JPH02178662A - 光重合性組成物 - Google Patents
光重合性組成物Info
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- JPH02178662A JPH02178662A JP33374788A JP33374788A JPH02178662A JP H02178662 A JPH02178662 A JP H02178662A JP 33374788 A JP33374788 A JP 33374788A JP 33374788 A JP33374788 A JP 33374788A JP H02178662 A JPH02178662 A JP H02178662A
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- Japan
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- copolymer
- group
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- photosensitive
- binary copolymer
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、アルカリ現像可溶型感光性慴脂(非銀塩)系
0光重合性組成物に関するものである。
0光重合性組成物に関するものである。
このものは、照射により照射部が硬化して、現像液に不
溶化し、未照射部が現像液に溶けるネガタイプの感光性
組成物である。
溶化し、未照射部が現像液に溶けるネガタイプの感光性
組成物である。
更に詳しくは、印刷配線基板の製造時の銅のエツチング
、印刷版作成時の金属版(バイメタル、トライメタル)
、グラビアの銅シリンダーのエツチング、金属の打ち抜
き等のケミカルミーリング用パターン形成時のレジスト
材料として、印刷配線基板の製造時の銅のメツキ、カミ
ソリ刃のメツキ法による製造時のメツキレジスト材料と
して、また、オフセット印刷に使用される28版、平凹
版の光硬化材料として、更にフィルム、図柄パターン等
への作製材料又は銘板用図柄パターンの材料としても利
用される。このように、本発明の光重合性組成物は、関
連する広い産業分野において利用できるアルカリ現像可
溶のネガ型感光材である。
、印刷版作成時の金属版(バイメタル、トライメタル)
、グラビアの銅シリンダーのエツチング、金属の打ち抜
き等のケミカルミーリング用パターン形成時のレジスト
材料として、印刷配線基板の製造時の銅のメツキ、カミ
ソリ刃のメツキ法による製造時のメツキレジスト材料と
して、また、オフセット印刷に使用される28版、平凹
版の光硬化材料として、更にフィルム、図柄パターン等
への作製材料又は銘板用図柄パターンの材料としても利
用される。このように、本発明の光重合性組成物は、関
連する広い産業分野において利用できるアルカリ現像可
溶のネガ型感光材である。
従来、この種の技術としては、光照射により硬化すると
ころの6価クロムを利用した水現像タイプの重クロム酸
カリとポリビニールアルコールからなる感光材や、ジア
ゾ樹脂系の感光剤や、溶剤現像タイプであるところのポ
リビニールアルコールのケイ皮酸誘導体系の感光材が知
られている。
ころの6価クロムを利用した水現像タイプの重クロム酸
カリとポリビニールアルコールからなる感光材や、ジア
ゾ樹脂系の感光剤や、溶剤現像タイプであるところのポ
リビニールアルコールのケイ皮酸誘導体系の感光材が知
られている。
本発明者は、さきにアルカリ現像可溶型感光性樹脂を開
発した(特公昭56−89100号公報、特開昭57−
204032号公報)、この技術は、現像においては完
全なる溶解現像タイプではないため、スプレー現像法か
スポンジこすり現像法により現像fl渣を除去している
。理想的な現像方法は、あくまでも物理的な力を加えな
い方法で、現像液に完全に溶解し、しかも現像残渣がな
い方法である。この点からすれば、この技術は十分に満
足のいくものではなかった。
発した(特公昭56−89100号公報、特開昭57−
204032号公報)、この技術は、現像においては完
全なる溶解現像タイプではないため、スプレー現像法か
スポンジこすり現像法により現像fl渣を除去している
。理想的な現像方法は、あくまでも物理的な力を加えな
い方法で、現像液に完全に溶解し、しかも現像残渣がな
い方法である。この点からすれば、この技術は十分に満
足のいくものではなかった。
周知のように1重クロム酸カリとポリビニールアルコー
ルからなる前記の感光材は、6価クロムが人体に対して
有毒で、公害上問題があり、排水処理もしなくてはなら
ず、また、その感光液の寿命が短かく長期の使用に対し
て不安定であり、湿度依存性が著しく大きく、加えて、
パターン形成時の解像性やシャープ性に欠ける。更に、
基板上への密着性も十分とはいいがたい、ジアゾ樹脂系
の感光材においても、同様の欠点があり、感光液は、貯
蔵安定性に欠け、寿命が短かく、パターン形成時の解像
性やシャープ性に難点がある。
ルからなる前記の感光材は、6価クロムが人体に対して
有毒で、公害上問題があり、排水処理もしなくてはなら
ず、また、その感光液の寿命が短かく長期の使用に対し
て不安定であり、湿度依存性が著しく大きく、加えて、
パターン形成時の解像性やシャープ性に欠ける。更に、
基板上への密着性も十分とはいいがたい、ジアゾ樹脂系
の感光材においても、同様の欠点があり、感光液は、貯
蔵安定性に欠け、寿命が短かく、パターン形成時の解像
性やシャープ性に難点がある。
一方、溶剤現像タイプであるところのポリビニールアル
コールのケイ皮酸誘導体系の感光材は、パターン形成時
の解像性、感光液の貯蔵安定性及び湿度依存性において
一応満足できる。しかしながら、溶剤現像タイプである
ため、現像工程における毒性の強い溶剤の蒸発により人
体への悪影響、大気汚染等の公害上の問題があり、現在
においては使用頻度が著しく少なくなる傾向にある。
コールのケイ皮酸誘導体系の感光材は、パターン形成時
の解像性、感光液の貯蔵安定性及び湿度依存性において
一応満足できる。しかしながら、溶剤現像タイプである
ため、現像工程における毒性の強い溶剤の蒸発により人
体への悪影響、大気汚染等の公害上の問題があり、現在
においては使用頻度が著しく少なくなる傾向にある。
現在のところ、アルカリ現像可溶型感光性樹脂で現像残
渣のない完全なアルカリ溶解現像タイプで、しかも基板
への密着性が良好なものは、いまだ開発されていない。
渣のない完全なアルカリ溶解現像タイプで、しかも基板
への密着性が良好なものは、いまだ開発されていない。
本発明は、上記した従来技術にみられる欠点を除去した
新規かつ改良された光重合性組成物(感光材)を提供す
ることをその課題とするものである。
新規かつ改良された光重合性組成物(感光材)を提供す
ることをその課題とするものである。
本発明は下記のとおりである。
(1)〔イ〕下記一般式
(式中、^rは置換していてもよいフェニル基、R1は
水素原子又はメチル基、R2は低級アルキル基を表わし
、数1及びnは■≧nの関係にある。)で示される反復
単位をもつ共重合体に、オキシラン環及びエチレン性不
飽和結合をそれぞれ1個有する化合物を、該共重合体の
カルボキシル基の1部において反応させて得られるとこ
ろの酸価約5〜180、分子景約t、soo〜100,
000の2元共重合体、及び。
水素原子又はメチル基、R2は低級アルキル基を表わし
、数1及びnは■≧nの関係にある。)で示される反復
単位をもつ共重合体に、オキシラン環及びエチレン性不
飽和結合をそれぞれ1個有する化合物を、該共重合体の
カルボキシル基の1部において反応させて得られるとこ
ろの酸価約5〜180、分子景約t、soo〜100,
000の2元共重合体、及び。
〔ロ〕下記一般式
(式中、R1は水素又はメチル基、R2は低級アルキレ
ン基を示し、nは2以上の整数を示す)で表わされるウ
レタンアクリル系プレポリマーを含有することを特徴と
する光重合性組成物。
ン基を示し、nは2以上の整数を示す)で表わされるウ
レタンアクリル系プレポリマーを含有することを特徴と
する光重合性組成物。
本発明の好適な実施態様は下記のとおりである。
(A)架橋剤として、2個以上のエチレン性不飽和結合
を有する化合物を含む上記の組成物。
を有する化合物を含む上記の組成物。
(B)光重合開始剤を含む上記の組成物。
本発明組成物は、使用目的に応じて他の着色料。
界面活性剤等を含有してもよい。
本発明組成物の成分について詳しく説明する。
前記2元共重合体〔イ〕は、具体的には、スチレン、α
−メチルスチレン、m又はP−メトキシスチレン等のス
チレン又はその誘導体(8群)と、マレイン酸モノメチ
ル、マレイン酸モノエチル、マレイン酸モノ−〇−プロ
ピル、マレイン酸モノ−1so−プロピル、マレイン酸
モノ−〇−ブチル、マレイン酸モノ−1so−ブチル、
マレイン酸モノ−tart−ブチル等のマレイン酸モノ
低級アルキルエステル(M群)とからそれぞれ1種類ず
つ選んで共重合させて得られるところの共重合のカルボ
キシル基の一部に。
−メチルスチレン、m又はP−メトキシスチレン等のス
チレン又はその誘導体(8群)と、マレイン酸モノメチ
ル、マレイン酸モノエチル、マレイン酸モノ−〇−プロ
ピル、マレイン酸モノ−1so−プロピル、マレイン酸
モノ−〇−ブチル、マレイン酸モノ−1so−ブチル、
マレイン酸モノ−tart−ブチル等のマレイン酸モノ
低級アルキルエステル(M群)とからそれぞれ1種類ず
つ選んで共重合させて得られるところの共重合のカルボ
キシル基の一部に。
オキシラン環及びエチレン性不飽和結合をそれぞれ1個
有する化合物を反応させて得られる。
有する化合物を反応させて得られる。
前記のオキシラン環及びエチレン性不飽和結合をそれぞ
れ1個有する化合物としては、具体的には、アクリル酸
グリシジル、メタクリル酸グリシジル、アリルグリシジ
ルエーテル、α−エチルアクリルグリシジル、クロトニ
ルグリシジルエーテル、クロトン酸グリシジル、イソク
ロトン酸グリシジル等が例として挙げられる。
れ1個有する化合物としては、具体的には、アクリル酸
グリシジル、メタクリル酸グリシジル、アリルグリシジ
ルエーテル、α−エチルアクリルグリシジル、クロトニ
ルグリシジルエーテル、クロトン酸グリシジル、イソク
ロトン酸グリシジル等が例として挙げられる。
2元共重合体の一般式(1)で示される反復+B位にお
いて、Arは置換していてもよいフェニル基を表わし、
この場合の置換基はこの種芳香環の通常の置換基である
。R1は水素原子又はメチル基を表わし R2は低級ア
ルキル基、例えばメチル基、エチル基、n−プロピル基
、1so−プロピル基、ブチル基等を表わす。
いて、Arは置換していてもよいフェニル基を表わし、
この場合の置換基はこの種芳香環の通常の置換基である
。R1は水素原子又はメチル基を表わし R2は低級ア
ルキル基、例えばメチル基、エチル基、n−プロピル基
、1so−プロピル基、ブチル基等を表わす。
式(1)において数I及びnはm≧nの関係にあり、こ
の関係を満たさないと、本発明の目的は達成されない。
の関係を満たさないと、本発明の目的は達成されない。
2元共重合体は、酸価的5〜180、好ましくは約60
〜160、分子量的1 、500〜100,000のも
のである。遊離カルボキシル基含有率は酸価によって判
定される。酸価と分子量がこの範囲外の場合は、本発明
の目的が達成されない。
〜160、分子量的1 、500〜100,000のも
のである。遊離カルボキシル基含有率は酸価によって判
定される。酸価と分子量がこの範囲外の場合は、本発明
の目的が達成されない。
すなわち、2元共重合体中の遊離カルボキシル基含有率
が過度に大きいと、見かけ上の光硬化速度すなわち感光
速度が遅くなるだけでなく、現像時アルカリ現像液によ
ってパターンが膨潤し鮮鋭な画像が得られがたくなり、
逆に、遊離カルボキシル基が過度に少いと、現像時間が
長くなる。
が過度に大きいと、見かけ上の光硬化速度すなわち感光
速度が遅くなるだけでなく、現像時アルカリ現像液によ
ってパターンが膨潤し鮮鋭な画像が得られがたくなり、
逆に、遊離カルボキシル基が過度に少いと、現像時間が
長くなる。
2元共重合体の合成は、公知の方法1例えば特開昭57
−204032号公報に記載された方法によって行うこ
とができる。
−204032号公報に記載された方法によって行うこ
とができる。
前記ウレタンアクリル系プレポリマー〔口〕は、特開昭
62−25115号公報に記載された公知のものである
6本発明においては、一般式(■)において、nは10
以下、好ましくは1〜5に規定するのがよい。
62−25115号公報に記載された公知のものである
6本発明においては、一般式(■)において、nは10
以下、好ましくは1〜5に規定するのがよい。
このプレポリマーは、式
で表わされるジ・rソシアネートと式
で表わされるスピログリコールとを反応させ、得られた
反応生成物に、一般式 (式中、R”、R2は前記と同じ) を反応させることにより製造することができる。
反応生成物に、一般式 (式中、R”、R2は前記と同じ) を反応させることにより製造することができる。
このウレタンアクリル系ポリマーにおいては、その分子
量の小さい方が高められた光感度を与える傾向を示す。
量の小さい方が高められた光感度を与える傾向を示す。
前記2元共重合体とウレタンアクリル系プレポリマーと
が同時に含有されることにより、本発明の目的が達成さ
れる。一般にアルカリ現像により未露光部分が完全に溶
解し、露光部がそのまま残存するのがネガタイプである
が、2元共重合体のみで作製した感光材では、未露光部
分が完全に溶解せず、また、アルカリ現像液の能力がほ
んの少し落ちたときでも現像残渣(scum)が残るこ
とがある。このとき、アルカリの濃度を高くして、現像
残渣を取り除こうとすると、露光部が若干膨潤気味とな
り、高解像力の画像が得られなくなり、露光部の機械的
強度も弱く、光かくのないものとなる。
が同時に含有されることにより、本発明の目的が達成さ
れる。一般にアルカリ現像により未露光部分が完全に溶
解し、露光部がそのまま残存するのがネガタイプである
が、2元共重合体のみで作製した感光材では、未露光部
分が完全に溶解せず、また、アルカリ現像液の能力がほ
んの少し落ちたときでも現像残渣(scum)が残るこ
とがある。このとき、アルカリの濃度を高くして、現像
残渣を取り除こうとすると、露光部が若干膨潤気味とな
り、高解像力の画像が得られなくなり、露光部の機械的
強度も弱く、光かくのないものとなる。
2元共重合体とウレタンアクリル系プレポリマーとが同
時に含有されることにより、樹脂のアルカリに対する強
度も強くなり機械的強度も強くなる。
時に含有されることにより、樹脂のアルカリに対する強
度も強くなり機械的強度も強くなる。
このため、現像液のアルカリ濃度を少し高くして短時間
に現像を行っても、現像残渣のない、光沢のある画像部
が1!)られる。
に現像を行っても、現像残渣のない、光沢のある画像部
が1!)られる。
2元共重合体〔イ〕はエチレン性不飽和結合を含有して
いるため、光硬化性は成る程度亮いが、ウレタンアクリ
ル系プレポリマー〔口〕を添加することにより、現像残
渣のない、光沢のある画像が安定して得られる。2元共
重合体〔イ〕とウレタンアクリル系プレポリマー〔口〕
の重意比〔イ〕バロ〕は911〜674.好ましくは3
71〜173の範囲であり、この範囲においては、実用
性の高い安定性のある光重合性組成物(感光材)が得ら
れる。ウレタン系プレポリマーの割合が多くなるにつれ
て感度は向上するが、現像性が損われる傾向を示す。
いるため、光硬化性は成る程度亮いが、ウレタンアクリ
ル系プレポリマー〔口〕を添加することにより、現像残
渣のない、光沢のある画像が安定して得られる。2元共
重合体〔イ〕とウレタンアクリル系プレポリマー〔口〕
の重意比〔イ〕バロ〕は911〜674.好ましくは3
71〜173の範囲であり、この範囲においては、実用
性の高い安定性のある光重合性組成物(感光材)が得ら
れる。ウレタン系プレポリマーの割合が多くなるにつれ
て感度は向上するが、現像性が損われる傾向を示す。
次に、2個以上のエチレン性不飽和結合を有することこ
ろの任意成分の架橋剤としては、常圧において沸点15
0℃以上のものが使用される。具体的には、トリメチロ
ールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパ
ンジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレ
ート、ジエチレングリコールジアクリレート、テトラエ
チレングリコールジアクリレート、ヘキサメチレングリ
コールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアク
リレート、フルフリルアクリレート、テトラメチロール
メタンテトラアクリレート、レゾルシノールジアクリレ
ート、PDP’−ジヒドロキシジフェニルジアクリレー
ト、ビスフェノール^ジグリシジルジアクリレート、及
び上記のメタクリレート同族体、すなわち、トリメチロ
ールプロピントリメタクリレート、トリメチロールプロ
パンジメタクリレート、トリエチレングリコールジメタ
クリレート、ジエチレングリコールジメタクリレート、
テトラエチレングリコールジメタクリレート。
ろの任意成分の架橋剤としては、常圧において沸点15
0℃以上のものが使用される。具体的には、トリメチロ
ールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパ
ンジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレ
ート、ジエチレングリコールジアクリレート、テトラエ
チレングリコールジアクリレート、ヘキサメチレングリ
コールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアク
リレート、フルフリルアクリレート、テトラメチロール
メタンテトラアクリレート、レゾルシノールジアクリレ
ート、PDP’−ジヒドロキシジフェニルジアクリレー
ト、ビスフェノール^ジグリシジルジアクリレート、及
び上記のメタクリレート同族体、すなわち、トリメチロ
ールプロピントリメタクリレート、トリメチロールプロ
パンジメタクリレート、トリエチレングリコールジメタ
クリレート、ジエチレングリコールジメタクリレート、
テトラエチレングリコールジメタクリレート。
ヘキサメチレングリコールジメタクリレート、ネオペン
チルグリコールジメタクリレート、フルフリルメタクリ
レート、テトラメチロールメタンテトラメタクリレート
、レゾルシノールジアクリレート、PeP’−ジヒドロ
キシジフェニルジメタクリレート、ビスフェノールAジ
グリシジルジメタクリレート等、或は、ジアクリルフタ
レート、ジアリルアクリルアミド、メチレンビスアクリ
ルアミド、5,5−ジアリルバルビッール酸等が例とし
て挙げられる。
チルグリコールジメタクリレート、フルフリルメタクリ
レート、テトラメチロールメタンテトラメタクリレート
、レゾルシノールジアクリレート、PeP’−ジヒドロ
キシジフェニルジメタクリレート、ビスフェノールAジ
グリシジルジメタクリレート等、或は、ジアクリルフタ
レート、ジアリルアクリルアミド、メチレンビスアクリ
ルアミド、5,5−ジアリルバルビッール酸等が例とし
て挙げられる。
感光材中に添加される架橋剤は、上掲の例示にみられる
化合物或はその類縁化合物中より、感光速度、光硬化パ
ターンの耐食性及び前述したような2元共重合体〔イj
とウレタンアクリル系プレポリマー〔口〕との相溶性等
の面を勘案して選定され。
化合物或はその類縁化合物中より、感光速度、光硬化パ
ターンの耐食性及び前述したような2元共重合体〔イj
とウレタンアクリル系プレポリマー〔口〕との相溶性等
の面を勘案して選定され。
また、同時に2種類以上の架橋剤を添加しつる。
架橋剤の量は、2元共重合体〔イ〕とウレタンアクリル
系プレポリマー〔口〕の合計重斌の10〜30%の範囲
にあるのが望ましい、この範囲を超えたにの架橋剤を添
加すると、感度が高くなるが、感光剤塗布後の乾燥した
状態であっても粘着性が残り、露光時の真空密着により
フィルムが塗膜面と密着し、なかなか剥がれないといっ
た不都合な状態になる。
系プレポリマー〔口〕の合計重斌の10〜30%の範囲
にあるのが望ましい、この範囲を超えたにの架橋剤を添
加すると、感度が高くなるが、感光剤塗布後の乾燥した
状態であっても粘着性が残り、露光時の真空密着により
フィルムが塗膜面と密着し、なかなか剥がれないといっ
た不都合な状態になる。
他の任意成分である光重合開始剤としては、ケトンとの
誘導体、或はキノイド化合物1例えば、ベンゾフェノン
、ベンジル、FDP’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾ
フェノン−FDP’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフ
ェノン、FDP’−ジベンゾイルベンゼン、ベンゾイン
メチルエーテル、ペンゾインエチルエーテル、ベンゾイ
ンプロピルエーテル、アントラキノン、アセナフテンキ
ノン、2−tert−ブチルアントラキノン、フェナン
トレンアントラキノン、戒はケトンのチオ同族体、例え
ば、PDP’−ビス(ジメチルアミノ)チオベンゾフェ
ノン、一部の複素環化合物1例えばプリムリン、カルバ
ゾール、N−メチル−3−ニトロカルバゾール、キサン
トン。
誘導体、或はキノイド化合物1例えば、ベンゾフェノン
、ベンジル、FDP’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾ
フェノン−FDP’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフ
ェノン、FDP’−ジベンゾイルベンゼン、ベンゾイン
メチルエーテル、ペンゾインエチルエーテル、ベンゾイ
ンプロピルエーテル、アントラキノン、アセナフテンキ
ノン、2−tert−ブチルアントラキノン、フェナン
トレンアントラキノン、戒はケトンのチオ同族体、例え
ば、PDP’−ビス(ジメチルアミノ)チオベンゾフェ
ノン、一部の複素環化合物1例えばプリムリン、カルバ
ゾール、N−メチル−3−ニトロカルバゾール、キサン
トン。
チオキサントン、クロルチオキサントン、ジーis。
−プロピルチオキサントン、或はポリハロアルカンとそ
の誘導体、例えば四臭化炭素、ω、ω、ω−トリブロム
メチルフェニルスルホン、ω、ω、ω−トリブロムメチ
ルフェニルケトン等の既知の光重合開始剤が使用される
。
の誘導体、例えば四臭化炭素、ω、ω、ω−トリブロム
メチルフェニルスルホン、ω、ω、ω−トリブロムメチ
ルフェニルケトン等の既知の光重合開始剤が使用される
。
光重合開始剤の添加量は、2元共重合体〔イ〕とウレタ
ンアクリル系プレポリマー〔口〕及び架橋剤の合計重量
の0.01〜18%であり、好ましくは0.1〜】3%
の範囲に設定される。
ンアクリル系プレポリマー〔口〕及び架橋剤の合計重量
の0.01〜18%であり、好ましくは0.1〜】3%
の範囲に設定される。
その他、組成物には、エチレン性不飽和基を有する化合
物の架橋反応を防止するための重合禁止剤を添加するこ
とが望ましく、この目的には、ハイドロキノン、P−メ
トキシフェノール、ピロガロール、2,6−シーtar
t−ブチル−P−クレゾール或はキュペロン等が使用で
きる0重合禁止剤の添加量は、2元共重合体〔イ〕とウ
レタンアクリル系プレポリマー〔口〕及び架橋剤の合計
重量の0.001〜1%の範囲が通例である。
物の架橋反応を防止するための重合禁止剤を添加するこ
とが望ましく、この目的には、ハイドロキノン、P−メ
トキシフェノール、ピロガロール、2,6−シーtar
t−ブチル−P−クレゾール或はキュペロン等が使用で
きる0重合禁止剤の添加量は、2元共重合体〔イ〕とウ
レタンアクリル系プレポリマー〔口〕及び架橋剤の合計
重量の0.001〜1%の範囲が通例である。
また、現像後の光硬化パターンの識別を容易にするため
5着色剤として染料又は顔料を添加することにより5着
色されたパターンを形成することができる。
5着色剤として染料又は顔料を添加することにより5着
色されたパターンを形成することができる。
感光材は、主に有機溶剤に溶解させ、基板に塗布し、乾
燥し、塗膜を形成することにより使用される。この目的
に使用される有機溶剤としては、ケトン系溶剤、セロソ
ルブ系溶剤(低級脂肪族酸エステル)、アルコール系溶
剤、エーテル系溶剤、非極性溶剤等が挙げられる。具体
的には、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサ
ノン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセ
ロソルブ、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソ
ルブアセテート、メチルアルコール、エチルアルコール
、イソプロピルアルコール、テトラヒドロフラン、ジオ
キサン等が挙げられる。ベンゼン、トルエン、キシレン
、酢酸エチル等の溶剤も極性溶剤中に混合することによ
り使用できる。
燥し、塗膜を形成することにより使用される。この目的
に使用される有機溶剤としては、ケトン系溶剤、セロソ
ルブ系溶剤(低級脂肪族酸エステル)、アルコール系溶
剤、エーテル系溶剤、非極性溶剤等が挙げられる。具体
的には、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサ
ノン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセ
ロソルブ、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソ
ルブアセテート、メチルアルコール、エチルアルコール
、イソプロピルアルコール、テトラヒドロフラン、ジオ
キサン等が挙げられる。ベンゼン、トルエン、キシレン
、酢酸エチル等の溶剤も極性溶剤中に混合することによ
り使用できる。
感光材溶液は、所定の粘度に!181整され、従来から
行われている方法により塗布される。塗布方法は1例え
ば、ロールコータ−塗布、スピンナー塗布、ホエラー塗
布、スプレー塗布、デイツプコーター塗布、ワイヤーバ
ー塗布、ドクターナイフ塗布等であり、周知の支持体上
に塗布される。支持体の具体例としては、アルミニウム
板、銅板、ステンレス板、ニッケル板等の金属板やその
他の金属板又はポリエステル、ポリカーボネート、セル
ローズ誘導体等の合成樹脂製シート状物や、板状物、更
には、紙やシート状物に金属をラミネートしたものや、
真空蒸着したもの等が挙げられる。
行われている方法により塗布される。塗布方法は1例え
ば、ロールコータ−塗布、スピンナー塗布、ホエラー塗
布、スプレー塗布、デイツプコーター塗布、ワイヤーバ
ー塗布、ドクターナイフ塗布等であり、周知の支持体上
に塗布される。支持体の具体例としては、アルミニウム
板、銅板、ステンレス板、ニッケル板等の金属板やその
他の金属板又はポリエステル、ポリカーボネート、セル
ローズ誘導体等の合成樹脂製シート状物や、板状物、更
には、紙やシート状物に金属をラミネートしたものや、
真空蒸着したもの等が挙げられる。
これら支持体上に感光材溶液を塗布した後、常温乾燥や
加熱乾燥し、数−〜100声の塗膜を形成する。
加熱乾燥し、数−〜100声の塗膜を形成する。
この塗膜である感光層に露光を行い、感光部分を硬化さ
せる。このとき露光し、光硬化させるのに使用される適
当な光源としては5カーボンアーク灯、超高圧水銀灯、
高圧水銀灯、キャノン灯、メタルハライドランプ、レー
ザー光等が挙げられる。
せる。このとき露光し、光硬化させるのに使用される適
当な光源としては5カーボンアーク灯、超高圧水銀灯、
高圧水銀灯、キャノン灯、メタルハライドランプ、レー
ザー光等が挙げられる。
露光後、感光層はアルカリ現像液により現像される。す
なわち、光硬化された部分は不溶化し、未露光の光硬化
されない部分は可溶化し、支持体上に画像を形成させる
ことができる。
なわち、光硬化された部分は不溶化し、未露光の光硬化
されない部分は可溶化し、支持体上に画像を形成させる
ことができる。
本発明の効果は前述のとおりであり、これを要約すると
、■現像液が人体に対して無害であること、■感光液の
貯蔵安定性がよいこと、■パターン形成時の解像性がシ
ャープであること、■現像残渣のない溶解現像ができ、
現像安定性に優れ、しかも基板への密着性がよいこと等
である。
、■現像液が人体に対して無害であること、■感光液の
貯蔵安定性がよいこと、■パターン形成時の解像性がシ
ャープであること、■現像残渣のない溶解現像ができ、
現像安定性に優れ、しかも基板への密着性がよいこと等
である。
以下、本発明を実施例によりさらに詳細に説明する。以
下の鋼中、r部」及びr%」はいずれも重量基準である
。
下の鋼中、r部」及びr%」はいずれも重量基準である
。
実施例1〜5及び比較例1〜2
下記の処方により、2元共重合体〔イ〕とウレタンアク
リル系プレポリマーの斌比を、第1表のように変化させ
て、感光液を調合した。
リル系プレポリマーの斌比を、第1表のように変化させ
て、感光液を調合した。
得られた感光液についてその特性試験を行ったところ、
第2表に示す結果を得た。
第2表に示す結果を得た。
2元共重合体及びウレタンアクリル系 74部プレポ
リマー 〔架橋剤〕 トリメチロールプロパントリアクリ 20部レート (光重合開始剤〕 ベンゾインイソプロピルエーテル 〔光重合開始剤〕 PeP’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン 〔溶 剤〕 エチルセロソルブ 〔重合禁止剤〕 P−メトキシフェノール 〔着色剤〕 8部 6部 550部 1部 アイゼンビクトリアブルーO82,5部〔界面活性剤〕 上記の2元共重合体は、一般式(りの共重合体オキシラ
ン環及びエチレン性不飽和結合を有する化合物であるグ
リシジルメタクリレートを反応させて得られたものであ
り、下記のとおりのものである。
リマー 〔架橋剤〕 トリメチロールプロパントリアクリ 20部レート (光重合開始剤〕 ベンゾインイソプロピルエーテル 〔光重合開始剤〕 PeP’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン 〔溶 剤〕 エチルセロソルブ 〔重合禁止剤〕 P−メトキシフェノール 〔着色剤〕 8部 6部 550部 1部 アイゼンビクトリアブルーO82,5部〔界面活性剤〕 上記の2元共重合体は、一般式(りの共重合体オキシラ
ン環及びエチレン性不飽和結合を有する化合物であるグ
リシジルメタクリレートを反応させて得られたものであ
り、下記のとおりのものである。
分子fi : 10.000
酸価;77
Ar:フェニル基
RZ水素原子
R” : 1so−プロピル基
上記のウレタンアクリル系プレポリマーの構造は、一般
式(II)において、R1が水素、I(aが−C8,−
のものであり、平均分子量が約1000のものである。
式(II)において、R1が水素、I(aが−C8,−
のものであり、平均分子量が約1000のものである。
得られた感光液をブラッシ研摩されたアルミニウム板(
0,3■)の支持体上にホエラーで、 80rp■の回
転数で塗布し乾燥した。比較例1については回転数85
rp園で塗布を行った。乾燥膜厚が3.2−の感光層の
あるアルミニウム板が得られた。この塗膜上に、ネガの
テストパターン(凸版印刷社製TOPPAN RESO
LυTl0N TARGET)と感度測定用のコダック
社製ステップタブレットNO−2を置き、2kVの超高
圧水銀灯(強度4.5mV/a#、オーク社製)で距離
l■から60秒間露出した。露光後、この板につき現像
液で現像温度25℃浸漬現像をした。このときの現像液
は、部ケイ酸ナトリウム、8%リン酸ナトリウム。
0,3■)の支持体上にホエラーで、 80rp■の回
転数で塗布し乾燥した。比較例1については回転数85
rp園で塗布を行った。乾燥膜厚が3.2−の感光層の
あるアルミニウム板が得られた。この塗膜上に、ネガの
テストパターン(凸版印刷社製TOPPAN RESO
LυTl0N TARGET)と感度測定用のコダック
社製ステップタブレットNO−2を置き、2kVの超高
圧水銀灯(強度4.5mV/a#、オーク社製)で距離
l■から60秒間露出した。露光後、この板につき現像
液で現像温度25℃浸漬現像をした。このときの現像液
は、部ケイ酸ナトリウム、8%リン酸ナトリウム。
0.2%ベンジルアルコール、0.01%ソルビタンモ
ノステアレートからなるものである。
ノステアレートからなるものである。
第1表 (混合比を変化させたケース)第2表 (試験
結果) 第2表における試験項目についての測定方法と評価方法
は下記のとおりである。
結果) 第2表における試験項目についての測定方法と評価方法
は下記のとおりである。
(1)感度は、ステップタブレットのベタ段数による。
(2)基板への密着性は基盤目テストによる。評価は下
記のとおりである。
記のとおりである。
O:優れている 100/1000:良イ(9
8〜99)/100 Δ:やや良くない (95〜97)/100×:不良
94以下/100(3)解像力は、ター
ゲットやドツトのエツジのきれをみる。評価は次のとお
りである。
8〜99)/100 Δ:やや良くない (95〜97)/100×:不良
94以下/100(3)解像力は、ター
ゲットやドツトのエツジのきれをみる。評価は次のとお
りである。
O:優れている
0:良い
Δ:やや良くない
×:不良
(4)光硬化した膜の光沢度は、目視観察による。
評価は上記と同じ。
(5)乾燥後の塗膜のベトッキは、指触による。
(6)粘度は、東京計器社製のE型粘度計を使用して得
られた測定値による。
られた測定値による。
以上の結果から、ウレタンアクリル系プレポリマーを混
合することにより、現像安定性が増加し、感度のステッ
プ段数が増加し、解像力が良好になったことがわかる。
合することにより、現像安定性が増加し、感度のステッ
プ段数が増加し、解像力が良好になったことがわかる。
実施例4
実施例2において、ウレタンアクリル系プレポリマーの
平均分子量を変えた以外は同様にして実験を行った。そ
の結果を第3表に示す。
平均分子量を変えた以外は同様にして実験を行った。そ
の結果を第3表に示す。
第3表
(試験結果)
Claims (1)
- (1)〔イ〕下記一般式 ▲数式、化学式、表等があります▼( I ) (式中、Arは置換していてもよいフェニル基、R^1
は水素原子又はメチル基、R^2は低級アルキル基を表
わし、数m及びnはm≧nの関係にある。)で示される
反復単位をもつ共重合体に、オキシラン環及びエチレン
性不飽和結合をそれぞれ1個有する化合物を、該共重合
体のカルボキシル基の1部において反応させて得られる
ところの酸価約5〜180、分子量約1,500〜10
0,000の2元共重合体、及び、 〔ロ〕下記一般式 ▲数式、化学式、表等があります▼(II) (式中、R^1は水素又はメチル基、R^2は低級アル
キレン基を示し、nは2以上の整数を示す)で表わされ
るウレタンアクリル系プレポリマーを含有することを特
徴とする光重合性組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33374788A JPH02178662A (ja) | 1988-12-28 | 1988-12-28 | 光重合性組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33374788A JPH02178662A (ja) | 1988-12-28 | 1988-12-28 | 光重合性組成物 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02178662A true JPH02178662A (ja) | 1990-07-11 |
Family
ID=18269507
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33374788A Pending JPH02178662A (ja) | 1988-12-28 | 1988-12-28 | 光重合性組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02178662A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5068168A (en) * | 1990-12-20 | 1991-11-26 | Monsanto Company | Styrene/maleates terpolymers |
| JPH04275552A (ja) * | 1991-03-01 | 1992-10-01 | Nippon Synthetic Chem Ind Co Ltd:The | 電鋳法のための厚膜レジストの形成方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63184744A (ja) * | 1986-09-09 | 1988-07-30 | Asahi Chem Ind Co Ltd | 光重合性積層体 |
| JPH01224747A (ja) * | 1988-03-04 | 1989-09-07 | Asahi Chem Ind Co Ltd | 光レジスト組成物 |
-
1988
- 1988-12-28 JP JP33374788A patent/JPH02178662A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63184744A (ja) * | 1986-09-09 | 1988-07-30 | Asahi Chem Ind Co Ltd | 光重合性積層体 |
| JPH01224747A (ja) * | 1988-03-04 | 1989-09-07 | Asahi Chem Ind Co Ltd | 光レジスト組成物 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5068168A (en) * | 1990-12-20 | 1991-11-26 | Monsanto Company | Styrene/maleates terpolymers |
| JPH04275552A (ja) * | 1991-03-01 | 1992-10-01 | Nippon Synthetic Chem Ind Co Ltd:The | 電鋳法のための厚膜レジストの形成方法 |
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