JPH02170585A - レーザ発振器 - Google Patents
レーザ発振器Info
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- JPH02170585A JPH02170585A JP63325262A JP32526288A JPH02170585A JP H02170585 A JPH02170585 A JP H02170585A JP 63325262 A JP63325262 A JP 63325262A JP 32526288 A JP32526288 A JP 32526288A JP H02170585 A JPH02170585 A JP H02170585A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、レーザ発黴器に係り、特にレーザ発振器か
ら出力されるレーザ光のビームモードの制御に関するも
のである。
ら出力されるレーザ光のビームモードの制御に関するも
のである。
第８図は従来のレーザ発振器の構成を示す平面図である
。図において、（１）は真空容器を構成するレーザ発振
器の筐体で、Ａ、Ｂはそれぞれ筐体（１）の前部及び後
部である。また、（２） 、 （３）はレーザ発振器内
に設けられ念上部電極及び下部電甑である。
。図において、（１）は真空容器を構成するレーザ発振
器の筐体で、Ａ、Ｂはそれぞれ筐体（１）の前部及び後
部である。また、（２） 、 （３）はレーザ発振器内
に設けられ念上部電極及び下部電甑である。
（４） ？ （５）は筐体（１）の後部Ｂに設けられた
全反射鏡及び内部折返し用反射鏡でめり、（６） ？
（７）は筐体（１）の後部Ｂの全反射鏡（４）及び内部
折返し用度射鏡（５）に対向して前部Ａに設けられ念内
部折返し用反射鏡及び部分反射鏡である。なお、αＧは
これらのｉ！（４）＋（５） ？ （６） 、 （７）
Ｋよジ共振されたレーザビームである。
全反射鏡及び内部折返し用反射鏡でめり、（６） ？
（７）は筐体（１）の後部Ｂの全反射鏡（４）及び内部
折返し用度射鏡（５）に対向して前部Ａに設けられ念内
部折返し用反射鏡及び部分反射鏡である。なお、αＧは
これらのｉ！（４）＋（５） ？ （６） 、 （７）
Ｋよジ共振されたレーザビームである。
（８）は全反射鏡（４）と内部折返し用反射ｍ （５）
の前面に一体となって取付けられた後部アパーチャで、
レーザビームαＱの通過路に合わせて穴部（８ａ）、（
８ｂ）が設けられており、この穴部（８ａ）、（８ｂ）
の穴径は必要とするモード次数に合わせて決定される。
の前面に一体となって取付けられた後部アパーチャで、
レーザビームαＱの通過路に合わせて穴部（８ａ）、（
８ｂ）が設けられており、この穴部（８ａ）、（８ｂ）
の穴径は必要とするモード次数に合わせて決定される。
（９ａ）は筐体（１）の前部Ａ側に設けられ、レーザビ
−ムモードを選択する回転方式のビームモード切換装置
、（９）はビームモード切換装置（９ａ）、内部折返し
用反射鏡（６）及び部分反射鏡（７）の筐体である。
−ムモードを選択する回転方式のビームモード切換装置
、（９）はビームモード切換装置（９ａ）、内部折返し
用反射鏡（６）及び部分反射鏡（７）の筐体である。
また、矢印（（イ）は、共振され九レーザビームＱ（Ｊ
が部分反射鏡（７）から外部に射出される方向を示して
いる。α１）は下部電極（３）側に設けられた細流送風
機である。
が部分反射鏡（７）から外部に射出される方向を示して
いる。α１）は下部電極（３）側に設けられた細流送風
機である。
なお、レーザ発振器のビームモードを切換える理由は、
レーザ発振器のビームモード次数を変えられるようにす
れば、１台のレーザ発振器でワークの切断、焼入れ、溶
接等が可能となり多目的に使用できるからである。
レーザ発振器のビームモード次数を変えられるようにす
れば、１台のレーザ発振器でワークの切断、焼入れ、溶
接等が可能となり多目的に使用できるからである。
次に、アパーチャの径が大きくなるとレーザ発振器の発
振効率が大となり、逆に径が小さくなると発振効率が小
となる性質かめることを考慮しつつ、ビームモードの切
換えについて説明する。第４図は第３図に示し九筒体（
９）を拡大し友断面図でめり、ビームモード切換装置の
一例を示している。
振効率が大となり、逆に径が小さくなると発振効率が小
となる性質かめることを考慮しつつ、ビームモードの切
換えについて説明する。第４図は第３図に示し九筒体（
９）を拡大し友断面図でめり、ビームモード切換装置の
一例を示している。
図において、翰は筐体（９）内の内部折返し用反射鏡（
６）２部分反射鏡（７）の前部に水平に設けられた回転
方式のセレクトシャフトで、Ｑ］）ハセレクトシャフト
翰の中央部に設けられ、セレクトシャフト（イ）の回転
とともに回転するアパーチャである。（２２ａ）。
６）２部分反射鏡（７）の前部に水平に設けられた回転
方式のセレクトシャフトで、Ｑ］）ハセレクトシャフト
翰の中央部に設けられ、セレクトシャフト（イ）の回転
とともに回転するアパーチャである。（２２ａ）。
（２２ｂ）はアパーチャｇ！ηに設けられ、レーザビ−
ムαＱが通過する光軸方向に平行な第１の左穴部、第１
の右穴部〔本例ではダブルモードのレーザビームを選択
〕で、左穴部（２２ａ）の穴径が右穴部（２２ｂ）の穴
径よりも大きくなるように形成されている。
ムαＱが通過する光軸方向に平行な第１の左穴部、第１
の右穴部〔本例ではダブルモードのレーザビームを選択
〕で、左穴部（２２ａ）の穴径が右穴部（２２ｂ）の穴
径よりも大きくなるように形成されている。
（２８ａ） 、Ｃ２８ｂ） ｆｌ左穴部（２２Ｌ） 、
右穴部（２２ｂ） （！：Ｕ交するように設けられた第
２の左穴部、第２の右穴部〔本例ではシングルモードの
レーザビームを選択〕で、それぞれが対応する左穴部（
２２ａ） 、右穴部（２２ｂ）よりも小てい穴径となっ
ている。（ハ）はセレクトシャフト（１）の右端部に設
けられ、セレクトシャフト翰を９０度回転させる外部レ
バーである。（２５ａ）、（２５ｂ）はセレクトシャフ
ト（１）を筐体（９）の両側で支持する軸受箱、（２６
ａ）、（２６ｂ）は軸受箱（２５ａ） 、（２５ｂ）の
両外側に設けられた軸受外箱である。（２７＆）、（２
７ｂ） ｉ軸受外箱（２６ａ）、（２６ｂ）に設けられ
、アパーチャ（ハ）を冷却する冷却装置で、冷却水は伸
）方向から入りセレクトシャフト（１）内を通ってアパ
ーチャ（２）を冷却し、（ハ）方向から排出される。
右穴部（２２ｂ） （！：Ｕ交するように設けられた第
２の左穴部、第２の右穴部〔本例ではシングルモードの
レーザビームを選択〕で、それぞれが対応する左穴部（
２２ａ） 、右穴部（２２ｂ）よりも小てい穴径となっ
ている。（ハ）はセレクトシャフト（１）の右端部に設
けられ、セレクトシャフト翰を９０度回転させる外部レ
バーである。（２５ａ）、（２５ｂ）はセレクトシャフ
ト（１）を筐体（９）の両側で支持する軸受箱、（２６
ａ）、（２６ｂ）は軸受箱（２５ａ） 、（２５ｂ）の
両外側に設けられた軸受外箱である。（２７＆）、（２
７ｂ） ｉ軸受外箱（２６ａ）、（２６ｂ）に設けられ
、アパーチャ（ハ）を冷却する冷却装置で、冷却水は伸
）方向から入りセレクトシャフト（１）内を通ってアパ
ーチャ（２）を冷却し、（ハ）方向から排出される。
（２８ａ） ＋ （２８ｂ） ｉｔ セＶ り） ！’
ヤｙト（ホ）と軸受箱（２６ａＸ（２５ｂ）の間に設
けられたベアリングである。
ヤｙト（ホ）と軸受箱（２６ａＸ（２５ｂ）の間に設
けられたベアリングである。
なお、第８図に示す筐体（１）の後部Ｂ〔全反射鏡（４
）側〕に設けられた後部アパーチャ（８）の穴部（８ａ
）。
）側〕に設けられた後部アパーチャ（８）の穴部（８ａ
）。
（８ｂ）の穴径は、第４図に示したビームモード切換Ｎ
！ｔ（９ａ）のアパーチャ（ロ）の穴部のうち穴径の大
ｆ５イ方Ｃ！４図では第１の左穴部（２２＆） ）の径
、すなわちビームモード人数の大きい方の径に合わせて
いる。
！ｔ（９ａ）のアパーチャ（ロ）の穴部のうち穴径の大
ｆ５イ方Ｃ！４図では第１の左穴部（２２＆） ）の径
、すなわちビームモード人数の大きい方の径に合わせて
いる。
上記のように構成したビームモード切換機構の作用を説
明すれば欠の通りである。１部を極（２）及び下部電極
（３）間で励起されたレーザビーム四畦、全反射鏡（４
）、内部折返し用反射Ｍ！＋６） 、 （５）、部分反
射鏡（７）間で共振される。このと＠Ｖレーザビーム１
１は、後部アパーチャ（８）に設けられた各々の穴部（
８ａ）、（８ｂ）の穴径及びビームモード切換装置（９
ａ）で切り換えられた前部アパーチャＱυの穴径により
モード（入船を制限葛れる、即ち、この共振きれたレー
ザビームαＱは、後部アパーチャ（８）の穴部（８ａ）
、（８ｂ） 、アパーチャ（財）の第１の左穴部（２２
ａ）、第１の右穴部（２２ｂ）を通過し、ここでマルチ
モードのビームモードが選択され、レーザビームαＱの
一部は部分反射鏡（７）を通って（イ）方向に射出され
る。
明すれば欠の通りである。１部を極（２）及び下部電極
（３）間で励起されたレーザビーム四畦、全反射鏡（４
）、内部折返し用反射Ｍ！＋６） 、 （５）、部分反
射鏡（７）間で共振される。このと＠Ｖレーザビーム１
１は、後部アパーチャ（８）に設けられた各々の穴部（
８ａ）、（８ｂ）の穴径及びビームモード切換装置（９
ａ）で切り換えられた前部アパーチャＱυの穴径により
モード（入船を制限葛れる、即ち、この共振きれたレー
ザビームαＱは、後部アパーチャ（８）の穴部（８ａ）
、（８ｂ） 、アパーチャ（財）の第１の左穴部（２２
ａ）、第１の右穴部（２２ｂ）を通過し、ここでマルチ
モードのビームモードが選択され、レーザビームαＱの
一部は部分反射鏡（７）を通って（イ）方向に射出され
る。
次にシングルモードのビームモードを選択したい場合は
、まずレーザビームαＱの発生を停止′５ぜ、次に第５
図〔第４図のＣ−Ｃ断面図〕に示す外部レバー（財）を
矢印に）方向に９０度回転させ、（２４ａ）の位置に停
止させる。この回転にともなって第１の左穴部（２２ａ
） （第１ （Ｄ右六ｉ （２２ｂ） ：） 及ヒ第２
の左穴部（２３ａ） （第２の右穴部（２８ｂ） ）も
に）方向に９０度回転し、第２の左穴部（２ａ＆） （
第２の右穴部（２８ｂ） ）がレーザビームαｑの光軸
上に停止する。この状態で再度上部電極（２）及び下部
電極（３）間のレーザ媒質を励起してレーザビームを発
生させると、レーザビームは先の場合と同様に全反射鏡
（４）、内部折返し用反射鏡（６） 、 （５）、部分
反射鏡（７）間で共振され、第５図に示す矢印（イ）方
向に進行する。
、まずレーザビームαＱの発生を停止′５ぜ、次に第５
図〔第４図のＣ−Ｃ断面図〕に示す外部レバー（財）を
矢印に）方向に９０度回転させ、（２４ａ）の位置に停
止させる。この回転にともなって第１の左穴部（２２ａ
） （第１ （Ｄ右六ｉ （２２ｂ） ：） 及ヒ第２
の左穴部（２３ａ） （第２の右穴部（２８ｂ） ）も
に）方向に９０度回転し、第２の左穴部（２ａ＆） （
第２の右穴部（２８ｂ） ）がレーザビームαｑの光軸
上に停止する。この状態で再度上部電極（２）及び下部
電極（３）間のレーザ媒質を励起してレーザビームを発
生させると、レーザビームは先の場合と同様に全反射鏡
（４）、内部折返し用反射鏡（６） 、 （５）、部分
反射鏡（７）間で共振され、第５図に示す矢印（イ）方
向に進行する。
このとき第２の左穴部（２Ｂ＆） （第２の右穴部（２
８ｂ））の穴径によりレーザビームα０のビームモード
がシングルビームに限定され、その後矢印（イ）方向に
射出される。
８ｂ））の穴径によりレーザビームα０のビームモード
がシングルビームに限定され、その後矢印（イ）方向に
射出される。
ここで、各反射鏡（４） 、 （７）間におけるシング
ルモードのビーム発振について男６図で説明する。図に
おいて、翰はアパーチャ（財）の穴部（２８ａ） 、（
２８ｂ）の径によって定まるシングルモードのビーム外
径り、シングルモードのビーム外径ｓ四より拡散した光
となって、励起空間（至）で光の強度Ｉ （Ｗ／ｄ）が
で示すようになる。
ルモードのビーム発振について男６図で説明する。図に
おいて、翰はアパーチャ（財）の穴部（２８ａ） 、（
２８ｂ）の径によって定まるシングルモードのビーム外
径り、シングルモードのビーム外径ｓ四より拡散した光
となって、励起空間（至）で光の強度Ｉ （Ｗ／ｄ）が
で示すようになる。
グルモードの場合に比べて少ない。
なお、第７図はシングルモードおよびマルチモードでの
光軸に垂直な断面におけるレーザ光の強度分布状態を示
す図である。
光軸に垂直な断面におけるレーザ光の強度分布状態を示
す図である。
従来のＶ−ザ発撮器は以上のように構成されて−チャ（
財）が全て受けるため、大きな熱的負荷が発生すること
になる。この結果、アパーチャＥｌがシングルモードと
マルチモードのビームモード切換機構を備えていても、
冥質的には相方を有効に利用することができないという
問題点があった。
財）が全て受けるため、大きな熱的負荷が発生すること
になる。この結果、アパーチャＥｌがシングルモードと
マルチモードのビームモード切換機構を備えていても、
冥質的には相方を有効に利用することができないという
問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、シングルモード時のアパーチャの熱的負荷を
軽減するとともに、シングルモードおよびマルチモード
のいづれにも使用可能なレーザ発振器を得ることを目的
とする。
たもので、シングルモード時のアパーチャの熱的負荷を
軽減するとともに、シングルモードおよびマルチモード
のいづれにも使用可能なレーザ発振器を得ることを目的
とする。
この発明に保るレーザ発振器は、光軸上に固定、光
して設けられたマルチモードアパーチャとｔ−地軸とに
挿脱自在に設けられ九シングルモードアパーチャとを備
えて成り、シングルモードのレーザビーム発振時は、マ
ルチモードアパーチャとシングルモードアパーチャを併
用し、マルチモードのレーザビーム発振時は、シングル
モードアパーチャを光軸とから離脱するように構成した
ものである。
挿脱自在に設けられ九シングルモードアパーチャとを備
えて成り、シングルモードのレーザビーム発振時は、マ
ルチモードアパーチャとシングルモードアパーチャを併
用し、マルチモードのレーザビーム発振時は、シングル
モードアパーチャを光軸とから離脱するように構成した
ものである。
この発明においては、マルチモードアパーチャとシング
ルモードアパーチャの併用時、シングルモードアパーチ
ャによりビームモードがシングルモードに制限され、マ
ルチモードアパーチャによりノングルモードアパーチャ
への入射ビームのパワーが減少される。また、シング）
Ｖモードアバーナヤの離脱時、マルチモードアパーチャ
によりビームモードがマルチモードに制限される。
ルモードアパーチャの併用時、シングルモードアパーチ
ャによりビームモードがシングルモードに制限され、マ
ルチモードアパーチャによりノングルモードアパーチャ
への入射ビームのパワーが減少される。また、シング）
Ｖモードアバーナヤの離脱時、マルチモードアパーチャ
によりビームモードがマルチモードに制限される。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図はレーザ発振器の構成図でるり、図において、ａ２は
レーザ発振器筐体（１）の前部Ａ側内部に設けられたマ
ルチモードアバ−チャ、（１２ａ） ＋（１２ｂ）はマ
ルチモードアパーチャ（２）に設けられたレーザビーム
００通過用の穴部、Ｑ３はビームモード切換装置の筐体
（９）内に設けられたシングルモードアパーチャ、（１
８＆）、（１Ｂｋ’） ｔｒｙ ｙ ンｆ ｉｖモモ−
Ｆ７ ／＜−チャ（至）に設けられたレーザビーム００
通過用の穴部である。
図はレーザ発振器の構成図でるり、図において、ａ２は
レーザ発振器筐体（１）の前部Ａ側内部に設けられたマ
ルチモードアバ−チャ、（１２ａ） ＋（１２ｂ）はマ
ルチモードアパーチャ（２）に設けられたレーザビーム
００通過用の穴部、Ｑ３はビームモード切換装置の筐体
（９）内に設けられたシングルモードアパーチャ、（１
８＆）、（１Ｂｋ’） ｔｒｙ ｙ ンｆ ｉｖモモ−
Ｆ７ ／＜−チャ（至）に設けられたレーザビーム００
通過用の穴部である。
上記マルチモードアバーチ−？（２）は光軸上に固定し
て設けられ、シングルモードアパーチャａ３は光軸上に
挿入離脱自在に設けられている。また、マｓｙｆモー
）’７／＜−ｆ＋０２Ｊノ穴ｍ （１２ａ）ｅ（１２ｂ
） １４、シングルモードアパーチャ（至）の穴部（１
８ａ） ＋ （１８ｂ）よりも大きく形成されており、
ビームモードに何ら影響を与えない構成となっている。
て設けられ、シングルモードアパーチャａ３は光軸上に
挿入離脱自在に設けられている。また、マｓｙｆモー
）’７／＜−ｆ＋０２Ｊノ穴ｍ （１２ａ）ｅ（１２ｂ
） １４、シングルモードアパーチャ（至）の穴部（１
８ａ） ＋ （１８ｂ）よりも大きく形成されており、
ビームモードに何ら影響を与えない構成となっている。
なお、上記構成以外は、従来のレーザ発振器と同一であ
るので説明を省略する。
るので説明を省略する。
次に、ビームモードの切換機構の動作について説明する
。１ず、シングルモードのビームモードを選択する場合
は、シングルモードアパーチャ（至）を光軸上に挿入固
定する。この状態で上部［極（２）および下部［１Ｍ（
３）間のレーザ媒質を励起してレーザビームを発生させ
ると、レーザビームαＱは従来と同様に全反射鏡（４）
、内部折返し用反射＊（ａ） 、 （５）、部分反射鏡
（７）間で共振され、第１図に示す矢印（イ）方向に進
行する。このとき、シングルモードアパーチャ（２）の
穴部（１８ａ）、（１８ｂ）の穴径によって、レーザビ
ームαＱのビームモードがンングｙビームに讐で、シン
グルアパーチャ（至）Ｋ熱的負荷が発生することになっ
て使用上好ましくない。そこでこの発明では、予め光軸
上に固定されたマルチモードアパーチャ（２）で、ビー
ムがシングルモードに限定される前にモード次数を減少
させてシングμモードアパーチャＯ，ｌＫ入射嘔ぜるよ
うにしたものである。即ち、第２図から明らかなように
、シングルモードアパーチャ（至）の直前にマルチモー
ドアバ−（１２ａ） 、（１２ｂ）の穴径とシングルモ
ードアパーチャ（至）の穴部（１Ｂ”）、（１８ｂ）の
穴径の差の分のみ（図中の黒塗部）が、シングルモード
アパーチャ（至）に入射することになるため、それによ
る熱的負荷は非常に少なくなるのである。
。１ず、シングルモードのビームモードを選択する場合
は、シングルモードアパーチャ（至）を光軸上に挿入固
定する。この状態で上部［極（２）および下部［１Ｍ（
３）間のレーザ媒質を励起してレーザビームを発生させ
ると、レーザビームαＱは従来と同様に全反射鏡（４）
、内部折返し用反射＊（ａ） 、 （５）、部分反射鏡
（７）間で共振され、第１図に示す矢印（イ）方向に進
行する。このとき、シングルモードアパーチャ（２）の
穴部（１８ａ）、（１８ｂ）の穴径によって、レーザビ
ームαＱのビームモードがンングｙビームに讐で、シン
グルアパーチャ（至）Ｋ熱的負荷が発生することになっ
て使用上好ましくない。そこでこの発明では、予め光軸
上に固定されたマルチモードアパーチャ（２）で、ビー
ムがシングルモードに限定される前にモード次数を減少
させてシングμモードアパーチャＯ，ｌＫ入射嘔ぜるよ
うにしたものである。即ち、第２図から明らかなように
、シングルモードアパーチャ（至）の直前にマルチモー
ドアバ−（１２ａ） 、（１２ｂ）の穴径とシングルモ
ードアパーチャ（至）の穴部（１Ｂ”）、（１８ｂ）の
穴径の差の分のみ（図中の黒塗部）が、シングルモード
アパーチャ（至）に入射することになるため、それによ
る熱的負荷は非常に少なくなるのである。
次に１マルチモードのビームモードを選択する場合は、
レーザビームＱＯの発生を停止させた後、シングルモー
ドアパーチャ（２）を光軸上から外す。
レーザビームＱＯの発生を停止させた後、シングルモー
ドアパーチャ（２）を光軸上から外す。
セして、この状態から再びレーザ発振すると、レーザビ
ーム（１０は、マルチモードアパーチャ（２）の穴部（
１２，ｉＬ）、（１２ｂ） Ｏ穴径および後部アパーチ
ャ（８）の穴部（８ａ）、（８ｂ）の穴径によりモード
次数が制限される。即ち、この共振されたレーザビーム
αＯは、後部アパーチャ（８）の穴部（８ａ）ｌ（８ｂ
） ｅマルチモードアパーチャ＠の穴部（１２ａ）、（
１２ｂ） を通過し、ここでマルチモードのビームモー
ドが選択され、レーザビーム四の一部は部分反射鏡（７
）から矢印（イ）方向に射出式れるのでるる。
ーム（１０は、マルチモードアパーチャ（２）の穴部（
１２，ｉＬ）、（１２ｂ） Ｏ穴径および後部アパーチ
ャ（８）の穴部（８ａ）、（８ｂ）の穴径によりモード
次数が制限される。即ち、この共振されたレーザビーム
αＯは、後部アパーチャ（８）の穴部（８ａ）ｌ（８ｂ
） ｅマルチモードアパーチャ＠の穴部（１２ａ）、（
１２ｂ） を通過し、ここでマルチモードのビームモー
ドが選択され、レーザビーム四の一部は部分反射鏡（７
）から矢印（イ）方向に射出式れるのでるる。
ところで、上記の説明では折返し型レーザの場合につい
て示したがこの発明は特に折返しレーザ発振器に限られ
るものではなく、また、折返し数に限定されることもな
い。
て示したがこの発明は特に折返しレーザ発振器に限られ
るものではなく、また、折返し数に限定されることもな
い。
なお、上記大施例では、モードはシングルモードとマル
チモードの切換について示したが、低次と高次のマルチ
モードの切換についても同様の効果を奏する。
チモードの切換について示したが、低次と高次のマルチ
モードの切換についても同様の効果を奏する。
以とのようにこの発明によれば、マルチモードのビーム
モードを制限するアパーチャを光軸Ｊ＝に固定して投げ
るとともに、シングルモードのビームモードを制限する
アパーチャを光軸上に挿脱自在に設け、シングルモード
のレーザビーム発振時に、マルチモードアパーチャとシ
ングルモードアパーチャを併用するように構成したので
、シングルモードアパーチャの熱的負荷が大幅に低減で
き、シングルモードアパーチャの長寿命化が図れる。
モードを制限するアパーチャを光軸Ｊ＝に固定して投げ
るとともに、シングルモードのビームモードを制限する
アパーチャを光軸上に挿脱自在に設け、シングルモード
のレーザビーム発振時に、マルチモードアパーチャとシ
ングルモードアパーチャを併用するように構成したので
、シングルモードアパーチャの熱的負荷が大幅に低減で
き、シングルモードアパーチャの長寿命化が図れる。
また、マルチモードのレーザビーム発振時には、シング
ルモードアパーチャを光軸上から離脱することにより、
マルチモードレーザ発振器に容易に転用することができ
るという効果かめる。
ルモードアパーチャを光軸上から離脱することにより、
マルチモードレーザ発振器に容易に転用することができ
るという効果かめる。
第１図はこの発明の一実施例によるレーザ発振器の構成
図、第２図はこの発明におけるシングルモードのビーム
発振説明図、第３図は従来のレーザ発振器の構成図、第
４図は従来のレーザ発振器のモード切換機構を示す断面
図、第５図は第４図のＣ−Ｃ断面図、第６図は従来のレ
ーザ発振器におけるシングルモードのビーム発振説明図
、第７図は各モードにおけるレーザ光の強度分布の状態
を示す図である。 図において、（４）は全反射鏡、（７）は部分反射鏡、
ＧＯはレーザビーム、（２）はマルチモードアパーチャ
、０３はシングルモードアパーチャである。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
図、第２図はこの発明におけるシングルモードのビーム
発振説明図、第３図は従来のレーザ発振器の構成図、第
４図は従来のレーザ発振器のモード切換機構を示す断面
図、第５図は第４図のＣ−Ｃ断面図、第６図は従来のレ
ーザ発振器におけるシングルモードのビーム発振説明図
、第７図は各モードにおけるレーザ光の強度分布の状態
を示す図である。 図において、（４）は全反射鏡、（７）は部分反射鏡、
ＧＯはレーザビーム、（２）はマルチモードアパーチャ
、０３はシングルモードアパーチャである。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 対向配置された全反射鏡および部分反射鏡と、上記各反
射鏡間の部分反射鏡側の光軸上に固定して設けられ、ビ
ームモードをマルチモードに制限するマルチモードアパ
ーチャと、このマルチモードアパーチャと上記部分反射
鏡間の光軸上に挿脱自在に設けられ、ビームモードをシ
ングルモードに制限するシングルモードアパーチャとを
備えて成り、シングルモードのレーザビーム発振時は、
上記マルチモードアパーチャとシングルモードアパーチ
ャとを併用するとともに、マルチモードのレーザビーム
発振時は、上記シングルモードアパーチャを光軸上から
離脱することを特徴とするレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63325262A JPH0682877B2 (ja) | 1988-12-23 | 1988-12-23 | レーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63325262A JPH0682877B2 (ja) | 1988-12-23 | 1988-12-23 | レーザ発振器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02170585A true JPH02170585A (ja) | 1990-07-02 |
| JPH0682877B2 JPH0682877B2 (ja) | 1994-10-19 |
Family
ID=18174849
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63325262A Expired - Lifetime JPH0682877B2 (ja) | 1988-12-23 | 1988-12-23 | レーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0682877B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2666939A1 (fr) * | 1990-09-19 | 1992-03-20 | Hitachi Ltd | Oscillateur laser et dispositif pour fabriquer un semiconducteur, utilisant ledit oscillateur. |
| JP2004130793A (ja) * | 2002-09-30 | 2004-04-30 | Eos Gmbh Electro Optical Systems | 三次元オブジェクトを一層毎に製造する装置及びその方法 |
| KR100800709B1 (ko) * | 2005-10-10 | 2008-02-01 | 삼성전자주식회사 | 영상 스캔 장치 |
| EP1767777A3 (de) * | 2005-09-22 | 2008-05-21 | GE Jenbacher GmbH & Co OHG | Verbrennungsmotor mit einer Laserlichterzeugungsvorrichtung |
| JP2009094161A (ja) * | 2007-10-04 | 2009-04-30 | Fanuc Ltd | アパーチャを備えたレーザ発振器 |
| EP2387117A2 (en) | 2010-05-11 | 2011-11-16 | Fujifilm Corporation | Solid-state laser device |
-
1988
- 1988-12-23 JP JP63325262A patent/JPH0682877B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2666939A1 (fr) * | 1990-09-19 | 1992-03-20 | Hitachi Ltd | Oscillateur laser et dispositif pour fabriquer un semiconducteur, utilisant ledit oscillateur. |
| JP2004130793A (ja) * | 2002-09-30 | 2004-04-30 | Eos Gmbh Electro Optical Systems | 三次元オブジェクトを一層毎に製造する装置及びその方法 |
| EP1767777A3 (de) * | 2005-09-22 | 2008-05-21 | GE Jenbacher GmbH & Co OHG | Verbrennungsmotor mit einer Laserlichterzeugungsvorrichtung |
| KR100800709B1 (ko) * | 2005-10-10 | 2008-02-01 | 삼성전자주식회사 | 영상 스캔 장치 |
| JP2009094161A (ja) * | 2007-10-04 | 2009-04-30 | Fanuc Ltd | アパーチャを備えたレーザ発振器 |
| EP2387117A2 (en) | 2010-05-11 | 2011-11-16 | Fujifilm Corporation | Solid-state laser device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0682877B2 (ja) | 1994-10-19 |
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