JPH0216499A - Ｘ線顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、Ｘ線顕微鏡に関するものである。

〔従来の技術〕

従来、Ｘ線顕微鏡として「固体物理Ｊ　Ｖｏｌ、２ＯＮ
ｏ、ｌＩ　Ｐ、８６５〜Ｂ７０　（１９８５）あるいは
「パリティ」（培風館）　Ｖｏｌ、０１　Ｎｏ、０４　
（１９８４）に記載されるものが知られている。このよ
うなＸ線顕微鏡は、シンクロトロン放射光などとして得
られたＸ線を試料に照射し、その透過光を拡大して観察
するように構成されている。

第３図に従来装置の基本構成を示す。図示の通り、Ｘ線
源１は例えばシンクロトロン放射光を生成する装置で構
成され、このＸ線出射側には試料２をセットするための
試料セット部材３が設けられている。そして、試料セッ
ト部材３の反対側にはＸ線像拡大観察装置４が配設され
ている。なお、Ｘ線像拡大観察装置４は観察窓５から入
射されたＸ線を反射させる斜入射反射鏡６と、不要なＸ
線をカットするストッパ７と、Ｘ線像を形成するための
フィルム８を有している。

ここで、シンクロトロン放射型のＸ線Ｒ１は例えば電子
ビームの加速装置等を含み、従って装置規模は大きくて
Ｘ線の出射方向は水平方向となっている。また、Ｘ線像
拡大観察装置４についても装置規模が大きく、Ｘ線の入
射方向は水平方向になっている。このため、試料セット
部材３の試料セット面３１は垂直にならざるを得ない。

〔発明が解決しようとする課題〕

このように、従来のＸ線顕微鏡では試料セット面３１が
垂直になっているため、重力Ｇ（第３図の矢印）が働い
て試料２が下方に落ちたり、ずり下ったりすることがあ
った。この問題点を解決するためには、試料２をカバー
ガラス等で試料セット部材３に押えつけたりすることが
考えられるが、このようにすると試料２に応力を与えた
りしてしまう。特に、Ｘ線顕微鏡では微生物などを生き
たまま観察するのに用いられるので、機械的に抑えつけ
たりすることは望ましくない。また、カバーガラスを用
いると、鮮明なＸ線像が得られなくなる問題もある。

そこで本発明は、Ｘｔ＠ｒｌｉｉＥあるいはＸ線像拡大
観察装置を水平方向に配設したままで、試料セット面を
水平にすることのできるＸ線顕微鏡を提供することを目
的とする。

〔課題を解決する手段〕

本発明に係るＸ線顕微鏡は、Ｘ線を出射するＸ線源と、
このＸ線源からのＸ線の通過位置に所定の試料セット面
を形成する試料セット手段と、試料セット面の試料セッ
ト位置を通過したＸ線によるＸ線像を拡大して観察する
拡大観察手段とを備えるＸ線顕微鏡において、Ｘ線源と
拡大観察手段はＸ線の出射および入射方向が交叉するよ
うに構成され、試料セット手段は試料セット面がほぼ水
平になるように構成され、かつ試料セット手段と拡大観
察手段の間もしくは試料セット手段とＸ線源の間には、
試料セット位置を通過したＸ線を反射させて拡大観察手
段の観察窓に入射させ、もしくはＸ線源から出射したＸ
線を反射させて前記試料セット位置に入射させる反射手
段が設けられていることを特徴とする。

ここで、試料セット手段については試料セット面がほぼ
水平になるように構成し、拡大観察手段についてはＸ線
の入射方向がほぼ水平になるように構成し、かつ試料セ
ット手段と拡大観察手段の間には試料セット位置を通過
したＸ線を反射させて拡大観察手段の観察窓に入射させ
る反射手段を設けることを特徴としてもよい。また、Ｘ
線源をほぼ水平方向にＸ線を出射するように構成し、が
つＸ線源と試料セット手段の間にはＸ線源を出射したＸ
線を反射させて試料セット手段の試料セット位置に入射
させる第２の反射手段を更に設けることを特徴としても
よい。

〔作用〕

本発明の構成によれば、Ｘ線は楕円面鏡等の反射手段に
より反射されるので、Ｘ線源からのＸ線の出射方向ある
いはＸ線像拡大観察装置へのＸ線の入射方向が水平であ
っても、試料セット位置におけるＸ線の方向は垂直とな
り、従って試料をセットする試料セット面を水平にする
ことが可能になる。

〔実施例〕

以下、添付図面を参照して、本発明の実施例を詳細に説
明する。なお、図面の説明において、同一要素には同一
記号を付し、重複する説明を省略する。

第１図は本発明に係るＸ線顕微鏡の基本概念を示す図で
ある。第１図（ａ）においては、Ｘ線源１からのＸ線の
出射方向は下方向（垂直°方向）になっており、試料２
をセットするための試料セット面３１は水平になってい
る。そして、試料２を通過したＸ線は反射鏡９１により
反射され、Ｘ線像拡大観察装置４の観察窓５に水平方向
から入射されるようになついる。第１図（ｂ）において
は、Ｘ線源１もＸ線像拡大観察装置４も共に水平に配置
されている。そして、Ｘ線源１から水平方向に出射され
たＸ線は反射鏡９２で反射され、水平な試料セット面３
１にセットされた試料２に対して垂直方向から入射する
。試料２を透過したＸ線は反射鏡９１で再び反射され、
Ｘ線像拡大観察装置４の観察窓５に水平方向から入射す
る。

このように、本発明では反射鏡９１．９２でＸ線の行路
を切り換えるようにしているので、Ｘ線？ｆｉ、１ある
いはＸ線像拡大観察装置４を水平方向に配置しながら、
試料セット面３１が水平になるようにできる。このため
、観察中に試料２が動によって位置ずれしたりすること
はない。なお、第１図（ｂ）においてＸ線像拡大観察装
置４を垂直に配置し、反射鏡９１を省略してもよいこと
は言うまでもない。また、反射鏡９１．９２としては、
入射角が大きくても反射率の大きい多層膜反射鏡などを
用いることができる。

第２図は実施例に係るＸ線顕微鏡の構成図である。

図示の通り、Ｘ線源１およびＸ線像拡大観察装置４はＸ
線の出射、入射方向が共に水平になるように配置される
。反射鏡９２は楕円面鏡であって、この第１の焦点はＸ
線源１のＸ線発生位置に形成され、第２の焦点は試料セ
ット面３１の試料２をセットする位置に形成されるよう
になっている。

従って、試料２を透過したＸ線は反射鏡９１で反射され
て観察窓５からＸ線像拡大観察装置４内に入射し、斜入
射反射鏡６を介してＸ線像が拡大形成されるようになっ
ている。

ここで、Ｘ線像拡大観察装置４の左半分はＸ線像拡大部
４ａをなし、右半分は電子像拡大部４ｂをなしている。

すなわち、光電面１０にＸ線像が形成されると電子が放
出され、これがコイル１１゜１２を介して拡大されてマ
イクロチャンネルプレート１３に与えられる。このマイ
クロチャンネルプレート１３に形成された電子像は電子
増倍され、これによって螢光面１４が発光させられる。

従って、螢光面１４には試料２を拡大した光学像が形成
されるので、肉眼によって、あるいはテレビカメラ等に
よって試料２を観察することが可能になる。

なお、前述の反射鏡９２については、試料セット面３１
の試料セット位置に焦点を有する放物面鏡としてもよい
。

〔発明の効果〕

以上、詳細に説明した通り、Ｘ線は楕円面鏡等の反射手
段により反射されるので、Ｘ線源がらのＸ線の出射方向
あるいはＸ線像拡大観察装置へのＸ線の入射方向が水平
であっても、試料セット位置におけるＸ線の方向は垂直
となりミ従って試料をセットする試料セット面を水平に
することが可能になる。このため、Ｘ線源あるいはＸ線
像拡大観察装置を水平方向に配設したままで、試料セッ
ト面を水平にすることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に係るＸ線顕微鏡の基本概念の説明図
、第２図は、本発明に係るＸ線顕微鏡の一実施例の構成
図、第３図は、Ｘ線顕微鏡の従来例の構成図である。 １・・・Ｘ線源、２・・・試料、３・・・試料セット部
材、４・・・Ｘ線像拡大観察装置、４ａ・・・Ｘ線像拡
大部、４ｂ・・・電子像拡大部、５・・・観察窓、６・
・・斜入射反射鏡、７・・・ストッパ、９１．９２・・
・反射鏡、１０・・・光電面、１１．１２・・・コイル
、１３・・・マイクロチャンネルプレート、１４・・・
螢光面。 特許出願人　　浜松ホトニクス株式会社代理人弁理士　
　　長谷用　　芳　　樹木発明の基本概念 第１図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、Ｘ線を出射するＸ線源と、このＸ線源からのＸ線の
   通過位置に所定の試料セット面を形成する試料セット手
   段と、前記試料セット面の試料セット位置を通過したＸ
   線によるＸ線像を拡大して観察する拡大観察手段とを備
   えるＸ線顕微鏡において、 前記Ｘ線源と前記拡大観察手段はＸ線の出射および入射
   方向が交叉するように構成され、前記試料セット手段は
   前記試料セット面がほぼ水平になるように構成され、 前記試料セット手段と前記拡大観察手段の間もしくは前
   記試料セット手段と前記Ｘ線源の間には、前記試料セッ
   ト位置を通過したＸ線を反射させて前記拡大観察手段の
   観察窓に入射させ、もしくは前記Ｘ線源から出射したＸ
   線を反射させて前記試料セット位置に入射させる反射手
   段が設けられていることを特徴とするＸ線顕微鏡。 ２、Ｘ線を出射するＸ線源と、このＸ線源からのＸ線の
   通過位置に所定の試料セット面を形成する試料セット手
   段と、前記試料セット面の試料セット位置を通過したＸ
   線によるＸ線像を拡大して観察する拡大観察手段とを備
   えるＸ線顕微鏡において、 前記試料セット手段は前記試料セット面がほぼ水平にな
   るように構成され、 前記拡大観察手段は前記Ｘ線の入射方向がほぼ水平にな
   るように構成され、 前記試料セット手段と前記拡大観察手段の間には前記試
   料セット位置を通過したＸ線を反射させて前記拡大観察
   手段の観察窓に入射させる第１の反射手段が設けられて
   いることを特徴とするＸ線顕微鏡。 ３、前記Ｘ線源はほぼ水平方向にＸ線を出射するように
   構成され、 前記Ｘ線源と前記試料セット手段の間には前記Ｘ線源を
   出射したＸ線を反射させて前記試料セット手段の試料セ
   ット位置に入射させる第２の反射手段が設けられている
   ことを特徴とする請求項２記載のＸ線顕微鏡。 ４、前記第２の反射手段は、前記Ｘ線源のＸ線発生位置
   と前記試料セット手段の試料セット位置に焦点を有する
   楕円面鏡であることを特徴とする請求項３記載のＸ線顕
   微鏡。 ５、前記第２の反射手段は、前記試料セット手段の試料
   セット位置に焦点を有する放物面鏡であることを特徴と
   する請求項３記載のＸ線顕微鏡。