JPS5855708A - 温度補償機能を有する寸法測定装置 - Google Patents
温度補償機能を有する寸法測定装置Info
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- JPS5855708A JPS5855708A JP15547181A JP15547181A JPS5855708A JP S5855708 A JPS5855708 A JP S5855708A JP 15547181 A JP15547181 A JP 15547181A JP 15547181 A JP15547181 A JP 15547181A JP S5855708 A JPS5855708 A JP S5855708A
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- measured
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- measurement
- measuring
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B13/00—Measuring arrangements characterised by the use of fluids
- G01B13/08—Measuring arrangements characterised by the use of fluids for measuring diameters
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、基準寸法を有するマスタを基準として被測定
物の寸法を測定するようにした寸法測定装置に関するも
ので、その目的とするところは、マスク測定時における
マスタの温度１被測定物測定時における被測定物の温度
、マスク測定時と被測定物測定時とにおける測定ヘッド
の温度変化に基づく特性変化のいずれによって発生する
測定誤差をも正確に補正して高精度な寸法測定が行なえ
るようにすることにある。
物の寸法を測定するようにした寸法測定装置に関するも
ので、その目的とするところは、マスク測定時における
マスタの温度１被測定物測定時における被測定物の温度
、マスク測定時と被測定物測定時とにおける測定ヘッド
の温度変化に基づく特性変化のいずれによって発生する
測定誤差をも正確に補正して高精度な寸法測定が行なえ
るようにすることにある。
内燃機関のピストン等の径測定をマスタ基準で行なう場
合には、最初にマスクの直径を測定して寸法検出器の出
力を記憶し、次に被測定物であるピストンの直径を測定
して、その時の寸法検出器の出力をマスク測定時に記憶
された出力値を基準にしてマスタに対する相対的なピス
トンの直径を測定することが行われる。そして、かかる
寸法測定に′おいて、ある定められた標準温度における
被測定物の寸法を高精度に測定するには、マスタおよび
被測定物のいずれをも標準温度にして熱膨張がない状態
とし、かつマスタ測定時と被測定物測定時との間で測定
ヘッドの温度が変化しないようにして寸法検出器の測定
寸法に対する出力値の関係を一定に保つ必要がある。
合には、最初にマスクの直径を測定して寸法検出器の出
力を記憶し、次に被測定物であるピストンの直径を測定
して、その時の寸法検出器の出力をマスク測定時に記憶
された出力値を基準にしてマスタに対する相対的なピス
トンの直径を測定することが行われる。そして、かかる
寸法測定に′おいて、ある定められた標準温度における
被測定物の寸法を高精度に測定するには、マスタおよび
被測定物のいずれをも標準温度にして熱膨張がない状態
とし、かつマスタ測定時と被測定物測定時との間で測定
ヘッドの温度が変化しないようにして寸法検出器の測定
寸法に対する出力値の関係を一定に保つ必要がある。
しかしながら、実際にはマスクを標準温度に維持するに
はマスクを恒温槽に保管しておかなければならず実際的
でない上、ピストン等の被測定物の寸法を加工直後に測
定する場合には、被測定物の温度が標準温度に比べてか
なり高い状態にあるため、冷却槽等によって標準温度ま
で冷却した後で測定を行なう必要があり、測定が完了す
るまでに時間がかかる問題がある。さらに、マスタ測定
は被測定物の測定に先立って例えば毎朝１回だけ行なわ
れ、これに続いて多数の被測定物の測定が時間をかけて
行われるため、マスク測定時における測定ヘッドの温度
とマスタ測定時からある程度時間が経過した後で行なわ
れる被測定物測定時における測定ヘッドの温度との間に
はずれが生じ、寸法検出器の入出力特性も変化して高精
度な測定が行なえない問題がある。
はマスクを恒温槽に保管しておかなければならず実際的
でない上、ピストン等の被測定物の寸法を加工直後に測
定する場合には、被測定物の温度が標準温度に比べてか
なり高い状態にあるため、冷却槽等によって標準温度ま
で冷却した後で測定を行なう必要があり、測定が完了す
るまでに時間がかかる問題がある。さらに、マスタ測定
は被測定物の測定に先立って例えば毎朝１回だけ行なわ
れ、これに続いて多数の被測定物の測定が時間をかけて
行われるため、マスク測定時における測定ヘッドの温度
とマスタ測定時からある程度時間が経過した後で行なわ
れる被測定物測定時における測定ヘッドの温度との間に
はずれが生じ、寸法検出器の入出力特性も変化して高精
度な測定が行なえない問題がある。
本発明はこのような従来の問題点に鑑みてなされたもの
で、マスク測定時にはマスクの温度と測定ヘッド９温度
とを測定し、被測定物測定時には被測定物の温度と測定
ヘッドの温度とを測定し、これらの測定値によって被測
定物の寸法測定値を補正するようにしたことを特徴とす
るものである。
で、マスク測定時にはマスクの温度と測定ヘッド９温度
とを測定し、被測定物測定時には被測定物の温度と測定
ヘッドの温度とを測定し、これらの測定値によって被測
定物の寸法測定値を補正するようにしたことを特徴とす
るものである。
以下本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図において、１０はピストン等の被測定物Ｗの直径
寸法を測定する測定ヘッドで、被測定物Ｗおよびマスク
ＭＬ、 ＭＳを選択的に載置する支持ベース゛１１上に
案内部材１２が立設され、被測定物ＷおよびマスタＭＬ
、 ＭＳの直径よりも間隔の広い互いに平行な一対の側
壁１２ａ、 １２ａと、この一対の側壁１２ａ。
寸法を測定する測定ヘッドで、被測定物Ｗおよびマスク
ＭＬ、 ＭＳを選択的に載置する支持ベース゛１１上に
案内部材１２が立設され、被測定物ＷおよびマスタＭＬ
、 ＭＳの直径よりも間隔の広い互いに平行な一対の側
壁１２ａ、 １２ａと、この一対の側壁１２ａ。
１２ａに連続する７字状の支持面１２ｂとを有する切欠
きが案内部材１２の一側面に刻設されている。そして、
支持ベース１１上に載置した被測定物Ｗもしくはマスク
ＭＬ、 ＭＳの外周面を支持面１２ｂに当接するごとに
よって被測定物ＷもしくはマスクＭＬ、 ＭＳの位置決
めが行なわれる。
きが案内部材１２の一側面に刻設されている。そして、
支持ベース１１上に載置した被測定物Ｗもしくはマスク
ＭＬ、 ＭＳの外周面を支持面１２ｂに当接するごとに
よって被測定物ＷもしくはマスクＭＬ、 ＭＳの位置決
めが行なわれる。
前記一対の側壁１２ａ、 １２ａの支持ベース１１上に
位置決めされた被測定物Ｗの軸線を挾んで対向する位置
には、エアーノズル１３ａ、 １３ｂがそれぞれ穿設さ
れており、これらのエアーノズル１３ａ 、 １３ｂは
それぞれ絞り１５ａ、 １５ｂを介して、エアー源１６
から供給される空気圧を一定圧力に減圧調整するレギュ
レータ１７の出力に接続されている。そして、エアーノ
ズル１３ａ、 １３ｂと絞り１５ａ、 １５ｂとの間に
は、エアーノズル１３ａ、 １３ｔ）の背圧からエアー
ノズル１３ａ、 １３ｂと被測定物ＷもしくはマスタＭ
Ｌ。
位置決めされた被測定物Ｗの軸線を挾んで対向する位置
には、エアーノズル１３ａ、 １３ｂがそれぞれ穿設さ
れており、これらのエアーノズル１３ａ 、 １３ｂは
それぞれ絞り１５ａ、 １５ｂを介して、エアー源１６
から供給される空気圧を一定圧力に減圧調整するレギュ
レータ１７の出力に接続されている。そして、エアーノ
ズル１３ａ、 １３ｂと絞り１５ａ、 １５ｂとの間に
は、エアーノズル１３ａ、 １３ｔ）の背圧からエアー
ノズル１３ａ、 １３ｂと被測定物ＷもしくはマスタＭ
Ｌ。
ＭＳと外周面との間の隙間をそれぞれ検出する圧力検出
器１８ａ、 １８ｂが接続されている。
器１８ａ、 １８ｂが接続されている。
一方、前記案内部材１２上には、支持ベースｌｌ上に位
置決めされた被測定物ＷもしくはマスクＭＬ。
置決めされた被測定物ＷもしくはマスクＭＬ。
ＭＳの外周面に当接して被測定物ＷもしくはマスクＭＬ
、 ＭＳの温度を測定するサーミスタ等の温度検出器２
０が配設され、支持ベース１１上に位置決めされた被測
定物ＷもしくはマスタＭＬ、ＭＳの外周面に所定の押圧
力で当接するようスプリングｚ１によって弾性力が付与
されている。また、案内部材１２の外側面には、測定ヘ
ッド１０の温度を測定する温度検出器２２が取付けられ
ている。
、 ＭＳの温度を測定するサーミスタ等の温度検出器２
０が配設され、支持ベース１１上に位置決めされた被測
定物ＷもしくはマスタＭＬ、ＭＳの外周面に所定の押圧
力で当接するようスプリングｚ１によって弾性力が付与
されている。また、案内部材１２の外側面には、測定ヘ
ッド１０の温度を測定する温度検出器２２が取付けられ
ている。
前記圧力検出器１８ａ、 １８ｂの出力および温度検出
器２０．２２の出力はマルチプレクサ３０を介してＡＤ
変換器３１に供給され、圧力検出器１８ａ、 １８ｂの
出力と温度検出器２０．２２の出力とが選択的にデジタ
ール信号に変換されてコンピュータ３２に供給されるよ
うになっている。このコンピュータ３２Ｉｆｉ、被測定
物の標準寸法よりも径の大きな大径マスクＭＬと、標準
寸法よりも径の小さな小径マスクＭＳとによってマスク
合せをし、これを基準として被測定物Ｗの寸法を測定す
るもので、メモリ３３、表示器３５、デジタルスイッチ
ＤＳＬ〜ＤＳ５が接続されている。
器２０．２２の出力はマルチプレクサ３０を介してＡＤ
変換器３１に供給され、圧力検出器１８ａ、 １８ｂの
出力と温度検出器２０．２２の出力とが選択的にデジタ
ール信号に変換されてコンピュータ３２に供給されるよ
うになっている。このコンピュータ３２Ｉｆｉ、被測定
物の標準寸法よりも径の大きな大径マスクＭＬと、標準
寸法よりも径の小さな小径マスクＭＳとによってマスク
合せをし、これを基準として被測定物Ｗの寸法を測定す
るもので、メモリ３３、表示器３５、デジタルスイッチ
ＤＳＬ〜ＤＳ５が接続されている。
コンピュータ３２は、メモリ３３に記憶されたプログラ
ムにより以下の処理を行なう。
ムにより以下の処理を行なう。
（１）被測定物Ｗの基準寸法よりも径の大きな大径マス
タＭＬの寸法測定時において、エアーノズル１３ａ、
１３ｂの背圧を記憶するとともに、マスタＭＬの温度Ｔ
ｍ４と測定ヘッドｌＯの温度Ｔｈ／を検出し、検出され
たマスクの温度Ｔｍ／時におけるマスタＭＬの理論寸法
Ｄｍ／を演算する。
タＭＬの寸法測定時において、エアーノズル１３ａ、
１３ｂの背圧を記憶するとともに、マスタＭＬの温度Ｔ
ｍ４と測定ヘッドｌＯの温度Ｔｈ／を検出し、検出され
たマスクの温度Ｔｍ／時におけるマスタＭＬの理論寸法
Ｄｍ／を演算する。
（２）被測定物Ｗの標準寸法よりも径の小さな小径マス
クＭＳの寸法測定時において、エアーノズル１３ａ、
１３ｂの背圧を記憶するととも−に、マスクＭＳの温度
’ｌ”ｍｓと測定ヘッド１０の温度ＴｈＢを検出し、検
出された温度Ｔｍｓ時におけるマスクＭＳの理論寸法Ｄ
ｍ／を演算する。
クＭＳの寸法測定時において、エアーノズル１３ａ、
１３ｂの背圧を記憶するととも−に、マスクＭＳの温度
’ｌ”ｍｓと測定ヘッド１０の温度ＴｈＢを検出し、検
出された温度Ｔｍｓ時におけるマスクＭＳの理論寸法Ｄ
ｍ／を演算する。
（３）被測定物Ｗの寸法測定時において、エアーノズル
１３ａ、 １３ｂの背圧と被測定物および測定ヘッドの
温度とを検出し、マスクＭＬ、 ＭＳ測定時における背
圧と理論寸法の関係および被測定物測定時・における背
圧より、被測定物Ｗの寸法を演算し、この演算された寸
法値をマスタ測定時から被測定物測定時までに生じた温
度変化に応じて補正し、さらに、測定された被測定物Ｗ
の温度Ｔｗに応じて寸法値を再補正して基準湿度Ｔｒに
おける被測定物Ｗの寸法に換算する。
１３ａ、 １３ｂの背圧と被測定物および測定ヘッドの
温度とを検出し、マスクＭＬ、 ＭＳ測定時における背
圧と理論寸法の関係および被測定物測定時・における背
圧より、被測定物Ｗの寸法を演算し、この演算された寸
法値をマスタ測定時から被測定物測定時までに生じた温
度変化に応じて補正し、さらに、測定された被測定物Ｗ
の温度Ｔｗに応じて寸法値を再補正して基準湿度Ｔｒに
おける被測定物Ｗの寸法に換算する。
次にかかる寸法測定時におけるコンピュータ３２の動作
を第２図から第４図のフローチャートに基づき説明する
。
を第２図から第４図のフローチャートに基づき説明する
。
先ず、大径マスタＭＬ測定時には、大径マスタＭＬをｍ
定ヘッドｌＯに取付け、デジタルスイッチＤＳＬに標準
温度Ｔｒにおける大径マスクＭＬの直径寸法館を設定し
た後、押釦スイッチＳＷＩを押圧する。これにより、コ
ンピュータ３２は第２図に示す処理の実行を開始し、ス
テップ（４ｏ〕で温度検出器２ｏの熱時定数に応じた一
定時間待機し、この後、圧力検出器１８ａ、 １８ｂに
よってそれぞれ検出されたエアーノズル１３ａ、 １３
ｂの背圧Ｐａ、 Ｐｂと、温度検出器２０．２２によっ
てそれぞれ検出された大径マスクＭＬおよび測定ヘッド
１ｏの温度Ｔｍｌ、 ’ｌ”ｈ／をステップ（４１）で
順番に読込む。
定ヘッドｌＯに取付け、デジタルスイッチＤＳＬに標準
温度Ｔｒにおける大径マスクＭＬの直径寸法館を設定し
た後、押釦スイッチＳＷＩを押圧する。これにより、コ
ンピュータ３２は第２図に示す処理の実行を開始し、ス
テップ（４ｏ〕で温度検出器２ｏの熱時定数に応じた一
定時間待機し、この後、圧力検出器１８ａ、 １８ｂに
よってそれぞれ検出されたエアーノズル１３ａ、 １３
ｂの背圧Ｐａ、 Ｐｂと、温度検出器２０．２２によっ
てそれぞれ検出された大径マスクＭＬおよび測定ヘッド
１ｏの温度Ｔｍｌ、 ’ｌ”ｈ／をステップ（４１）で
順番に読込む。
そして、ステップ（４２）において、検出され、た大径
マスクＭＬの温度Ｔｍ！および、デジタルスイッチＤＳ
３に設定されたマスクＭＬ、 ＭＳの熱膨張係数に応じ
た補正係数α１に基づき、（ａ）式により温度Ｔｍ１時
における大径マスクＭＬの直径寸法Ｄｍｌ’を演算する
。
マスクＭＬの温度Ｔｍ！および、デジタルスイッチＤＳ
３に設定されたマスクＭＬ、 ＭＳの熱膨張係数に応じ
た補正係数α１に基づき、（ａ）式により温度Ｔｍ１時
における大径マスクＭＬの直径寸法Ｄｍｌ’を演算する
。
カｍＡ’−Ｄｍｊ−１−ａ１（Ｔｍｊ−Ｔｒ） ＠
・−（＆）さらに、これに続くステップ（４３）でエア
ーノズル１３ａ、 １３ｂの背圧Ｐａ、 Ｐｂの合計値
を大径マスク測定時の背圧Ｐノとして演算し、ステップ
（４５）において背圧Ｐｌｓ補正後の直径寸法Ｄｍ／
、測定ヘッド１０の温度Ｔｈｊをメモリ３３に記憶する
。
・−（＆）さらに、これに続くステップ（４３）でエア
ーノズル１３ａ、 １３ｂの背圧Ｐａ、 Ｐｂの合計値
を大径マスク測定時の背圧Ｐノとして演算し、ステップ
（４５）において背圧Ｐｌｓ補正後の直径寸法Ｄｍ／
、測定ヘッド１０の温度Ｔｈｊをメモリ３３に記憶する
。
また、小径マスタＭＳ測定時には、小径マスタＭＳを測
定ヘッド１０に取付′け、デジタルスイッチＤＳ２に標
準温度Ｔｒにおける小径マスクＭＳの直径寸法ｌを設定
した後、押釦スイッチＳＷ２を押圧する。これにより、
コンピュータ３２は第３図に示す処理を行ない１大径マ
スク測定時と同様の処理を行なう。
定ヘッド１０に取付′け、デジタルスイッチＤＳ２に標
準温度Ｔｒにおける小径マスクＭＳの直径寸法ｌを設定
した後、押釦スイッチＳＷ２を押圧する。これにより、
コンピュータ３２は第３図に示す処理を行ない１大径マ
スク測定時と同様の処理を行なう。
これにより、メモリ３３には、小径マスクＭＳ測定時の
エアーノズル１３ａ、 １３ｂの背圧の合計値ｐｓと小
径マスタ測定時の温度における小径マスクＭＳの寸法値
Ｄｍａ’と、小径マスク測定時における測定ヘッド１０
の温度Ｔｈｅとが記憶される。
エアーノズル１３ａ、 １３ｂの背圧の合計値ｐｓと小
径マスタ測定時の温度における小径マスクＭＳの寸法値
Ｄｍａ’と、小径マスク測定時における測定ヘッド１０
の温度Ｔｈｅとが記憶される。
一方、被測定物Ｗの測定時には、被測定物Ｗを測定ヘッ
ド１０に取付けた後、押釦スイッチＳＷ３を押Ｌ”−、
ｈる。これにより、コンピュータ３２は第４図に示す処
理の実行を開始し、ステップ（６０）で一定時間待機し
た後、ステップ（６１）で、エアーノズル１３ａ、 １
３ｂの背圧Ｐａ、 Ｐｔ）および、被測定物Ｗの温度Ｔ
Ｗと測定ヘッド１０の温度’Ｉ”ｈｗとを読込み、この
後ステップ（６２）で背圧の合計値を被測定物Ｗ測定時
の背圧Ｐｗとして算出する。そして１これに続くステッ
プ（６３）において、（ｂ）式を用い、被測定物Ｗの直
径寸法ＤＷを演算する。
ド１０に取付けた後、押釦スイッチＳＷ３を押Ｌ”−、
ｈる。これにより、コンピュータ３２は第４図に示す処
理の実行を開始し、ステップ（６０）で一定時間待機し
た後、ステップ（６１）で、エアーノズル１３ａ、 １
３ｂの背圧Ｐａ、 Ｐｔ）および、被測定物Ｗの温度Ｔ
Ｗと測定ヘッド１０の温度’Ｉ”ｈｗとを読込み、この
後ステップ（６２）で背圧の合計値を被測定物Ｗ測定時
の背圧Ｐｗとして算出する。そして１これに続くステッ
プ（６３）において、（ｂ）式を用い、被測定物Ｗの直
径寸法ＤＷを演算する。
この（ｂ）式は、第５図に示すように、エアーノズル１
３ａ、 １３ｂの背圧の合計値Ｐと測定寸法りとの関係
は通常の測定領域では直線的な関係にあり、この直線の
式は、大径、小径のマスタＭＬ、 ＭＳの寸法Ｄｍｌ’
、 Ｄｍｓ’および、それぞれのマスクを測定した時の
背圧ＰＩ、 Ｐａによって決定されることを利用したも
のであるが、（ｂ）式において、大径マろ夕Ｍ／および
小径のマスタＭｓの直径寸法Ｄｍ／ 、 Ｄｍａ’は、
標準温度Ｔｒで測定された値ではなく、マスク測定時の
温度における寸法に補正した値であるため１マスク測定
時におけるマスクの温度が標準温度Ｔｒから変化してい
ても、被測定物Ｗの直径寸法Ｄｗを正確に算出できる。
３ａ、 １３ｂの背圧の合計値Ｐと測定寸法りとの関係
は通常の測定領域では直線的な関係にあり、この直線の
式は、大径、小径のマスタＭＬ、 ＭＳの寸法Ｄｍｌ’
、 Ｄｍｓ’および、それぞれのマスクを測定した時の
背圧ＰＩ、 Ｐａによって決定されることを利用したも
のであるが、（ｂ）式において、大径マろ夕Ｍ／および
小径のマスタＭｓの直径寸法Ｄｍ／ 、 Ｄｍａ’は、
標準温度Ｔｒで測定された値ではなく、マスク測定時の
温度における寸法に補正した値であるため１マスク測定
時におけるマスクの温度が標準温度Ｔｒから変化してい
ても、被測定物Ｗの直径寸法Ｄｗを正確に算出できる。
ステップ（６４）は、マスク測定時における測定ヘッド
１０の温度Ｔｈｌ、 Ｔｈｅと、被測定物測定時におけ
る測定ヘッド１０の温度Ｔｈｗとの差違によって生じる
エアーノズル１３ａ、 １３ｂの開口面積の微小変化、
案内部材１２の変形による一対の側壁１２ａ。
１０の温度Ｔｈｌ、 Ｔｈｅと、被測定物測定時におけ
る測定ヘッド１０の温度Ｔｈｗとの差違によって生じる
エアーノズル１３ａ、 １３ｂの開口面積の微小変化、
案内部材１２の変形による一対の側壁１２ａ。
１２ａ間の距離の変化等によって生じる誤差を補正する
ステップであり、（Ｃ）式に基づいて補正が行なわれる
。
ステップであり、（Ｃ）式に基づいて補正が行なわれる
。
なお、上式において、α２は、測定ヘッド１０の温度変
化による測定誤差を補正する係数で、デジタルスイッチ
ＤＳ４に設定されてい、る。
化による測定誤差を補正する係数で、デジタルスイッチ
ＤＳ４に設定されてい、る。
さらに、ステップ（６５）は、被測定物Ｗの直径寸法Ｄ
ＶＩ’を標準温度Ｔｒにおける値に変換するステップで
あり、温度検出器２０によって測定された被測定物Ｗの
温度Ｔｗと、被測定物Ｗの熱膨張係数に応じてデジタル
スイッチＤＳ５に設定された補正係数α３とに基づき、
（ｄ）式にて変換が行なわれる。
ＶＩ’を標準温度Ｔｒにおける値に変換するステップで
あり、温度検出器２０によって測定された被測定物Ｗの
温度Ｔｗと、被測定物Ｗの熱膨張係数に応じてデジタル
スイッチＤＳ５に設定された補正係数α３とに基づき、
（ｄ）式にて変換が行なわれる。
Ｄｗ”−ＤＷ’ −ａ３（Ｔｗ−Ｔｒ ）・・・（ｄ）
そして、この標準温度での寸法に変換された被測定物Ｗ
の直径寸法ＤＷ″が、ステップ（６６）で表示器３５に
表示される。
そして、この標準温度での寸法に変換された被測定物Ｗ
の直径寸法ＤＷ″が、ステップ（６６）で表示器３５に
表示される。
なお、上記実施例においては、エアーノズルの背圧と、
被測定物の寸法を表わす関係式を求める時点で、マスク
の熱膨張による寸法変化を考慮してマスクの熱膨張に関
わらず被測定物の寸法を正確に算出できるようにしてい
たが、被測定物の寸法を表わす関係式は、マスクの標準
温度における寸法に基づいて決定し、演算によって求め
られた被測定物の寸法を、マスク測定時におけるマスク
の温度、被測定物測定時における被測定物の温度および
、マスク測定時と被測定物測定時とでの測定ヘッドの温
度変化によって補正することによって標準温度における
被測定物の寸法を測定するようにしてもよい。
被測定物の寸法を表わす関係式を求める時点で、マスク
の熱膨張による寸法変化を考慮してマスクの熱膨張に関
わらず被測定物の寸法を正確に算出できるようにしてい
たが、被測定物の寸法を表わす関係式は、マスクの標準
温度における寸法に基づいて決定し、演算によって求め
られた被測定物の寸法を、マスク測定時におけるマスク
の温度、被測定物測定時における被測定物の温度および
、マスク測定時と被測定物測定時とでの測定ヘッドの温
度変化によって補正することによって標準温度における
被測定物の寸法を測定するようにしてもよい。
また、上記実施例においては、被測定物の寸法をエアー
ノズルの背圧で検出するものであったが、にも本発明を
適用することができ、また、１つのマスクを基準にして
被測定物の寸法を測定するものにも本発明を適用できる
。
ノズルの背圧で検出するものであったが、にも本発明を
適用することができ、また、１つのマスクを基準にして
被測定物の寸法を測定するものにも本発明を適用できる
。
以上述べたように本発明においては、マスク測定時にお
けるマスクの温度、被測定物測定時にお−ける被測定物
の温度、マスタ測定時と被測定物測定時とでの測定ヘッ
ドの温度変化のいずれによっても、被測定物の寸法測定
値が補正されるため、マスク測定時におけるマスクの温
度、被測定物測定時における被測定物の温度のいずれに
も影響されることなしに、被測定物の標準温度における
寸法をマスタ基準で高精度に測定でき、かつマスタ、測
定時における測定ヘッドの温度と被測定物測定時におけ
る測定ヘッドの温度が同一でなく、測定ヘッドの測定寸
法と出力との関係が変化してもこれを高精度に補正でき
、マスク測定を行った後で長時間が経過しても被測定物
の寸法を高精度に測定できる利点がある。
けるマスクの温度、被測定物測定時にお−ける被測定物
の温度、マスタ測定時と被測定物測定時とでの測定ヘッ
ドの温度変化のいずれによっても、被測定物の寸法測定
値が補正されるため、マスク測定時におけるマスクの温
度、被測定物測定時における被測定物の温度のいずれに
も影響されることなしに、被測定物の標準温度における
寸法をマスタ基準で高精度に測定でき、かつマスタ、測
定時における測定ヘッドの温度と被測定物測定時におけ
る測定ヘッドの温度が同一でなく、測定ヘッドの測定寸
法と出力との関係が変化してもこれを高精度に補正でき
、マスク測定を行った後で長時間が経過しても被測定物
の寸法を高精度に測定できる利点がある。
図”面は本発明の実施例を示すもので、第１図は寸法測
定装置の全体構成を示すブロック図、第２図から第４図
は第１図におけるコンピュータ３２の動作を示すフロー
チャート、第５図は第１図の測定ヘッド１０の特性を示
す図である。 １０・・・測定ヘッド、１３ａ、 １３ｂ・・・エアー
ノズル、１５ａ、 １５１３・・・絞り、１８ａ、 １
８ｂ・・・圧力検出器、２０．２２・・・温度検出器、
３０・・・マルチプレクサ、３１・・・ＡＤ変換器、３
２・・・コンピュータ、３５・・・表示器、ＭＬ・・・
大径マスタ、ＭＳ・・・小径マスタ、Ｗ・・・被測定物
。 特許出願人 豊田工機株式会社 トヨタ自動車工業株式会社
定装置の全体構成を示すブロック図、第２図から第４図
は第１図におけるコンピュータ３２の動作を示すフロー
チャート、第５図は第１図の測定ヘッド１０の特性を示
す図である。 １０・・・測定ヘッド、１３ａ、 １３ｂ・・・エアー
ノズル、１５ａ、 １５１３・・・絞り、１８ａ、 １
８ｂ・・・圧力検出器、２０．２２・・・温度検出器、
３０・・・マルチプレクサ、３１・・・ＡＤ変換器、３
２・・・コンピュータ、３５・・・表示器、ＭＬ・・・
大径マスタ、ＭＳ・・・小径マスタ、Ｗ・・・被測定物
。 特許出願人 豊田工機株式会社 トヨタ自動車工業株式会社
Claims (1)
- （１）基準寸法を有するマスクを基準にして被測定物の
寸法を測定する寸法測定装置において、前記マスクおよ
び被測定物の温度を測定する第１の温度検出器と、前記
マスクおよび被測定物に選択的に係合して前記マスクお
よび被測定物の寸法を測定する測定ヘッドの温度を検出
する第２の温度検出器と、前記第１および第２温度検出
器の出力によりマスク測定時におい、てはマスタの寸法
の他にマスクの温度と測定ヘッドの温度を測定し、被測
定物測定時においては被測定物の寸法の他に被測定物の
温度と測定ヘッドの温度を測定する測定制御手段と、こ
の測定制御手段によって測定されたマスク測定時におけ
るマスクの温度、被測定物測定時における被測定物の温
度ならびにマスク測定時と被測定物測定時における測定
ヘッドの温度差に応じて前記被測定物の寸法測定値に補
正を掛けて標準温度における被測定物の寸法を算出する
補正手段とを設けたことを特徴とする温度補償機能を有
する寸法測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15547181A JPS5855708A (ja) | 1981-09-29 | 1981-09-29 | 温度補償機能を有する寸法測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15547181A JPS5855708A (ja) | 1981-09-29 | 1981-09-29 | 温度補償機能を有する寸法測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5855708A true JPS5855708A (ja) | 1983-04-02 |
Family
ID=15606771
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15547181A Pending JPS5855708A (ja) | 1981-09-29 | 1981-09-29 | 温度補償機能を有する寸法測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5855708A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6029212U (ja) * | 1983-08-04 | 1985-02-27 | 株式会社ミツトヨ | 温度補償付当接型測定器 |
| JPS6073410A (ja) * | 1983-09-07 | 1985-04-25 | フイニケ、イタリアーナ、マーポス、ソチエタ、ペル、アツイオーニ | 加工片の寸法を検査するための挟みゲージ |
| JPS60120205A (ja) * | 1983-12-02 | 1985-06-27 | Nissan Motor Co Ltd | 比較測定における自動温度補償方法及び装置 |
| EP2053352A2 (de) | 2007-10-23 | 2009-04-29 | STOTZ FEINMESSTECHNIK GmbH | Vorrichtung und Verfahren zur pneumatischen Messung eines Aussenmasses von Werkstücken |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55152412A (en) * | 1979-05-16 | 1980-11-27 | Toyoda Mach Works Ltd | Dimension measuring device for work |
| JPS5619403A (en) * | 1979-07-27 | 1981-02-24 | Futaba Corp | Length-measuring instrument |
-
1981
- 1981-09-29 JP JP15547181A patent/JPS5855708A/ja active Pending
Patent Citations (2)
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|---|---|---|---|---|
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| EP2053352A2 (de) | 2007-10-23 | 2009-04-29 | STOTZ FEINMESSTECHNIK GmbH | Vorrichtung und Verfahren zur pneumatischen Messung eines Aussenmasses von Werkstücken |
| EP2053352A3 (de) * | 2007-10-23 | 2009-08-19 | STOTZ FEINMESSTECHNIK GmbH | Vorrichtung und Verfahren zur pneumatischen Messung eines Aussenmasses von Werkstücken |
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