JPH02163607A - 角速度計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は、比較的低い周波数の振動を受ける機器の振動
検出装置として用いられる角速度計に関し、具体的には
、例えばカメラに搭載されて、１）ＩＺないし１２）１
ｚ程度の周波数の振動（角速度）を検出し、この振動に
より生ずる像ぶれを防止するために該検出情報を用いて
像ぶれ防止を図るシステムに好適に用いられる角速度計
に関するものである。

［従来の技術］ 本発明の対象となる従来の技術を、カメラの場合を例に
して以下に説明する。

近時のカメラは、露出決定やピント合わせ等の撮影にと
って重要な作業は、多くの場合自動化されており、カメ
ラ操作に未熟な人でも撮影失敗を起こす可能性は非常に
少なくなっている。また、カメラぶれによるＩ影画像の
劣化や撮影の失敗はその自動化が難かしいとされていた
が、最近では、カメラぶれに起因する上記撮影失敗等の
問題を解決したカメラも研究されており、とくに、撮影
者の「手ふれ」による撮影失敗を防止するための研究お
よび開発が進められている。ここでカメラにおいて問題
となる「手ぶれ」は、周波数として通常１　）１ｚない
し＋２８７．程度の振動である。

カメラシャッタのレリーズ時点においてこのような「手
ふれＪを起していても、像ぶれのない写真を撮影可能と
するためには、例えば上記手ふれによるカメラの撮動を
検出し、その検出値に応して、撮影光学系に配着しであ
る補正レンズを移動させてフィルム上の画像を見掛は上
静止させることで原理的には実現される。

したかって、このようなカメラの手ふれが生じても像ふ
れを生じない写真の撮影を可能とするためには、まずカ
メラに生じている振動を正確に検出することが必要とな
る。

ここでカメラふれの検出について考えると、これは原理
的にいえは、手ふれによる角加速度、角速度等を検出す
る振動センサ、およびこのセンサからの信号を電気的に
積分して角変位の信号を出力するカメラ４これ検出シス
テム、をカメラに搭載することによって行なうことがで
きる。

以上のような考えに基づき角速度計を用いて構成した像
ぶれ防止システムの一例について、第５図によりその概
要を説明する。

この第５図の例は、同図の矢印６１で示す撮影光軸が生
ずるカメラ縦ふれ（ピッチング）６１Ｐ、およびカメラ
横ぶれ（ヨーイング）６】Ｙを検出して、像面６９での
画像のブレを防止するようにしたシステムの図である。

第５図において、６２はレンズ鏡筒、６３Ｐ、６３Ｙは
各々カメラ縦ぶれ角速度、カメラ横ぶれ角速度を検出す
る角速度計で、それぞれの角速度検出方向を６４ＰＪ４
Ｙで示している。６５Ｐ、６５Ｙは公知のアナログ積分
回路であり、角速度計６３Ｐ６３Ｙからの信号を積分し
て手ぶれ角変位信号に変換する。そしてこの角変位信号
により、撮影光学系の一部として配置されているレンズ
等の補正光学系６６は、上記により検出する振動方向に
各々対応して設けられた駆動部６７Ｆ、６７Ｙにより図
示Ｙ、Ｘ方向に移動される。なお６８Ｐ、６８Ｙは補正
光学系の位置検出センサであり、該補正光学系６６は位
置を検知しながら上記移動を正確に行なわせるようにな
っている。

以上によって、像面６９での画像は見掛は上静止の状態
に保持される。なお光学的な補正機構自体に機械的積分
作用を持たせることで、上記アナログ積分回路６５Ｐ、
６５Ｙを省くこともできる。

第４図は上記のような目的に適した角速度計である振動
ジャイロの一例の描造を示している。

この振動ジャイロ（す、第４図（ａｌ　に示す如く振動
機構５１と、この振動機構５１を、例えばレンズ鏡筒等
の一部である基台５２に対し梁部材５２ａを介して固定
的に支持させる支持機構と、この振動機構５１に電気的
に接続された制御回路５３により構成される。

この図示例の振動機構５１は、音叉形状に略Ｕ型に形成
された腕を有する振動駆動部５４と、この振動駆動部５
４の音叉形の各腕先端から延出されていて、かつ振動面
に対し直角方向の剛性が弱くなるように配置された一対
の振動片５５ａ。

５５ｂとにより形成され、振動駆動部５４の音叉形の片
側の腕には、この振動駆動部５４を振動させるための振
動駆動用の第１の圧電変換素子５４ａが固着され、また
他方の腕には駆動振動検知用の第２の圧電変換素子５４
ｂ（図面上は該他方の腕の裏面となって図示されていな
い）が固着されていて、制御回路５３から第１の圧電変
換素子５４ａに人力される加振信号により、振動駆動部
５４およびそれと一体に形成された振動片５５ａ５５ｂ
を矢印５７の方向に互いに逆向きに振動させるようにな
っている。なお第２の圧電変換素子５４ｂは上記のよう
に駆動振動検知用のものであって、この振動駆動部に発
生した振動を検知して制御回路長へ出力する。

振動片５５ａ、５５ｂの先端には集中質量５８ａ、５８
ｂが組付けられており、上記振動駆動部５４の振動によ
り与えられる図の符合５７で示す方向の交番速度を持つ
。この状態でいま振動機構５１の軸５９回りに人力角速
度Ωが加わったとすると、集中質量５８ａ、５８ｂ　、
交番速度１人力角速度Ωの積で求まるコリオリの力Ｆｃ
が矢印５１０・ａ、　５１０ｂの方向に加わる。ここて
、矢印５１０ａ、５１０ｂの方向が互いに逆向きになる
のは、一対の振動片５５ａ。

５５ｂは互いに逆向きに振動しているからである。

そして上記交番速度を、制御回路５３により常に一定振
幅を保つようにしておけば、集中質量５８ｇ、５８ｂは
変化しないためコリオリの力Ｆｃを人力角速度Ωに比例
して変化するものとして得ることができる。

さて以上の動きによフて、振動片５５ａ、５５ｂは上記
コリオリの力Ｆｃにより歪ませられので、この振動片５
５ａ、５５ｂの歪み方向を検知するように予め固着させ
た第３の圧電変換素子５８ａ、５６ｂにより歪みを検知
し、この出力を制御回路Ｕで処理することで入力角速度
Ωの大きさを求めることができる。

上記の第２の圧電変換素子５４ｂ、および第３の圧電変
換素子５６ｇ、５８ｂの端子出力は、各々抵抗５１１，
５１２で接地した後に非反転増幅器５１３５１４に入力
されて増幅検出電圧を発生し、移相回路５１５は非反転
増幅器５１３からの増幅検出電圧に応答して、その位相
を９０°だけ移相した移相電圧を発生するようになって
いる。

この移相回路５１５の役割を以下に述べると、振動機構
５１は、第１の圧電変換素子５４ａに人力される加振信
号により振動するわけであるが、加振信号に対する振動
振幅の最も効率のよいのは振動機構５１の共振周波数で
振動させることである。ところが、共振状態においては
、第１の圧電変換素子５４ａに人力される加振信号に対
して、実際の振動の位相は９０°遅れる。そのため、第
２の圧電変換素子５４ｂを介した非反転増幅器５１３か
らの増幅検出電圧は、圧電変換素子５４ａに対して人力
される加振信号に対し位相が９０”遅れている。そこで
移相回路５１５により位相を９０°進めて加振信号との
位相を揃え、この位相を揃えた信号を第１の圧電変換素
子５４ａに人力していわゆる正帰還回路を構成させ、な
おかつ、入力信号電圧より非反転増幅器５１３の増幅検
出電圧を犬きくして、振動機構５１を振動させるのであ
る。

なお制御回路５３における整流回路５１６は、移相回路
５１５からの移相電圧に応答して移相電圧を整流して整
流電圧を発生する。基準信号回路５１７は、非反転増幅
器５１３からの増幅検出信号を一定にすべく第１の圧電
変換素子５４ａへの加振４３号を制御するための基準電
圧を発生する。

差動増幅器５１８は、上記整流回路５１６からの整流電
圧と基準信号回路５１７からの基準電圧との差を増幅し
た差動増幅電圧を発生する。乗算回路５１９は、移相回
路５１５からの移相電圧に差動増幅器５１８からの差動
増幅電圧を乗じ、この乗算結果を前記第１の圧電変換素
子５４ａへの加振信号に相当する帰還電圧とする。

このようにすることで、振動機構５１は一定の振幅で安
定振動することになる。すなわち前述したように、加振
信号電圧より非反転増幅器５１３の増幅検出電圧を大き
くすると、振動機構５１は振動を始めるが、このままで
は、振動は次第に増大し、最終的には電源電圧で制限を
受けるため、歪んだ波形で不安定な振動となってしまう
。ところが、非反転増幅器５１３からの増幅検出信号を
整流回路５１Ｂで整流し、基準信号回路５１７との差を
帰還内に乗すると、振動が大きくなって整流電圧が増大
し、基準電圧に近づくと乗算回路５１９の乗算結果は小
さくなっていぎ、加振信号電圧と非反転増幅器５Ｈの増
幅電圧の比が小さくなっていく。つまり、正帰還回路の
増幅率が振動振幅と基準信号により制御され、振動機構
５１は一定幅で安定振動を行なうことになるのである。

方、非反転増幅器５１４の出力についてみると、これは
振動周波数成分のみを通過させる帯域通過回路５２０を
介することで、まず、検出目的とする振動周波数に比べ
て極めて低い周波数帯域にある外乱信号（例えは、重力
加速度により振動片５５ａ、５５ｂが歪み、その歪みを
第３の圧電変換素子５６ａ、５５ｂが検知して生ずる加
速度信号）が除去される。そして同期検波回路５２１は
、移相回路５１５からの移相電圧に応答して、この移相
電圧との関連により上記帯域通過回路５２０からの帯域
増幅検出電圧を同期検波し、この同期検波結果を同期検
波電圧として発生する。

第４図（ｂ）は以上のような同期検波の様子を説明する
図であり、この図の実線で示される振動機構５１の振動
５２２に対し、交番速度は１点鎖線５２３て示されるよ
うに、位相が９０°進んでいる。そして上記軸５９回り
の人力角速度Ωがこの系に作用する結果として、第３の
圧電変換素子５６ａ、５６ｂの出力は、同図の２点鎖線
５２４に示されるごとく交番速度と同位相となる。なお
破線は振動機構５１の振動検知を行なう第２の圧電変換
素子５４ｂの出力５２５を示し、この出力５２５を移相
回路５１５て９０′進ませた移相電圧で第３の圧電変換
素子５６ａ、５６ｂの出力５２４を同期検波する。

第４図（ｃ）は、以上によって得られた同期検波電圧を
示しており、この斜線で表わされる面積を平滑回路５２
６で積分することで人力角速度Ωを表わす角速度電圧が
得られる。

［発明が解決しようとする課題］ ところで、以上のような動作を行なう従来の装置は、第
４図（ａ）の振動機構５１に示す如く極めて複雑な形状
をしているため、これを製作酸するための加工時間が長
くなり、防振カメラ等の民生機器としてこれを利用する
場合には量産性に欠りるという難がある他、またその形
状の複雑さのために精度の管理が難かしく、角速度計と
しての性能が製品間でバラツキ易く、全体として安定し
た精度のよい製品を大量に供給することが難かしいとい
う問題もある。

そこでこのような問題に対処するために、例えば第３図
に示すような簡素な形状の角速度計も提案されてきてい
る。

この第３図に示される角速度計は、ねじれ剛性の大きい
金属弾性部材で構成された棒状の支持部材４２の一端（
図では下端）を基台に固着し、他端（図では上端）に振
動機構４１の矩形平板状の振動体を接着してなっている
ものであり、より具体的には、振動機構４１は、圧電変
換素子でバイモルフを形成した短冊状の振動駆動部４４
、およびこの振動駆動部４４０両端部の上に同しく圧電
変換素子でバイモルフを形成した振動片４５ａ、４５ｂ
を接合してなっている。

そしてこの角速度計は、図示されていない発振器からの
一定加撮信号が振動駆動部４４に人力されることて、図
の矢印４７’、４７’の方向に振動を始める。

この振動駆動部４４の振動により振動片４５ａ。

４５ｂは矢印４７．４７の方向に振動し、これに検知対
象である（検知）軸４９回りの人力角速度Ωが作用する
と、振動片４５ａ、４５ｂのもつ交番速度、振動片４５
ａ、４Ｓｂの質量、および検知軸４９回りの人力角速度
Ωの関係でコリオリの力Ｆｃが発生し、これを振動片４
５ａ、４５ｂであるバイモルフが検知し、制御回路にお
いて角速度値を示す信号として検出するものであり、そ
の検出原理は前述の第４図の例と同様である。

しかしながらこのような構成のものでは、振動機構４１
の加工が容易でかつ小型になるという長所は得られるも
のの、以下に示すような二つの問題点が生じてくるとい
う難がある。

その第１の問題点は、振動駆動部４４には、第４図（ａ
）で示した振動駆動部５４に設けられた駆動振動検知用
の第２の圧電変換素子５４ｂが設けられていないため、
振動は発振機からの入力で駆動されるにすぎず、したが
って第４図（８１の制御回路５３のように振動を一定に
する手段もない。そのため、外部環境（温度、湿度、経
年変化等）の変化で振動駆動部４４をなしているバイモ
ルフの特性が変わると、振動の振幅が変化し、振動片４
５ａ、４５ｂの交番速度が変化することになって検出す
る角速度に誤差が生じてしまう。

第２の問題点は、支持部材である弾性部材４２は、振動
駆動部４４に接着されるわけであるが、その接着位置が
常に振動駆動部４４の中心に正確に位置決めで餘るとは
限らず、その位置決め精度の管理が難かしいという問題
があることである。つまり、支持部材の弾性部材４２の
振動駆動部４４への接着位置が破線４２°で示されるよ
うにずれる（オフセット）ことは、現実の組立て加工に
おいてはしはしばあって厳密な意味での位置決め精度管
理を多数の製品においてバラツキなくすることは一般に
困難であるが、この図示４２°のように接着位置がオフ
セットすると、両側の振動片４５ａ、４５ｂの矢印４７
と４７の振動振幅は当然に異なり、その結果振動片４５
ａ、４５ｂの交番速度に違いが生じて正確な角速度の検
出ができなくなってしまう。

以上のような問題があるため、第３図に示した構成の角
速度計では、角速度検知の精度が著しく劣化してしまい
、正確なブレ（振動）検出を行なうことかできない虞れ
が大きいという問題がある。

本発明は以上のような種々の問題点を解決しようとする
ものであり、その目的は、構成が簡単であって、したが
って製作が容易であり、しかも安定した振動を得ること
ができてこれに基づいて高精度の角速度検知が可能な角
速度計を提供するとことにある。

［課題を解決するための手段］ 上記目的を実現するためになされた本発明よりなる角速
度計の特徴は、一方向に長尺でかつこの一方向に対して
垂直方向にたわみ変形が可能な第１の振動体を、その長
尺方向の中央部に連結した支持部材を介して基台に支持
させると共に、該第１の振動体の上記長尺方向の両端側
には、上記垂直方向及び上記一方向に直交する方向の剛
性が低くなるように角速度検知用の第２の振動体を固定
してなる角速度計であって、上記支持部材は、上記第１
の振動体の振動面と平行するように該第１の振動体から
延出形成させた一体部材で形成したという構成をなすと
ころにある。

［作　用］ 本発明によれば、振動駆動部の一部から支持部材を延出
形成させることで、得られる角速度計は、支持部材の振
動駆動部に対する位置決めに関して製品間のバラツキが
なく、検出精度の安定、信頼性が高い。

［実施例］ 第１図は本発明の実施例１を説明するためのものであり
、制御回路については前述第４図で説明した場合と同様
のものでよいため図示を省略し、振動機構１１の部分の
みを図示している。

この第１図において示された例の振動機構１１は、平板
形状をなしていてこの平板面に垂直な方向にたわみ可能
な振動駆動部旦と、角速度を検出する対象の（検知）軸
１１０に沿って配置され、かつ振動駆動部１４の両端部
に、該軸１１０及び上記両端部を結ぶ線に直交する方向
の剛性が弱くなるように配置された振動片１５ａ、１５
ｂとからなり、この振動片１５ａ、１５ｂは第３の圧電
変換素子を形成するようにバイモルフからなる短冊状の
一対のものとして設けられている。

そして上記振動駆動部１４は、一方向に長尺の例えば金
属板製の本体基板１４１　と、その本体基板１４１の片
側面（図では上側面）に固着された振動駆動用の第１の
圧電変換素子１４ａと、本体基板１４１の反対側裏面に
固着された駆動振動検知用の第２の圧電変換素子１４ｂ
とからなり、図示しない制御回路から第１の圧電変換素
子１４ａに加振信号が入力されることにより、振動駆動
部１４およびこれと一体に形成されている振動片１５ａ
、１５ｂを、図の矢印５７の方向に互いに逆向きに振動
させるようになっている。

そして本例におけるこの振動機構１１の特徴は、平板形
状をなしている振動駆動部１４の本体基板１４１の長尺
方向中央部の幅縁部から、該振動駆動部１４と同し平面
内で、その長尺方向とは直角な方向に梁部材＋２ａ、１
２ｂが延出形成されていて、この梁部材１２ａ、１２ｂ
により、レンズ鏡筒等の固定部である基台１２に対して
振動機構１１を支持させているという構成をなしている
ところにある。

本例における振動駆動部１４及び梁部材１２ａ１２ｂは
、上記のように単一の金属板片から略十字形に打出され
た部材を使用して、その一方向に長尺の板体の両側縁か
ら、幅方向の外側に支持用の梁部を延出させたという構
成をなしているため、振動駆動部１４の本体基板１４１
の表裏両面に圧電変換素子を貼着できるという構成上の
利点があり、その本体基板＋４１の表面に貼着した一方
の圧電変換素子　（つまり１４ａ）に上記のように加振
信号を人力させて振動駆動部１４を加振させると共に、
本体基板１４１の裏面に貼着した他方の圧電変換素子　
（つまり１４ｂ）を用いて振動駆動部１４の振動状態を
検出して制御回路による安定振動を実現することができ
るという利点がある。

またこの例におりるように、振動駆動部旦の本体と梁部
材を単一の金属片からプレス等で打出して形成させるこ
とかできるため、前述した第３図の例で問題となってい
るような振動駆動部と支持部材の接着の際の位置決め精
度の管理が不要で、かつ極めて高精度に両者の位置関係
を設定、付与することができ、結果として得られた振動
片＋５ａ、１５ｂの振動がバランスよく振動して、精度
のよい角速度検出を行なうことができるという利点があ
る。

更にまた本例の構成によれば、振動片１５ａ。

１５ｂを圧電変換素子だけからなるバイモルフとして構
成しているため、第５図の従来例で説明されるような、
金属板片に圧電変換素子を接着して振動片を形成させる
という形式に比べて角速度出力を大きくできるという効
果も満足することができる。すなわち圧電変換素子を金
属片に接着させることで振動片を形成させる形式ては、
この金属片のハネ性て、コリオリの力による振動片の歪
を小さくしてしまうことがあるが、本例によればこのよ
うな問題も生じないからである。

また更に、支持機構の梁部材を上記のように金属板片で
形成させた場合には、該梁部材を圧電変換素子への信号
伝達の端子として利用できるという利点もある。

実施例２ 第２図は本発明の実施例２の振動機構Ｕを説明するため
のものである、 本例の構成上の特徴は次の点にある。

すなわち、第一の特徴は、梁部材２２ａ、２２ｂにより
基台２２に支持されている振動駆動部２４の本体基板２
４１を、該梁部材２２ａ、２２ｂと一体の金属板片を用
いて構成させていると共に、その本体基板２４１の表面
に振動駆動用の第１の圧電変換素７−２４　ａを固、ｉ
′ｆシ、また本体基板２４１の裏面に駆動振動検出用の
第２の圧電変換素子２４ｂを固着して振動駆動部を形成
させ、更に振動駆動部２４の端部に、例えば図示したコ
字状の樹脂製のジヨイント２４１ａ、２４１ｂを組付け
て、これにより振動片２５ａ、２５ｂを該振動駆動部Ｕ
に結合一体化させたという構成をなしているところにあ
る。

このようして振動片２５ａ、２５ｂをジヨイント部材を
介して振動駆動部に結合させることににより、実施例１
に比べて振動駆動部Ｕに対する圧電変換素子である振動
片２５ａ、２５ｂの結合をより強固に得ることができ、
また振動駆動部Ｕと振動片２５ａ、２５ｂの間の絶縁信
頼性を向上させることができるという利点がある。

また第二の特徴は、振動片２５ａ　、　２５ｂを振動駆
動部２４の片側のみでなく、表裏両側に対称的に延出さ
せて形成させているという構成をなすところにある。

このようにすると、振動機構２１全体の重心位置を、梁
部材＋２ａ、Ｉ２ｂによる支持位百と実質的に一致させ
ることができ、外乱に対して安定て精度のよい角速度検
出ができるという利点がある。すなわち、振動機構の重
心位置と支持部の支持位置とか一致せずに離れていると
、外部衝撃や振動機構の姿勢変化に伴なう重力加速度の
変動が起こると、支持点回りの偶力を生じ、これが上記
例で言えは梁部材や振動機構の歪を発生させる原因とな
る。その結果、内部を伝搬する振動の振幅や位相が変化
させられて角速度出力の誤差を生み出す原因となるから
である。

なお本例においては、振動片２５ａ、２５ｂの先端に、
樹脂製の固定部材２５２ａ、２５２ｂを介して銅製のｉ
中ｙ量２５１ａ、２５１ｂを組付け、これによりコリオ
リの力を増大させて角速度感度を高く検出できるように
しているという特徴もある。

なおまた本発明は上記に限定されることなく種々の変形
した態様の実施例を構成することは勿論可能である。例
えは上記実施例２における振動片２５ａ、２５ｂに、そ
の振動片の否動作を妨げないように薄い金属薄膜２７ａ
、２７ｂを貼り付けてもよく、これにより比較的衝撃に
もろい圧電変換素子に適度な粘性を付与して、欠は等の
破壊に対する耐久性を付加することも好ましい。

［発明の効果コ 以上説明したように本発明によれば、振動機構を構成す
る振動駆動部の一部を、該振動機構を支持するための支
持部材に利用することで、振動片の振動をバランスよく
与えることができ、したがって検出精度の高い角速度計
を構成することができると共に、上記のように振動駆動
部を形成する部材の一部を支持部材に兼用させるために
その縁部から延出させることで、振動駆動部をなす平板
部材の表裏面を振動駆動用の圧電変換素子の接着面とし
て、あるいは駆動振動検出用の圧電変換素子の接着面と
して利用でき、機構を構成する場合の設計的な拘束が少
ないという利点もある。

また振動駆動部及びこれと一体の支持部材を金属板片に
より一体に構成することによ）て、部品点数が少なく、
組立て工数も低減されて、生産性のよい角速度計を提供
できるという利点もある。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図はそれぞれ本発明の実施例１、実施例
２の角速度計の振動機構を示した斜視図、第３図は比較
例の各速度計の振動機構の斜視図、第４図（ａ）　、　
（ｂ）　、　（ｃ）は従来の各速度計の一例を示すもの
であり、第４図（ａ）は振動機構と制御回路の全体構成
概要を説明するための図、第４図（ｂ）は振動の同期検
波の要旨を説明するための図、第４図（ｃ）は第４図（
ｂ）と関連して同期検波電圧を説明するための図である
。 第５図は本発明の角速度計を適用する装置の一例である
像ふれ防止装置を搭載したカメラの原理的な構成を説明
するための図である。 １１、２１・・・振動機構　　　　１２．２２・・・基
台１２ａ、１２ｂ・・・梁部材　　　　旦、圓・・・振
動駆動部１４１．２４１・・・振動駆動部の本体１４ａ
、ａ・・・第１の圧電変換素子 １４ｂ、ｂ・・・第２の圧電変換素子 １５ａ、１５ｂ、２５ａ、２５ｂ　−−−振動片■・・
・振動機構　　　　　　５２・・・基台５２ａ、５２ｂ
・・・梁部材　　　　５３・・・制御回路５４・・・振
動駆動部　　　　　５５ａ、５５ｂ・・・振動片５［ｉ
ａ、５６ｂ・・・第３の圧電変換素子５７・・・第１の
圧電変換素子 ５８・・・第２の圧電変換素子 他４名 第１図 特開東 １ｂａｂＵ’／　（ｌｊ）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　一方向に長尺でかつこの一方向に対して垂直方向に
   たわみ変形が可能な第１の振動体 を、その長尺方向の中央部に連結した支持部材を介して
   基台に支持させると共に、該第１の振動体の上記長尺方
   向の両端側には、上記垂直方向及び上記一方向と直交す
   る方向の剛性が低くなるように角速度検知用の第２の振
   動体を固定してなる角速度計であって、上記支持部材は
   、上記第１の振動体の振動面と平行するように該第１の
   振動体から延出形成させた一体部材で形成したことを特
   徴とする角速度計。 ２　上記第１の振動体が、金属板材の表裏面に、振動駆
   動用及び駆動振動検出用の圧電変換素子を接着してなっ
   ていて、上記支持部材が金属板材と一体のものであるこ
   とを特徴とする請求項１に記載した角速度計。 ３　上記第２の振動体が、圧電変換素子のみで形成され
   ていることを特徴とする請求項１又は２に記載した角速
   度計。