JPH02163608A - 角速度計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、比較的低い周波数の振動を受ける機器の振動
検出装置として用いられる角速度計に関し、具体的には
、例えばカメラに搭載されて、ＩＨｚないし１２Ｈｚ程
度の周波数の振動（角速度）を検出し、この振動により
生ずる像ふれを防止するために該検出情報を用いて像ぶ
れ防止を図るシステムに好適に用いられる角速度計に関
するものである。

［従来の技術〕 本発明の対象となる従来の技術を、カメラの場合を例に
して以下に説明する。

近時のカメラは、露出決定やピント合わせ等の撮影にと
って重要な作業は、多くの場合自動化されており、カメ
ラ操作に未熟な人でも撮影失敗を起こす可能性は非常に
少なくなっている。また、カメラぶれによる撮影画像の
劣化や撮影の失敗はその自動化が難かしいとされていた
が、最近では、カメラぶれに起因する上記撮影失敗等の
問題を解決したカメラも研究されており、とくに、撮影
者の「手ぶれ」による撮影失敗を防止するための研究お
よび開発が進められている。ここでカメラにおいて問題
となる「手ぶれ」は、周波数として通常１）１Ｚないし
１２Ｈｚ程度の振動である。

カメラシャッタのレリーズ時点においてこのような手ふ
れを起していても、像ぶれのない写真を撮影可能とする
ためには、例えは上記手ぶれによるカメラの振動を検出
し、その検出値に応して、撮影光学系に配置しである補
正レンズを変位させてフィルム上の画像を見掛は上静止
させることで原理的には実現される。

したがって、このようなカメラの手ぶれが生じても像ふ
れを生じない写真の撮影を可能とするためには、まずカ
メラに生じている振動を正確に検出することが必要とな
る。

ここでカメラふれの検出について考えると、これは原理
的にいえば、手ぶれによる角加速度、角速度等を検出す
る振動センサ、およびこのセンサからの信号を電気的に
積分して角変位の信号を出力するカメラぶれ検出システ
ム、をカメラに搭載することによって行なうことができ
る。

以上のような考えに基づき角速度計を用いて構成した像
ぶれ防止システムの一例について、第６図によりその概
要を説明する。

この第６図の例は、同図の矢印６１で示す撮影光軸が生
ずるカメラ縦ぶれ（ピッチング）８１Ｆ　、およびカメ
ラ横ぶれ（ヨーイング）６１ｙを検出して、像面６９で
の画像のブレを防止するようにしたシステムの図である
。

第６図において、６２はレンズ鏡筒、６３Ｐ、６３Ｙは
各々カメラ縦ぶれ角速度、カメラ横ぶれ角速度を検出す
る角速度計で、それぞれの角速度検出方向を６４Ｐ、８
４Ｙて示している。６５Ｐ、６５Ｙは公知のアナログ積
分回路であり、角速度計６３Ｐ５３Ｙからの信号を積分
して手ぶれ角変位信号に変換する。そしてこの角変位信
号により、撮影光学系の一部として配置されているレン
ズ等の補正光学系６６は、上記により検出する振動方向
に各々対応して設けられた駆動部６７Ｐ、６７Ｙにより
図示Ｙ、Ｘ方向に移動される。なお６８Ｐ、６８Ｙは補
正光学系６６の位置検出センサであり、該補正光学系δ
６の位置を検知しながら上記移動を正確に行なわせるよ
うになっている。

以上によって、像面６９での画像は見掛は上静止の状態
に保持される。なお光学的な補正機構自体に機械的積分
作用を持たせることで、上記アナログ積分回路６５Ｐ、
８５Ｙを省くこともできる。

第５図（ａ）は上記のような目的に適した角速度計であ
る振動ジャイロの一例の構造を示している。

この振動ジャイロは、振動機構５１と、この振動機構５
１をレンズ鏡筒等である固定の基台５２に対して梁部材
５２ａを介して固定する支持機構と、振動機構５１に電
気的に接続された制御回路５３により構成される。

この図示例の振動機構５１は、音叉形状の略Ｕ型に形成
された振動駆動部５４と、この振動駆動部５４の音叉形
の各腕先端から延出され、かつ振動面に対して直角方向
の剛性が弱くなるように配置された一対の振動片５５ａ
、５５ｂとを有し、上記振動駆動部５４の片側の腕には
振動駆動用の第１の圧電変換素子５４ａが固着され、ま
た他方の腕には駆動振動検知用の第２の圧電変換素子５
４ｂが固着されていて、制御回路５３から第１の圧電変
換素子５４ａに加振信号が人力されることにより、振動
駆動部５４およびそれと一体に形成された振動片５５ａ
、５５ｂを矢印５７の方向に互いに逆向きに振動させる
ようになっている。なお第２の圧電変換素子５４ｂは上
記のように駆動振動検知用のものであって、この振動駆
動部に発生した振動を検知して制御回路５３へ出力する
。

振動片５５ａ、５５ｂの先端には集中質量５８ａ、５８
ｂが組付けられており、上記振動駆動部５４の振動によ
り与えられる図の符合５７で示す方向の交番速度を持つ
。この状態でいま振動機構５１の軸５９回りに入力角速
度Ωが加わったとすると、集中質量５８ａ、５８ｂ　、
交番速度１人力角速度Ωの積で求まるコリオリの力Ｆｃ
が矢印５１０ａ、　５１０ｂの方向に加わる。矢印５１
０ａ、５１０ｂの方向が互いに逆向きになるのは、一対
の振動片５５ａ、５５ｂは互いに逆向きに振動している
からである。

ここで上記交番速度を、制御回路５３により常に一定振
幅を保つようにしておけば、集中質量５８ａ　５８ｂは
変位しないため、コリオリの力Ｆｃを人力角速度Ωに比
例して変化するものとして得ることができる。

さて以上の動きによフて、振動片５５ａ、５５ｂは上記
コリオリの力Ｆｃにより歪ませられので、この振動片５
５ａ、５５ｂの歪み方向を検知するように予め固着させ
た第３の圧電変換素子５６ａ、５６ｂにより歪みを検知
し、この出力を制御回路５３で処理することで人力角速
度Ωの大きさを求めることができる。

上記の第２の圧電変換素子５４ｂ、および第３の圧電変
換素子５６ａ、５６ｂの端子出力は、各々抵抗５１１，
５１２で接地した後に非反転増幅器５１３゜５１４に入
力されて増幅検出電圧を発生し、移相回路５１５は非反
転増幅器５１３からの増幅検出電圧に応答して、その位
相を９０°だけ移相した移相電圧を発生するようになっ
ている。

この移相回路５１５の役割を以下に述べると、振動機構
Ｕは、第１の圧電変換素子５４ａに人力される加振信号
により振動するわけであるが、加振信号に対する振動振
幅の最も効率のよいのは振動機構５１の共振周波数で振
動させることである。ところが、共振状態においては、
第１の圧電変換素子５４ａに入力される加振信号に対し
て、実際の振動の位相は９０°遅れる。そのため、第２
の圧電変換素子５４ｂを介した非反転増幅器５１３から
の増幅検出電圧は、圧電変換素子５４ａに対して入力さ
れる加振信号に対し位相が９０°遅れている。そこで移
相回路５１５により位相を９０°進めて加振信号との位
相を揃え、この位相を揃えた信号を第１の圧電変換素子
５４ａに入力していわゆる正帰還回路を構成させ、なお
かつ、人力信号電圧より非反転増幅器５１３の増幅検出
電圧を大きくして、振動機構５１を振動させるのである
。

なお制御回路且における整流回路５１６は、移相回路５
１５からの移相電圧に応答して移相電圧を整流して整流
電圧を発生する。基準信号回路５１７は、非反転増幅器
５１３からの増幅検出信号を一定にすべく第１の圧電変
換素子５４８への加振信号を制御するための基準電圧を
発生する。

差動増幅器５１８は、上記整流回路５１６からの整流電
圧と基準信号回路５１７からの基準電圧との差を増幅し
た差動増幅電圧を発生する。乗算回路５１９は、移相回
路５１５からの移相電圧に差動増幅器５１８からの差動
増幅電圧を乗じ、この乗算結果を前記第１の圧電変換素
子５４ａへの加振信号に相当する帰還電圧とする。

このようにすることで、振動機構５１は一定の振幅で安
定振動することになる。すなわち前述したように、加振
信号電圧より非反転増幅器５１３の増幅検出電圧を大き
くすると、振動機構Ｕは振動を始めるが、このままでは
、振動は次第に増大し、最終的には電源電圧で制限を受
けるため、歪んだ波形で不安定な振動となってしまう。

ところが、非反転増幅器５１３からの増幅検出信号を整
流回路５１６で整流し、基準信号回路５１７　との差を
帰還内に乗すると、振動が大きくなって整流電圧が増大
し、基準電圧に近づくと乗算回路５１９の乗算結果は小
さくなっていき、加振信号電圧と非反転増幅器５１３の
増幅電圧の比が小さくなっていく。つまり、正帰還回路
の増幅率が振動振幅と基準信号により制御され、振動機
構５１は一定幅で安定振動を行なうことになるのである
。

一方、非反転増幅器５１４の出力についてみると、これ
は振動周波数成分のみを通過させる帯域通過回路５２０
を介することで、まず、検出目的とする振動周波数に比
べて極めて低い周波数帯域にある外乱信号（例えば、重
力加速度により振動片５５ａ、５５ｂが歪み、その歪み
を第３の圧電変換素子５６ａ、５６ｂが検知して生ずる
加速度信号）が除去される。そして同期検波回路５２１
は、移相回路５１５からの移相電圧に応答して、この移
相電圧との関連により、上記帯域通過回路５２０からの
帯域増幅検出電圧を同期検波し、この同期検波結果を同
期検波電圧として発生する。

第５図（ｂ）は以上のような同期検波の様子を説明する
図であり、この図の実線で示される振動機構５１の振動
５２２に対し、交番速度は１点鎖線５２３て示されるよ
うに、位相が９０″進んでいる。そして上記検知軸５９
回りの人力角速度Ωがこの系に作用する結果として、第
３の圧電変換素子５６ａ、５５ｂの出力は、同図の２点
鎖線５２４に示されるごとく交番速度と同位相となる。

なお破線は振動機構５１の振動検知を行なう第２の圧電
変換素子５４ｂの出力５２５を示し、この出力５２５を
移相回路５１５て９０°進ませた移相電圧で第３の圧電
変換素子５８ａ、５６ｂの出力５２４を同期検波する。

第５図（Ｃ）は、以上によって得られた同期検波電圧を
示しており、この斜線で表わされる面積を平滑回路５２
６で積分することで入力角速度Ωを表わす角速度電圧が
得られる。

［発明が解決しようとするｉ！！！題］ところで、以上
のような動作を行なう従来の装置は、第５図（ａ）の振
動機構５１に示す如く極めて複雑な形状をしているため
、これを製作するための加工時間が長くなり、当初の目
的である防振カメラ等の民生機器としての量産性に欠け
るという難がある他、またその形状の複雑さのために、
精度の管理が難かしく、角速度計としての性能が製品間
でバラツキ易く、全体として安定した精度のよい製品を
大量に供給することが難かしいという問題もある。

そこでこのような問題に対処するために、第４図に示す
ような簡素な形状の角速度計も提案されてきている。

この第４図に示される角速度計は、金属弾性部材で形成
された支持部材４２の上端（図の上端）に振動機構４１
を接着してなっているもので、より具体的には、振動機
構４１は、圧電変換素子でバイモルフを構成しているた
わみ可能な短冊状の振動駆動部４４、およびこの振動駆
動部４４の長尺方向の両端部上に、同じく圧電変換素子
でバイモルフを構成した一対の振動片４５ａ４５ｂを接
合してなっている。

そしてこの角速度計番よ、図示していない発振器からの
加振信号を振動駆動部４４に入力することで、図の矢印
４７’　、４７”の方向にたわみ振動を始める。

この振動駆動部４４の振動により振動片４５ａ４５ｂは
矢印４７．４７の方向に振動し、これに軸４９回りの入
力角速度Ωが作用すると、振動片４５ａ。

４５ｂのもつ交番速度、振動片４５ａ、４５ｂの質量、
および検知軸回りの人力角速度Ωの関係でコリオリの力
Ｆｃが発生する。これを振動片４５ａ４５ｂであるバイ
モルフが検知して制御回路において角速度値を示す信号
として検出することは前述の第５図の従来例と同様であ
る。

しかしながらこのような構成では、振動機構４１の加工
が容易でかつ小型になるという長所は得られるものの、
以下に示すような二つの問題点か生じてくるという難が
ある。

その第１の問題点は、振動駆動部４４には、第５図（ａ
）で示した振動駆動部５４における駈動振動検知用の第
２の圧電変換素子５４ｂが設けられていないため、振動
は発振器からの人力で駆動されるにすぎず、第５図（ａ
）の制御回路５３のように振動を一定にする手段もない
。そのため。

外部環境（温度、湿度、経年変化等）の変化でバイモル
フの特性が変わると、振動の振幅が変化し、振動片４５
ａ、４５ｂの交番速度が変化することになって検出する
角速度に誤差が生じてしまう。

第２の問題点は、支持部材４２は、振動駆動部４４に接
着されるわけであるが、常に振動駆動部４４の中心に接
着されるとは限らないという問題があることである。す
なわち支持部材４２の振動駆動部４４への接着位置が、
図の破線４２”で示しているように接着位置がずれる（
オフセット）場合があり、厳密な意味で中心に精度よく
一致した接着状態多数の製品でバラツキなく管理するこ
とは一般に困難である。モしてこように接着位置がオフ
セットすると、矢印４７“、４７゛の振動振幅は当然に
異なり、その結果一対の振動片４５ａ、４５ｂの交番速
度に違いが生じて正確な角速度の検出ができなくなって
しまう。

以上のような問題があるため、第４図に示した構成の角
速度計では、角速度検知の精度が著しく劣化してしまい
、正確なブレ（振動）検出を行なうことができない虞れ
が大きいという問題がある。

本発明は以上のような種々の問題点を解決しようとする
ものであり、その目的は、構成が簡単であって、したが
って製作が容易であり、しかも安定した振動を得ること
ができてこれに基づいて構成環の角速度検知が可能な角
速度計を提供するとことにある。

［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するためになされた本発明よりなる角速
度計の特徴は、一方向に長尺でかつ該一方向に対して垂
直方向にたわみ変形可能に設けられると共に、下記の圧
電変換素子の加振により振動する振動駆動部をなす第１
の基体と、この第１の基体の両端側夫々から上記垂直方
向に一対に延出され、かつ上記長尺方向及び垂直方向に
対して直角な第２の方向の剛性が低くなるように配置さ
れた第２の基体と、上記第１の基体の中央部側縁から該
第２の方向に延出されてこれら第１及び第２の基体を固
定基台に支持させる支持体とを備え、上記第１の基体に
はたわみ変形を生じさせる振動駆動用の第１の圧電変換
素子及び駆動振動検出用の第２の圧電変換素子を組付け
て、振動駆動部を構成させ、更に上記第２の基体には上
記第２の方向に発生した該第２の基体の変形を検出する
ための第３の圧電変換素子を組付けて、人力角速度Ωの
検出用の振動片を構成させたという構成をなすところに
ある。

上記構成において、上記第１の基体と支持体、あるいは
更にこれに第２の基体は、一体成形量として形成するこ
とが好ましい態様として例示される。これらの基体は一
般的には金属製の板体を打抜きして形成されるか、ある
いは切削により削り出しして形成されるが、別体に成形
したものをハンダ付は等で一体化させたものであっても
よい。また上記第２の基体は、第１の基体の一部を、折
り曲げしあるいはねじり加工して形成したものを好まし
い態様の構成として例示することができる。

また上記第１の基体及び第２の基体から構成される振動
機構は、第２の基体を第１の基体から上記垂直方向の片
側に延設させた形式とする七本＝簗１他、第１の基体か
ら垂直方向の両側に延設させて全体としてＨ型をなすよ
うに形成させた形式のものであってもよい。

［作　用コ 本発明によれば、第１の基体に振動駆動用の第１の圧電
変換素子を組付けると共に、発生された駆動振動検出用
の第２の圧電変換素子を組付けることで、発生した振動
を検出しながら振動駆動部したがって振動片を安定に振
動させることができ、更に支持体と振動駆動部の第１の
基体、更には第２の基体を一体成形品とすることで支持
体等の高い位置精度を満足させて、高精度な人力角速度
Ωの検出が可能となる。

［実施例］ 第１図は本発明の実施例１を説明するための図であり、
制御回路などの図示は省略して振動機構１１の部分みを
図示している。

この第１図において、振動機構１１はその基体構造とし
て、振動駆動部用の基板としての第１の基体である振動
駆動部１４と、振動片用の基板としての一対のＮ２の基
体である振動片１５ａ。

１５ｂとを、リン青銅棒から一体削り出しにより一体成
形されたものとして有している。

上記の振動駆動部１４は矩形平板形状をなしていて、そ
の板面の片側表面の両端側から、振動駆動部１４の板面
に垂直な方向に、検知軸１９回りの剛性が低くなる姿勢
で上記振動片１５ａ、１５ｂが図示の如く設けられてい
る。

また振動駆動部１４の長尺方向の中央部両側縁からは、
細い幅の支持梁１２ａ、１２ｂが延出形成されていて、
基台１２に連結固定されている。この基台１２はカメラ
のレンズ鏡筒等の固定部に当るものである。

以上の基台に支持された基体構造の構成により、振動駆
動部１４はその両端部が矩形平板面の垂直な方向に関し
て易たわみ変形性を有すると共に、振動片１５ａ、１５
ｂは軸１９回りの剛性が低いという構造的な特徴を有す
ることになる。そして上記振動駆動部１４の表面には、
該振動駆動部１４にたわみ変形の振動を与えるための振
動駆動用の第１の圧電変換素子１４ａ＃＜接着され、裏
面には、発生する駆動振動検出用の第２の圧電変換素子
１４ｂ（ただし図−４二においては振動駆動部の裏側に
なるので図示されていない）が接着されていて、これら
が前述した第５図の制御回路に電気的に接続されること
で、振動駆動部を安定した振動状態に維持させる。

また振動片１５ａｊ５ｂには図示の如く第３の圧電変換
素子１５ａ、１６ｂを接着して、コリオリの力により発
生ずるこの振動片＋５ａ、１．５ｂの歪を検出できるよ
うにしている。

以上のように、本例においては、振動駆動部１４から支
持梁１２ａ、１２ｂを同一平面上で延出形成させている
ことで、振動駆動部１４の裏面に、発生する駆動振動検
出用の′！Ｊ２の圧電変換素子１４ｂを設けることが可
能であり、図示のようなＭＡな構造の振動機構１１にお
いても、この第２の圧電変換素子１４ｂで検出した振動
に基づいて、該振動駆動部の安定した振動を確保するこ
とができるという利点がある。

また本例においては、振動駆動部】４と支持梁１２ａ、
１２ｂを同一の部材により形成させているため、これら
の位置精度は極めて高く得ることができ、これらの位置
精度の狂いによる振動のアンバランスや入力角速度の出
力精度の低下という問題がないという効果があり、更に
接着等により支持梁を振動駆動部に固着する場合に比べ
て高い支持剛性を得ることができるので、振動機構貝を
確実に支持することができ、外部からの衝撃にも強い信
頼性の高い角速度形を得ることができるという効果もあ
る。

なお上記構成においては、振動駆動部１４と振動片の基
体を単一の棒状材料から削り出しにより形成させた例と
しているが、これは別部材で各別に作製したものを、ハ
ンダ付は等の手段で接合させた形式のものであってもよ
く、この場合には削り出し加工に比べて加工工作の手間
が簡単であるという利点もある。

第２図（ａ）〜（ｄ）は本発明の実施例２を説明するた
めのものであり、これらの図で示される例は、振動駆動
部１４の基板を構成している基体と、振動片１５ａ、Ｉ
５ｂの基板を構成している基体とを、−枚の例えば金属
板材を折り曲げ、又はわん曲して基体構造を形成させた
ものを示している。その構成は上記実施例１と実質的に
同様のものであり、したがって説明の便宜上同一の部材
については実施例１と同一の符合を付してその説明は省
略した。

上記第２図（ａ）〜（ｄ）の各側は、振動駆動部１４と
振動片１５ａ、１５ｂの連結の関係が異なる他は実施例
１と同様のものであるが、特に第２図（ｃ）　、　（ｃ
ｌ）の例については、一対の振動片１５ａ１５ｂの振動
面が同一の平面上に位置するように工夫された構造を有
するため、振動面が一致しない場合に考えられる検知軸
１９回りの偶力がなく、しかもこの一致した振動面は、
支持梁１２ａ１２ｂの延長軸に直交する軸２２を含むよ
うに設定することができるので、振動振動による軸２２
回りの偶力の発生も抑制した振動を行なわせることがで
き、結果として安定した振動を確保することができると
いう効果がある。

また更に、上記した折り曲げやわん曲の加工はプレス加
工法により簡単かつ迅速に行なうことができて、生産性
が高くかつ位置精度の高い角速度計を作製できるという
利点もある。

第３図は本発明の実施例３を説明するためのものであり
、共通部材については実施例１の符号に２０を加えて付
した。このうちの第３図（ａ）は実施例１の振動機構１
】における振動片３５ａ３５ｂに対して、振動駆動部３
４を挾んで反対側（図の下側）に対称形の振動片３５ｃ
、３Ｓｄを形成サセて、振動機構３１を全体としてＨ型
に構成させた例を示している。振動片３５ｃ、３５ｄに
は第３の圧電変換素子３ｆｉａ、３６ｂと対称に第３の
圧電変換素子３６ｃ、３６ｄを接着しており、その他の
構成は実施例１と同様のものである。

また第３図（ｂ）の例は、実施例２の第２図（Ｃ）に示
した構造について、上記第３図（ａ）の例の場合と同様
に振動駆動部３４を挾んで反対側に対称形の振動片３５
ｃ、３５ｄを形成させた場合の例を示し、また本例では
更に、図の点描で示しているように基体の折り曲げ部に
接着剤を装着することで該折り曲げ部の加工後の剛性を
向上させるように構成している。その他の構成は実施例
２と実質的に同様である。

以上のように振動機構３１をＨ型に構成させることによ
り、本例では上記実施例１．２で説明した効果があるこ
とに加えて、更に以下に述べるような利点がる。

すなわち、単純には入力角速度Ωの検知用圧電変換素子
が２倍になることで出力精度を高めることができる利点
がある他、これだけでなく、振動機構３１がＨ型で上下
、左右について対称形となるため、支持梁１２ａ、１２
ｂによる支持点と振動機構其の重心位置を一致させるこ
とができ、これによって、外部からの衝撃力や、重力に
よる偶力の発生がない安定した入力角速度Ωの検知が可
能となる。特にこの偶力の発生に伴なう内部応力の変化
や歪は、機構を伝搬する振動に敏感に影響してその振幅
や位相を変化させてしまうため、これによる影響がない
ように工夫された本例の構造による効果は大きなものが
ある。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明の構成を有する角速度計によ
れば、振動を安定に保つための駆動振動検知用の圧電変
換素子を振動駆動部に組付けることを可能とする構造を
、簡単な構造でかつ生産性に優れた構成のものとして提
供することができ、機構各部の位置精度が高く、安定し
た振動を得ることができるという利点がある。

また振動駆動部、支持体、更に必要に応じて振動片を一
体化した成形品として構成することができるため、各部
の結合剛性が外部からの衝撃等に対して高く信頼性を確
保することに適し、しかも製品間のバラツキのない量産
向きの角速度計を提供ができるという利点もある。

また更に、振動機構を全体としてＨ型に構成させた場合
にも、本例の基体構造を有する振動機構によれば、Ｈ型
の特徴を確保しつつその基体構造の各部の位置精度を高
く確保することができ、また外部の衝撃等に対する剛性
も高く確保できるという利点がある。

【図面の簡単な説明】 第１図は本発明の実施例１の角速度計を説明するための
振動機構の斜視図、第２図（ａ）〜（ｄ）はそれぞれ実
施例１と同様に実施例２の角速度計を説明するための振
動機構の斜視図、第３図（ａ）　、　（ｂ）はそれぞれ
実施例１と同様に実施例２の角速度計を説明するための
振動機構の斜視図である。 第４図は従来の角速度計の振動機構の例を示す斜視図、
第５図（ａ）　、　（ｂ）　、　（ｃ）は他の従来例の
角速度計を説明するための図、第６図は角速度計を適用
するカメラの像ふれ防止システムの概要を説明するため
の図である。 １１、３１・・・振動機構　　　１２．３２・・・基台
１２ａ、１２ｂ・・・支持梁　　　１４．３４・・・振
動駆動部１５ａ、１５ｂ、３５ａ、３５ｂ　−振動片１
［１ａ、１６ｂ、３８ａ、３６ｂ　−第３の圧電変換素
子１９．３９・・・検知軸　　　　５１・・・振動機構
５２・・・基台　　　　　　　５２ａ、５２ｂ・・・支
持梁５４・・・振動駆動部　　　　５５ａ、５５ｂ・・
・振動片５６ａ、５６ｂ・・・第３の圧電変換素子５９
・・・検知軸 ３５ｃ 第３図 （ｂ）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　一方向に長尺でかつ該一方向に対して垂直方向にた
   わみ変形可能な第１の基体と、この第１の基体の両端側
   夫々から上記垂直方向に一対に延出され、かつ上記長尺
   方向及び 垂直方向に対して直角な第２の方向の剛性が低くなるよ
   うに配置された第２の基体と、上記第１の基体の中央部
   側縁から該第２の方向に延出されてこれら第１及び第２
   の基体を固定基台に支持させる支持体とを備え、上記第
   １の基体に、上記たわみ変形を生じさせる振動駆動用の
   圧電変換素子、及びこれにより発生したたわみ変形を検
   出するための圧電変換素子を組付け、更に上記第２の基
   体には、上記第２の方向に発生した該第２の基体の変形
   を検出するための圧電変換素子を組付けたことを特徴と
   する角速度計。 ２　上記第１の基体と支持体を一体成形品としたことを
   特徴とする請求項１に記載した角速度計。 ３　上記第１の基体、第２の基体及び支持体の三つを、
   一体成形品としたことを特徴とする請求項１に記載した
   角速度計。 ４　上記第１の基体に対して、第２の基体が折り曲げ又
   はねじり加工により形成されたものであることを特徴と
   する請求項３に記載した角速度計。 ５　上記第２の基体が第１の基体から上記垂直方向の両
   側に延設されて、これら第１の基体及び第２の基体が全
   体としてＨ型をなすことを特徴とする請求項１ないし４
   のいずれかに記載した角速度計。