JPH0216413Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は磁気ヘツド組立体の基準面に対する磁
気ヘツドの取付角度を高精度且つ容易に検査する
ことのできる磁気ヘツド取付角度検査装置に関す
るものである。

高精度の組立体精度、特に角度精度を要求され
る例として、２ヘツドヘリカルスキヤン型VTR
に用いられるビデオヘツドのシリンダアセンブル
体について述べると、ビデオヘツドの作動ギヤツ
プのアジマス精度はヘツド出力がアジマス損失に
より低下するのを防ぐ目的で家庭用VTRの場合
±10′程度の精度に押えているのが実状である。
この精度は特に機器間で互換再生する場合の画質
の劣下度合と密接に関係しており、この精度が保
証されていないと機器間で画像のダビングを行な
う場合の画質を保証することができなくなる。特
に放送用VTRに用いる画像収録装置の場合には、
高い解像度を要求されることから記録周波数範囲
が広く、より高周波域の信号を記録せねばなら
ず、アジマス損もこれに応じて増大し、機器間の
互換性についてもダビング編集を前程として高品
質の画像を保証せねばならない。従つて磁気ヘツ
ド組立体のアジマス精度はより高精度を要求さ
れ、例えば7.5MHzの高周波信号を相対速度
5.6m／ｓで記録し、記録トラツク幅を175μmと
した場合、一回の記録再生でアジマス損による再
生出力信号の低下を1dB以下に押えるには約±
1.5′のアジマス精度を要する。

第１図はヘリカルスキヤン型VTRに用いるビ
デオヘツドの外観を示しており、磁気テープ摺動
面１に作動ギヤツプ２を有し、ヘツドチツプの側
面３に巻線用窓４〔巻線は図示せず〕を有するビ
デオヘツドコアがベース５に装着されている。第
２図はこのビデオヘツドを回転シリンダに取り付
けたシリンダアセンブル体を示しており、シリン
ダ６のヘツドベース取付面７にビデオヘツドのベ
ース５をビス８で固定しており、ビデオヘツドの
磁気テープ摺動面１に現われている作動ギヤツプ
２はシリンダ６の取付基準面９に対して所定の角
度（アジマス角）に組立てられていなければなら
ない。家庭用VTR等の量産品の場合にはこの精
度は、 １ ビデオヘツドチツプのギヤツプ２とヘツドチ
ツプの側面３の直角度、 ２ ビデオヘツドコアのベース５への接着の精
度、 ３ シリンダ６のヘツドベース取付面７とシリン
ダ取付基準面９の平行度をそれぞれ管理するこ
とにより±10′程度の公差内に治めることがで
きる。これに対して放送用の画像収録用VTR
の場合には、ヘツドベース５をシリンダ６のベ
ース取付面７に対して取り付ける際に、例えば
この介面にスペーサを挾んで取り付ける等の取
付調整を行なう。

このようなシリンダ組立体のアジマス角の従来
の測定法について述べると、シリンダ６を連動方
向の直角度の保証されたXYテーブルに固定し、
シリンダ６の取付基準面９がXYテーブルの一方
の移動方向と平行となるよう調整し、顕微鏡視野
に磁気ヘツドのギヤツプ２が観察されるよう焦点
を合せ、上記移動方向と直角をなすもう一方の移
動方向にXYテーブルを移動し、このときに顕微
鏡視野目盛線を基準としてギヤツプ線の両端のず
れ量を測定することによりアジマス角測定を行な
うことができる。しかるにこの方法では、例えば
トラツク幅が175μmのとき、そのギヤツプ線の両
端におけるずれ量が0.5μmとすると、アジマス誤
差が約10′であり、このオーダのアジマス誤差測
定が限界である。

本考案は前述の如く、従来法では測定不可能な
微小な角度誤差を容易に検出し得る磁気ヘツド取
付角度検査装置を提供するものである。一般に切
断加工等の機械加工により、物体の直角度を高精
度に加工することは比較的容易である。これは加
工物を搭載する工作テーブルの運動の直線性を保
証し、２軸の移動方向の直角度を調整した上で加
工物の基準となる稜線又は磁気ヘツドの場合はギ
ヤツプ形成されたバーのギヤツプ線を一方のテー
ブル移動方向と平行となるよう調整した後、これ
と直角の方向にテーブルを移動して切断ホイール
にて切断することにより、高精度の直角度を有す
る加工物の加工が可能であるからである。例えば
テーブルの運動の直線性を1μm／100mm、直角度
を1μm／100mmに調整すれば、工作機械テーブル
の運動方向の直角度は2″程度あり、加工物として
25mmの長さの磁気ヘツドバーを1μm／25mmの平行
調整を行なつて取り付けて切断した場合の角度精
度は10″程度となり、かなりの高精度で加工する
ことができる。従つて第２図に示したシリンダ組
立体における磁気ヘツドのアジマス精度は、ヘツ
ドチツプのギヤツプ２とチツプ側面３の直角度精
度が上記の如く保証されている場合にはシリンダ
の取付基準面９と磁気ヘツドチツプ側面３の平行
度をある許容限度内に治めることにより保証する
ことができる。

本考案は斯かる点に鑑み為されたものであつ
て、単色光源からの光線がビームスプリツタによ
り二分され、磁気ヘツドチツプ側面に照射後得ら
れた第１の光線および参照ミラーに照射後得られ
た第２の光線の２光線の干渉により前記磁気ヘツ
ドチツプのヘツドギヤツプと一定角度関係を有す
るチツプ側面像と前記参照ミラーを水準とする干
渉縞とを接眼レンズに結像する干渉光学系を内蔵
する干渉顕微鏡鏡筒と、前記参照ミラーの固定角
度調整を行う参照ミラー調整手段と、前記鏡筒を
基台上に取付られたコラムと前記干渉光学系の焦
点合わせ方向に平行移動可能に離間した複数箇所
で結合する複数個の平行保持手段と、前記鏡筒を
前記焦点合わせ方向に移動させる移動手段と、前
記磁気ヘツドチツプが取付けられたシリンダ組立
体の取付基準面を前記コラム上に一定姿勢で保持
する保持手段とを備えたものである。以下本考案
を実施の一例を示す図面に基づいて説明する。第
３図，第４図は本考案装置の全体を示し、第５図
は本考案に使用する干渉顕微鏡の測定原理を示
す。第５図において先ず磁気ヘツドチツプ１０の
取り付けられたシリンダ６を取付基準面９を介し
てシリンダ取付台座２６に搭載固定し、チツプ側
面３を光学系で干渉観察する。単色光１１はコリ
メータレンズ１２を通つてビームスプリツタ１３
で２分され、一方は磁気ヘツドチツプ側面３を照
射後再びビームスプリツタ１３に戻り対物レンズ
１４、接眼レンズ１５を通過し、他方には参照ミ
ラー１６に照射後戻つて同じく対物レンズ１４、
接眼レンズ１５を通過する。この２光線の干渉に
より観察視野には磁気ヘツドチツプ１０の像とと
もに参照ミラー１６を水準とする等高線を表わす
干渉縞が観察される。従つてシリンダ６の取付基
準面９と磁気ヘツドチツプ側面３の平行度の保証
された校正用のシリンダ組立体により上記光学系
を調整した後、被検査シリンダ組立体を上記光学
系で観察し、観察される干渉縞の移動量によりシ
リンダ組立体の取付基準面９と磁気ヘツドチツプ
側面３の平行度を測定することができる。単色光
源としてナトリウムランプを用いた場合、干渉縞
間の高低差は約0.3μmであり、磁気ヘツドチツプ
の幅が３mmのとき、１縞当り約20″の角度判定が
できる。

このように高分解能の角度判定ができる干渉縞
を用いる方法も、これを実際の検査装置として精
度保証された検査装置を構成するには顕微鏡焦点
合せの移動機構の運動精度を押える必要がある。

本考案は特にこの焦点合せ機構に工夫を加えた
ものである。第３図及び第４図に示す本考案の検
査装置においては、第５図に示す干渉光学系のう
ちコリメータレンズ１２、ビームスプリツタ１
３、対物レンズ１４および参照ミラー１６を一組
にまとめてなる干渉対物レンズ装置１７及び接眼
レンズ１５が鏡筒１９に取り付けられており、基
台２０及び２０上に取り付けられたコラム２２と
前記鏡筒１９は平行ばねを構成する板ばね２３及
び２４により互いに鉛直方向に平行に結合されて
いる。焦点合せのための鏡筒１９の移動は基台２
１に取り付けた運動ねじ付きホイール２５を回転
させ鏡筒１９の下端を押し上げることにより行な
う。前記一対の板ばね２３及び２４の間の距離は
十分離れており、鏡筒１９の移動はコラム２２に
対して理想的な平行運動となり、前述の干渉縞測
定による高分解能の角度判定に対して顕微鏡焦点
合せによる角度誤差がはいることはない。

次に実際の測定作業手順に従つて動作を説明す
ると、先ずシリンダの取付基準面９と磁気ヘツド
チツプ１０の側面の平行度の保証された校正用の
シリンダ組立体６′をシリンダ取付台座２６に搭
載し、シリンダの取付基準面９を取付台座２６の
基準面に密着させる。次に焦点合せ用のホイール
２５により鏡筒１９を上下させることによつて顕
微鏡視野に磁気ヘツドチツプ１０の側面の像が合
うように調節する。この状態で、参照ミラー調整
用つまみ２７により参照ミラー１６の角度を調整
して顕微鏡視野内の磁気ヘツドチツプ１０の側面
に現われる干渉縞が均一に広がるように調整す
る。次に被測定物のシリンダ組立体６′をシリン
ダ取付台座２６に搭載し、シリンダの取付基準面
９が取付台座２６の基準面に密着するようにす
る。この状態で焦点合せ用のホイール２５により
鏡筒１９を上下させ、顕微鏡視野内に被測定磁気
ヘツドチツプ１０の側面の焦点が合うように調節
し、その側面に現われる干渉縞を観察する。この
状態で観察される干渉縞は前述の校正用シリンダ
組立体の磁気ヘツドチツプの取付姿勢を基準とし
てそれからの取付角度誤差を表わしており、磁気
ヘツド取付角度誤差を干渉縞単位の高精度で検出
することが可能である。

本考案は以上述べたように実施し得るものであ
つて、上記の一連の操作において、焦点合せのた
めの鏡筒の動きによつて干渉縞の基準となる干渉
光学系の姿勢が傾くようなことがあると高精度、
高信頼性の測定が不可能であるが、本考案によれ
ばこの鏡筒の動きは平行な板ばね機構（平行保持
手段）により高精度の平行運動を行ない、干渉縞
による高分解能の角度判定と合せて高精度、高信
頼性の磁気ヘツド取付角度測定装置を実現してい
る。

本考案の実施例としてビデオヘツドのシリンダ
組立体に適用した場合について述べたが、コラム
に取り付けた基準台座の形状を変更することによ
り各種の被検査磁気ヘツド組立体の角度精度の検
査に用いることができることは勿論である。

【図面の簡単な説明】

第１図はビデオヘツドの斜視図、第２図はビデ
オヘツドシリンダ組立体の正面図、第３図は本考
案の実施の一例における磁気ヘツド取付角度検査
装置の正面図、第４図は同側面図、第５図は本考
案に使用する干渉顕微鏡の測定原理図である。 ３……ヘツドチツプ側面、６……シリンダ、
６′……シリンダ組立体、９……取付基準面、１
０……磁気ヘツドチツプ、１５……接眼レンズ、
１７……干渉対物レンズ装置、１９……鏡筒、２
０，２１……基台、２２……コラム、２３，２４
……板ばね、２５……ホイール、２６……シリン
ダ取付台座。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 単色光源からの光線がビームスプリツタにより
   二分され、磁気ヘツドチツプ側面に照射後得られ
   た第１の光線および参照ミラーに照射後得られた
   第２の光線の２光線の干渉により前記磁気ヘツド
   チツプのヘツドギヤツプと一定角度関係を有する
   チツプ側面像と前記参照ミラーを水準とする干渉
   縞とを接眼レンズに結像する干渉光学系を内蔵す
   る干渉顕微鏡鏡筒と、前記参照ミラーの固定角度
   調整を行う参照ミラー調整手段と、前記鏡筒を基
   台上に取付られたコラムと前記干渉光学系の焦点
   合わせ方向に平行移動可能に離間した複数箇所で
   結合する複数個の平行保持手段と、前記鏡筒を前
   記焦点合わせ方向に移動させる移動手段と、前記
   磁気ヘツドチツプが取付られたシリンダ組立体の
   取付基準面を前記コラム上に一定姿勢で保持する
   保持手段とを備えたことを特徴とする磁気ヘツド
   取付角度検査装置。