JPH02161401A - 高精度ミラーの作成方法 - Google Patents

高精度ミラーの作成方法

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JPH02161401A
JPH02161401A JP63316940A JP31694088A JPH02161401A JP H02161401 A JPH02161401 A JP H02161401A JP 63316940 A JP63316940 A JP 63316940A JP 31694088 A JP31694088 A JP 31694088A JP H02161401 A JPH02161401 A JP H02161401A
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JP
Japan
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photosensitive resin
base material
wavy
master member
flatness
Prior art date
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Pending
Application number
JP63316940A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazuhiro Fujita
和弘 藤田
Toshiyuki Iguchi
敏之 井口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Ricoh Co Ltd filed Critical Ricoh Co Ltd
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  • Laminated Bodies (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、ルーフミラーレンズアレイ等に用いられる高
精度ミラーの作成方法に関する。
従来の技術 まず、従来のルーフミラーレンズアレイ(RMI、A)
Lの読取り方法を第6図に基づいて説明する。原稿面2
からの光はその下方に位置する光路分離ミラー3の上方
に傾斜して設けられた第一反射面4により反射され、レ
ンズアレイ(LA)5を介してルーフミラーアレイ6の
反射面7により2回反射され、再びレンズアレイ5を介
して前記光路分離ミラー3の下方に傾斜して設けられた
第二反射面8により反射されその光路を変えられ像面9
に結像されることにより、前記原稿面10の情報を読取
っている。
発明が解決するしようとする課題 上述したような装置において、ルーフミラーアレイ6の
反射面7を作成する代表的な方法としては、第一・にガ
ラスプリズムを配列して作成する方法、第二にプラスチ
ック成形法、第三に高輝AQの削り出し又は押し出しに
よって作成する方法などがある。まず、その第一の方法
では、ガラス部材を配列しこれらを組合せることにより
作成するため、量産性に欠け、また、隣接する反射面ど
うしの稜線倒れや配列ピッチ等の位置合わせが1つ1つ
あり面倒である。また、第二の方法では、母材として流
動性のある樹脂を使用するためどうしてもソリやタワミ
が生じやすく、稜線部分の面精度、直角度の精度に限界
がある。さらに、第三の方法では、高反射率面が簡単に
得られるものの鏡面性という点では精度を確保すること
ができないという問題がある。また、ルーフミラーレン
ズアレイlは、等倍結像素子でもあるため長手方向の長
さは原稿サイズより小さくはならずこのため長手方向に
対する断面が極端に小さい構成をとる時や、レンズを高
密度配列する構成にする時はど、ルーフミラーアレイ6
の直角度や平面性の確保を図ることは大変難しくなる。
課題を解決するための手段 そこで、このような問題点を解決するために、請求項1
記載の発明では、高剛性部材からなる母相を切削し一定
のピッチをもつ波状斜面を作成し、この波状斜面上に感
光性樹脂を均一に塗布し、この感光性樹脂の上部から平
面性及び鏡面性に優れた透明なマスター部材を密着させ
吸収波長に見合う光を露光してその感光性樹脂を硬化し
、前記マスター部材を剥離した後前記感光性樹脂の表面
に高反射率部材を蒸着して反射面を形成した。
また、請求項2記載の発明では、高剛性部材からなる母
材を切削して一定のピッチをもつ波状斜面を形成すると
共にこれら隣接する波状斜面の境界の頂点部に位置して
凸形状をなし側面に光吸収部材の形成された絞り板を設
け、前記波状斜面上に感光性樹脂を均一に塗布し、この
感光性樹脂の上部から平面性及び鏡面性に優れた透明な
マスター部材を密着させ吸収波長に見合う光を露光して
その感光性樹脂を硬化し、前記マスター部材を剥離した
後前記感光性樹脂の表面に高反射率部材を蒸着して反射
面を形成した。
作用 請求項1記載の発明により、ルーフミラーアレイの母材
を高剛性部材により形成したことによりソリやタワミを
極力抑えることができ、このような性質をもつ母材を切
削し波状斜面を形成することにより高精度な平面性を保
つことができる。また、この高1′tff度な平面性の
保たれた波状斜面上に感光性樹脂を塗布し、この樹脂の
上部から平面性及び鏡面性に優れた透明なマスター部材
を密着させた状態で露光して硬化した後マスター部材を
剥離することによって、その硬化された感光性樹脂の表
面を平面性及び鏡面性に優れた状態にすることができ、
この状態に保たれた感光性樹脂の表面に高反射率部材を
蒸着して反射面を形成したことによって、平面性及び鏡
面性に優れた性能をもつルーフミラーアレイが得られる
また、請求項2記載の発明により、高剛性部材からなる
母材を切削して一定のピッチをもつ波状斜面を形成する
際に、これら隣接する波状斜面の境界の頂点部に位置し
て凸形状をなし側面に光吸収部材の形成された絞り板を
一体化して設けることによって、外部より入射し絞り板
の側面に当たる光は光吸収?AS材により吸収されるた
め、これにより絞り板により仕切られた反射面間での光
のクロストークを防止することができる。
実施例 本発明の第一の実施例を第1図ないし第3図に基づいて
説明する。なお、ここではルーフミラーレンズアイの全
体構成についての説明は省略し、本発明に係るルーフミ
ラーアレイ6の作成方法について説明する。
まず、ルーフミラーアレイ6の母材10は、高剛性部材
としての金属材料からなっている。ここでは、母材10
にAQを用いた場合について考える。まず、工程aとし
て第1図(a)及び第2図(a)に示すように、AQ母
材10を既存の削り出し法又は押し出し法により切削し
、表面に一定のピッチをもった波状斜面11を作成する
。この場合、母材10に金属材料を用いているため剛性
的に十分な強度を保つことができ、しかも、高精度な平
面を保つことができる。なお、押し出し法を用いる時に
は、第3図に示すように母材10に均等な厚みをもたせ
た形状にすることによってソリやタワミを極力抑えるこ
とができる。
次に、工程すとして第1図(b)及び第2図(b)に示
すように、平面性の確保された母材10の波状斜面11
上に感光性樹脂12を均一に塗布し、二の上部から平面
性及び鏡面性に優れ、しかも、後述する反射面13(ル
ーフミラー)の直角度の精度やそれら隣接する反射面1
3の稜線倒れのほとんどない透明なマスター部材14を
密着させる。
このマスター部材14としては透明なガラス等を加工研
磨することにより作成することができる。
次に、工程Cとして第1図(C)及び第2図(C)に示
すように、マスター部材14の鏡面を密着させた状態で
感光性樹脂12の吸収波長λに見合う光を露光して硬化
安定させる。なお、この時マスター部材14が剥がれや
すくするために予めその鏡面15に図示しない剥離材を
塗布しておいてもよい。
次に、工程dとして第1図(d)及び第2図(d)に示
すように、マスター部材14を母材10から剥離すると
、その母材10の平面性が確保されている波状斜面11
上にマスター部材14と同様な鏡面性を保たせることが
できる。
次に、工程eとして第1図(e)及び第2図(e)に示
すように、母材10をルーフミラーレンズアレイ1の光
学設計に基づいた有効反射領域を確保する所定のサイズ
に切断面Sにて分割する。
次に、工程fとして第1図(f)及び第2図(f)に示
すように、母材10の波状斜面11上に形成された鏡面
性の保たれた感光性樹脂12の上部から、高反射率を有
するAQ等の高反射率部材Kを既存の真空蒸着法により
蒸着して反射面13を形成する。
上述したような工程a〜fを行うことによって、ルーフ
ミラーレンズアレイ1が微小で細長いものであっても、
金属材料等の剛性の高い材質を母材10に用いることに
よって高精度な平面性を保つことができると同時に、マ
スター部材14を用いたレプリカ法による転写技術によ
って鏡面性をも保つことができ、また、ルーフミラーレ
ンズアレイ1の直交方向の断面形状が同一であることが
ら一工程a〜fで複数のルーフミラーレンズアレイ1を
作成することができる。さらに、母材10を押し出し法
により作成しレプリカ法による転写技術を用いることに
よって、大量生産でしかも低コストな作成方法を得るこ
とができる。
なお、本実施例においては、複数のルーフミラーレンズ
アレイ1が同時に得られるように作業工程の中に分割工
程eを入れたわけであるが、言うまでもなくルーフミラ
ーレンズアレイ1を1個だけ作成する場合にはこの工程
eは不要となる。
次に、本発明の第二の実施例を第4図(a)〜(f)及
び第5図(a)〜(f)に基づいて説明する。
これは、工程aにおいて、母材10を切削して一定のピ
ッチをもつ波状斜面11を形成する際に、これら隣接す
る波状斜面11の境界の頂点部に位置して凸形状をした
絞り板15を一体化して設けた場合の例である。この時
、絞り板15の側面には光を吸収する光吸収部材Rが形
成されており、この光吸収部材1〈としては黒色系の塗
料等を塗布するようにしてもよいし、或いは、絞り板1
5の側面に黒色化学処理等を施すようにしてもよい。
従って、光を吸収する光吸収部材Rの形成された絞り板
15を反射面にの境界に設けることによって、隣接する
反射面に間に生じる光のクロストークを防止することが
できこれにより一層正確な読取りを行うことが可能とな
り、また、この絞り板15を母材10と一体化して設け
ることによって、ルーフミラーレンズアレイ1の全体構
成をコンパクト化し部品点数を削減でき、これによりコ
ストを低減することができる。なお、工程b〜工程「は
、前述した第一の実施例と全く同様に行うことができる
のでここでの説明は省略する。
発明の効果 請求項1記載の発明では、ルーフミラーアレイのけ材に
高剛性部材を用いることによってソリやタワミを極力抑
えて高精度な平面性を保つことができると同時に、マス
ター部材を用いてレプリカによる転写技術を活用するこ
とによって鏡面性を保つことができるので、作成される
ルーフミラーアレイの反射面を平面性及び鏡面性に優れ
た状態にすることができ、また、このように転写技術を
応用することにより大量生産が行えるためコストを一段
と低減することが可能となるものである。
また、請求項2記載の発明では、高剛性部材からなる母
材の反射面の境界に光吸収部材の形成された絞り板を一
体化して設けることによって、隣接する反射面間に生じ
る光のクロストークを防止することができこれにより一
層正確な読取りを行うことが可能となる。また、この絞
り板を母材と一体化して設けたことによって、ルーフミ
ラーレンズアレイの全体構成をコンパクト化し部品点数
を削減でき これによりコストを低減することができる
ものである。
射面、9・・・像面、10・・母材、l】・・・波状斜
面、12・感光性樹脂、13・・・反射面、14・・・
マスター部材、15・・・絞り板、K・・高反射率部材
、R・・・光吸収部材 出 j願 人    株式会社 リ コ −
【図面の簡単な説明】
第1図(a) 〜(f)及び第2図(a)〜(f)は請
求項1記載の実施例を示すルーフミラーアレイの作成工
程を示す工程図、第3図はその押し出し法により作成す
る場合の母材の側面図、第4図(a)〜(f)及び第5
図(a)〜(f)は請求項2記載の実施例を示すルーフ
ミラーアレイの作成工程を示す工程図、第6図は従来の
ルーフミラーレンズアレイを示す斜視図である。 ■・・ルーフミラーレンズアレイ、2・・原稿面53・
・・光路分離ミラー 4・・・第一反射面、5・・・レ
ンズアレイ、6・・・ルーフミラーアレイ、8・・・第
二反ワ

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、高剛性部材からなる母材を切削し一定のピッチをも
    つ波状斜面を作成し、この波状斜面上に感光性樹脂を均
    一に塗布し、この感光性樹脂の上部から平面性及び鏡面
    性に優れた透明なマスター部材を密着させ吸収波長に見
    合う光を露光してその感光性樹脂を硬化し、前記マスタ
    ー部材を剥離した後前記感光性樹脂の表面に高反射率部
    材を蒸着して反射面を形成したことを特徴とする高精度
    ミラーの作成方法。 2、高剛性部材からなる母材を切削して一定のピッチを
    もつ波状斜面を形成すると共にこれら隣接する波状斜面
    の境界の頂点部に位置して凸形状をなし側面に光吸収部
    材の形成された絞り板を設け、前記波状斜面上に感光性
    樹脂を均一に塗布し、この感光性樹脂の上部から平面性
    及び鏡面性に優れた透明なマスター部材を密着させ吸収
    波長に見合う光を露光してその感光性樹脂を硬化し、前
    記マスター部材を剥離した後前記感光性樹脂の表面に高
    反射率部材を蒸着して反射面を形成したことを特徴とす
    る高精度ミラーの作成方法。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009276698A (ja) * 2008-05-16 2009-11-26 National Institute Of Information & Communication Technology 2面コーナーリフレクタアレイ

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JPS5714726A (en) * 1980-07-01 1982-01-26 Minolta Camera Co Ltd Measuring device for quantity of light
JPS5829629A (ja) * 1981-08-17 1983-02-21 Ricoh Co Ltd 光学部品製造方法

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