JPH02164021A - 角型半導体基板の固定治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、角型半導体基板にホトレジストを塗布する場
合に使用する半導体基板の固定治具に関する。

〔従来の技術〕

従来、角型半導体基板（以下、角型基板と略す）にホト
レジスト塗布膜を形成する場合には、例えば、第３図に
示すように、角型基板１を塗布機（図示せず）や現像機
（図示せず）の真空回転チャック２で吸着固定して、２
０００ｒｐｍ〜６０００　ｒｐｍの高速で図中矢印ｎ方
向に回転させて、上部よりホトレジストを滴下してホト
レジスト塗布膜３を形成している。

〔発明が解決しようとする課題〕

角型基板にホトレジスト塗布膜を形成する上記の場合は
、真空回転チャックに、直接角型基板を吸着固定して、
ホトレジスト塗布膜を形成していたので、ホトレジスト
が基板周縁にたれる。そのため、ホトレジストａ布膜の
膜厚が非常にばらつくと同時に、角型基板の裏面にもホ
トレジストが廻り込み、角型基板の裏面に凹凸ができて
平坦でなくなり、次の百合露光工程で極端な場合は真空
吸着ができないし、それでなくても微細パターンの形成
ができなくなる欠点があった。

また、角型基板の周辺に、直接値の工具が接触するため
、キズがつきやすいという欠点があった・ 本発明の目的は上記の課題に鑑み、角型基板の裏面にホ
トレジストが廻り込まないような固定治具を提供するこ
とにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、角型の半導体基板を中央に配置固定し、周縁
にオリエンテーションフラットを設けた半導体基板固定
治具である。この固定治具は、前記半導体基板を収納す
る角型溝もしくは前記半導体基板の周縁に接触する複数
個の位置決めピンによる半導体基板配置手段と、前記手
段により配置される半導体基板を裏面から真空吸引する
ことを可能とする吸着用穴とを備えている。

〔作用〕

角型溝もしくは突出ビンによって、角型基板の配置位置
を定め、その裏面から真空吸着することで配置固定でさ
る。治具は角型基板より面積が大きく、真空回転チャッ
クで吸着固定したとき、角型基板の裏面は固定治具に密
着する。

したがって、この状態でホトレジストを回転塗布した場
合に、ホトレジストが角型基板の裏面に廻りこむことが
ない。

〔実施例〕

以下１本発明の第１実施例を第１図（ａ）〜第１図（Ｃ
）を参照して説明する。

第１図（ａ）は、本発明の第１実施例の角型基板の固定
治具の縦断面図で、同図（ｂ）はその平面図、同図（Ｃ
）はホトレジスト塗布膜形成工程の縦断面図である。

図において、４は固定治具で１石英製であって、例えば
厚さは角型基板ｌの基板厚よりも厚く、直径５０ｍｍの
円形状に形成して、そのほぼ中央部分に角型基板ｌの膜
厚と同じ深さで、かつ角型基板１の大きさより縦横的１
ｍｍ程度大きくした基板収納溝５が形成されている。

この基板収納溝５のほぼ中央部分には、固定治具４を貫
通して、真空回転チャック２により吸着できるように、
例えば直径１層ｍ８！度の吸着用穴６を複数個形成しで
ある。

また、固定治具４には、基板収納溝５の一辺と平行にな
るように、円形状の一部を切り欠いたオリエンテーショ
ンフラット７が形成されている。

次に、以上のように構成された実施例の動作説明を行う
。

第１図（Ｃ）に示すように、真空回転チャック２上に固
定治具４を配置して、真空回転チャック２内の真空系統
を減圧すると、固定治具４が吸引固定される。また、こ
のとき基板収納溝５内の吸着用穴６より角型基板１も吸
引されて、吸着固定される。そして、この真空回転チャ
ック２を２００　Ｏｒｐｍ　〜６０００ｒｐｍの高速で
図中矢印立方向に回転させながら、上部よりホトレジス
トを滴下して、ホトレジスト塗布膜３を形成する。ホト
レジスト塗布膜３の形成が終了した後に、真空回転チャ
ック２内の真空系統の減圧を停止して、固定治具４に角
型基板ｌを保持したまま現像を経て、露光工程にまわせ
ば、オリエンテーションフラット７を利用して正しい位
置に設定できる。

次に第２実施例につき説明する。第１実施例とは異なり
基板収納溝５を形成しないで、３個の位置決めピン８を
形成して、この位置決めピン８に角型基板１の互いに直
角な隣接辺が接触して配置がきまるようにしている。角
型基板ｌが割れたりして変形した場合でも角型基板の固
定治具４に固定できるようにしている０図において、位
置決めピン８の２個はオリエンテーシ、ンフラット７に
平行になるようにしである。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明の角型基板固定治具は、基
板収納溝もしくは位置決めピンにより基板配置手段と、
配置される角型基板のほぼ中央部位に吸着用穴を有し、
裏面から真空吸引し、真空回転チャックで回転しながら
ホトレジストを滴下して塗布できるようにしたものであ
る。角型基板の裏面にはホトレジストが廻り込まなくな
り、裏面の凹凸がなくなるので、次の工程での吸着固定
が確実となり、微細パターンの形成ができる。また、角
型基板の周辺が直接に他の工具と接触することがなく側
面にキズがつかなくなる。

ホトレジス）！血抜には、表面のホトレジスト塗布膜に
より、角型基板は固定治具に充分に固定されているので
、次工程に移る場合に、ワックス等で角型基板の裏面を
溶着する必要はない、なお、角型基板を固定治具からと
りはずすときにも、有機薬品につけることで、ホトレジ
ストが除去され、簡単にとりはずしかできる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）は本発明の第１実施例の角型基板の固定治
具の縦断面図、第１図（ｂ）はその平面図、第１図（Ｃ
）はホトレジスト塗布膜形成工程の縦断面図、第２図（
＆）は本発明の第２実施例の角型固定治具の縦断面図、
第２図（ｂ）はその平面図、第２図（Ｃ）はホトレジス
ト塗布膜形成工程の縦断面図、第３図ｔ±従来の角型基
板のホトレジスト塗布膜形成工程の縦断面図である。 １・・・角型基板、 ２・・・真空回転チャック、 ３・・・ホトレジスト塗布膜、 ４・・・固定治具、 ５・・・基板収納溝、 ６・・・吸着用穴、 ７・・・オリエンテーションフラット。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 角型の半導体基板を中央に配置固定し、周縁にオリエン
   テーションフラットを設けた半導体基板固定治具であっ
   て、前記半導体基板を収納する角型溝もしくは前記半導
   体基板の周縁に接触する複数個の位置決めピンによる半
   導体基板配置手段と、前記手段により配置される半導体
   基板を裏面から真空吸引することを可能とする吸着用穴
   とを備えたことを特徴とする半導体基板固定治具。