JPH025001A - 高精度ミラーの作成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、ルーフミラーレンズアレイの光路分離ミラー
や、高精度平面ミラーに用いられる高精度ミラーの作成
方法に関する。

従来の技術 従来、高精度な平面性を有する高精度ミラーは、例えば
、ルーフミラーレンズアレイの光路分離ミラーとして用
いられているものがある。すなわち、第３図に示すよう
に、物体１からの光は、その光路分離ミラー２により反
射され、レンズアレイ３を通過し、ルーフミラーアレイ
４に灘かれる。このルーフミラーアレイ４に入射した光
は、左右のルーフミラー５でそれぞれ１回ずつ反射（合
計２回反射）された後、再びレンズアレイ３を通過し、
光路分離ミラー２で反射されることにより像面６に結像
される。

そして、このような高精度ミラーとしての光路分離ミラ
ー２の従来からの作成方法としては、第一にガラス平面
ミラーを２枚組み合わせる方法、第二にプラスチック成
形法、第三に高１１３Ｉ？ＡＱの削り出し又はその押し
出しによって反射面を作成する方法などがあり、これら
のいずれかの方法を用いることにより高精度な平面性を
有する光路分離ミラー２を作成していた。

発明が解決しようとする問題点 しかし、−■二連したような従来の作成方法には、ン それぞれ次のような欠点かある。まず、第一の作成方法
では、２枚の平面ガラスを組み合わせて作成するので量
産性に乏しく、また、光路分離ミラー２の直角に組み合
わせた稜線部分の精度か出にくく必要以外の光路をけっ
てしまい、その結果、光量低下の原因になってしまう。

また、第二の作成方法では、成形材料に流動性のある樹
脂を使用するためソリやタワミが生しやすくなる。さら
に、第三の作成方法では、ＡＱを用いることから高反射
率面は簡単に得られるものの、鏡面性という点てその精
度を十分に確保することができない。

問題点を解決するための手段 そこで、このような問題点を解決するために、本発明は
、剛性及び高精度な平面性を有する基板の表面に光感光
性樹脂を塗布し、この光感光性樹脂を平面化部材により
平面化してその表面に鏡面性をもたせ、この鏡面性をも
った前記光感光性樹脂の表面を樹脂硬化手段により硬化
させ、その硬化した前記光感光性樹脂の表面に高反射率
部材を蒸着することにより高精度ミラーを作成するよう
にした。

作用 従って、剛性をもち平面度の高い金属部材を用いること
によって平面性にすぐれ、しかも、平面化部材を用いて
レプリカ法による転写技術を利用することによって鏡面
性のすぐれた高精度ミラーを、安価で大量生産化するこ
とが可能となる。

実施例 本発明の第一の実施例を第１図（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ
　）（ｅ　）に基づいて説明する。高精度ミラーの作成
方法を以１・順を追って説明する。ます、第１図（、、
）において、基板としての金属部材７は、例えばＡ、　
Ｑ等を、削り出すか、あるいは、押し出し法による既存
の工法を用いて三角形状の細長い直方体を作成する。こ
のように基板は金属部材７で構成されているため、その
剛性により十分な強度を確保することかでき、しかも、
高精度な平面性を保つことができる。次に、第１図（ｂ
）において、その平面性の保たれた金属部材７の表面に
、光感光性樹脂８を塗布し、その」一部から平面化部材
としての透明なマスタ一部材９を密着させる。このマス
タ一部材９はカラス等の透明部材を加工研磨することに
より作成でき、その表面は平面度及び鏡面性が確保され
ている。次に、第１図（ｃ）において、そのマスタ一部
材９が密着されている間に、図示しない樹脂硬化手段に
より光感光性樹脂８の吸収波長λに見合う光を露光し硬
化して定着、安定化させる。なお、この場合、マスタ一
部材９の密着する面に、予め図示しない剥離部材を塗布
しておいてもよい。次に、第１図（ｄ）において、マス
タ一部材９を金属部材７から剥離することにより、光感
光性樹脂８の表面に鏡面性を得ることができる。そして
、最後に、第１図（ｅ）において、その鏡面性の確保さ
れた光感光性樹脂８の表面に高反射率を有する高反射率
部材としてのＡ　Ｑ　１．０等を、既存の真空蒸着等の
技術を用いて蒸着を行うことによって、高反射率を有す
る高精度ミラーを作成することができる。

以上のような工程で作成することにより、高精度ミラー
は金属部材７のもつ平面性と、マスター部材９を用いて
レプリカ法による転写技術によって得られる鏡面性とを
同時に確保することができる。また、押し出し法＋レプ
リカ法を採用したことによって、低コス１へで大量生産
向きな作成方法を確立することができる。

次に、本発明の第二の実施例を第２図に基づいて、以−
ト順を追って説明する。まず、基板としての金属部材１
１は、押し出し法による既存の工法でその表面が所望の
平面度を有するように作成されている。次に、その金属
部材１］の表面に光感光性樹脂１２を塗布して、金属部
材１１を矢印方向に移動させる。次に、その塗布された
光感光性樹脂１２を平面化部材としてのローラ１３によ
り均一化し、さらに、平面化部材としてのナイフェツジ
１４を用いて薄く引き延ばし平面度の精度を」二げ鏡面
性を確保する。次に、その鏡面性を保った光感光性樹脂
１２の表面に、光源１５から発せられた光感光性樹脂１
２の吸収波長λに見合う光をミラー１６を介してビーム
エキスパンダー１７により露光し硬化させ定着、安定化
させる。なお、前記光源１５と、前記ミラー１６と、前
記ビームエキスパンダー１７とは樹脂硬化手段１８を構
成している。また、ここで、樹脂硬化手段としてのヒー
タ１９を用いて熱処理することによってその光感光性樹
脂１２の界面が平滑化され、鏡面性の向上を一層図るこ
とができる。なお、熱処理は露光を行う前にプリベーク
処理として行ってもよい。

そして、最後に、鏡面性の確保された光感光性樹脂１２
の表面に、高反射率を有する高反射率部材としての図示
しないＡＱ等を、既存の真空蒸着等の技術を用いて蒸着
を行うことにより、高反射率を有する高精度ミラーを作
成することができる。

これにより、築−の実施例と同様に、平面性及び鏡面性
のすぐれた高精度ミラーを容易に作成することか可能と
なる。また、この場合、塗布、転写、露光と連続して一
貫処理することが可能なので、長手方向に必要な大きさ
で切断する工程を加えることでさらに量産性のすぐれた
作成方法にすることが可能となる。

発明の効果 本発明は、剛性及び高精度な平面性を有する基板の表面
に光感光性樹脂を塗布し、この光感光性樹脂を平面化部
材により平面化してその表面に鏡面性をもたせ、この鏡
面性をもった前記光感光性樹脂の表面を樹脂硬化手段に
より硬化させ、その硬化した前記光感光性樹脂の表面に
高反射率部材を蒸着するすることにより高精度ミラーを
作成するようにしたので、剛性をもち平面度の高い金属
部材を用いることによって平面性にすぐれ、しかも、平
面化部材を用いてレプリカ法による転写技術を利用する
ことによって鏡面性にすぐれた高精度ミラーを、安価で
大量生産化することが可能となるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ　）（ｂ　）（ｃ　）（ｄ　）（ｅ　）は本
発明の第一の実施例を示す高精度ミラーの作成方法に関
する説明図、第２図は本発明の第二の実施例を示す説明
図、第３図は従来の光路分離ミラーを用いたルーフミラ
ーレンズアレイの斜視図である。 １０・・高反射率部材、１１・基板、１２・・・光感光
性樹脂、１３．１４・・平面化部材、１８，１．９樹脂
硬化手段

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 剛性及び高精度な平面性を有する基板の表面に光感光性
   樹脂を塗布し、この光感光性樹脂を平面化部材により平
   面化してその表面に鏡面性をもたせ、この鏡面性をもつ
   た前記光感光性樹脂の表面を樹脂硬化手段により硬化さ
   せ、その硬化した前記光感光性樹脂の表面に高反射率部
   材を蒸着するすることにより高精度ミラーを作成するよ
   うにしたことを特徴する高精度ミラーの作成方法。