JPH0217261U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0217261U JPH0217261U JP9354588U JP9354588U JPH0217261U JP H0217261 U JPH0217261 U JP H0217261U JP 9354588 U JP9354588 U JP 9354588U JP 9354588 U JP9354588 U JP 9354588U JP H0217261 U JPH0217261 U JP H0217261U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier
- film forming
- water tank
- holding means
- temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Description
図面はいずれも本考案一実施例を示し、第１図
は概略構成図、第２図は水槽の要部説明図、第３
図は基板保持具の要部説明図である。 １…水槽、１ａ…展開槽Ａ、１ｂ…水温制御槽
Ｂ（水温制御手段）、２，３…パイプＡ，Ｂ、４
…バリア、５…センサ、６…基板保持具（担体保
持手段）、６ａ…循環路（担体温度制御手段）、
７…基板（成膜担体）、８，９…パイプＣ，Ｄ。
は概略構成図、第２図は水槽の要部説明図、第３
図は基板保持具の要部説明図である。 １…水槽、１ａ…展開槽Ａ、１ｂ…水温制御槽
Ｂ（水温制御手段）、２，３…パイプＡ，Ｂ、４
…バリア、５…センサ、６…基板保持具（担体保
持手段）、６ａ…循環路（担体温度制御手段）、
７…基板（成膜担体）、８，９…パイプＣ，Ｄ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 成膜分子を展開させるための水槽と、展開され
た成膜分子を移しとる成膜担体を移動可能に保持
する担体保持手段とを備えた成膜装置において、 前記水槽には、該水槽中に入れられる液体の温
度を制御する水温制御手段が具備され、前記担体
保持手段には、該担体保持手段に保持される成膜
担体の温度を制御する担体温度制御手段が具備さ
れることを特徴とする成膜装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9354588U JPH0217261U (ja) | 1988-07-14 | 1988-07-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9354588U JPH0217261U (ja) | 1988-07-14 | 1988-07-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0217261U true JPH0217261U (ja) | 1990-02-05 |
Family
ID=31318012
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9354588U Pending JPH0217261U (ja) | 1988-07-14 | 1988-07-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0217261U (ja) |
-
1988
- 1988-07-14 JP JP9354588U patent/JPH0217261U/ja active Pending