記表においては、この場合、繰り返し耐久試験
の従来例の値を１として、その相対値で示す。また錆試
験の評価法は試験前後の顕微鏡による外観の変化とデツ
キでの走行状態を比較することで調べた。

この結果本発明の実施例はいずれも従来例と比較して繰
り返しの走行耐久性はいずれも一桁改善されており、且
つＲＦ出力は非常に安定していた。

一方錆試験による経時変化の様子は従来例では点状の斑
点錆が発生し時間と共に成長しているが本発明の実施例
ではいずれも錆の発生は見られなうがた。また錆試験後
のサンプルを８ミリデツキで走行試験を行ったが従来例
に於いてはテープ上に損傷がおこるが本発明の実施例で
は問題はなかった。

次に本発明の実施例の効果について考察してみると９本
発明は従来例に比べ磁性金属薄膜表面の酸化層が厚く、
かつ高次な酸化層を形成していることがオージェ、ＥＳ
ＣＡの分光分析で解った。

このように金属薄膜表面に高次の金属酸化物層を形成す
ることで強固な保護層とし耐久性の向上並びに防錆効果
の改善が計れたと考えられる。もちろんこの場合表面酸
化層の厚みが重要で保護層としては厚い方が望ましいが
ビデオ特性の劣化がおきるため１００から２００Ａ位の
範囲が最適値である。

本発明の金属酸化物層が高次で且つ均一なのは反応性ガ
スと過剰酸素ガスとの磁性金属表面での反応熱を利用し
９反応で余った余剰の酸素を用いて金属表面を改質して
いるためである。

なお本発明の実施例に限定することなく他の方法を用い
ても同様に効果がある。例えば本発明実施例では斜方蒸
着による金属薄膜形磁気記録媒体の製造法について示し
たが入射角成分が０度付近を中心とした薄膜型垂直磁気
記録媒体についても同様に効果がある。

また反応性を促進させるためハロゲンランプ。

加熱回転ローラを用いたが抵抗加熱等の他の加熱法も可
能であり、加熱したガスを直接磁性金属フィルム表面上
に吹き付けてもよい。吹き付けるガスの種類についても
反応性ガスとして一酸化炭素ガス以外にＮＯＩ　Ｎ２０
．　　等の窒素酸化物系ガんＣＮ２．　　ＣＨ４，Ｃ２
Ｈ４，Ｃ３Ｈ会１等の炭化水素系ガス、あるいは水素ガ
ス等の反応性ガスを用いてもよい。更に、酸化性ガスと
して酸素ガス以外にオゾンガスを用いても同様の効果が
ある。

発明の効果 本発明によれば、高画質が得られ、かつ繰り返し走行に
伴う画質の劣化や高温高湿環境下における錆の発生等の
全くない金属薄膜型記録媒体を量産することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す工程概略図、第２図は
本発明の他の実施例を示す工程概略図、第３図は従来法
を示す工程概略図である。 １・・・高分子フィルム、６・・・強磁性金属Ｇｏ−Ｎ
ｉ合金、８・・・酸素ガス導入ノズル、９・・・反応性
ガス導入ノズル。 代理人の氏名　弁理士　粟野重孝　ほか１名！・−ごリ
エステルフイルＡ ６−−−　Ｎ　’ｆｉｌ　ｌｒａ　＊ＪＡ　（：：ｏ−
Ｎｉ合嚢８−　酸素カ゛ス導入ノスール Ｑ　−−−ＲＫ　）庄カース埠入ノスル第１図 第２図 ＠３図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）高分子フィルム上に形成される磁性金属表面に反
   応性ガスと酸素系ガスを吹き付けることにより金属酸化
   物層を形成することを特徴とする金属薄膜型記録媒体の
   製造方法
2. （２）磁性金属薄膜フィルムの金属薄膜面を加熱して用
   いる請求項１記載の金属薄膜型記録媒体の製造方法。