JPH0217419A - 差圧型流量計 - Google Patents
差圧型流量計Info
- Publication number
- JPH0217419A JPH0217419A JP16843388A JP16843388A JPH0217419A JP H0217419 A JPH0217419 A JP H0217419A JP 16843388 A JP16843388 A JP 16843388A JP 16843388 A JP16843388 A JP 16843388A JP H0217419 A JPH0217419 A JP H0217419A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow rate
- pressure
- circuit
- signal
- type flowmeter
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 15
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 5
- 239000010453 quartz Substances 0.000 abstract 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 3
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract 1
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Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、気体の流量を制御する差圧型流量計に関する
ものである。
ものである。
本発明は、気体の流量を気体の圧力差より制御する差圧
型流量計において、圧力検出センサに水晶振動子を用い
ることにより、流量検出室の小型化、差圧型流量計の低
価格化をはかろうとしたものである。
型流量計において、圧力検出センサに水晶振動子を用い
ることにより、流量検出室の小型化、差圧型流量計の低
価格化をはかろうとしたものである。
従来、流量計のセンサ部の技術としては、気体の流路で
ある本管の一部に毛細管によるバイパスを設け、毛細管
の外側に抵抗線を巻き付け、その抵抗線に電流を流すこ
とにより加熱し、毛細管内に気体が流れることにより生
じる上流側と下流側の温度差を検出し流量調整を行なう
方式の熱式質Ｉ流量計、またダイヤフラム平板を用いた
隔膜式圧力センサにより、２室間の圧力差より流量調整
を行なう方式の差圧型流量計がある。
ある本管の一部に毛細管によるバイパスを設け、毛細管
の外側に抵抗線を巻き付け、その抵抗線に電流を流すこ
とにより加熱し、毛細管内に気体が流れることにより生
じる上流側と下流側の温度差を検出し流量調整を行なう
方式の熱式質Ｉ流量計、またダイヤフラム平板を用いた
隔膜式圧力センサにより、２室間の圧力差より流量調整
を行なう方式の差圧型流量計がある。
上記の様な熱式質量流量計では、毛細管が塵埃等により
目詰りを起こしてしまう。また上記の様な差圧型流量計
では、流量検出室が大きくなってしまい高価になるとい
う欠点を有していた。
目詰りを起こしてしまう。また上記の様な差圧型流量計
では、流量検出室が大きくなってしまい高価になるとい
う欠点を有していた。
上記課題を解決するために、本発明においては、差圧型
流量計の圧力検出センサとして水晶振動子を用いること
にした。
流量計の圧力検出センサとして水晶振動子を用いること
にした。
上記の様な構成にすれば、塵埃により目詰りがなくなり
、かつ流量検出室の小型化、差圧型流量計の低価格化が
はかれる。
、かつ流量検出室の小型化、差圧型流量計の低価格化が
はかれる。
以下に本発明の実施例を図面に基づいて説明する。第１
図に本発明による差圧型流量計の第１実施例の構成図を
示す。
図に本発明による差圧型流量計の第１実施例の構成図を
示す。
圧力検出センサとして水晶振動子６を、固定絞り９をは
さんで設けられた第１流量検出室７と第２流量検出室８
に取付けることにより、水晶振動子６からの信号を第１
圧力検出部１と第２圧力検出部２により検出し、制御手
段３により差圧信号から流量信号に変換し、その流量を
表示回路４により表示するとともに、流量制御部５を通
して流量調整部１０により気体の流量を制御するもので
ある。
さんで設けられた第１流量検出室７と第２流量検出室８
に取付けることにより、水晶振動子６からの信号を第１
圧力検出部１と第２圧力検出部２により検出し、制御手
段３により差圧信号から流量信号に変換し、その流量を
表示回路４により表示するとともに、流量制御部５を通
して流量調整部１０により気体の流量を制御するもので
ある。
第３図は本発明の第２実施例を示す図であり、前述の圧
力検出部にＰＬＩ−回路を適用する場合を例示するもの
である。第１圧力検出部１と第２圧力検出部２にＰ Ｌ
Ｉ−回路１５を設けることにより、水晶振動子６の駆
動電圧と水晶振動子６を流れる電流との位相差が零にな
る様に常に制御され、水晶振動子６は常に、それ自身の
共振周波数で駆動されている状態にし、水晶振動子６は
第１流量検出室７と第２流量検出室８での気体の圧力に
よって変化する共振周波数を電流から電圧変換、増幅す
ることにより圧力信号とする。上記で求められた第１？
Ｌ量検出室７と第２流量検出室８の圧力信号を制御手段
３の演算回路１６で差圧信号から流量信号へ変換さぜ、
コンＩ・ローラ１７によりその流量を表示回路４で表示
させる。またその流通信号で流量制御部５を介して流証
調格部１０で流量を制御する。
力検出部にＰＬＩ−回路を適用する場合を例示するもの
である。第１圧力検出部１と第２圧力検出部２にＰ Ｌ
Ｉ−回路１５を設けることにより、水晶振動子６の駆
動電圧と水晶振動子６を流れる電流との位相差が零にな
る様に常に制御され、水晶振動子６は常に、それ自身の
共振周波数で駆動されている状態にし、水晶振動子６は
第１流量検出室７と第２流量検出室８での気体の圧力に
よって変化する共振周波数を電流から電圧変換、増幅す
ることにより圧力信号とする。上記で求められた第１？
Ｌ量検出室７と第２流量検出室８の圧力信号を制御手段
３の演算回路１６で差圧信号から流量信号へ変換さぜ、
コンＩ・ローラ１７によりその流量を表示回路４で表示
させる。またその流通信号で流量制御部５を介して流証
調格部１０で流量を制御する。
第４図は、本発明の第３実施例であり、第２実施例での
信号処理をディジタル的に処理する場合を例示するもの
である。第１圧力検出部１と第２圧力検出部２には発振
回路１８を設け、水晶振動子６に一定周波数を与え、第
１流量検出室７と第２流量検出室８の気体圧力変化によ
る水晶振動子６の振動周波数を分周回路１つを介して分
周させ、制御手段３の周期測定回路２０でその周期と基
準信号発生回路２１で作られる基準周期とを比較し、演
算回路２２で周期差から圧力値に変換し、それぞれの圧
力値より差圧を求め、流量信号に変換させ、コントロー
ラ２３により流量を表示回路４で表示させる。またその
流量信号で流量制御部５を介して流量調整部１０で流量
を制御する。このように測定回路をディジタル処理すれ
ば、第１実施例に比べ、測定回路が小型でかつ低価格に
することができる。
信号処理をディジタル的に処理する場合を例示するもの
である。第１圧力検出部１と第２圧力検出部２には発振
回路１８を設け、水晶振動子６に一定周波数を与え、第
１流量検出室７と第２流量検出室８の気体圧力変化によ
る水晶振動子６の振動周波数を分周回路１つを介して分
周させ、制御手段３の周期測定回路２０でその周期と基
準信号発生回路２１で作られる基準周期とを比較し、演
算回路２２で周期差から圧力値に変換し、それぞれの圧
力値より差圧を求め、流量信号に変換させ、コントロー
ラ２３により流量を表示回路４で表示させる。またその
流量信号で流量制御部５を介して流量調整部１０で流量
を制御する。このように測定回路をディジタル処理すれ
ば、第１実施例に比べ、測定回路が小型でかつ低価格に
することができる。
本発明によれば、気体の流量を制御する流量計において
、圧力検出センサとして水晶振動子を用いた差圧型流量
計にすることにより塵埃等による目詰りが防止でき、流
量検出室を小型化することかできる。また、測定回路を
ディジタル処理することにより測定回路の小型化、低価
格化を実現できるという効果がある。
、圧力検出センサとして水晶振動子を用いた差圧型流量
計にすることにより塵埃等による目詰りが防止でき、流
量検出室を小型化することかできる。また、測定回路を
ディジタル処理することにより測定回路の小型化、低価
格化を実現できるという効果がある。
第１図は本発明による差圧型流量計の第１実施例の構成
図、第２図は従来の熱式質量流量計の構成図、第３図は
本発明による差圧型流量計の第２実施例の構成図、第４
図は本発明による差圧型流量計の第３実施例の構成図で
ある。 第１圧力検出部 第２圧力検出部 制御手段 表示回路 流量制御部 水晶振動子 ：第１流量検出室 ・第２流量検出室 固定絞り 流量調整部 流量検出部 制御回路 毛細管 層流素子 ＰＬＩ−回路 演算回路 コントローラ 発振回路 分周回路 周期測定回路 基準発生回路 演算回路 コントローラ 出願人 セイコー電子工業株式会社 代理人 弁理士 林 敬 之 肋木発明による蒐
圧型流量討の第２実プ七例の橋瓜図第３図 第１図 砺匙来の熱バπ量流量計爵構底図 第２図 本う〉１日ｌ１ｌｌｌ二Ｊ乙羞り型５瓦量討の第３実比
矛ｊの構□ルχ図第４図
図、第２図は従来の熱式質量流量計の構成図、第３図は
本発明による差圧型流量計の第２実施例の構成図、第４
図は本発明による差圧型流量計の第３実施例の構成図で
ある。 第１圧力検出部 第２圧力検出部 制御手段 表示回路 流量制御部 水晶振動子 ：第１流量検出室 ・第２流量検出室 固定絞り 流量調整部 流量検出部 制御回路 毛細管 層流素子 ＰＬＩ−回路 演算回路 コントローラ 発振回路 分周回路 周期測定回路 基準発生回路 演算回路 コントローラ 出願人 セイコー電子工業株式会社 代理人 弁理士 林 敬 之 肋木発明による蒐
圧型流量討の第２実プ七例の橋瓜図第３図 第１図 砺匙来の熱バπ量流量計爵構底図 第２図 本う〉１日ｌ１ｌｌｌ二Ｊ乙羞り型５瓦量討の第３実比
矛ｊの構□ルχ図第４図
Claims (1)
- 固定絞りをはさんで両側に設けられた第１及び第２流量
検出室と、前記第１及び第２流量検出室に設けられた水
晶振動子と、前記水晶振動子に接続された圧力信号を検
出する第１及び第２圧力検出部と、前記第１及び第２圧
力検出部に接続され圧力信号から流量信号を制御する制
御手段と、前記制御手段に持続され流量表示を行なう表
示回路及び、流量を制御する流量制御部と、前記流量制
御部により流量調整を行なう流量調整部とから成ること
を特徴とする差圧型流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16843388A JPH0217419A (ja) | 1988-07-05 | 1988-07-05 | 差圧型流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16843388A JPH0217419A (ja) | 1988-07-05 | 1988-07-05 | 差圧型流量計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0217419A true JPH0217419A (ja) | 1990-01-22 |
Family
ID=15868027
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16843388A Pending JPH0217419A (ja) | 1988-07-05 | 1988-07-05 | 差圧型流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0217419A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100755297B1 (ko) * | 2005-12-02 | 2007-09-05 | 주식회사 우일하이테크 | 제어밸브 일체형 차압식 유량계 |
| CN102768049A (zh) * | 2012-07-06 | 2012-11-07 | 中国航空工业集团公司西安飞机设计研究所 | 一种智能化差压式流量传感装置及其设计方法 |
| JP2015520853A (ja) * | 2012-05-24 | 2015-07-23 | エア プロダクツ アンド ケミカルズ インコーポレイテッドＡｉｒ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ Ａｎｄ Ｃｈｅｍｉｃａｌｓ Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | ガスの質量流速を測定するための方法及び機器 |
-
1988
- 1988-07-05 JP JP16843388A patent/JPH0217419A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100755297B1 (ko) * | 2005-12-02 | 2007-09-05 | 주식회사 우일하이테크 | 제어밸브 일체형 차압식 유량계 |
| JP2015520853A (ja) * | 2012-05-24 | 2015-07-23 | エア プロダクツ アンド ケミカルズ インコーポレイテッドＡｉｒ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ Ａｎｄ Ｃｈｅｍｉｃａｌｓ Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | ガスの質量流速を測定するための方法及び機器 |
| CN102768049A (zh) * | 2012-07-06 | 2012-11-07 | 中国航空工业集团公司西安飞机设计研究所 | 一种智能化差压式流量传感装置及其设计方法 |
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