JPS6184535A - 水晶式気体圧力計 - Google Patents
水晶式気体圧力計Info
- Publication number
- JPS6184535A JPS6184535A JP59207576A JP20757684A JPS6184535A JP S6184535 A JPS6184535 A JP S6184535A JP 59207576 A JP59207576 A JP 59207576A JP 20757684 A JP20757684 A JP 20757684A JP S6184535 A JPS6184535 A JP S6184535A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crystal
- crystal resonator
- resistance
- gas pressure
- temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims abstract description 46
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 claims abstract description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 6
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 description 1
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0001—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means
- G01L9/0008—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using vibrations
- G01L9/0022—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using vibrations of a piezoelectric element
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔工業上の利用分野〕
本発明は水晶振動子を利用して、その周囲の気体圧力を
測る気体圧力測定装訟に関するものである。
測る気体圧力測定装訟に関するものである。
大気圧から１０″″３トール（Ｔｏτｒ）迄の気体圧力
を１つのセンサで連続的に測りたいという工業的要求に
は根強いものがある。
を１つのセンサで連続的に測りたいという工業的要求に
は根強いものがある。
水晶振動子の共振周波数が、その周囲気体の圧力が低く
なるにつれ増加するという現象を利用した水晶式気体圧
力計は、ある程度前記の工業的要求に答えるものである
が、測定下限が１０ト一ル程度であるという大きな欠点
を有している。又、熱伝尋型真幸計、例えばビラニ真空
計では測定下限が１０−′〜１Ｏ−３）−ｉであるが、
測定上限が１０ト一ル程度であり、これも前記水晶式気
体圧力計と同様の欠点を有している。
なるにつれ増加するという現象を利用した水晶式気体圧
力計は、ある程度前記の工業的要求に答えるものである
が、測定下限が１０ト一ル程度であるという大きな欠点
を有している。又、熱伝尋型真幸計、例えばビラニ真空
計では測定下限が１０−′〜１Ｏ−３）−ｉであるが、
測定上限が１０ト一ル程度であり、これも前記水晶式気
体圧力計と同様の欠点を有している。
一方、水晶振動子の共振抵抗が、その周囲気体の圧力に
広い範囲で依存性を有することが、最近明らかとなり、
それを利用すれば、大気圧から１０−３ トールまで１
つのセンサで連続的に測定可能な気体圧力計が実現でき
ることが明らかとなった。これは、例えば、月刊誌「計
装Ｊ、１９８４年、 Ｖ ｏ １−２７ ＋ ’α７「
水晶振動子を使った超小型真空センサの開発」の項に開
示されている。
広い範囲で依存性を有することが、最近明らかとなり、
それを利用すれば、大気圧から１０−３ トールまで１
つのセンサで連続的に測定可能な気体圧力計が実現でき
ることが明らかとなった。これは、例えば、月刊誌「計
装Ｊ、１９８４年、 Ｖ ｏ １−２７ ＋ ’α７「
水晶振動子を使った超小型真空センサの開発」の項に開
示されている。
しかしながら、水晶撮動子の共振抵抗の圧力依存性を利
用する前述の従来構成による水晶式気体圧力計において
、水晶振動子の共振抵抗は、特に１０−３から１０″″
２ トール程度の低圧領域において、温度によって大き
く変化するので、精度の良い測定が困難になるという欠
点がある。
用する前述の従来構成による水晶式気体圧力計において
、水晶振動子の共振抵抗は、特に１０−３から１０″″
２ トール程度の低圧領域において、温度によって大き
く変化するので、精度の良い測定が困難になるという欠
点がある。
本発明は上記の事情に鑑み為されたもので、水晶振動子
の共振抵抗の圧力依存性を利用した水晶式気体圧力計に
おいて、温度依存性の抵抗体を水晶振動子に直列に接続
することにより、共振抵抗の温度変化を補償し、精度の
高い圧力測定を可能にする手段を提供するものである。
の共振抵抗の圧力依存性を利用した水晶式気体圧力計に
おいて、温度依存性の抵抗体を水晶振動子に直列に接続
することにより、共振抵抗の温度変化を補償し、精度の
高い圧力測定を可能にする手段を提供するものである。
以下、本発明を図面によって説明する。第１図は気体圧
力と水晶振動子の特性値（共振抵抗値と共振電流、共振
周波数）の関係を示す図である。
力と水晶振動子の特性値（共振抵抗値と共振電流、共振
周波数）の関係を示す図である。
共振周波数は気体の圧力が１０トールを越えると変化し
始めるが、気体の圧力が１０）−ル未満では気体圧力に
対する感度はほとんど容である。一方、水晶振動子の共
振抵抗は大気圧から１０″″３ トールまで、気体圧力
に対して感度を有している。
始めるが、気体の圧力が１０）−ル未満では気体圧力に
対する感度はほとんど容である。一方、水晶振動子の共
振抵抗は大気圧から１０″″３ トールまで、気体圧力
に対して感度を有している。
この水晶振動を定電圧駆動すれば、同図においてｔｏで
示すような共振電流−気体圧力曲縁がえられる。それは
、前記共振抵抗値と同様に大気圧から１０＝ ）−ル
まで気体圧力に対する感度を有する０従ってＡ測定の容
易さの点から、共振抵抗値を測るよりは共振電流（又は
共振電圧）を測る方が良い。
示すような共振電流−気体圧力曲縁がえられる。それは
、前記共振抵抗値と同様に大気圧から１０＝ ）−ル
まで気体圧力に対する感度を有する０従ってＡ測定の容
易さの点から、共振抵抗値を測るよりは共振電流（又は
共振電圧）を測る方が良い。
第２図は、本発明の対象である水晶式気体圧力計の電子
回路ブロック図である。大きくは、ＰＬＬ回路部と、表
示変換回路部と、表示部とから構成される。前記ＰＬＬ
回路部は、気圧又は電流によって制御される周波数可変
発振器１．水晶振動子５の共振電流を電圧として増幅す
る増幅器２゜前記増幅器２の出力信号と前記周波数可変
発振器１の出力信号との位相を比較しその位相差に比例
する信号を出力する位相比較′？ｉｒ３と、前記位相比
較器３のパルス状出力信号を直流電圧に直す低域Ｐ波器
４とから成る。前記低域Ｐ波器４の出力気圧は前記周ｅ
、＆ｉ可変発振器１の発振局反数を制御する。圧力セン
サである前記水晶振動子５は、前記周波数可変発掘器１
の出力端子と前記増幅器２の入カイ・。ｊ子に接続され
る。
回路ブロック図である。大きくは、ＰＬＬ回路部と、表
示変換回路部と、表示部とから構成される。前記ＰＬＬ
回路部は、気圧又は電流によって制御される周波数可変
発振器１．水晶振動子５の共振電流を電圧として増幅す
る増幅器２゜前記増幅器２の出力信号と前記周波数可変
発振器１の出力信号との位相を比較しその位相差に比例
する信号を出力する位相比較′？ｉｒ３と、前記位相比
較器３のパルス状出力信号を直流電圧に直す低域Ｐ波器
４とから成る。前記低域Ｐ波器４の出力気圧は前記周ｅ
、＆ｉ可変発振器１の発振局反数を制御する。圧力セン
サである前記水晶振動子５は、前記周波数可変発掘器１
の出力端子と前記増幅器２の入カイ・。ｊ子に接続され
る。
ＰＬＬ回路の動作原理は既に広く知られているので、こ
こでは省略するが、前記周波数可変発振器１の発振周彼
ｋ（は、前記周波数可変発掘器１の出力信号即ち前記水
晶振動子５の駆動電圧と、前記増幅器２の出力信号即ち
前記水晶振動子５を流れる％ ｂ）Ｃとの位相差が零に
なるように常に制御されている。即ち、前記水晶振動子
５は常に、それ自身の共振周波数にて駆動されているこ
とであり、水晶式気体圧力計を実用化する上で重要な意
味をもつ。というのは、第１図に示すように、水晶振動
子の共振周波数は気体圧力によって変化するからである
。次に表示変換回路部は、前記増幅器２゛の信号を更に
増幅する主増幅器６、前記主増幅器６の出力信号を直流
にする整流器７、前記整流器７の出力電圧の極性を反転
するインバータ８、及び前記インバータ８の出力電圧に
バイアスをかけるためのバッファ９とから成る。前記バ
イアス量は可変抵抗器９αによって任意に変えることが
できる。表示部は、気体圧力をデジタル的に、又は、ア
ナログ的に表示する部分で、本例ではメータ１０により
構成されていて、前記メータ１ｏの撮れ角から気体圧力
を読み取るものである。
こでは省略するが、前記周波数可変発振器１の発振周彼
ｋ（は、前記周波数可変発掘器１の出力信号即ち前記水
晶振動子５の駆動電圧と、前記増幅器２の出力信号即ち
前記水晶振動子５を流れる％ ｂ）Ｃとの位相差が零に
なるように常に制御されている。即ち、前記水晶振動子
５は常に、それ自身の共振周波数にて駆動されているこ
とであり、水晶式気体圧力計を実用化する上で重要な意
味をもつ。というのは、第１図に示すように、水晶振動
子の共振周波数は気体圧力によって変化するからである
。次に表示変換回路部は、前記増幅器２゛の信号を更に
増幅する主増幅器６、前記主増幅器６の出力信号を直流
にする整流器７、前記整流器７の出力電圧の極性を反転
するインバータ８、及び前記インバータ８の出力電圧に
バイアスをかけるためのバッファ９とから成る。前記バ
イアス量は可変抵抗器９αによって任意に変えることが
できる。表示部は、気体圧力をデジタル的に、又は、ア
ナログ的に表示する部分で、本例ではメータ１０により
構成されていて、前記メータ１ｏの撮れ角から気体圧力
を読み取るものである。
前記水晶振動子の共振電流の圧力特性は第１図に示すよ
うに、周囲気体の圧力が低下するに従がりで共振電流が
増加するので、電圧として増幅し、直流になおし、その
ままメータを駆動すると圧力が低下するに従かいメータ
の振れ角が増加し、常識に反する表示になる。そこで、
前記インバータ８によって、前記直流電圧の極性を反転
し、更に前記バッファ９によってバイアス電圧を加える
ことにより、第３図に示すようなメータ駆動電圧を得る
ことができる。第３図の例では、大気圧においてメータ
駆動電圧が１０Ｖになるように前記バイアス量がＦＩＡ
＝されている。このようにして、大気圧においてメー
タの針が完全に振れ、低圧になるに従ってメータの振れ
角が減少する通常の圧力表示を得ることができる。
うに、周囲気体の圧力が低下するに従がりで共振電流が
増加するので、電圧として増幅し、直流になおし、その
ままメータを駆動すると圧力が低下するに従かいメータ
の振れ角が増加し、常識に反する表示になる。そこで、
前記インバータ８によって、前記直流電圧の極性を反転
し、更に前記バッファ９によってバイアス電圧を加える
ことにより、第３図に示すようなメータ駆動電圧を得る
ことができる。第３図の例では、大気圧においてメータ
駆動電圧が１０Ｖになるように前記バイアス量がＦＩＡ
＝されている。このようにして、大気圧においてメー
タの針が完全に振れ、低圧になるに従ってメータの振れ
角が減少する通常の圧力表示を得ることができる。
第４図は、前記水晶振動子の共振抵抗の温度特性を示し
ている。真空中では、その共振抵抗の温度による変化嵐
は大きく、温度が高くなるにつれ共振抵抗は増加する。
ている。真空中では、その共振抵抗の温度による変化嵐
は大きく、温度が高くなるにつれ共振抵抗は増加する。
−万人気中では、その共振抵抗の大部分は空気とのまさ
つ抵抗によって占められているので、温度を変えても共
振抵抗はあまり変化しない。その結果、従来技術におい
ては第３図に示すように、気体圧力が低くなるに従って
゛温度による彩りが顕著になり、大きな測定誤差が生じ
るという欠点があった。
つ抵抗によって占められているので、温度を変えても共
振抵抗はあまり変化しない。その結果、従来技術におい
ては第３図に示すように、気体圧力が低くなるに従って
゛温度による彩りが顕著になり、大きな測定誤差が生じ
るという欠点があった。
本発明は上記のような温度による測定誤差をできるだけ
小さくする手段を提供するものである。
小さくする手段を提供するものである。
第５図は本発明の実旋例を示している。５は水晶振動子
であり、１１はサーミスタ、１２は抵抗である。′ｉＪ
、６図において、αは前記水晶振動子の共振抵抗、ｂは
前記サーミスタと前記抵ワしの合成抵抗、Ｃは、前記水
晶振動子と前記サーミスタと前記抵抗の合成抵抗の温度
特性を示す曲線である。前記水晶振動子の共振抵抗は正
の理屈係数を有するが、前記サーミスタの抵抗は負の温
度係数を有するので、それらを直列に接続すると、その
合成抵抗値は温度に対して谷をもつ曲線になる。前記抵
抗は、前記各の温度が室温（２０〜５０℃）になるよう
にするための調整用抵抗である。サーミスタの抵抗は、
周囲の気体圧力には何ら影響を受けないので、純粋に温
度に対してだけの補償をすることができる。前記サーミ
スタによる温度補償を施こさなかった従来技術において
は、室温が１０°Ｃから４０°Ｃまで変化したとすると
、２５°ＣにおいてｌＸ１０−”）−ルと測定された値
が最大で４ＸｉＯ−２）−ルまで変化した。一方、前記
サーミスタによる温度補値を施こすと、２５℃で１Ｘ１
０−２ トールと測定された値が、最大２×１０−２）
−ルまでの変化でおさまる。即ち、温度による測定誤差
が半減する。測定環境の実際的な温度は、大略２５±５
°Ｃ程度である。本発明の実施例では抵抗値の対温間極
小点を２５℃に容易に設定できるので、冥際には、温度
変化による測定誤差を非常に小さくできるのである。
であり、１１はサーミスタ、１２は抵抗である。′ｉＪ
、６図において、αは前記水晶振動子の共振抵抗、ｂは
前記サーミスタと前記抵ワしの合成抵抗、Ｃは、前記水
晶振動子と前記サーミスタと前記抵抗の合成抵抗の温度
特性を示す曲線である。前記水晶振動子の共振抵抗は正
の理屈係数を有するが、前記サーミスタの抵抗は負の温
度係数を有するので、それらを直列に接続すると、その
合成抵抗値は温度に対して谷をもつ曲線になる。前記抵
抗は、前記各の温度が室温（２０〜５０℃）になるよう
にするための調整用抵抗である。サーミスタの抵抗は、
周囲の気体圧力には何ら影響を受けないので、純粋に温
度に対してだけの補償をすることができる。前記サーミ
スタによる温度補償を施こさなかった従来技術において
は、室温が１０°Ｃから４０°Ｃまで変化したとすると
、２５°ＣにおいてｌＸ１０−”）−ルと測定された値
が最大で４ＸｉＯ−２）−ルまで変化した。一方、前記
サーミスタによる温度補値を施こすと、２５℃で１Ｘ１
０−２ トールと測定された値が、最大２×１０−２）
−ルまでの変化でおさまる。即ち、温度による測定誤差
が半減する。測定環境の実際的な温度は、大略２５±５
°Ｃ程度である。本発明の実施例では抵抗値の対温間極
小点を２５℃に容易に設定できるので、冥際には、温度
変化による測定誤差を非常に小さくできるのである。
以上述べてきたように、本発明は、非常に簡単な手段で
、水晶振動子の共振抵抗の温度による変化の影じを小さ
くシ、特に低圧領域での測定精度を向上する効果を有す
る。又、構成が単純なので、生産コストの増加を最小限
に抑えるという利点も有する。
、水晶振動子の共振抵抗の温度による変化の影じを小さ
くシ、特に低圧領域での測定精度を向上する効果を有す
る。又、構成が単純なので、生産コストの増加を最小限
に抑えるという利点も有する。
なおＮ ＊ ′：Ａｍ例においては、水晶振動子の共振
抵抗の温展特性を補償する素子として、サーミスタを用
いているが、要するに水晶振動子の共振抵抗の温度係数
と反対の温展係数を有するものであれば、サーミスタ以
外の素子も使用可能であることは言う迄もない。
抵抗の温展特性を補償する素子として、サーミスタを用
いているが、要するに水晶振動子の共振抵抗の温度係数
と反対の温展係数を有するものであれば、サーミスタ以
外の素子も使用可能であることは言う迄もない。
２１４１図は水晶振動子の特性値（共振抵抗、共振電流
、共振周波数）と周囲気体圧力との関係を示す図、第２
図は本発明の水晶式気体圧力計の電子回路ブロック交、
第３図はメータ几動電圧と周囲気体圧力との関係を示す
１、第４１は前記水晶振動子の共振抵抗の温式特性を示
す図、第５図は本発明の実施例を示す図、第６図は本発
明の実施例の温度特性を示す図である。 １・・・・・・周仮数可変発振器 ２・・・・・・増幅器 ３・・・・・・位相比較器 ４・・・・・・低域Ｆ波器 ５・・・・・・水晶振動子 ６・・・・・・主増幅器 ７・・・・・・整流器 ８・・・・・・インバータ ９・・・・・・バッファ １０・・・メータ １１・・・サーミスタ １２・・・・・・抵 抗 以 上
、共振周波数）と周囲気体圧力との関係を示す図、第２
図は本発明の水晶式気体圧力計の電子回路ブロック交、
第３図はメータ几動電圧と周囲気体圧力との関係を示す
１、第４１は前記水晶振動子の共振抵抗の温式特性を示
す図、第５図は本発明の実施例を示す図、第６図は本発
明の実施例の温度特性を示す図である。 １・・・・・・周仮数可変発振器 ２・・・・・・増幅器 ３・・・・・・位相比較器 ４・・・・・・低域Ｆ波器 ５・・・・・・水晶振動子 ６・・・・・・主増幅器 ７・・・・・・整流器 ８・・・・・・インバータ ９・・・・・・バッファ １０・・・メータ １１・・・サーミスタ １２・・・・・・抵 抗 以 上
Claims (1)
- 少なくとも、周波数可変発振器、位相比較器、低域通過
ろ波器、増幅器より成るフェーズ・ロックド・ループ回
路（ＰＬＬ回路）部と、前記周波数可変発振器に接続さ
れた水晶振動子と、前記ＰＬＬ回路部に接続された表示
変換回路部と、前記表示変換回路部に接続された表示部
とを有し、前記水晶振動子の共振抵抗値、又は共振電流
値、又は共振電圧値から、前記水晶振動子の周囲気体の
圧力を測定する水晶式気体圧力計において、前記水晶振
動子の共振抵抗の温度特性と反対の温度特性を有し、か
つ、その抵抗値が周囲気体の圧力に依存しない温度依存
性抵抗体が、前記水晶振動子に直列に接続されたことを
特徴とする水晶式気体圧力計。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59207576A JPS6184535A (ja) | 1984-10-03 | 1984-10-03 | 水晶式気体圧力計 |
| EP85305665A EP0180297B1 (en) | 1984-10-03 | 1985-08-09 | Temperature compensation of a quartz oscillator pressure measuring apparatus |
| DE8585305665T DE3573474D1 (en) | 1984-10-03 | 1985-08-09 | Temperature compensation of a quartz oscillator pressure measuring apparatus |
| US06/783,249 US4638664A (en) | 1984-10-03 | 1985-10-02 | Quartz barometer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59207576A JPS6184535A (ja) | 1984-10-03 | 1984-10-03 | 水晶式気体圧力計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6184535A true JPS6184535A (ja) | 1986-04-30 |
Family
ID=16542039
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59207576A Pending JPS6184535A (ja) | 1984-10-03 | 1984-10-03 | 水晶式気体圧力計 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4638664A (ja) |
| EP (1) | EP0180297B1 (ja) |
| JP (1) | JPS6184535A (ja) |
| DE (1) | DE3573474D1 (ja) |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3529948A1 (de) * | 1985-08-22 | 1987-03-05 | Nord Micro Elektronik Feinmech | Messanordnung zum messen des luftdrucks, insbesondere zur luftdatenerfassung im flugzeug |
| JPS62184325A (ja) * | 1986-02-07 | 1987-08-12 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 水晶式気体圧力計 |
| US4802370A (en) * | 1986-12-29 | 1989-02-07 | Halliburton Company | Transducer and sensor apparatus and method |
| US4959999A (en) * | 1988-02-18 | 1990-10-02 | Seiko Electronic Components Ltd. | Vacuum gauge of thermo-conductive type with quartz oscillator |
| CH687276A5 (de) * | 1989-01-23 | 1996-10-31 | Balzers Hochvakuum | Stimmgabelquarz-Manometer. |
| CH687277A5 (de) * | 1989-01-23 | 1996-10-31 | Balzers Hochvakuum | Stimmgabelquarz-Manometer. |
| KR930001165Y1 (ko) * | 1989-05-24 | 1993-03-13 | 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 | 가속도 센서 |
| DE4004969A1 (de) * | 1990-02-19 | 1991-08-22 | Asea Brown Boveri | Schaltanordnung |
| US5058427A (en) * | 1990-09-28 | 1991-10-22 | Avocet, Inc. | Accumulating altimeter with ascent/descent accumulation thresholds |
| US5319965A (en) * | 1992-03-02 | 1994-06-14 | Halliburton Company | Multiple channel pressure recorder |
| US5458000A (en) * | 1993-07-20 | 1995-10-17 | Honeywell Inc. | Static pressure compensation of resonant integrated microbeam sensors |
| US6390672B1 (en) | 2000-01-20 | 2002-05-21 | Harris Corporation | Space vehicle with temperature sensitive oscillator and associated method of sensing temperature in space |
| US7493813B2 (en) * | 2004-05-13 | 2009-02-24 | Brendon G. Nunes | Electronic instrument movement/barometer |
| PL2458357T5 (pl) * | 2010-11-29 | 2018-03-30 | Air Products And Chemicals, Inc. | Sposób i urządzenie do mierzenia ciśnienia gazu |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CH616297B (de) * | 1974-09-16 | Centre Electron Horloger | Garde-temps compense en fonction d'au moins un parametre physique d'environnement. | |
| JPS58140604A (ja) * | 1982-02-17 | 1983-08-20 | Hitachi Ltd | 温度補償回路付き集積化センサ |
| FR2532047A1 (fr) * | 1982-08-19 | 1984-02-24 | Asulab Sa | Capteur de mesure muni d'un resonateur piezo-electrique compense en temperature |
| FR2545669B1 (fr) * | 1983-05-03 | 1985-08-09 | France Etat Armement | Oscillateur a quartz compense en temperature |
-
1984
- 1984-10-03 JP JP59207576A patent/JPS6184535A/ja active Pending
-
1985
- 1985-08-09 EP EP85305665A patent/EP0180297B1/en not_active Expired
- 1985-08-09 DE DE8585305665T patent/DE3573474D1/de not_active Expired
- 1985-10-02 US US06/783,249 patent/US4638664A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0180297B1 (en) | 1989-10-04 |
| US4638664A (en) | 1987-01-27 |
| EP0180297A3 (en) | 1987-01-07 |
| EP0180297A2 (en) | 1986-05-07 |
| DE3573474D1 (en) | 1989-11-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4741213A (en) | Quartz-type gas pressure gauge | |
| JPS6184535A (ja) | 水晶式気体圧力計 | |
| CN103051285B (zh) | 用于修正压阻式振荡器的频率的温度相关性的电路和方法 | |
| CN111418262A (zh) | 加热器温度控制电路及使用它的传感器装置 | |
| JPH01313728A (ja) | 水晶式真空計 | |
| KR100189223B1 (ko) | 음차형 수정진동자를 사용한 압력의 측정방법 | |
| RU2282162C1 (ru) | Способ компенсации аддитивной температурной погрешности датчика с вибрирующим элементом | |
| JPS6129652B2 (ja) | ||
| JPS6118354B2 (ja) | ||
| JPH0380253B2 (ja) | ||
| JPH0374934B2 (ja) | ||
| CN204064504U (zh) | 基于微谐振器的高精度温度测量系统 | |
| JPH0641888B2 (ja) | Ｓａｗフオ−スセンサ | |
| JP2807827B2 (ja) | 静電容量型距離計 | |
| Southgate | Measurement of low values of internal friction at elevated temperatures | |
| JPH042894B2 (ja) | ||
| JPS63316509A (ja) | 発振回路 | |
| JPS6326853B2 (ja) | ||
| JPH0641887B2 (ja) | Ｓａｗフオ−スセンサ | |
| SU836538A1 (ru) | Тепловой манометр | |
| RU2307329C2 (ru) | Способ компенсации мультипликативной температурной погрешности датчика с вибрирующим элементом | |
| JPS61138131A (ja) | 水晶温度計 | |
| JPH0641886B2 (ja) | Ｓａｗフオ−スセンサ | |
| JP3170335B2 (ja) | 気体用流量計 | |
| JPH01311241A (ja) | 水晶式熱伝導型真空計 |