JPH02167348A - 真空連続処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、プラスチック成形品たとえばポリエチレンテ
レフタレート（ＰＥＴ）フィルム、天然あるいは合成繊
維、または塗装鋼板などの被処理物を連続的に真空状態
でプラズマ処理、蒸着処理などを行なう真空連続処理装
置に係り、とく↓こスリット状のシール装置で被処理物
をシールするのに好適な真空連続処理装置に関する。

［従来の技術］ 従来の真空処理装置は、たとえば米国特許第３゜０５７
，７９２号公報に記載されているように、予備真空室を
スリット状のシール装置でシールするものが発明されて
いる。

また従来、たとえば特開昭６２−４８６６号公報に記載
されているように、予備真空室をスリット状のシール装
置でシールをし、シール装置の前後に被処理物を案内す
る案内ロールを備えたものが提案されている。

［発明が解決しようとする課Ｍ］ 上記前者の従来技術は、被処理物がシール部分に接触し
て被処理物が損傷することについて配慮されておらず、
透明導電膜などの高級処理物の処理には不適当であると
いう問題があった。

また、後者の従来技術においては、シール装置の前後に
設けた案内ロールにて被処理物を圧着しているため、処
理後の被処理物が案内ロールにより損傷を発生する問題
があった。

しかも後者の従来技術においては、その実施例を示す第
３図から明らかなように案内ロールに対する被処理物の
巻き付は角度が小さくかつ案内ロールの張力調整につい
て何等配慮されていない。

そのため、たとえ案内ロールにより被処理物を挟持し、
シール板とエプロンとの間を被処理物に接触しない間隙
に設定するとともに通過口を被処理物が通過するのに必
要な最小の間隙に設定したとしても、被処理物の断面形
状がたとえば凸型あるいは凹型などを有し、−様でない
場合には、被処理物と案内ロールとの間に速度差を発生
し、かつ被処理物がその張力を変化して振動を発生する
ので、被処理物は、通過口などに接触して傷およびしわ
を発生する問題があった。

本発明の目的は、断面形状が一様でない被処理物がシー
ル部に接触するのを防止しかつ被処理物が案内ロールで
圧着するのを防止することによって被処理物の損傷を防
止するとともに処理後の被処理物の特性に影響を与えな
い真空連続処理装置を提供することにある。

［１１１題を解決するための手設］ 上記目的を達成するため本発明は、真空処理室の前後方
向にそれぞれ少なくとも１個の予備真空室を備えた真空
連続処理装置において、前記予備真空室内に被処理物を
通過させるとともに上記真空処理室を外部とシールする
スリット状のシール手段と、該シール手段に被処理物の
搬送をガイドする案内手段とを備え、かつ上記シール手
段に被処理物の搬送方向と直角な方向しこ互いに対向し
て配置され、対向面にスリットを形成した部材と、該部
材を被処理物の搬送方向と直角な方向に移動してスリッ
トの間隙を調整する手段とを備え、上記案内手段に上記
予備真空室１個に対して少なくとも２個間隔をおいて配
置され被処理物の一方の面に対接して被処理物の搬送を
ガイドするガイトローラと、該ガイドローラ間に配置さ
れ、被処理物の他方の面に対接して被処理物に張力を付
与する張力付与用ロールとを備えたものである。

またスリットを形成する部材のうち移動するｉ′：）材
は、円滑に移動可能にしかつ移動のために必要な間隙を
小さくするため、摺動面に低摩擦係数の材料にて形成さ
れた部材もしくは互いに同一極にて対接する一対の磁石
のいずれか一方を備えたものである。

またガイドロールおよび張力付与用ロールは、断面形状
が一様でない被処理物が張力の変化によってスリット状
のシール面に接触するのを防止するため、被処理物に対
接する部材と該部材を回転自在に支持する軸部としこ分
割して構成されたものである。

［作用コ 上記のように構成された真空連続処理装置においては、
被処理物をスリット状のシール部に接触しないよ１に被
処理物の厚さに応じてシール間隙を調整−，１１能にし
、かつ案内手段に備えた少なくともパ１個のガイドロー
ルとこれら２個のガイトローラ間に被処理物に対して反
対側に配置された張力付与用ロールとにより圧着する。

二となく被処理物をスリットに搬送するので、被処理物
の損傷を防止し、かつ処理後の被処理物の特性に影響を
与えるのを防止することができる。

またスリットを形成する部材のうち移動する部材の摺動
面に低摩擦係数の材料にて形成された部材もしくは互い
に同一極にて対接する一対の磁石のいずれか一方を備え
たので移動する部材は円滑に移動することができ、かつ
移動のための間隙を小さくして空気の漏れを少なくする
ことができる。

また、ガイドロールおよび張力付与用ロールはそれぞれ
被処理物に対接する部材と該部材を回転自在に支持する
軸部とに分割し、被処理物に対する部材を単独に回転さ
せるようにしたので、たとえ凹状もしくは凸状の断面形
状をした被処理物の場合でも、被処理物に対接する部分
は被処理物の搬送速度と常に同一の周速度で回転するこ
とができ、これによって処理後の被処理物に傷が発生し
たり、しわが発生するのを防止することができる。

［実施例］ 以下、本発明の一実施例である真空連続処理装置を示す
第１図乃至第５図について説明する。

第１図および第２図において、１は真空処理室にして、
排気導管５を介して接続する真空ポンプ４によりｌｏ−
３ト一ル程度の真空圧力状態に保持され、プラスチック
フィルムたとえばＰＥＴフィルムのような可撓性の被処
理物Ｆを連続的にプラズマ処理するように形成されてい
る。２は第１予備真空室にして、真空処理室１の前方側
に複数個配置されている。３は第２予備真空室にして、
真空処理室１の後方側に複数個配置されている。これら
第１．第２予備真空室２，３は、それぞれ排気導管７を
介して接続する真空ポンプ６により真空処理室１内の真
空圧力よりも若干高くかつ゛大気圧より段階的に減じる
真空圧に保持されこれによって真空処理室１内を外部と
シールしている。８は巻出軸にして駆動用ＤＣモータ１
２ａを接続している。９は巻出側ガイドロール、１０は
巻取側ガイドロール、１１は巻取軸にして、駆動用ＤＣ
モータ１２ｂを接続している。　１３は真空処理室１内
に設置された送りロールにして、駆動用ＤＣモータ１２
を接続している。　１４は被処理物厚さ検出手段に゛し
て、第１予備真空室２の入口に設置され、被処理物Ｆの
厚さを検出している。なお、図示していないが。

巻出側ガイドロール９および巻取側ガイドロール１０に
はそれぞれ張力検出手段を備えており、これら張力検出
手段にてそれぞれ被処理物Ｆの張力を検出し、その検出
結果に基いて３個の駆動用ＤＣモータ１２．１２ａ、　
１２ｂの駆動を制御して被処理物Ｆの張力を一定に保持
している。

つぎに第■、第２予備真空室２，３に備えられた複数の
シール手段および複数の案内手段についてその主要部を
拡大して示す第３図乃至第５図により説明する。

複数のシール手段は、それぞれ第３図乃至第５図に示す
ごときもので、１５は上ケース、１６は下ケース、１７
は上側シールブロックにして、外周面中央部に嵌挿して
一体に形成された上側コラム１８を介して上ケース１５
内を、上下方向に移動自在に嵌押され、両端のフランジ
部１７ａ外周面には、該上側シールブロック１７が上下
方向に移動（最大２側程度）しても上ケース１５の下面
と常にシールを保持しうる弾性力にて形成されたＯリン
グ１９を介挿している。さらに上側シールブロック１７
は、その側面と上ケース１５との間に該上側シールブロ
ック１７が上下方向に円滑に移動し、かつ空気の漏れ量
を可能な限り小さくなるようにたとえば３０ｂ謙程度に
形成された間隙２０ａを有している。２１は下側シール
ブロックにして、外周面中央部に嵌挿して一体に形成さ
れた下側コラム２２を介して下ケース１６内に上下方向
に移動自在に嵌挿され、上面のシール面２３ｂとこれに
対向する上側シールブロック１７のシール面２３ａとの
スリット状の間隙２４を被処理物Ｆの厚さに応じて調整
しつるようにしている。

また下側シールブロック２１は両端のフランジ部２１ａ
の外周面には、該下側シールブロック２１が上下方向に
移動（最大２ｍｍ程度）しても下ケース１６の上面と常
にシールを保持しうる弾性力にて形成されたＯリング２
５を介挿している。また下側シールブロック２１は、そ
の側面と下ケース１６との間に該下側シールブロック２
１が上下方向に円滑に移動しかつ空気の漏れ量を可能な
限り小さくなるようにたとえば３０ｂ社程度に形成され
た間隙２０ｂを有している。２６ａおよび２６ｂは上側
シールブロック用藺動手段および下側シールブロック用
駆動手段にして、それぞれ上記厚さ検出手段１４により
被処理物Ｆの厚さを検出した結果に基いてハンドル２７
ａ。

２７ｂを回転すると、それぞれ上ケース１５および下ケ
ース１６に支持された減速機２８ａ、　２８ｂにて所定
の減速比をもって減速されたのち、一対のギヤ２９ａ。

２９ｂを介してボールネジ３０ａ、　３０ｂが回転する
。これらのボールネジ３０ａ、　３０ｂはそれぞれ上側
コラム１８、下側コラム２２に固定されたナツト３１ａ
、　３１ｂに螺合しているので、ボールネジ３０ａ、　
３０ｂの回転によりナツト３１ａ、　３１ｂを介して上
側コラム１８、下側コラム２２がＬＭガイド３２ａ、　
３２ｂにそうて互いに反対の上下方向に移動し、同時に
該上側コラム１８、下側コラム２２にそれぞれ一体に形
成された上側シールブロック１７、下側シールブロック
２１が上ケース１５および下ケース１６の両側面にそう
て互いに反対の上下方向に移動して間隙２４を調整する
ように構成されている。

つぎに案内手段は、第３図に示すようにガイドロール３
３と張力付与用ロール３４とから構成されている。ガイ
ドロール３３は、予備真空室２，３の１個に対して２個
宛間隔をおいて配置され、下側シールブロック２１のシ
ール面２３ｂに被処理物Ｆが接触しないように下側シー
ルブロック２１のシール面２３ｂより上方位置で被処理
物Ｆの下面に対接している。通常の使用では被処理物Ｆ
と上側シールブロック１７のシール面２３ａおよび下側
シールブロック２１のシール面２３ｂとの間隙をいずれ
も０．１ｏｎ程度にガイドロール３３と上下側シールブ
ロック１７．２１のシール面２３ａ、　２３ｂとを位置
決めしている。張力付与用ロール３４は、２個のガイド
ロール３３間の被処理物Ｆの上面に対接するように配置
され、被処理物Ｆの巻き付は角度を大きくするとともに
上記厚さ検出手段１４からの指令に基いて被処理物１・
゛の張力を調整するため１図示していないが上下方向に
位置を調整しうるように構成されている。

つぎに真空連続処理装置の動作について説明する。

処理される被処理物Ｆは、巻出軸８より送り出され、巻
出側ガイドロール９にてガイドされながらその張力を検
出されその結果に基いて３個の駆動用ＤＣモータ１２．
１２ａ、　１２ｂの駆動を制御して被処理物Ｆの張力が
一定に保持される。

しかるのち、第１予備真空室２の入口に設置された被処
理物Ｆの厚さ検出手段１４にて厚さを検出されその結果
に基いて第１予備真空室２および第２予備真空室３内に
設置された張力付与用ロール３４ｔｉ−上下方向に位置
を調整するとともに上側シールブロック用駆動手段２６
ａおよび下側シールブロック用駆動手段２６ｂのハンド
ル２７ａ、　２７ｂをそれぞれ回転して上側シールブロ
ック１７のシール面２３ａと下側シールブロック２１の
シール面２３ｂとの間隙２４を調整する。

ついで被処理物Ｆは第１予備真空室２内に送られガイド
ロール３３および張力付与ロール３４により上側シール
ブロック１７のシール面２３ａと下側シールブロック２
１のシール面２３ｂとの間隙２４内を両シール面２３ａ
、　２３ｂに接触することなく通過するようにガイドさ
れながら真空処理室（内に送られ、そこで被処理物Ｆは
プラズマ処理される。

しかるのち、プラズマ処理された被処理物Ｆは、第２予
備真空室３内に送られ、再びガイドロール３３および張
力付与用ロール３４シこより上側シールブロック１７の
シール面２３ａと下側シールブロック２１のシール面２
３ｂとの間隙２４内を両シール面２３ａ　、　２３ｂに
接触することなく通過するようにガイドされて第２予備
真空室３の外方に出る。

ついで被処理物Ｆは巻取側ガイドロール１０にガイドさ
れながら張力を検出されその結果に基いて３個の駆動用
ＤＣモータ１２．１２ａ、　１２ｂの駆動を制御して被
処理物Ｆの張力が一定に保持されたのち。

巻取軸１１に巻き取られる。

したがって、本実施例においては、スリット状の間ＶＸ
２４を厚さ検出手段１４の検出結果に基づいて調整する
ことができかつ張力付与用ロールで被処理物Ｆが間隙２
４内で振動して両シール面２３ａ、　２３ｂに接触する
のを防止することができるので、処理後の被処理物Ｆに
錫およびしわが発生するのを防止することができ、これ
によって被処理物Ｆの品質を向上することができる。

つぎに本発明の他の一実施例である真空処理装置のシー
ル手段を示す第６図乃至第８図について説明する。

第６図乃至第８図に示す実施例と第３図乃至第５図に示
す実施例との相異点は下側シールブロックと下ケースと
が一体に形成され下側コラムを省略したこと、および下
側シールブロック用駆動手段を省略したことでありそれ
以外は第３図乃至第５図に示す実施例と同一である。

すなわち、本実施例においては、下ケース１６′の上面
シール面２３′ｂを形成し、このシール面２３′ｂに対
向する上側シールブロック１７のシール面２３ａとの間
隙２４を上側シールブロック用鹿動手段２６ａのみで調
整している点が第３図乃至第５図に示す実施例と相異す
る。

したがって本実施例においては、第３図乃至第５図に示
す実施例と比較して簡単な構成にて同一効果を発揮する
ことができる。

なお、上記各実施例においては、いずれも断面形状が多
少変化する被処理物にも適用することができるが、凹形
もしくは凸形部分があって断面形状が比較的大きく変化
する被処理物に適用したとき、被処理物の送り速度とガ
イドロールの周速度とに差違が生じて処理後の被処理物
に傷が発生する恐れがある場合、または張力が変化して
処理後の被処理物にしわが発生する恐れがある場合には
、たとえばガイドロールおよび張力付与用ロールをそれ
ぞれ第９図および第１０図に示すように構成することに
よって解決することができる。

すなわち、第９図に示すように、ガイドロール３５は、
両端部をボールベアリング３６にて第■、第２予備真空
室２，３に回転自在に支持された芯軸３７と、該芯軸３
７にボールベアリング３８にて回転自在に支持された中
空状のガイドロール部材３９とから構成されたものであ
る。

また第１Ｏ図に示すように張力付与用ロール４０は、両
端部をボールベアリング４１にて２個の連結枠４２に回
転自在に支持された芯軸４３と、該芯軸４３にボールベ
アリング４４にて回転自在に支持された中空状の張力付
与用ロール部材４５とから構成されている。

なお、２個の連結枠４２はそれぞれ回転軸４６に固定さ
れており１回転軸４６はボールベアリング４６ａにて第
１．第２予備真空室２，３に回転自在に支持され、一端
部に駆動片４７の一端部を固定している。駆動片４７は
図示していないが、張力付与用ロール駆動手段に接続し
ている。この張力付与用ロール１駆動手段は、被処理物
厚さ検出手段１４の検出結果に基いてｇｊＡ動したとき
、駆動片４７を介して回転軸４６が回動し、２個の連結
枠４２を介して張力付与用ロール４０が回転軸４６を中
心にして円周方向に移動して被処理物Ｆの張力を調整す
るように構成されている。

上記のようにガイドロール３５および張力付与用ロール
４０は芯軸３７．４３とガイドロール部材３９、張力付
与用ロール部材４５とが分割され、ガイドロール部材３
９および張力付与用ロール部材４５がそれぞれ単独で軽
く回転することができるので、被処理物Ｆがたとえ凹状
また凸状の断面形状をしていたとしても、ガイドロール
部材３９および張力付与用ロール部材４５は常に被処理
物Ｆの送り速度と同一周速度で回転し、両者の間に速度
差を発生するのを防止することができる。

したがって処理後の被処理物Ｆに傷が発生したり、しわ
が発生したりするのを防止することができる。

なお、上記各実施例においては、上側シールブロック１
７および下側シールブロック２１（第３図乃至第５図の
場合）もしくは上側シールブロック１７（第６図乃至第
８図の場合）が上下方向に円滑に移動しつるようにする
ため、その側面と上ケース１５および下ケース１６もし
くは上ケース１５との間に間隙２０ｂを有する場合につ
いて説明したが、この間隙２０ｂからの空気の漏れを減
少する必要がある場合には、たとえば第１１図もしくは
第１２図に示すように構成することによって解決するこ
とができる。なお第１１図および第１２図は第６図乃至
第８図に示す実施例に適用した場合であるが、第３図乃
至第５図に示す実施例においてもこれに準じて容易に実
施することができる。

すなわち、第１１図に示すように上側シールブロツク１
７はその両側面に低摩擦係数の材料であるフッ素樹脂４
８をコーティングして間隙２０ｂを塞止するように構成
されている。

したがって上側シールブロック１７は上下方向の移動に
何等影響されることなく間隙２０ｂを小さくすることが
できるので、空気の漏れ量を少なくすることができる。

また第１２図においては、上側シールブロック１７の両
側面と、これに対向する上ケース１５の内側面とにそれ
ぞれ互いに同一極にて対接する一対の磁石４９．５０を
設置した場合を示す。

この場合には、上側シールブロック１７は一対の磁石４
９．５０の反発力を利用して円滑に上下方向に移動する
ことができ、かつ間ＶＸ２０ｂを小さくすることができ
るので、空気の漏れ量を少なくすることができる。

［発明の効果］ 本発明は、以上説明したように構成されているので、以
下に記載されるような効果を奏する。

被処理物をスリット状のシール部に接触しないように被
処理物の厚さに応じて間隙を調整可能にし、かつ案内手
段に備えた少なくとも２個のガイドロールと、これら２
個のガイドロール間に被処理物に対して反対側に配置さ
れた張力付与用ロールとにより圧着することなく被処理
物をスリットに搬送するので、被処理物の損傷を防止し
、かつ処理後の被処理物の特性に影響を与えるのを防止
することができる。

またスリットを形成する部材のうち移動する部材の摺動
面に低摩擦係数の材料にて形成された部材もしくは互い
に同一極にて対接する一対の磁石のいずれか一方を備え
たので、移動する部材は円滑に移動することができ、か
つ移動のための間隙を小さくして空気の漏れを少なくす
ることができる。

またガイドロールおよび張力付与用ロールは、それぞれ
被処理物に対接する部分とこれを支持する軸とに分割し
て被処理物に対接する部分が単独に回転することができ
るので、たとえ凹状もしくは凸状の断面形状をした被処
理物の場合でも、被処理物に対接する部分は被処理物の
搬送速度と常に同一の周速度で回転することができ、こ
れによって処理後の被処理物に傷が発生したり、しわが
発生したりするのを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

第工図は本発明の一実施例を示す真空連続処理装置を示
す縦断面図、第２図は第１図の平面図、第３図は第１図
のシール手段の主要部を示す拡大断面図、第４図は第３
図のＡ−Ａ矢視拡大断面図、第５図は第３図のＢ−Ｂ矢
視拡大断面図、第６図はシール手段の他の一実施例を示
す拡大断面図、第７図は第６図のＣ−Ｃ矢視拡大断面図
、第８図は第６図のＤ−Ｄ矢視拡大断面図、第９図は案
内手段のガイドロールの他の一実施例を示す拡大断面図
、第１０図は案内手段の張力付与用ロールの他の一実施
例を示す拡大断面図、第１１図は上側シールブロックの
他の一実施例を示す拡大断面図、第１２図は上側シール
ブロックのさらに他の一実施例を示す拡大断面図である
。 工・・真空処理室、２・・・第１予備真空室、３・・・
第２予備真空室、８・・巻出軸、９・・・巻出側ガイド
ロール、１０・・・巻取側ガイドロール、１１・・巻取
軸、１４・・・被処理物厚さ検出手段、１５・・・上ケ
ース、１６・・・下ケース、１７・・・上側シールブロ
ック、１８・・・上側コラム、２１・・・下側シールブ
ロック、２２・・・下側コラム、２６ａ、　２６ｂ・・
・シールブロック用駆動手段、３３・・・ガイドロール
、３４・・・張力付与用ロール。 代理人　弁理士　　秋　本　正　実 第 図 １５−一一よγ−ス ６−−−Ｔγ−ス １７−−−上貨’ｌ′／−＋Ｌフロ、り２６Ｏ−−・上
；到シー）レフ−口１，７、＾巳動乎老ｔ２６ｂ−−−
下慎゛ｊシー）レフ゛口、り１巳！＋！ｌ＋反２７ａ、
２７ｂ・−−Ｉ＼ンドＩし ２８ａ　、　２８ｂ−一一減走復 ２９ａ　、　２９ｂ−−−ｎのｑ−ヤ ３つａ　、３０ｂ−−ｒ、’−１し卑Ｑ３１ａ　　３１
ｂ−一−ア、ト ３２ａ　、３２ｂ−−−Ｌ　Ｍ　　ηイド第 図 ２・−千１子！１ＪＬ’２袈 ３・−半２予埠婁望！ １５−一一上γ−ス ６−−−７７−ス １７〜−−、ヒｉｌ’ｌ　ンー１しプロ、り８−−−　
ｋ劉コア４ ９−−−０す、７゛ ３３−−−η゛イドロー ０４−−一張力ｆｉ＋用口 １し

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、真空処理室の前後方向にそれぞれ少なくとも１個の
   予備真空室を備えた真空連続処理装置において、前記予
   備真空室内に被処理物を通過させるとともに上記真空処
   理室を外部とシールするスリット状のシール手段と、該
   シール手段に被処理物の搬送をガイドする案内手段とを
   備え、かつ上記シール手段に被処理物の搬送方向と直角
   な方向に互いに対向して配置され対向面にスリットを形
   成した部材と、該部材を被処理物の搬送方向と直角な方
   向に移動してスリットの間隙を調整する手段とを備え、
   上記案内手段に上記予備真空室１個に対して少なくとも
   ２個間隔をおいて配置され被処理物の一方の面に対接す
   るガイドロールと、該ガイドロール間に配置され被処理
   物の他方の面に対して被処理物に張力を付与する張力付
   与用ロールとを備えた真空連続処理装置。 ２、スリットを形成する部材のうち、移動する部材は、
   その摺動面に低摩擦係数の材料にて形成された部材もし
   くは互いに同一極にて対接する一対の磁石のいずれか一
   方を備えた請求項１記載の真空連続処理装置。 ３、ガイドロールおよび張力付与用ロールは、それぞれ
   被処理物と対接する部材と該部材を回転自在に支持する
   軸部とに分割して構成された請求項１記載の真空連続処
   理装置。