JPH0216424A - レーザ出力モニタ装置 - Google Patents
レーザ出力モニタ装置Info
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- JPH0216424A JPH0216424A JP16618688A JP16618688A JPH0216424A JP H0216424 A JPH0216424 A JP H0216424A JP 16618688 A JP16618688 A JP 16618688A JP 16618688 A JP16618688 A JP 16618688A JP H0216424 A JPH0216424 A JP H0216424A
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- Japan
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- rom
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
- G01J1/4257—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors applied to monitoring the characteristics of a beam, e.g. laser beam, headlamp beam
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、レーザ装置に装着してその出力パワーをモニ
タする装置に関する。
タする装置に関する。
〈従来の技術〉
レーザ出力をモニタする装置は、一般に、レーザ装置の
出力光の一部をビームスプリフタによって光センサに導
き、そのセンサ出力を、あらかじめ定められた校正曲線
に基づく計算式等を用いてレーザ出力パワーに変換し、
表示器等に表示する。
出力光の一部をビームスプリフタによって光センサに導
き、そのセンサ出力を、あらかじめ定められた校正曲線
に基づく計算式等を用いてレーザ出力パワーに変換し、
表示器等に表示する。
この変換は、通常、マイクロコンピュータによって実行
され、上述した計算式およびその定数等はＲＯＭに記憶
される。そして、このＲＯＭに記憶すべき計算式および
定数等は、装置の出荷前に、装置外部に基準となるパワ
ーメータを設置し、そのパワーメータによるレーザ出力
パワーの測定値とこのモニタ装置の出力を記録しておき
、これらに基づいて校正曲線を求めることによって決定
している。
され、上述した計算式およびその定数等はＲＯＭに記憶
される。そして、このＲＯＭに記憶すべき計算式および
定数等は、装置の出荷前に、装置外部に基準となるパワ
ーメータを設置し、そのパワーメータによるレーザ出力
パワーの測定値とこのモニタ装置の出力を記録しておき
、これらに基づいて校正曲線を求めることによって決定
している。
〈発明が解決しようとする課題〉
以上のような従来の技術によると、装置の校正手順、つ
まりパワーメータを用いたオフラインでの校正データの
採取と、それに基づく校正曲線の導出、更にはその結果
のＲＯＭへのメインプログラムとのリンクを含めた書き
込み等の手順が繁雑であるという問題がある。
まりパワーメータを用いたオフラインでの校正データの
採取と、それに基づく校正曲線の導出、更にはその結果
のＲＯＭへのメインプログラムとのリンクを含めた書き
込み等の手順が繁雑であるという問題がある。
また、−旦ＲＯＭ内に書き込まれた定数や計算式等を、
ユーザサイドで変更することは実質的に不可能である。
ユーザサイドで変更することは実質的に不可能である。
しかし、光学系が変化しやすいエキシマレーザ等におい
ては、例えばモニタ用の光センサへのビーム入射位置が
変化する等によって、実際には再校正を必要とする場合
が生じ、このような場合には従来装置では対処できない
。特に、このレーザ出力モニタ装置による測定値をレー
ザ装置にフィードバックし、その出力の安定化等のため
にパワー制御を行おうとする場合、再校正の必要性は高
くなる。
ては、例えばモニタ用の光センサへのビーム入射位置が
変化する等によって、実際には再校正を必要とする場合
が生じ、このような場合には従来装置では対処できない
。特に、このレーザ出力モニタ装置による測定値をレー
ザ装置にフィードバックし、その出力の安定化等のため
にパワー制御を行おうとする場合、再校正の必要性は高
くなる。
本発明はこのような問題点を解決することを目的として
いる。
いる。
〈課題を解決するための手段〉
上記の目的を達成するため、本発明では、光センサ出力
をレーザ出力の測定値に変換するコンピュータシステム
内に、その変換のための情報を記憶する不揮発性ＲＡＭ
を設け、その情報を書き換え可能とすることにより、再
校正を可能としている。
をレーザ出力の測定値に変換するコンピュータシステム
内に、その変換のための情報を記憶する不揮発性ＲＡＭ
を設け、その情報を書き換え可能とすることにより、再
校正を可能としている。
不揮発性ＲＡＭ内の情報を書き換えるための一つの手段
として、コンピュータシステム内に外部の標準パワーメ
ータによるレーザ装置の出力光の測定値情報を入力する
ための入力回路を設けるとともに、コンピュータシステ
ムに、レーザ装Ｗ’ｆｒ複数の出力状態で発振させるた
めの指令を発し、かつ、その各出力状態での光センサ出
力と入力回路からの入力信号をそれぞれ採り込み、その
採り込んだデータに基づいて上記した変換のための情報
を決定して不揮発性ＲＡＭの内容を更新するプログラム
を内蔵させる、という手段を講じることができる。
として、コンピュータシステム内に外部の標準パワーメ
ータによるレーザ装置の出力光の測定値情報を入力する
ための入力回路を設けるとともに、コンピュータシステ
ムに、レーザ装Ｗ’ｆｒ複数の出力状態で発振させるた
めの指令を発し、かつ、その各出力状態での光センサ出
力と入力回路からの入力信号をそれぞれ採り込み、その
採り込んだデータに基づいて上記した変換のための情報
を決定して不揮発性ＲＡＭの内容を更新するプログラム
を内蔵させる、という手段を講じることができる。
また、不揮発性ＲＡＭ内の情報を書き換えるための他の
手段として、コンピュータシステム内にこの不揮発性Ｒ
ＡＭの内容を変更するためのキー人力装置もしくはその
接続手段を設けるとともに、コンピュータシステムに、
不揮発性ＲＡＭ内の情報を上記の測定値への変換時に解
釈実行するためのインクプリンタ、もしくは、上記のキ
ー人力装置からの情報の入力時に翻訳して不揮発性ＲＡ
Ｍ内に格納するコンパイラを内蔵させる、という手段を
も採用できる。
手段として、コンピュータシステム内にこの不揮発性Ｒ
ＡＭの内容を変更するためのキー人力装置もしくはその
接続手段を設けるとともに、コンピュータシステムに、
不揮発性ＲＡＭ内の情報を上記の測定値への変換時に解
釈実行するためのインクプリンタ、もしくは、上記のキ
ー人力装置からの情報の入力時に翻訳して不揮発性ＲＡ
Ｍ内に格納するコンパイラを内蔵させる、という手段を
も採用できる。
なお、光センサ出力の測定値への変換のための情報とは
、校正曲線を表わす係数、定数を含んだ計算式、または
その計算式中の係数または定数のみ、もしくは光センサ
出力と測定値とを関係づけるテーブル等のうちのいずれ
か、あるいはこれらのうちの複数を組み合わせたものを
いう。
、校正曲線を表わす係数、定数を含んだ計算式、または
その計算式中の係数または定数のみ、もしくは光センサ
出力と測定値とを関係づけるテーブル等のうちのいずれ
か、あるいはこれらのうちの複数を組み合わせたものを
いう。
く作用〉
以上の構成により、コンピュータシステムが持つプログ
ラムによって校正動作がオンラインで実行され自動的に
正しい校正曲線に基づく情報が記憶され、もしくは、オ
フラインでの校正データ採取に基づくキー人力装置の操
作により、測定値への変換のための情報を任意に変更で
きる。
ラムによって校正動作がオンラインで実行され自動的に
正しい校正曲線に基づく情報が記憶され、もしくは、オ
フラインでの校正データ採取に基づくキー人力装置の操
作により、測定値への変換のための情報を任意に変更で
きる。
〈実施例〉
本発明の実施例を、以下、図面に基づいて説明する。
第１図は本発明実施例の構成を示すブロック図である。
レーザ装置は、レーザ発振を行うレーザチャンバ１とこ
のレーザチャンバ１に励起信号を供給するレーザ駆動制
御回路２等によって構成されており、その出力レーザ光
の一部は、ビームスプリッタ３によってレーザ出力モニ
タ装置４の光センサ４１に導かれる。
のレーザチャンバ１に励起信号を供給するレーザ駆動制
御回路２等によって構成されており、その出力レーザ光
の一部は、ビームスプリッタ３によってレーザ出力モニ
タ装置４の光センサ４１に導かれる。
レーザ出力モニタ装置４は、光センサ４１およびその出
力を入力する光出力測定回路４２と、マイクロコンピュ
ータシステムによって構成されている。
力を入力する光出力測定回路４２と、マイクロコンピュ
ータシステムによって構成されている。
マイクロコンピュータシステムは、ＭＰＵ４３と、後述
するプログラムが書き込まれたＲＯＭ４４゜後述のＡ−
Ｄ変換器４７からのデータを格納するエリアやワーキン
グエリアが設定されたＲＡＭ４５゜校正曲線の係数等を
記憶する不揮発性ＲＡＭ４６゜光出力測定回路４２およ
び外部に置かれた標準パワーメータ５からの出力をデジ
タル化するＡ−Ｄ変換器４７．算出されたレーザ出力測
定結果を表示する表示器４８．および外部機器との接続
のための入出力インターフェース４９によって構成され
ており、これらは互いにパスラインによって接続されて
いる。なお、Ａ−Ｄ変換器４７の入力段にはマルチプレ
クサ等の入力信号切換回路（図示せず）が設けられてい
る。
するプログラムが書き込まれたＲＯＭ４４゜後述のＡ−
Ｄ変換器４７からのデータを格納するエリアやワーキン
グエリアが設定されたＲＡＭ４５゜校正曲線の係数等を
記憶する不揮発性ＲＡＭ４６゜光出力測定回路４２およ
び外部に置かれた標準パワーメータ５からの出力をデジ
タル化するＡ−Ｄ変換器４７．算出されたレーザ出力測
定結果を表示する表示器４８．および外部機器との接続
のための入出力インターフェース４９によって構成され
ており、これらは互いにパスラインによって接続されて
いる。なお、Ａ−Ｄ変換器４７の入力段にはマルチプレ
クサ等の入力信号切換回路（図示せず）が設けられてい
る。
入出力インターフェース４９には、レーザ駆動制御回路
２が接続されているとともに、必要に応じてキーボード
６を接続することができる。
２が接続されているとともに、必要に応じてキーボード
６を接続することができる。
標準パワーメータ５は、精密に調整されたパワーメータ
であって、入力したレーザ光のパワーを測定して出力す
ることができ、後述する校正プログラムの選択時に、レ
ーザチャンバ１からの出力レーザ光を直接入力するよう
設置され、その出力はＡ−Ｄ変換器４７を通してマイク
ロコンピュータシステムに採り込まれる。
であって、入力したレーザ光のパワーを測定して出力す
ることができ、後述する校正プログラムの選択時に、レ
ーザチャンバ１からの出力レーザ光を直接入力するよう
設置され、その出力はＡ−Ｄ変換器４７を通してマイク
ロコンピュータシステムに採り込まれる。
ＲＯＭ４４には測定プログラムと校正プログラムが書き
込まれており、キーボード６等の操作によっていずれか
を選択することができる。また、ＲＯＭ４４には、光出
力測定回路４２からのデータを測定値に換算するための
所定次数の計算式があらかじめ書き込まれているが、こ
の計算式は、各項の係数および定数項の全部もしくは適
宜の１個または複数個が具体的数値として書き込まれて
おらずに例えばブランクの状態となっている。
込まれており、キーボード６等の操作によっていずれか
を選択することができる。また、ＲＯＭ４４には、光出
力測定回路４２からのデータを測定値に換算するための
所定次数の計算式があらかじめ書き込まれているが、こ
の計算式は、各項の係数および定数項の全部もしくは適
宜の１個または複数個が具体的数値として書き込まれて
おらずに例えばブランクの状態となっている。
第２図はＲＯＭ４４に書き込まれた測定プログラムの内
容を示すフローチャートで、このプログラムは通常の測
定時に選択される。
容を示すフローチャートで、このプログラムは通常の測
定時に選択される。
この測定プログラムにおいては、光出力測定回路４２か
らの出力のみがＡ−Ｄ変換器４７を介して所定の周期で
ＲＡＭ４５内に採り込まれ、その採り込みごとに、ＲＯ
Ｍ４４内の前述した計算式に不揮発性ＲＡＭ４６内の係
数や定数を挿入するとともに、採り込んだデータを代入
して測定値に換算し、この値を表示器４８に刻々と表示
する。
らの出力のみがＡ−Ｄ変換器４７を介して所定の周期で
ＲＡＭ４５内に採り込まれ、その採り込みごとに、ＲＯ
Ｍ４４内の前述した計算式に不揮発性ＲＡＭ４６内の係
数や定数を挿入するとともに、採り込んだデータを代入
して測定値に換算し、この値を表示器４８に刻々と表示
する。
第３図はＲＯＭ４４に書き込まれた校正プログラムの内
容を示すフローチャートで、このプログラムは装置の校
正を行う時に選択され、この場合、標準パワーメータ５
を設置してレーザチャンバ１の出力光を測定し、その出
力をＡ−Ｄ変換器４７に導く この校正プログラムにおいては、ＲＡＭ４５内のデータ
クリア等の初期設定を行った後、まず、レーザ装置のレ
ーザ駆動制御回路２に指令を発し、レーザチャンバ１を
複数の発振条件のもとで励起しつつ、各条件の出力状態
での光出力測定回路４２と標準パワーメータ５の出力の
デジタル化データを順次ペアでＲＡＭ４５内に格納して
ゆく。
容を示すフローチャートで、このプログラムは装置の校
正を行う時に選択され、この場合、標準パワーメータ５
を設置してレーザチャンバ１の出力光を測定し、その出
力をＡ−Ｄ変換器４７に導く この校正プログラムにおいては、ＲＡＭ４５内のデータ
クリア等の初期設定を行った後、まず、レーザ装置のレ
ーザ駆動制御回路２に指令を発し、レーザチャンバ１を
複数の発振条件のもとで励起しつつ、各条件の出力状態
での光出力測定回路４２と標準パワーメータ５の出力の
デジタル化データを順次ペアでＲＡＭ４５内に格納して
ゆく。
すなわち、レーザ電源電圧と発振周波数の組み合わせを
、あらかじめ例えばｎ組設定しておき、１番目からｎ番
目までの組み合わせ条件で順次レーザ発振を行わせると
ともに、各番目の発振時において、光出力測定回路４２
の出力と、外部の標準パワーメータ５の出力を、Ａ−Ｄ
変換器４７を時分割使用することによってそれぞれデジ
タル化し、採り込んでゆくわけである。なお、レーザ発
振の制御は、レーザ出力モニタ装置４内のマイクロコン
ピュータシステムが直接行ってもよいし、あるいはレー
ザ駆動制御回路２内にマイクロコンピュータを備えてい
れば、そのマイクロコンピュータとの協調のもとに行っ
てもよい。
、あらかじめ例えばｎ組設定しておき、１番目からｎ番
目までの組み合わせ条件で順次レーザ発振を行わせると
ともに、各番目の発振時において、光出力測定回路４２
の出力と、外部の標準パワーメータ５の出力を、Ａ−Ｄ
変換器４７を時分割使用することによってそれぞれデジ
タル化し、採り込んでゆくわけである。なお、レーザ発
振の制御は、レーザ出力モニタ装置４内のマイクロコン
ピュータシステムが直接行ってもよいし、あるいはレー
ザ駆動制御回路２内にマイクロコンピュータを備えてい
れば、そのマイクロコンピュータとの協調のもとに行っ
てもよい。
以上の動作によってｎ組のデータ対がＲＡＭ４５内に格
納されると、そのデータ対群を用いて前述した計算式の
係数等を例えば最小二乗法によって算出する。この算出
された係数等を計算式に挿入して得られる曲線は、現時
点における光センサ４１への入射光強度と実際のレーザ
出力光強度とを関係づける正しい校正曲線を表わすこと
になる。このようにして得られた係数等は、不揮発性Ｒ
ＡＭ４日に伝送されて格納され、先に格納されている係
数等は捨てられ、校正動作を終了する。
納されると、そのデータ対群を用いて前述した計算式の
係数等を例えば最小二乗法によって算出する。この算出
された係数等を計算式に挿入して得られる曲線は、現時
点における光センサ４１への入射光強度と実際のレーザ
出力光強度とを関係づける正しい校正曲線を表わすこと
になる。このようにして得られた係数等は、不揮発性Ｒ
ＡＭ４日に伝送されて格納され、先に格納されている係
数等は捨てられ、校正動作を終了する。
第４図は本発明の他の実施例の校正プログラムの内容の
要部を示すフローチャートで、第３図に示した実施例の
Ａ部分に対応する箇所を示している。
要部を示すフローチャートで、第３図に示した実施例の
Ａ部分に対応する箇所を示している。
この実施例では、ＲＯＭ４４内にあらかじめそれぞれ係
数等が定められていない、例えば次数の異なる複数の計
算式ｙ＝ｆ （ｘ）、 ｙ＝ｇ （ｘ）およびｙ＝
ｈ （ｘ）を書き込んでおく。
数等が定められていない、例えば次数の異なる複数の計
算式ｙ＝ｆ （ｘ）、 ｙ＝ｇ （ｘ）およびｙ＝
ｈ （ｘ）を書き込んでおく。
そして、前述したｎ組のデータ対群が得られた後に、こ
れらを用いた最小二乗法に基づいてそれぞれの計算式の
係数等を決定する。次に、係数等が決定された各計算式
から、最も実用的な計算式を選定する。すなわち、係数
等を挿入した各式に、ＲＡＭ４５内のｎ組の校正用デー
タをそれぞれ代入して、例えば最も誤差の少ない式を選
出するわけである。そして、次にその選出された式があ
らかじめ設定された許容誤差の範囲内で変換可能か否か
等を判定し、範囲内であればその式に対応する識別記号
とその式の係数等を不揮発性ＲＡＭ４６内に格納して校
正を終了する。
れらを用いた最小二乗法に基づいてそれぞれの計算式の
係数等を決定する。次に、係数等が決定された各計算式
から、最も実用的な計算式を選定する。すなわち、係数
等を挿入した各式に、ＲＡＭ４５内のｎ組の校正用デー
タをそれぞれ代入して、例えば最も誤差の少ない式を選
出するわけである。そして、次にその選出された式があ
らかじめ設定された許容誤差の範囲内で変換可能か否か
等を判定し、範囲内であればその式に対応する識別記号
とその式の係数等を不揮発性ＲＡＭ４６内に格納して校
正を終了する。
また、上述の判定が範囲外であるならば、ｎ組のデータ
対群から校正用テーブルを自動作成し、その校正用テー
ブルを不揮発性ＲＡＭ４６内に格納して校正を終了する
。
対群から校正用テーブルを自動作成し、その校正用テー
ブルを不揮発性ＲＡＭ４６内に格納して校正を終了する
。
この実施例での測定プログラムにおいては、不揮発性Ｒ
ＡＭ４６内に校正用テーブルが作成されていればその校
正用テーブルを、無ければ識別記号に対応するＲＯＭ４
４内の計算式と不揮発性ＲＡＭ４６内の係数等を用いて
、表示器４８に表示すべき測定値を算出する。
ＡＭ４６内に校正用テーブルが作成されていればその校
正用テーブルを、無ければ識別記号に対応するＲＯＭ４
４内の計算式と不揮発性ＲＡＭ４６内の係数等を用いて
、表示器４８に表示すべき測定値を算出する。
以上の実施例によれば、光センサ４１による光検出値を
レーザパワーに変換する校正手法が固定されず、最も現
実に見合った手法が自動的に選択され、より正確な校正
が可能となる。
レーザパワーに変換する校正手法が固定されず、最も現
実に見合った手法が自動的に選択され、より正確な校正
が可能となる。
なお、以上の各実施例においては、標準パワーメータ５
からの信号をＡ−Ｄ変換器４７を通して直接レーザ出力
モニタ装置４に採り込んだが、標準パワーメータ５とレ
ーザ出力モニタ装置４の間に他のコンピュータを介在さ
せることもできる。
からの信号をＡ−Ｄ変換器４７を通して直接レーザ出力
モニタ装置４に採り込んだが、標準パワーメータ５とレ
ーザ出力モニタ装置４の間に他のコンピュータを介在さ
せることもできる。
この場合、校正曲線における係数等の算出を、この介在
するコンピュータによって実行させることもできる。
するコンピュータによって実行させることもできる。
以上説明した各実施例では、一連の校正動作をオンライ
ンで自動的に行う例を示したが、校正データのサンプリ
ングをオフラインで行って校正曲線を人間が求めるよう
構成することもできる。
ンで自動的に行う例を示したが、校正データのサンプリ
ングをオフラインで行って校正曲線を人間が求めるよう
構成することもできる。
すなわち、校正に当っては、先の実施例と同様に標準パ
ワーメータ５を設置するが、その出力はＡ−Ｄ変換器４
７に導入しない。そして、レーザチャンバ１を種々の出
力状態で発振させ、その都度標準パワーメータ５の表示
値と当該レーザ出力モニタ装置４の表示値を測定者が読
み取って記録する。そして、その記録に基づいて適当な
校正曲線を測定者が定め、その校正曲線を表わす式を、
キーボード６から入力するわけである。そして、この式
を不揮発性ＲＡＭ４６に格納する。
ワーメータ５を設置するが、その出力はＡ−Ｄ変換器４
７に導入しない。そして、レーザチャンバ１を種々の出
力状態で発振させ、その都度標準パワーメータ５の表示
値と当該レーザ出力モニタ装置４の表示値を測定者が読
み取って記録する。そして、その記録に基づいて適当な
校正曲線を測定者が定め、その校正曲線を表わす式を、
キーボード６から入力するわけである。そして、この式
を不揮発性ＲＡＭ４６に格納する。
この場合、次のいずれかの方式を採用することができる
。
。
一つは、インクプリンタ方式であって、キーボード６か
ら入力された計算式を不揮発性ＲＡＭ４６内に格納して
おき、測定プログラムによる測定値の算出時に、ＲＯＭ
４４内のインクプリンタによって不揮発性ＲＡＭ４６内
の計算式を解釈して演算を実行する。
ら入力された計算式を不揮発性ＲＡＭ４６内に格納して
おき、測定プログラムによる測定値の算出時に、ＲＯＭ
４４内のインクプリンタによって不揮発性ＲＡＭ４６内
の計算式を解釈して演算を実行する。
他の一つはコンパイラ方式で、キーボード６から入力さ
れた計算式を実行可能なソフトウェアに変換するための
コンパイラをＲＯＭ４４内に備えておき、計算式の入力
時点で測定プログラムの演算用のサブルーチンとしてコ
ンパイルし、不揮発性ＲＡＭ４６内に格納する。そして
、測定値の演算時にそのサブルーチンをコールする。
れた計算式を実行可能なソフトウェアに変換するための
コンパイラをＲＯＭ４４内に備えておき、計算式の入力
時点で測定プログラムの演算用のサブルーチンとしてコ
ンパイルし、不揮発性ＲＡＭ４６内に格納する。そして
、測定値の演算時にそのサブルーチンをコールする。
この実施例では、校正用のデータ採取と校正曲線の決定
をオフラインで行うものの、フレキシビリティが高く常
に現実に近い校正が可能となる。
をオフラインで行うものの、フレキシビリティが高く常
に現実に近い校正が可能となる。
〈発明の効果〉
以上説明したように、本発明によれば、モニタ用の光セ
ンサ出力をレーザ装置の出力パワーに変換するための情
報を、不揮発性ＲＡＭ内に格納するとともに、その不揮
発性ＲＡＭ内の情報を簡単に書き換えることが可能なよ
うに構成したから、ユーザサイドでも必要に応じて容易
に装置の再校正が可能となった。
ンサ出力をレーザ装置の出力パワーに変換するための情
報を、不揮発性ＲＡＭ内に格納するとともに、その不揮
発性ＲＡＭ内の情報を簡単に書き換えることが可能なよ
うに構成したから、ユーザサイドでも必要に応じて容易
に装置の再校正が可能となった。
また、装置の出荷時等における初期校正の作業も、従来
のＲＯＭ内への校正曲線の焼き付は等を省略でき、著し
く簡素化される。
のＲＯＭ内への校正曲線の焼き付は等を省略でき、著し
く簡素化される。
第１図は本発明実施例の校正を示すブロック図、第２図
はそのＲＯＭ４４内に書き込まれた測定プログラムの内
容を示すフローチャート、第３図は同じ＜ＲＯＭ４４内
に書き込まれた校正プログラムの内容を示すフローチャ
ートである。 第４図は本発明の他の実施例の校正プログラムの内容の
要部を示すフローチャートである。 １・・・・レーザチャンバ ２・・・・レーザ駆動制御回路 ３・・・・ビームスプリッタ ４・・・・レーザ出力モニタ装置 ４１・・・光センサ ４２・・・光出力測定回路 ４３・・・ＭＰＵ ４４・・・ＲＯＭ ４５・・・ＲＡＭ ４６・・・不揮発性ＲＡＭ ５ ・ ６ ・ ・Ａ−Ｄ変換器 ・表示器 ・入出力インターフェース ・標準パワーメータ ・キーボード
はそのＲＯＭ４４内に書き込まれた測定プログラムの内
容を示すフローチャート、第３図は同じ＜ＲＯＭ４４内
に書き込まれた校正プログラムの内容を示すフローチャ
ートである。 第４図は本発明の他の実施例の校正プログラムの内容の
要部を示すフローチャートである。 １・・・・レーザチャンバ ２・・・・レーザ駆動制御回路 ３・・・・ビームスプリッタ ４・・・・レーザ出力モニタ装置 ４１・・・光センサ ４２・・・光出力測定回路 ４３・・・ＭＰＵ ４４・・・ＲＯＭ ４５・・・ＲＡＭ ４６・・・不揮発性ＲＡＭ ５ ・ ６ ・ ・Ａ−Ｄ変換器 ・表示器 ・入出力インターフェース ・標準パワーメータ ・キーボード
Claims (1)
- （１）レーザ装置に付設され、ビームスプリッタにより
取り出された当該レーザ装置からの出力光の一部を光セ
ンサで受光してその光センサ出力をコンピュータシステ
ムに採り込み、レーザ出力の強度測定値に変換して出力
する装置であって、上記コンピュータシステム内に、上
記変換のための情報を記憶する不揮発性ＲＡＭと、上記
レーザ装置からの出力光を直接入力してその強度情報を
出力し得る外部の標準パワーメータからの信号を入力す
るための入力回路を設けるとともに、上記コンピュータ
システムは、上記レーザ装置を複数の出力状態で発振さ
せるための指令を発し、かつ、その各出力状態での上記
光センサ出力と上記入力回路からの入力信号をそれぞれ
採り込み、その採り込んだデータに基づいて上記変換の
ための情報を決定して上記不揮発性ＲＡＭの内容を更新
するプログラムを備えていることを特徴とする、レーザ
出力モニタ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16618688A JP2658208B2 (ja) | 1988-07-04 | 1988-07-04 | レーザ出力モニタ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16618688A JP2658208B2 (ja) | 1988-07-04 | 1988-07-04 | レーザ出力モニタ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0216424A true JPH0216424A (ja) | 1990-01-19 |
| JP2658208B2 JP2658208B2 (ja) | 1997-09-30 |
Family
ID=15826672
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16618688A Expired - Fee Related JP2658208B2 (ja) | 1988-07-04 | 1988-07-04 | レーザ出力モニタ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2658208B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3721189B1 (en) * | 2017-11-09 | 2026-04-01 | General Electric Company | Optic train monitoring for additive manufacturing |
-
1988
- 1988-07-04 JP JP16618688A patent/JP2658208B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3721189B1 (en) * | 2017-11-09 | 2026-04-01 | General Electric Company | Optic train monitoring for additive manufacturing |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2658208B2 (ja) | 1997-09-30 |
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