JPH02170922A - シャドウマスク用Ｆｅ―Ｎｉ合金板の製造方法 - Google Patents
シャドウマスク用Ｆｅ―Ｎｉ合金板の製造方法Info
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- JPH02170922A JPH02170922A JP32364588A JP32364588A JPH02170922A JP H02170922 A JPH02170922 A JP H02170922A JP 32364588 A JP32364588 A JP 32364588A JP 32364588 A JP32364588 A JP 32364588A JP H02170922 A JPH02170922 A JP H02170922A
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B21—MECHANICAL METAL-WORKING WITHOUT ESSENTIALLY REMOVING MATERIAL; PUNCHING METAL
- B21B—ROLLING OF METAL
- B21B3/00—Rolling materials of special alloys so far as the composition of the alloy requires or permits special rolling methods or sequences ; Rolling of aluminium, copper, zinc or other non-ferrous metals
- B21B3/02—Rolling special iron alloys, e.g. stainless steel
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Heat Treatment Of Steel (AREA)
- Heat Treatment Of Sheet Steel (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はカラーブラウン管内で使用されるシャドウマス
ク用Ｆｅ−Ｎｉ合金板、特にシャドウマスクの製造工程
においてエツチング時に発生するスジムラを抑制し、か
つ作業性および歩留を改善したシャドウマスク用ｒｅ−
Ｎｉ合合板の製造方法に関するものである。
ク用Ｆｅ−Ｎｉ合金板、特にシャドウマスクの製造工程
においてエツチング時に発生するスジムラを抑制し、か
つ作業性および歩留を改善したシャドウマスク用ｒｅ−
Ｎｉ合合板の製造方法に関するものである。
カラーブラウン管シャドウマスク用素材として−ｉに低
炭素鋼が使用されている。カラーブラウン管は真空管を
形成するガラスバルブのフェースプレート部（パネル）
に赤、緑、青の３原色を発する蛍光膜が塗布されており
、反対側のネック部には蛍光膜を刺激発光さゼるための
電子ビームを発射する電子銃を備えている。シャドウマ
スクは、蛍光面と電子銃の間の蛍光面に近い位置に設け
られており、電子銃から発する３原色に対応する３本の
電子ビームを、スロフトと呼ばれるイしに通過させて各
々対応する蛍光体のみに当たるような色選別機能を果た
しているものである。従ってシャドウマスク上のスロフ
トと蛍光体の位置関係が正確に合っている必要がある。
炭素鋼が使用されている。カラーブラウン管は真空管を
形成するガラスバルブのフェースプレート部（パネル）
に赤、緑、青の３原色を発する蛍光膜が塗布されており
、反対側のネック部には蛍光膜を刺激発光さゼるための
電子ビームを発射する電子銃を備えている。シャドウマ
スクは、蛍光面と電子銃の間の蛍光面に近い位置に設け
られており、電子銃から発する３原色に対応する３本の
電子ビームを、スロフトと呼ばれるイしに通過させて各
々対応する蛍光体のみに当たるような色選別機能を果た
しているものである。従ってシャドウマスク上のスロフ
トと蛍光体の位置関係が正確に合っている必要がある。
しかし、カラーブラウン管を連続使用する場合、電子ビ
ームのエネルギーのうち約８０％がシャドウマスク上で
熱エネルギーとして消費されるため、シャドウマスクの
温度は局部的に９０℃程度まで上昇し熱膨張により電子
ビームと蛍光体の一敗が得られなくなり、画像が不鮮明
になる。
ームのエネルギーのうち約８０％がシャドウマスク上で
熱エネルギーとして消費されるため、シャドウマスクの
温度は局部的に９０℃程度まで上昇し熱膨張により電子
ビームと蛍光体の一敗が得られなくなり、画像が不鮮明
になる。
このため、カラーブラウン管の構造を工夫してシャドウ
マスクの熱膨張を補償することが行われているが十分で
ない。
マスクの熱膨張を補償することが行われているが十分で
ない。
そこで、近年シャドウマスク用素材として熱膨張係数が
低炭素鋼に比べて極めて小さい、３０〜５０％Ｎｉの低
熱膨張Ｆｅ−Ｎｉ合金板が使用されつつある。
低炭素鋼に比べて極めて小さい、３０〜５０％Ｎｉの低
熱膨張Ｆｅ−Ｎｉ合金板が使用されつつある。
しかしながら、シャドウマスクの製造工程においてこの
ようなＦｅ−Ｎｉ合金板をエツチングにより穿孔すると
、圧延方向に沿うスジ状の模様、すなわちスジムラと呼
ばれる不良が発生ずることがある。
ようなＦｅ−Ｎｉ合金板をエツチングにより穿孔すると
、圧延方向に沿うスジ状の模様、すなわちスジムラと呼
ばれる不良が発生ずることがある。
従って、カラーブラウン管内で使用されるシャドウマス
ク用Ｆｅ−Ｎｉ合金板、特にシャドウマスクの製造工程
においてエツチング時に発生するスジムラを抑制したシ
ャドウマスク用Ｐｅ−Ｎｉ合金板を製造する方法が強（
要望されている。
ク用Ｆｅ−Ｎｉ合金板、特にシャドウマスクの製造工程
においてエツチング時に発生するスジムラを抑制したシ
ャドウマスク用Ｐｅ−Ｎｉ合金板を製造する方法が強（
要望されている。
スジムラの発生原因としては成分偏析が最も支配的であ
ると言われており、Ｆｅ−Ｎｉ合金板の成分偏析軽減方
法として、熱間圧延板にてソーキング熱処理を行いＮｉ
の偏析を軽減してエツチング穿孔性を改善する方法が特
開昭６０−５６０５３号公報に開示されているが、歩留
や作業性の点で問題がある。
ると言われており、Ｆｅ−Ｎｉ合金板の成分偏析軽減方
法として、熱間圧延板にてソーキング熱処理を行いＮｉ
の偏析を軽減してエツチング穿孔性を改善する方法が特
開昭６０−５６０５３号公報に開示されているが、歩留
や作業性の点で問題がある。
Ｆｅ−Ｎｉ合金は高温長時間の大気加熱をすると、表層
スケール直下に粒界酸化や内部酸化等のサブスケールが
著しく発生するため、熱間圧延板でソーキング熱処理を
行うことはサブスケールによる表面疵が多発し、歩留や
作業性を大幅に劣化させる。一方、サブスケールの抑制
の点から熱処理温度を低温化し、または時間を短くして
行うと、Ｎｉの拡散が不充分となり成分偏析起因のスジ
ムラが発生する 本発明は、カラーブラウン管内で使用されるシャドウマ
スク用Ｆｅ−Ｎｉ合金板、特にシャドウマスクの製造工
程においてエツチング時に発生するスジムラを抑制し、
かつサブスケールによる表面疵除去のための表面研削の
作業性および薄板製品の歩留を改善し、工業的規模でシ
ャドウマスク用ＦｅＮｉ合金板を安定装造する方法を捉
供することを目的としている。
スケール直下に粒界酸化や内部酸化等のサブスケールが
著しく発生するため、熱間圧延板でソーキング熱処理を
行うことはサブスケールによる表面疵が多発し、歩留や
作業性を大幅に劣化させる。一方、サブスケールの抑制
の点から熱処理温度を低温化し、または時間を短くして
行うと、Ｎｉの拡散が不充分となり成分偏析起因のスジ
ムラが発生する 本発明は、カラーブラウン管内で使用されるシャドウマ
スク用Ｆｅ−Ｎｉ合金板、特にシャドウマスクの製造工
程においてエツチング時に発生するスジムラを抑制し、
かつサブスケールによる表面疵除去のための表面研削の
作業性および薄板製品の歩留を改善し、工業的規模でシ
ャドウマスク用ＦｅＮｉ合金板を安定装造する方法を捉
供することを目的としている。
本発明は、この目的のために製造工程および条件を種々
検討した結果、達成したもので、その要旨とするところ
は下記のとおりである。
検討した結果、達成したもので、その要旨とするところ
は下記のとおりである。
（１）重量％にて、Ｎｉ ： ３０〜５０％、 Ｓｉ
： ０．０１〜１．００％、 Ｍｎ ： ０．１
０ 〜２．００％ 、八ｌ： ０．０５％以下。
： ０．０１〜１．００％、 Ｍｎ ： ０．１
０ 〜２．００％ 、八ｌ： ０．０５％以下。
ｏ：ｏ、ｏ２％以下、残部Ｆｅおよび不可避的不純物か
らなるＦｅ−Ｎｉ合金の連続鋳造スラブに、１２００〜
１３５０℃で１時間以上のソーキング熱処理を行った後
、表面手入れを行い、ついで酸素濃度０．１νｏ１％以
下の雰囲気にて１１００〜１２００″Ｃに加熱し、熱間
圧延し、表面研削と冷間圧延を行い、再結晶焼鈍するこ
とを特徴とするシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ合金板の製
造方法。
らなるＦｅ−Ｎｉ合金の連続鋳造スラブに、１２００〜
１３５０℃で１時間以上のソーキング熱処理を行った後
、表面手入れを行い、ついで酸素濃度０．１νｏ１％以
下の雰囲気にて１１００〜１２００″Ｃに加熱し、熱間
圧延し、表面研削と冷間圧延を行い、再結晶焼鈍するこ
とを特徴とするシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ合金板の製
造方法。
（２）重量％にて、Ｎｉ ： ３０〜５０％、 Ｓｉ
： ０．０１〜１．００％、 Ｍｎ ： ０．１０〜２
．００％、Ｎ：０．０５％、Ａｔ： ０．０５％以下Ｏ
： ０．０２％以下、残部Ｆｅおよび不可避的不純物か
らなるＦｅ−Ｎｉ合金の連続鋳造スラブに、１２００〜
１３５０″Ｃで１時間以上のソーキング熱処理を行った
後、表面手入れを行い、ついで酸素濃度０、Ｉ ｖｏ１
％以下の雰囲気にて１１００〜１２００℃に加熱し、熱
間圧延し、表面研削と冷間圧延を行い、再結晶焼鈍し、
ダルスキンバス圧延を行い、ついで非酸化性雰囲気にて
５５０〜７５０℃で１〜３００秒の歪取り焼鈍を行うこ
とを特徴とするシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ合合板板製
造方法。
： ０．０１〜１．００％、 Ｍｎ ： ０．１０〜２
．００％、Ｎ：０．０５％、Ａｔ： ０．０５％以下Ｏ
： ０．０２％以下、残部Ｆｅおよび不可避的不純物か
らなるＦｅ−Ｎｉ合金の連続鋳造スラブに、１２００〜
１３５０″Ｃで１時間以上のソーキング熱処理を行った
後、表面手入れを行い、ついで酸素濃度０、Ｉ ｖｏ１
％以下の雰囲気にて１１００〜１２００℃に加熱し、熱
間圧延し、表面研削と冷間圧延を行い、再結晶焼鈍し、
ダルスキンバス圧延を行い、ついで非酸化性雰囲気にて
５５０〜７５０℃で１〜３００秒の歪取り焼鈍を行うこ
とを特徴とするシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ合合板板製
造方法。
本発明の限定理由を以下に詳細に説明する。
Ｎｉは、その含有量が３０％より少ないと熱膨張係数が
極めて高くなり、カラーブラウン管の鮮映性が劣化する
。一方、５０％を超えて含有しても熱膨張係数は高くな
る。従って、Ｎｉの成分範囲を３０〜５０％とした。
極めて高くなり、カラーブラウン管の鮮映性が劣化する
。一方、５０％を超えて含有しても熱膨張係数は高くな
る。従って、Ｎｉの成分範囲を３０〜５０％とした。
Ｓｉは、脱酸目的で添加するが、０．０１％未満である
と脱酸の効果が少ないが、１．００％を超えて含有する
と、シリケート系の粗大介在物の形成が著しく、これが
エツチング穿孔性を阻害し穿孔不良の原因となる。従っ
て、Ｓｉの成分範囲は０．０１〜１．００％とした。
と脱酸の効果が少ないが、１．００％を超えて含有する
と、シリケート系の粗大介在物の形成が著しく、これが
エツチング穿孔性を阻害し穿孔不良の原因となる。従っ
て、Ｓｉの成分範囲は０．０１〜１．００％とした。
Ｍｎは、脱酸および熱間加工性向上の目的で添加するが
、０．１０％より少ないと効果がなく、２．００％を超
えて含有すると合金の強度が増加し、プレス成形性が劣
化する。従って、Ｍｎの成分範囲は０．１０〜２．００
％とした。
、０．１０％より少ないと効果がなく、２．００％を超
えて含有すると合金の強度が増加し、プレス成形性が劣
化する。従って、Ｍｎの成分範囲は０．１０〜２．００
％とした。
八！は、その含有量が０．０５％を超えると、アルミナ
系のクラスター状介在物の形成が著しく、これがエツチ
ング穿孔性を阻害し穿孔不良の原因となる。従って、八
！の成分範囲は０９０５％以下とした。
系のクラスター状介在物の形成が著しく、これがエツチ
ング穿孔性を阻害し穿孔不良の原因となる。従って、八
！の成分範囲は０９０５％以下とした。
０は、その含有量が０．０２％を超えると、酸化物系の
介在物の形成が著しく、これがエツチング穿孔性を阻害
し穿孔不良の原因となる。従って、０の成分範囲は０．
０２％以下とした。
介在物の形成が著しく、これがエツチング穿孔性を阻害
し穿孔不良の原因となる。従って、０の成分範囲は０．
０２％以下とした。
スラブのソーキング熱処理温度は、１２００℃より低温
ではＮｉ等の成分偏析を軽減する効果が小さくてエツチ
ング時にスジムラの発生を抑制できず、１３５０℃を超
えるとサブスケールの発生が著しくなり、雰囲気中の酸
素濃度を低減してもサブスケールの発生はほとんど改善
されない。従って、ソーキング熱処理温度の範囲は１２
００〜１３５０℃とした。
ではＮｉ等の成分偏析を軽減する効果が小さくてエツチ
ング時にスジムラの発生を抑制できず、１３５０℃を超
えるとサブスケールの発生が著しくなり、雰囲気中の酸
素濃度を低減してもサブスケールの発生はほとんど改善
されない。従って、ソーキング熱処理温度の範囲は１２
００〜１３５０℃とした。
ソーキング熱処理時間は、１時間より短時間で行うとＮ
ｉ等の成分偏析を軽減する効果が小さくエツチング時に
スジムラの発生を抑制できない。従って、ソーキング熱
処理時間は１時間以上とした。
ｉ等の成分偏析を軽減する効果が小さくエツチング時に
スジムラの発生を抑制できない。従って、ソーキング熱
処理時間は１時間以上とした。
更に、好ましい範囲は５時間以上である。
ソーキング熱処理の雰囲気は、粒界酸化や内部酸化等の
サブスケールによる表面疵除去の手入れ負荷を軽減する
ために、酸素濃度が低い方が良く、０．１０％以下が好
ましい。酸素濃度をコントロールできる加熱炉としては
、直接通電式加熱炉や電熱式加熱炉がある。また、サブ
スケール発生の原因である酸素を遮蔽するため、スラブ
表面に薄板等によるカバーや酸化防止剤等の塗布を行っ
ても良いが、雰囲気制御に比べ作業性およびサブスケー
ル抑制効果が劣る。
サブスケールによる表面疵除去の手入れ負荷を軽減する
ために、酸素濃度が低い方が良く、０．１０％以下が好
ましい。酸素濃度をコントロールできる加熱炉としては
、直接通電式加熱炉や電熱式加熱炉がある。また、サブ
スケール発生の原因である酸素を遮蔽するため、スラブ
表面に薄板等によるカバーや酸化防止剤等の塗布を行っ
ても良いが、雰囲気制御に比べ作業性およびサブスケー
ル抑制効果が劣る。
スラブには、連続鋳造時に生じた表面欠陥が存在するの
で、通常、グラインダー研削等による表面手入れを行う
が、本発明においては、ソーキング熱処理後にこれを行
う。ソーキング材、す処理によってスラブにサブスケー
ルが発生しても、前記本発明条件でソーキングしたもの
は、その発生が軽度なのでこの表面手入れによる軽負荷
で除去することができる。
で、通常、グラインダー研削等による表面手入れを行う
が、本発明においては、ソーキング熱処理後にこれを行
う。ソーキング材、す処理によってスラブにサブスケー
ルが発生しても、前記本発明条件でソーキングしたもの
は、その発生が軽度なのでこの表面手入れによる軽負荷
で除去することができる。
熱間圧延前の加熱雰囲気中の酸素濃度は、０．１Ｏｖｏ
１．％を超えるとスラブソーキング熱処理材（以下、ソ
ーキング材と呼ぶ）の表面に粒界酸化や内部酸化等のサ
ブスケールが著しく発生し、熱間圧延後にサブスケール
による表面疵や粒界酸化を起点とする耳割れが多発し、
後工程の表面研削の負荷を増大させ、また熱延板の歩留
を著しく低下させる。従って、熱間圧延前の加熱雰囲気
中の酸素濃度は０．１０ ｖｏｌ、％以下とした。
１．％を超えるとスラブソーキング熱処理材（以下、ソ
ーキング材と呼ぶ）の表面に粒界酸化や内部酸化等のサ
ブスケールが著しく発生し、熱間圧延後にサブスケール
による表面疵や粒界酸化を起点とする耳割れが多発し、
後工程の表面研削の負荷を増大させ、また熱延板の歩留
を著しく低下させる。従って、熱間圧延前の加熱雰囲気
中の酸素濃度は０．１０ ｖｏｌ、％以下とした。
熱間圧延前の加熱温度は、１１００℃より低温では熱間
圧延が完了するまでに圧延材の温度が著しく低下するた
め熱間加工性劣化による割れ発生や変形抵抗増大による
圧延不能の自体が生じる。また、１２００℃を超えて行
うと加熱雰囲気中の酸素濃度を低減しても粒界酸化が発
生し、熱間圧延後に耳割れが生じる。従って、熱間圧延
前の加熱温度のＫｎ囲は１１００−１２００℃とした。
圧延が完了するまでに圧延材の温度が著しく低下するた
め熱間加工性劣化による割れ発生や変形抵抗増大による
圧延不能の自体が生じる。また、１２００℃を超えて行
うと加熱雰囲気中の酸素濃度を低減しても粒界酸化が発
生し、熱間圧延後に耳割れが生じる。従って、熱間圧延
前の加熱温度のＫｎ囲は１１００−１２００℃とした。
熱間圧延された帯板または板（以下、熱圧延という）の
焼鈍は、熱間圧延が９００℃以上の温度で終了する場合
、熱間圧延での加工による再結晶が促進され、熱延板の
組織が再結晶組織となるため、省略しても良い。
焼鈍は、熱間圧延が９００℃以上の温度で終了する場合
、熱間圧延での加工による再結晶が促進され、熱延板の
組織が再結晶組織となるため、省略しても良い。
熱延板の表面には、熱間圧延工程で発生するロール疵や
擦り疵等の表面疵があるので、表面研削を行ってこれを
除去した後、冷間圧延を行う。表面研削としてはヘルド
研削、砥石ロールによる研削、ブラシロールによる研削
等を行うことができる。ベルト研削の場合は、熱延板を
脱スケールし、軽度の冷間圧延を行って表面を平坦にし
た後に行うのが好ましいが、砥石ロールによる研削およ
びブラシロールによる研削の場合は、熱間圧延まま、あ
るいは熱延板焼鈍後のスケール付着状態で行えば充分で
ある。熱間圧延を前記本発明条件で行ったものは、サブ
スケールの発生が抑制され、発生があっても軽度なので
、通常の疵除去のための研削により除去することができ
る。
擦り疵等の表面疵があるので、表面研削を行ってこれを
除去した後、冷間圧延を行う。表面研削としてはヘルド
研削、砥石ロールによる研削、ブラシロールによる研削
等を行うことができる。ベルト研削の場合は、熱延板を
脱スケールし、軽度の冷間圧延を行って表面を平坦にし
た後に行うのが好ましいが、砥石ロールによる研削およ
びブラシロールによる研削の場合は、熱間圧延まま、あ
るいは熱延板焼鈍後のスケール付着状態で行えば充分で
ある。熱間圧延を前記本発明条件で行ったものは、サブ
スケールの発生が抑制され、発生があっても軽度なので
、通常の疵除去のための研削により除去することができ
る。
冷間圧延は、製品板厚まで中間焼鈍なしに行っても良く
、また、圧延機の能力あるいは材料の加工硬化程度に応
じて、途中の板厚で中間焼鈍を行っても良い。製品板の
表面仕上げは、シャドウマスク製造におけるレジスト膜
形成時の密着性の点からダル仕上げするのが好ましく、
冷間圧延の最終バスをダルロールで行うのが好ましい。
、また、圧延機の能力あるいは材料の加工硬化程度に応
じて、途中の板厚で中間焼鈍を行っても良い。製品板の
表面仕上げは、シャドウマスク製造におけるレジスト膜
形成時の密着性の点からダル仕上げするのが好ましく、
冷間圧延の最終バスをダルロールで行うのが好ましい。
冷間圧延後の非酸化性雰囲気で再結晶焼鈍を行う、この
処理で再結晶整粒ｍ織とすることにより、シャドウマス
ク製造に際して、均一なエツチング穿孔を行うことがで
きる。
処理で再結晶整粒ｍ織とすることにより、シャドウマス
ク製造に際して、均一なエツチング穿孔を行うことがで
きる。
本発明の請求項（１）記載の方法は、以上述べた再結晶
焼鈍までを行う。
焼鈍までを行う。
本発明の請求項（２）記載の方法は、さらにダルスキン
パス圧延と歪取り焼鈍を行う。冷間圧延が高圧下になっ
た場合、最終パスをダルロールで圧延しても、板が加工
硬化していてダル仕上げが得られないことがある。その
ときは、再結晶焼鈍した後、ダルロールを使用したスキ
ンバス圧延することによりダル仕上げとする。この場合
、ダル表面近傍に残留応力が発生し、エツチング時に残
留応力が解放されて反りが発生するため歪取り焼鈍を行
う必要がある。
パス圧延と歪取り焼鈍を行う。冷間圧延が高圧下になっ
た場合、最終パスをダルロールで圧延しても、板が加工
硬化していてダル仕上げが得られないことがある。その
ときは、再結晶焼鈍した後、ダルロールを使用したスキ
ンバス圧延することによりダル仕上げとする。この場合
、ダル表面近傍に残留応力が発生し、エツチング時に残
留応力が解放されて反りが発生するため歪取り焼鈍を行
う必要がある。
歪取り焼鈍温度は、５５０℃より低温ではその効果が小
さく、７５０℃を超えるとスキンバス圧延により局部的
な歪が導入されている場合、歪のある部分が再結晶し歪
のない部分は粒成長するため、製品板の組織が混粒とな
りエツチング穿孔性を阻害する。従って、歪取り焼鈍温
度の範囲は５５０〜７５０℃とした。
さく、７５０℃を超えるとスキンバス圧延により局部的
な歪が導入されている場合、歪のある部分が再結晶し歪
のない部分は粒成長するため、製品板の組織が混粒とな
りエツチング穿孔性を阻害する。従って、歪取り焼鈍温
度の範囲は５５０〜７５０℃とした。
歪取り焼鈍時間は、１秒より短時間ではその効果が小さ
く、３００秒を超えると効果は飽和し生産性やコストの
点から何らメリットかない。従って、歪取り焼鈍時間は
１〜３００秒とした。
く、３００秒を超えると効果は飽和し生産性やコストの
点から何らメリットかない。従って、歪取り焼鈍時間は
１〜３００秒とした。
歪取り焼鈍の雰囲気は表層スケールやサブスケール発生
の防止のため非酸化性雰囲気で行う。
の防止のため非酸化性雰囲気で行う。
かくして、上記のような本発明法でＦｅ−Ｎｉ合金板を
製造すれば、熱延板でのサブスケールによる表面疵と粒
界酸化による耳割れの発生が低減・防止されるため、表
面研削の作業性が大いに向上し熱延板での歩留落ちが大
幅に低減され、介在物およびＮ＋等の成分偏析が著しく
軽減されて、エツチング穿孔時におけるスジムラの発生
が抑制されるため、エツチング不良による歩留落ちが大
幅に低減される。
製造すれば、熱延板でのサブスケールによる表面疵と粒
界酸化による耳割れの発生が低減・防止されるため、表
面研削の作業性が大いに向上し熱延板での歩留落ちが大
幅に低減され、介在物およびＮ＋等の成分偏析が著しく
軽減されて、エツチング穿孔時におけるスジムラの発生
が抑制されるため、エツチング不良による歩留落ちが大
幅に低減される。
Ｐｅ−Ｎｉ合金を電気炉で溶製しＡＯＤ炉で精錬した後
、連続鋳造法により鋳込んだ。鋳片の化学成分を第１表
に示す。これら鋳片を第１図に示す製造工程により板厚
０．２０ｍｍの薄板製品に製造した。第１図の（ａ）お
よび（ｂ）は本発明工程、（Ｃ）は比較工程である。本
発明工程のソーキング熱処理および熱間圧延前の加熱は
、ＮＺガスによる雰囲気中の酸素濃度をコントロールし
た直接通電式加熱炉で行もだ。
、連続鋳造法により鋳込んだ。鋳片の化学成分を第１表
に示す。これら鋳片を第１図に示す製造工程により板厚
０．２０ｍｍの薄板製品に製造した。第１図の（ａ）お
よび（ｂ）は本発明工程、（Ｃ）は比較工程である。本
発明工程のソーキング熱処理および熱間圧延前の加熱は
、ＮＺガスによる雰囲気中の酸素濃度をコントロールし
た直接通電式加熱炉で行もだ。
これらの工程における熱延板表面研削の作業時間と、薄
板製品の歩留とエツチング時のスジムラ評価を調査した
。
板製品の歩留とエツチング時のスジムラ評価を調査した
。
本発明工程と比較工程における表面研削の作業時間、薄
板製品の歩留とスジムラ評価を第２表に示す。同表より
、本発明工程は比較工程に比べて表面研削の作業製が大
いに向上し、歩ｒｆ！落ちが大幅に低減され、更にスジ
ムラの発生が著しく抑制されていることがわかる。
板製品の歩留とスジムラ評価を第２表に示す。同表より
、本発明工程は比較工程に比べて表面研削の作業製が大
いに向上し、歩ｒｆ！落ちが大幅に低減され、更にスジ
ムラの発生が著しく抑制されていることがわかる。
第２表中のスジムラランクは、薄板製品を４３％ＦｅＣ
Ｚｚ溶液でエツチングした後のスジムラを肉眼観察して
判定したものであり、Ａはスジムラのないもの、Ｅは激
しいスジムラが発生したもの、Ｂ−ＤはＡとＥとの間の
ランク付けしたもので、ＢランクおよびＣランクは実用
上問題のない程度のスジムラである。
Ｚｚ溶液でエツチングした後のスジムラを肉眼観察して
判定したものであり、Ａはスジムラのないもの、Ｅは激
しいスジムラが発生したもの、Ｂ−ＤはＡとＥとの間の
ランク付けしたもので、ＢランクおよびＣランクは実用
上問題のない程度のスジムラである。
以上のことから明らかな如く、本発明法によりシャドウ
マスク用Ｆｅ−Ｎｉ合金板を製造すれば、合金板製造時
の作業性および歩留が大幅に改浮され、シャドウマスク
製造に際しては、エツチング穿孔時においてスジムラに
よるエツチング不良を解消し、エツチング時の歩留落ち
も大幅に低減される。
マスク用Ｆｅ−Ｎｉ合金板を製造すれば、合金板製造時
の作業性および歩留が大幅に改浮され、シャドウマスク
製造に際しては、エツチング穿孔時においてスジムラに
よるエツチング不良を解消し、エツチング時の歩留落ち
も大幅に低減される。
第１図は実施例を示すものであり、（ａ）は請求項（１
）による本発明工程、（ｂ）は請求項（２）による本発
明工程、（Ｃ）は比較工程を示す図である。
）による本発明工程、（ｂ）は請求項（２）による本発
明工程、（Ｃ）は比較工程を示す図である。
Claims (2)
- （１）重量％にて、Ｎｉ：３０〜５０％、Ｓｉ：０．０
１〜１．００％、Ｍｎ：０．１０〜２．００％、Ｎ：０
．０５％以下、Ｏ：０．０２％以下、残部Ｆｅおよび不
可避的不純物からなるＦｅ−Ｎｉ合金の連続鋳造スラブ
に、１２００〜１３５０℃で１時間以上のソーキング熱
処理を行った後、表面手入れを行い、ついで酸素濃度０
．１ｖｏｌ％以下の雰囲気にて１１００〜１２００℃に
加熱し、熱間圧延し、表面研削と冷間圧延を行い、再結
晶焼鈍することを特徴とするシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎ
ｉ合金板の製造方法。 - （２）重量％にて、Ｎｉ：３０〜５０％、Ｓｉ：０．０
１〜１．００％、Ｍｎ：０．１０〜２．００％、Ａｌ：
０．０５％以下、Ｏ：０．０２％以下、残部Ｆｅおよび
不可避的不純物からなるＦｅ−Ｎｉ合金の連続鋳造スラ
ブに、１２００〜１３５０℃で１時間以上のソーキング
熱処理を行った後、表面手入れを行い、ついで酸素濃度
０．１ｖｏｌ％以下の雰囲気にて１１００〜１２００℃
に加熱し、熱間圧延し、表面研削と冷間圧延を行い、再
結晶焼鈍し、ダルスキンパス圧延を行い、ついで非酸化
性雰囲気にて５５０〜７５０℃で１〜３００秒の歪取り
焼鈍を行うことを特徴とするシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎ
ｉ合金板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32364588A JPH0711034B2 (ja) | 1988-12-23 | 1988-12-23 | シャドウマスク用Ｆｅ―Ｎｉ合金板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32364588A JPH0711034B2 (ja) | 1988-12-23 | 1988-12-23 | シャドウマスク用Ｆｅ―Ｎｉ合金板の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02170922A true JPH02170922A (ja) | 1990-07-02 |
| JPH0711034B2 JPH0711034B2 (ja) | 1995-02-08 |
Family
ID=18157035
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32364588A Expired - Fee Related JPH0711034B2 (ja) | 1988-12-23 | 1988-12-23 | シャドウマスク用Ｆｅ―Ｎｉ合金板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0711034B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04168248A (ja) * | 1990-10-31 | 1992-06-16 | Nkk Corp | 焼鈍時の密着焼付き防止法、ガス放散性に優れたシャドウマスク用Ｆｅ―Ｎｉ合金およびその製造法 |
| JPH0649598A (ja) * | 1992-01-31 | 1994-02-22 | Nkk Corp | 黒化処理性に優れたシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ系およびＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金薄板 |
| JPH06264140A (ja) * | 1993-03-11 | 1994-09-20 | Nippon Yakin Kogyo Co Ltd | シャドウマスクの製造方法 |
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| FR2877678A1 (fr) * | 2004-11-05 | 2006-05-12 | Imphy Alloys Sa | Bande d'alliage fer-nickel pour la fabrication de grilles support de circuits integres |
| US7226515B2 (en) | 2000-09-29 | 2007-06-05 | Hippon Yakin Kogyo Co., Ltd. | Fe—Ni based permalloy and method of producing the same and cast slab |
-
1988
- 1988-12-23 JP JP32364588A patent/JPH0711034B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| US7419634B2 (en) | 2000-09-29 | 2008-09-02 | Nippon Yakin Kogyo Co., Ltd. | Fe-Ni based permalloy and method of producing the same and cast slab |
| US7435307B2 (en) | 2000-09-29 | 2008-10-14 | Nippon Yakin Kogyo Co., Ltd | Fe-Ni based permalloy and method of producing the same and cast slab |
| FR2877678A1 (fr) * | 2004-11-05 | 2006-05-12 | Imphy Alloys Sa | Bande d'alliage fer-nickel pour la fabrication de grilles support de circuits integres |
| WO2006051188A3 (fr) * | 2004-11-05 | 2007-06-07 | Imphy Alloys | Bande d’alliage fer-nickel pour la fabrication de grilles support de circuits integres |
| US8328961B2 (en) | 2004-11-05 | 2012-12-11 | Imphy Alloys | Iron-nickel alloy strip for the manufacture of support grids for the integrated circuits |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0711034B2 (ja) | 1995-02-08 |
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