JPH02171714A - 走査光学装置 - Google Patents
走査光学装置Info
- Publication number
- JPH02171714A JPH02171714A JP63327472A JP32747288A JPH02171714A JP H02171714 A JPH02171714 A JP H02171714A JP 63327472 A JP63327472 A JP 63327472A JP 32747288 A JP32747288 A JP 32747288A JP H02171714 A JPH02171714 A JP H02171714A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scanning
- signal
- light receiving
- light
- optical device
- Prior art date
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- Granted
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/12—Scanning systems using multifaceted mirrors
- G02B26/127—Adaptive control of the scanning light beam, e.g. using the feedback from one or more detectors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Eye Examination Apparatus (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、被検物を走査照明するための走査照明系と、
被検物からの反射光等を受光部へ導くための受光系とを
有する走査光学装置に関し、さらに詳しくはこの装置に
おいて正確な同期信号を取り出すことができる装置に関
する。
被検物からの反射光等を受光部へ導くための受光系とを
有する走査光学装置に関し、さらに詳しくはこの装置に
おいて正確な同期信号を取り出すことができる装置に関
する。
（従来技術）
従来、映像信号の同期信号を得る場合、走査される光の
走査線上に映像信号検出器とは別個に同期信号検出器を
配置している。
走査線上に映像信号検出器とは別個に同期信号検出器を
配置している。
（本発明が解決しようとする問題点）
従来の上記同期信号検出手段は、同期信号検出専用の光
検出器を配置する必要がある。また、変倍ノンズを使用
する場合、その変倍ごとに光検出器を移動させるか、も
しくは複数の検出器を用意しこれらを適宜電気的に切換
える必要があり、その構成が複雑となる問題があった。
検出器を配置する必要がある。また、変倍ノンズを使用
する場合、その変倍ごとに光検出器を移動させるか、も
しくは複数の検出器を用意しこれらを適宜電気的に切換
える必要があり、その構成が複雑となる問題があった。
（発明の目的）
本発明は、被検物を走査照明するための走査照明系と、
被検物からこの反射光等を受光部に導くための受光系と
を有する走査光学装置において、受光部より得られる映
像信号に正確に同期した信号を容易にかつ効率的に取り
出すことができる走査光学装置を提供することを目的と
する。
被検物からこの反射光等を受光部に導くための受光系と
を有する走査光学装置において、受光部より得られる映
像信号に正確に同期した信号を容易にかつ効率的に取り
出すことができる走査光学装置を提供することを目的と
する。
（実施例）
以下、本発明の実施例を図に基づいて説明する。
第１実施例は、受光系は、照明系の２つの可動ミラーを
共用するように構成され、受光部が被検眼眼底における
走査光による被照明部分のみの反射光を受光するように
構成された、いわゆる共焦点方式の走査光学装置である
。
共用するように構成され、受光部が被検眼眼底における
走査光による被照明部分のみの反射光を受光するように
構成された、いわゆる共焦点方式の走査光学装置である
。
第１実施例の走査光学装置の光学系は、第１図及び第２
図に示すように、光源としてのレーザ発振器１、走査照
明系１００、走査照明系１００と一部を共通とする受光
系２００、受光１１１９を有する。ここで、第１図及び
第２図において、Ｐは被検眼Ｅの瞳Ｅｐと共役な位置を
示し、Ｒは眼底Ｅ、と共役な位置を示す。
図に示すように、光源としてのレーザ発振器１、走査照
明系１００、走査照明系１００と一部を共通とする受光
系２００、受光１１１９を有する。ここで、第１図及び
第２図において、Ｐは被検眼Ｅの瞳Ｅｐと共役な位置を
示し、Ｒは眼底Ｅ、と共役な位置を示す。
走査照明系１００は、レーザ発振器１の前方に配置され
たレーザコリメータ２、レーザコリメータ２の前側焦点
位置に配置されたピンホール３、ピンホール３に後側焦
点を置いたコリメータレンズ４、コリメータレンズ４に
よってつくられた平行レーザ光Ｂ中に配置された偏光ビ
ームスプリγり６を有する。ここで、前方及び前側とは
レーザ発振器１から見て被検眼Ｅの側、そして受光部１
９の側をいう。
たレーザコリメータ２、レーザコリメータ２の前側焦点
位置に配置されたピンホール３、ピンホール３に後側焦
点を置いたコリメータレンズ４、コリメータレンズ４に
よってつくられた平行レーザ光Ｂ中に配置された偏光ビ
ームスプリγり６を有する。ここで、前方及び前側とは
レーザ発振器１から見て被検眼Ｅの側、そして受光部１
９の側をいう。
走査照明系１００は、さらに、偏光ビームスプリッタ６
の前方に配置されレーザ光Ｂを走査させるためのポリゴ
ンミラー８ａ、ポリゴンミラーの反射光軸１０２上に配
置された変倍レンズ９、変倍レンズ９の前側焦点位置の
光軸１０２外に配置された拡散反射板３１、拡散反射板
３１の延長面と光軸１０２の交点に後側焦点を有する変
倍レンズ１０を有する。ポリゴンミラー８ａの側部には
ポリゴンミラー８ａの各反射面が所定方向を向いている
ことを検出するための発光素子４０及び受光素子４１が
ポリゴンミラー８ａの反射面を介して対向して配置され
ている。ポリゴンミラー８ａの時計方向の回転によりレ
ーザ光Ｂは矢印１０４方向に走査する。
の前方に配置されレーザ光Ｂを走査させるためのポリゴ
ンミラー８ａ、ポリゴンミラーの反射光軸１０２上に配
置された変倍レンズ９、変倍レンズ９の前側焦点位置の
光軸１０２外に配置された拡散反射板３１、拡散反射板
３１の延長面と光軸１０２の交点に後側焦点を有する変
倍レンズ１０を有する。ポリゴンミラー８ａの側部には
ポリゴンミラー８ａの各反射面が所定方向を向いている
ことを検出するための発光素子４０及び受光素子４１が
ポリゴンミラー８ａの反射面を介して対向して配置され
ている。ポリゴンミラー８ａの時計方向の回転によりレ
ーザ光Ｂは矢印１０４方向に走査する。
走査照明系１００は、さらに、第２図に示すように、変
倍レンズｌＯによってつくられた平行レーデビームＢの
光路中に配置されたリレーレンズ１１、リレーレンズ１
１の前側焦点に斜設された反射ミラー１２、反射ミラー
Ｉ２に後側焦点を置いて配置されたフォーカスレンズ１
３、フォーカスレンズ１３によってつくられた平行レー
ザ光Ｂ中に配置されたフォーカスレンズ１４、フォーカ
スレンズ１４から一旦集束してその後発散するレーず光
を受けて集束光とするリレーレンズ１５、その集束光を
自らの反時計方向の回転により走査するガルバノミラ−
１６を有する。
倍レンズｌＯによってつくられた平行レーデビームＢの
光路中に配置されたリレーレンズ１１、リレーレンズ１
１の前側焦点に斜設された反射ミラー１２、反射ミラー
Ｉ２に後側焦点を置いて配置されたフォーカスレンズ１
３、フォーカスレンズ１３によってつくられた平行レー
ザ光Ｂ中に配置されたフォーカスレンズ１４、フォーカ
スレンズ１４から一旦集束してその後発散するレーず光
を受けて集束光とするリレーレンズ１５、その集束光を
自らの反時計方向の回転により走査するガルバノミラ−
１６を有する。
走査照明系１００は、さらにまた、リレーレンズ１５か
らの集束光の集束位置に後側焦点を一致させて対物レン
ズ１７が配置され、対物レンズ１７は被検眼Ｅに対向し
て配置される。被検眼Ｅにおいて、Ｅ、は瞳、Ｅｒは眼
底を示す。
らの集束光の集束位置に後側焦点を一致させて対物レン
ズ１７が配置され、対物レンズ１７は被検眼Ｅに対向し
て配置される。被検眼Ｅにおいて、Ｅ、は瞳、Ｅｒは眼
底を示す。
上述の拡散反射板３１は、第３図のその近傍の拡大図及
び第４図の正面図に示すように、拡散面３１Ａ１拡散面
３１Ａの左右両側に配置された反射防止面３２Ｂ、３２
Ｃを有する。拡散反射板３１は、光軸１０２からはずれ
た位置において変倍レンズ９．１０の鏡筒３３に固着さ
れている。
び第４図の正面図に示すように、拡散面３１Ａ１拡散面
３１Ａの左右両側に配置された反射防止面３２Ｂ、３２
Ｃを有する。拡散反射板３１は、光軸１０２からはずれ
た位置において変倍レンズ９．１０の鏡筒３３に固着さ
れている。
拡散反射板３１の位置は、第４図に示すように、ポリゴ
ンミラー８ａによる光軸１０２の走査線３２上であり、
その寸法は、レーザ光走査期間り内で、レーザ光有効走
査期間Ｌ′に入る前の期間Ｌ′内にあるように決められ
る。反射防止面３２Ｂ、３２Ｃは、後述するように、同
期信号と映像信号を区別するためのものである。拡散反
射板３１は、光軸を中心とする円孔や楕円を設けた円板
によって形成することも可能である。
ンミラー８ａによる光軸１０２の走査線３２上であり、
その寸法は、レーザ光走査期間り内で、レーザ光有効走
査期間Ｌ′に入る前の期間Ｌ′内にあるように決められ
る。反射防止面３２Ｂ、３２Ｃは、後述するように、同
期信号と映像信号を区別するためのものである。拡散反
射板３１は、光軸を中心とする円孔や楕円を設けた円板
によって形成することも可能である。
走査照明系１００は、レーザ発振器１から出たレーザ光
が、レーザコリメータレンズ２、ピンホール３、コリメ
ータレンズ４によって平行光とされ、ポリゴンミラーに
よって矢印１０４方向に走査される。さらに、該走査レ
ーザ光Ｂはリレーレンズ１０．１１によってリレーされ
、フォーカスレンズ１３．１４により眼底Ｅｆへの合焦
調節がなされ、レーザ光の走査毎にガルバノミラ−１６
ａによって矢印１０６方向に偏向されて、レーザ光が眼
底Ｅｒを走査する。一方、変倍レンズ９を通過した走査
レーザ光の一部は同期信号を形成するため拡散反射板３
１によって反射されて、走査照明系１００を上述した方
向と逆の方向へ進む。
が、レーザコリメータレンズ２、ピンホール３、コリメ
ータレンズ４によって平行光とされ、ポリゴンミラーに
よって矢印１０４方向に走査される。さらに、該走査レ
ーザ光Ｂはリレーレンズ１０．１１によってリレーされ
、フォーカスレンズ１３．１４により眼底Ｅｆへの合焦
調節がなされ、レーザ光の走査毎にガルバノミラ−１６
ａによって矢印１０６方向に偏向されて、レーザ光が眼
底Ｅｒを走査する。一方、変倍レンズ９を通過した走査
レーザ光の一部は同期信号を形成するため拡散反射板３
１によって反射されて、走査照明系１００を上述した方
向と逆の方向へ進む。
受光系２００のうち走査照明系１００と共通な光学系を
使用しない部分は、第１図に示すように、偏向ビームス
プリッタ６の反射光軸２０２上に配置された検光子２１
．検光子２１の前方に配置された集光レンズ２２、集光
レンズ２２の前側焦点に配置されたピンホール２３、ピ
ンホール２３の前方に配置された受光部１９を有する。
使用しない部分は、第１図に示すように、偏向ビームス
プリッタ６の反射光軸２０２上に配置された検光子２１
．検光子２１の前方に配置された集光レンズ２２、集光
レンズ２２の前側焦点に配置されたピンホール２３、ピ
ンホール２３の前方に配置された受光部１９を有する。
受光系２００は、眼底Ｅｐ及び拡散反射板３１によって
反射された映像信号及び同期信号を有するレーザ光がポ
リゴンミラー８ａ、偏向ビームスプリッタ６によって反
射され、検光子２１によって特定の偏向のみの雑音のな
いレーザ光が受光部１９に入射する。
反射された映像信号及び同期信号を有するレーザ光がポ
リゴンミラー８ａ、偏向ビームスプリッタ６によって反
射され、検光子２１によって特定の偏向のみの雑音のな
いレーザ光が受光部１９に入射する。
次に受光部より得られる信号から同期信号を取り出す同
期検出方法について説明する。受光部１９より得られる
信号は、第５図（１）に示すように、拡散反射板３１に
よる同期信号と眼底Ｅｐから映像信号が含まれている。
期検出方法について説明する。受光部１９より得られる
信号は、第５図（１）に示すように、拡散反射板３１に
よる同期信号と眼底Ｅｐから映像信号が含まれている。
従って、この信号から同期信号だけを取り出すことが必
要である。図中のＴＴＳＴＴ’ 、ＴＴ’の期間はそれ
ぞれ第４図中のり、Ｌ’ 、Ｌ’に対応している。
要である。図中のＴＴＳＴＴ’ 、ＴＴ’の期間はそれ
ぞれ第４図中のり、Ｌ’ 、Ｌ’に対応している。
同期信号は拡散反射板３１によりレーザ光Ｂが直接拡散
反射されて、同期信号光として受光系２００に入射する
ため、眼底からの映像信号ＴＴ’に較べてレベルが高い
ことが理解される。そこで第５図（１）の■の映像信号
より高いレベル八で２値化すれば、同期信号■を得るこ
とができる。しかし第５図（２）の■の様にノイズやそ
の他の原因によって映像信号中にＡよりも高いレベルの
信号が含まれたとき、２値化後の信号（２）の■のよう
に同期信号の判別が難しくなり、実用的な方法とは言え
ない。
反射されて、同期信号光として受光系２００に入射する
ため、眼底からの映像信号ＴＴ’に較べてレベルが高い
ことが理解される。そこで第５図（１）の■の映像信号
より高いレベル八で２値化すれば、同期信号■を得るこ
とができる。しかし第５図（２）の■の様にノイズやそ
の他の原因によって映像信号中にＡよりも高いレベルの
信号が含まれたとき、２値化後の信号（２）の■のよう
に同期信号の判別が難しくなり、実用的な方法とは言え
ない。
そこで本実施例では、第４図に示すように拡散面３１Ａ
の両側に反射防止面３２Ｂ、３２Ｃを配置して、同期信
号と映像信号の領域を区別し、かつウィンドウ信号によ
り同期信号を分離する方法を採用した。
の両側に反射防止面３２Ｂ、３２Ｃを配置して、同期信
号と映像信号の領域を区別し、かつウィンドウ信号によ
り同期信号を分離する方法を採用した。
第６図に同期抽出部５０のブロック図を、第７図に各信
号のタイミングチャートを示し、これらに基づいて同期
信号及び映像信号の分離について説明を行う。
号のタイミングチャートを示し、これらに基づいて同期
信号及び映像信号の分離について説明を行う。
受光部１９より得られる信号を第７図■に示す。
第７図■では、第４図に示すように、拡散面３１Ａの両
側に反射防止面３２Ｂ、３２Ｃを配置したため、同期信
号と映像信号の領域がはっきり区別されていることがわ
かる。次に受光素子４１から得られる各面ごとの信号を
第７図■に示す。
側に反射防止面３２Ｂ、３２Ｃを配置したため、同期信
号と映像信号の領域がはっきり区別されていることがわ
かる。次に受光素子４１から得られる各面ごとの信号を
第７図■に示す。
これらの２信号によって同期信号と映像信号を分離する
。
。
第６図のブロック図に示すように、受光素子４１からの
信号第７図■は２値化回路４２によって２値化され、第
７図■の波形に整形される。次に、遅延回路４３によっ
て図中ｔ１だけ遅延され、第７図■を得る。
信号第７図■は２値化回路４２によって２値化され、第
７図■の波形に整形される。次に、遅延回路４３によっ
て図中ｔ１だけ遅延され、第７図■を得る。
ワンショットマルチバイブレータ４４によって図中ｔ２
期間、同期ウィンドウ信号第７図■を発生する。この信
号と受光部からの信号第７図■を分離回路４５に入力し
、第７ｒ！ｌＪ■のように、第７図■の信号から同期信
号分を取り出す。そして２値化回路４６で２値化され、
同期信号第７図■が得られる。
期間、同期ウィンドウ信号第７図■を発生する。この信
号と受光部からの信号第７図■を分離回路４５に入力し
、第７ｒ！ｌＪ■のように、第７図■の信号から同期信
号分を取り出す。そして２値化回路４６で２値化され、
同期信号第７図■が得られる。
一方、同期信号を遅延回路４７によって図中ｔ３だけ遅
延させて第７図■を得、ワンショットマルチバイブレー
タ４８によって図中ｔ１期間映像ウィンドウ信号第７図
■を発生する。この信号と受光部４１からの信号第７図
■を分離回路４９に入力し、映像信号分第７図＠を得る
。
延させて第７図■を得、ワンショットマルチバイブレー
タ４８によって図中ｔ１期間映像ウィンドウ信号第７図
■を発生する。この信号と受光部４１からの信号第７図
■を分離回路４９に入力し、映像信号分第７図＠を得る
。
第２実施例及び第３実施例は、受光系は照明系の２つの
可動ミラーを共用しないように構成され、受光系が常に
被検眼眼底Ｅ、の全体の反射光を受光するように構成さ
れた、いわゆる非共焦点方式の走査光学装置である。
可動ミラーを共用しないように構成され、受光系が常に
被検眼眼底Ｅ、の全体の反射光を受光するように構成さ
れた、いわゆる非共焦点方式の走査光学装置である。
第２実施例は、第８図及び第９図に示されるが、第１実
施例と共通の構成については、共通の符号を付してその
説明を省略する。変倍レンズ９の前側焦点位置の光軸１
０４からはずれた位置、すなわち第１実施例の拡散反射
板３１と同じ位置にライトカイト３００の入射端面３０
１を変倍レンズ９に向けて配置させる。
施例と共通の構成については、共通の符号を付してその
説明を省略する。変倍レンズ９の前側焦点位置の光軸１
０４からはずれた位置、すなわち第１実施例の拡散反射
板３１と同じ位置にライトカイト３００の入射端面３０
１を変倍レンズ９に向けて配置させる。
受光系３１０は、ガルバノミラ−１６ａとリレーレンズ
１５による集束光の集束点との間に斜設れたハーフミラ
−３０、検光子２１、及び受光部２０を有する。そして
、ライトガイド３００は射出端面３０２を受光部２０に
向けて配置される。
１５による集束光の集束点との間に斜設れたハーフミラ
−３０、検光子２１、及び受光部２０を有する。そして
、ライトガイド３００は射出端面３０２を受光部２０に
向けて配置される。
第３実施例は、第９図におけるリレーレンズＩ５の前側
焦点位置にハーフミラ−を配置し、この反射光軸上に第
２実施例の受光部３１０と同じ受光系を配置してなる。
焦点位置にハーフミラ−を配置し、この反射光軸上に第
２実施例の受光部３１０と同じ受光系を配置してなる。
この場合の拡散反射板３２０は、被検眼眼底Ｅ、と共役
な位置Ｒに配置され、第１０図に示すように、有効走査
範囲３３０で、矢印１０４の走査方向の有効走査前の期
間Ｌ′内にあって、矢印１０６の走査方向の走査期間Ｎ
をすべてカバーする拡散反射面３２２Ａ及びその左右両
側反射防止面３２２Ｂ、３２２Ｃを有する。
な位置Ｒに配置され、第１０図に示すように、有効走査
範囲３３０で、矢印１０４の走査方向の有効走査前の期
間Ｌ′内にあって、矢印１０６の走査方向の走査期間Ｎ
をすべてカバーする拡散反射面３２２Ａ及びその左右両
側反射防止面３２２Ｂ、３２２Ｃを有する。
第２実施例及び第３実施例の信号処理の方法は第１実施
例と同じである。
例と同じである。
（発明の効果）
本発明によれば、映像信号と同期信号を同一の照明光を
使用し同一の受光部により取り出すため、簡易な構造に
より映像信号に正確に同期した同期信号を得ることがで
きる利点を有する。
使用し同一の受光部により取り出すため、簡易な構造に
より映像信号に正確に同期した同期信号を得ることがで
きる利点を有する。
第１図は本発明の第１実施例の光学系の光学図、第２図
は第１図の光学系の側面図、第３図は第１実施例の拡散
反射板付近の拡大図、第４図は拡販反射板の正面図、’
ｉｉ５図は第１実施例の受光部の出力波形図、第６図は
電気系のブロック図、第７図は第６図の各ブロックのタ
イムチャート図、第８図は第２実施例の光学系の光学図
、第９図は第８図の光学系の側面図、第１Ｏ図は第３実
施例の拡散反射板の正面図である。 Ｂ ・ ２ ・ ３ ・ ６ ・ ８ ａ ・ １６ａ ・ １７ ・ １００ ・ ２００ ・ ３２０ ・ ・レーザ光 ・レーザ発振器 ・レーザコリメータ ・ピンホール ・偏向ビームスプリッタ ・ポリゴンミラー ・ガルバノミラ− ・対物レンズ ・拡散反射板 ・走査照明系 ・受光系 ・ハーフミラー 第３図 に 第４図 第１０図
は第１図の光学系の側面図、第３図は第１実施例の拡散
反射板付近の拡大図、第４図は拡販反射板の正面図、’
ｉｉ５図は第１実施例の受光部の出力波形図、第６図は
電気系のブロック図、第７図は第６図の各ブロックのタ
イムチャート図、第８図は第２実施例の光学系の光学図
、第９図は第８図の光学系の側面図、第１Ｏ図は第３実
施例の拡散反射板の正面図である。 Ｂ ・ ２ ・ ３ ・ ６ ・ ８ ａ ・ １６ａ ・ １７ ・ １００ ・ ２００ ・ ３２０ ・ ・レーザ光 ・レーザ発振器 ・レーザコリメータ ・ピンホール ・偏向ビームスプリッタ ・ポリゴンミラー ・ガルバノミラ− ・対物レンズ ・拡散反射板 ・走査照明系 ・受光系 ・ハーフミラー 第３図 に 第４図 第１０図
Claims (6)
- （１）被検物を照明するための光源と、光を被検物上で
走査照明するための走査照明系と、被検物からの反射光
等を受光部へ導くための受光系とを有する走査光学装置
において、走査する上記走査照明系の光を被検物を介さ
ずに受光部に導く同期信号発生光学系と、上記受光部よ
り得られる信号の中から映像信号に正確に同期した同期
信号を取り出す同期信号抽出部とを有することを特徴と
する走査光学装置。 - （２）請求項（１）記載の同期信号発生光学系において
、走査照明系の走査線上に少なくとも１つの光学部材を
配置し、走査照明系からの光の一部を上記光学部材によ
って上記受光部へ導くことを特徴とする走査光学装置。 - （３）請求項（２）記載の受光系において、上記走査線
上に光ファイバーの端面を配置し、受光部まで光を導く
ことを特徴とする走査光学装置。 - （４）請求項（２）記載の受光系において、走査線上に
反射部材を配置し、走査される光の一部を受光部まで導
くことを特徴とする走査光学装置。 - （５）請求項（４）記載の走査光学装置において、走査
照明系と受光系で共用する光路上に反射部材を配置し、
照明光を正反射させて逆行させることにより受光部に入
射させることを特徴とする走査光学装置。 - （６）請求項（５）記載の受光系において、反射部材を
、被検物と走査照明系の間にあって、走査照明系と受光
系が共通している範囲内の被検物と共役な位置に配置す
ることを特徴とする走査光学装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63327472A JP2691359B2 (ja) | 1988-12-24 | 1988-12-24 | 走査光学装置 |
| US07/454,196 US5107106A (en) | 1988-12-24 | 1989-12-21 | Scanning and detecting optical device |
| EP89123771A EP0376194B1 (en) | 1988-12-24 | 1989-12-22 | Scanning optical device |
| DE68921588T DE68921588T2 (de) | 1988-12-24 | 1989-12-22 | Optisches Abtastsystem. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63327472A JP2691359B2 (ja) | 1988-12-24 | 1988-12-24 | 走査光学装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02171714A true JPH02171714A (ja) | 1990-07-03 |
| JP2691359B2 JP2691359B2 (ja) | 1997-12-17 |
Family
ID=18199540
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63327472A Expired - Fee Related JP2691359B2 (ja) | 1988-12-24 | 1988-12-24 | 走査光学装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5107106A (ja) |
| EP (1) | EP0376194B1 (ja) |
| JP (1) | JP2691359B2 (ja) |
| DE (1) | DE68921588T2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016152758A1 (ja) * | 2015-03-20 | 2016-09-29 | 株式会社ニコン | ビーム走査装置、ビーム走査方法、および描画装置 |
Families Citing this family (1)
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| JPS6024624B2 (ja) * | 1977-04-07 | 1985-06-13 | 富士写真フイルム株式会社 | 光ビ−ム走査方法 |
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| US4616132A (en) * | 1984-05-29 | 1986-10-07 | Eastman Kodak Company | Synchronization apparatus for scanner |
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Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
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