JPH02181494A - 描画装置 - Google Patents
描画装置Info
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- JPH02181494A JPH02181494A JP1001750A JP175089A JPH02181494A JP H02181494 A JPH02181494 A JP H02181494A JP 1001750 A JP1001750 A JP 1001750A JP 175089 A JP175089 A JP 175089A JP H02181494 A JPH02181494 A JP H02181494A
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- Japan
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- discharge nozzle
- height position
- height
- discharge
- discharge port
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- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は基板上に導体ペーストなどのペーストを所望の
パターンで均一な厚みに塗布する描画装置に関するもの
である。
パターンで均一な厚みに塗布する描画装置に関するもの
である。
従来の技術
一般に描画装置は、吐出ノズルの下端の吐出口から基板
の描画面にペーストを吐出させながら吐出ノズルを所定
のパターンに沿ってＸ−Ｙ方向に相対移動させることに
よりペーストパターンを描くように構成されている。こ
の吐出ノズルの全移動工程中において、吐出口と描画面
との間の間隔を一定に保持しないと、ペースト膜厚が一
定にならず、特性精度のよいパターンを描くことはでき
ない。
の描画面にペーストを吐出させながら吐出ノズルを所定
のパターンに沿ってＸ−Ｙ方向に相対移動させることに
よりペーストパターンを描くように構成されている。こ
の吐出ノズルの全移動工程中において、吐出口と描画面
との間の間隔を一定に保持しないと、ペースト膜厚が一
定にならず、特性精度のよいパターンを描くことはでき
ない。
そこで従来は、第６図に示すように吐出ノズルａの側方
に配設した位置検出器すによって、ＸＹ子テーブルＣ上
設置された基板ｄの描画面ｅの高さ位置を、位置検出器
ａの下方位置ｆでパターン形成経路の全体にわたって計
測し、その位置データをメモリしておき、次の描画工程
において、吐出ノズルａの吐出口ｇと描画面ｅとの間を
一定間隔に保持できるように、前記位置データに基づい
て吐出ノズルａの上下位置を制御しながら描画している
。
に配設した位置検出器すによって、ＸＹ子テーブルＣ上
設置された基板ｄの描画面ｅの高さ位置を、位置検出器
ａの下方位置ｆでパターン形成経路の全体にわたって計
測し、その位置データをメモリしておき、次の描画工程
において、吐出ノズルａの吐出口ｇと描画面ｅとの間を
一定間隔に保持できるように、前記位置データに基づい
て吐出ノズルａの上下位置を制御しながら描画している
。
又、吐出口ｇと描画面ｅの間隔を一定に保持するために
吐出ノズルａを上下移動させる移動手段としては、高い
位置決め精度が確保できるようにパルスモータにて駆動
されるボールねじを用いたねし送り機構が採用されてい
る。
吐出ノズルａを上下移動させる移動手段としては、高い
位置決め精度が確保できるようにパルスモータにて駆動
されるボールねじを用いたねし送り機構が採用されてい
る。
発明が解決しようとする課題
しかし、上記のように吐出ノズルの上下移動をねじ送り
機構によって行った場合には、かなり高い位置決め精度
が確保されるが、一方で位置調整に時間を要して応答性
が悪く、そのために高速で描画した場合には精度の高い
位置制御ができなくなるという問題があり、描画の高速
化ができないという問題がある。
機構によって行った場合には、かなり高い位置決め精度
が確保されるが、一方で位置調整に時間を要して応答性
が悪く、そのために高速で描画した場合には精度の高い
位置制御ができなくなるという問題があり、描画の高速
化ができないという問題がある。
本発明は上記従来の問題点に鑑み、吐出ノズルの位置制
御を応答性良くかつ高精度で行うことができ、高速描画
を可能にする描画装置を提供することを目的とする。
御を応答性良くかつ高精度で行うことができ、高速描画
を可能にする描画装置を提供することを目的とする。
課題を解決するための手段
本発明は上記目的を達成するために、吐出口からペース
トを吐出する吐出ノズルを描画面に対して遠近方向に移
動可能に設け、モータにて回転駆動されるカム機構と、
ピエゾ素子とを備えた吐出ノズルの移動手段を設けたこ
とを特徴とする。
トを吐出する吐出ノズルを描画面に対して遠近方向に移
動可能に設け、モータにて回転駆動されるカム機構と、
ピエゾ素子とを備えた吐出ノズルの移動手段を設けたこ
とを特徴とする。
作 用
本発明によると、カム機構とピエゾ素子が共に動作の応
答性が良いため、応答性良く吐出ノズルの位置調整を行
うことができ、しかもカム機構にて大きな幅で位置ａｌ
ｊＪ整し、その幅内で微小な位置調整をピエゾ素子によ
って行うことによって高精度で位置調整を行うことがで
き、従って吐出ノズルの位置調整を応答性良くかつ高精
度で行うことができ、高速描画が可能となる。
答性が良いため、応答性良く吐出ノズルの位置調整を行
うことができ、しかもカム機構にて大きな幅で位置ａｌ
ｊＪ整し、その幅内で微小な位置調整をピエゾ素子によ
って行うことによって高精度で位置調整を行うことがで
き、従って吐出ノズルの位置調整を応答性良くかつ高精
度で行うことができ、高速描画が可能となる。
実施例
以下、本発明の一実施例を第１図〜第５図に基づいて説
明する。
明する。
基板ｌはその上面が描画面２とされ、導体ペースト３の
パターンが形成される。この基板１は、Ｘ−Ｙ方向に移
動可能なＸ−Ｙテーブル４上に設置される。吐出ノズル
５がｘ−Ｙテーブル、１の上方に上下移動自在に支持さ
れた倒立′「字状の可ｖＪ部材１６の一側片部１６ａに
軸心を鉛直にして取付けられている。この吐出ノズル５
には、断面円形の丸ノズルが用いられ、その下端の円形
の吐出口６からいずれの方向に対しても同様に導体ペー
スト３を吐出して前記バ・ターンを形成する。
パターンが形成される。この基板１は、Ｘ−Ｙ方向に移
動可能なＸ−Ｙテーブル４上に設置される。吐出ノズル
５がｘ−Ｙテーブル、１の上方に上下移動自在に支持さ
れた倒立′「字状の可ｖＪ部材１６の一側片部１６ａに
軸心を鉛直にして取付けられている。この吐出ノズル５
には、断面円形の丸ノズルが用いられ、その下端の円形
の吐出口６からいずれの方向に対しても同様に導体ペー
スト３を吐出して前記バ・ターンを形成する。
回転体７が上下方向並びに水平方向に固定で回転のみ可
能に配設され、前記吐出ノズル５はその軸心位置の貫通
孔８を非接触で貫通している。この回転体７は回転用モ
ータ９にて、そのモータ軸に取付られたプーリ９ａと回
転体７との間に巻回された回転ベルト１０を介して任意
の角度位置に回転駆動される。
能に配設され、前記吐出ノズル５はその軸心位置の貫通
孔８を非接触で貫通している。この回転体７は回転用モ
ータ９にて、そのモータ軸に取付られたプーリ９ａと回
転体７との間に巻回された回転ベルト１０を介して任意
の角度位置に回転駆動される。
回転体７の下面において、貫通孔８の側方位置に描画面
２の高さ位置を検出するためのレーザ測長器から成る第
１の位置検出器１１が取付けられ、貫通孔８の部分に、
吐出ノズル５が貫通する貫通孔１３を形成された反射プ
リズム１２が取付けられている。この反射プリズム１２
は、吐出ノズル５の軸心に対して４５°の傾斜角で下向
きに傾斜した光反射面１４を形成し、この光反射面１４
によって第１の位置検出器１１から描画面２に至るＬ字
状に屈曲した光路１５が形成される。このように、光反
射面１４を用いることによって描画面２の高さ検出位置
４０を吐出口６の近傍に設定することができる。第１の
位置検出器１１は光路１５に沿ってレーザ光を描画面２
に投射し、その反射光によって描画面２の高さ位置を検
出する。
２の高さ位置を検出するためのレーザ測長器から成る第
１の位置検出器１１が取付けられ、貫通孔８の部分に、
吐出ノズル５が貫通する貫通孔１３を形成された反射プ
リズム１２が取付けられている。この反射プリズム１２
は、吐出ノズル５の軸心に対して４５°の傾斜角で下向
きに傾斜した光反射面１４を形成し、この光反射面１４
によって第１の位置検出器１１から描画面２に至るＬ字
状に屈曲した光路１５が形成される。このように、光反
射面１４を用いることによって描画面２の高さ検出位置
４０を吐出口６の近傍に設定することができる。第１の
位置検出器１１は光路１５に沿ってレーザ光を描画面２
に投射し、その反射光によって描画面２の高さ位置を検
出する。
可動部材１６の他側片部１６ｂの上方には、第２の位置
検出器１７が配設され、この他側片部１６ｂの上面を検
出することによって間接的に吐出ノズル５の高さ位置を
検出する。
検出器１７が配設され、この他側片部１６ｂの上面を検
出することによって間接的に吐出ノズル５の高さ位置を
検出する。
可動部材１６の上方に延びるガイド片１６Ｃの一側面に
、この可動部材１６を上下移動させる移動手段が連結さ
れており、次にこの移動手段の構成を詳細に説明する。
、この可動部材１６を上下移動させる移動手段が連結さ
れており、次にこの移動手段の構成を詳細に説明する。
吐出ノズル５の上下用モータ１８のモータ軸に板カム１
９が取付けられ、この板カム１９外周のカム面にガイド
ブロック２０にて昇降自在に支持された昇降ブロック２
１から延出されたアーム２２が係合している。昇降ブロ
ック２１の一側面に微小移動機構２３が取付けられてい
る。
９が取付けられ、この板カム１９外周のカム面にガイド
ブロック２０にて昇降自在に支持された昇降ブロック２
１から延出されたアーム２２が係合している。昇降ブロ
ック２１の一側面に微小移動機構２３が取付けられてい
る。
この微小移動機構２３は、２段拡大レバー機構２４とピ
エゾ素子２５を備えている。２段拡大レバー機構２４は
、Ｌ字を９０°時計方向に回転させた形状の固定片２６
の下端から薄肉ヒンジの第１支点２７を介して水平方向
に第ルバー２８が延出され、固定片２６の水平方向の腕
の先端から薄肉ヒンジの第２支点２９を介して水平方向
に第２レバー３０が延出され、第ルバー２Ｂの先端と第
２レバー３０の第２支点２９から適当距離の位置とが薄
肉ヒンジの第３支点３１を介して連結されている。そし
て、固定片２６と第ルバー２８の第１支点２７から適当
距離の部位との間にピエゾ素子２５が介装され、第２レ
バー３０の先端が連結ピン３２にて可動部材Ｌ６のガイ
ド片１６Ｃに結合されている。
エゾ素子２５を備えている。２段拡大レバー機構２４は
、Ｌ字を９０°時計方向に回転させた形状の固定片２６
の下端から薄肉ヒンジの第１支点２７を介して水平方向
に第ルバー２８が延出され、固定片２６の水平方向の腕
の先端から薄肉ヒンジの第２支点２９を介して水平方向
に第２レバー３０が延出され、第ルバー２Ｂの先端と第
２レバー３０の第２支点２９から適当距離の位置とが薄
肉ヒンジの第３支点３１を介して連結されている。そし
て、固定片２６と第ルバー２８の第１支点２７から適当
距離の部位との間にピエゾ素子２５が介装され、第２レ
バー３０の先端が連結ピン３２にて可動部材Ｌ６のガイ
ド片１６Ｃに結合されている。
Ｘ−Ｙテーブル４の基板【設置位置の側方に、吐出ノズ
ル５の高さを測定する測定ステージ３３が配設されてい
る。この測定ステージ３３の上面３３ａは水平に形成さ
れるとともに、下面から垂直に延出された支軸３４とＸ
−Ｙテーブル４に設けられたリニアヘアリング３５にて
昇降自在に支持され、かつバネ３６にてその上面３３ａ
が常に所定の高さに位置するように付勢されている。
ル５の高さを測定する測定ステージ３３が配設されてい
る。この測定ステージ３３の上面３３ａは水平に形成さ
れるとともに、下面から垂直に延出された支軸３４とＸ
−Ｙテーブル４に設けられたリニアヘアリング３５にて
昇降自在に支持され、かつバネ３６にてその上面３３ａ
が常に所定の高さに位置するように付勢されている。
次に、動作を説明する。
基板ｌをＸ−Ｙテーブル４上の所定位置に設置し、吐出
ノズル５を導体パターンの始端の手前位置の上方に対向
して位置させる。次に、第１の位置検出器１１にて導体
パターンの始端の描画面２の高さ位置を検出した後、Ｘ
−Ｙテーブル４を移動させて吐出ノズル５を導体パター
ンの始端に対向させるとともに吐出ノズル５の高さ位置
を吐出口６と描画面２０間が所定間隔となるように設定
し、吐出ノズル５の吐出口６から導体ペースト３の吐出
を開始する。
ノズル５を導体パターンの始端の手前位置の上方に対向
して位置させる。次に、第１の位置検出器１１にて導体
パターンの始端の描画面２の高さ位置を検出した後、Ｘ
−Ｙテーブル４を移動させて吐出ノズル５を導体パター
ンの始端に対向させるとともに吐出ノズル５の高さ位置
を吐出口６と描画面２０間が所定間隔となるように設定
し、吐出ノズル５の吐出口６から導体ペースト３の吐出
を開始する。
吐出口６と描画面２の間の間隔は、吐出ノズル５とＸ−
Ｙテーブル４との相対移動速度、導体ペースト３の粘度
、形成すべき導体パターンの断面寸法などによって適宜
設定されるが、通常は４０μｍ程度である。
Ｙテーブル４との相対移動速度、導体ペースト３の粘度
、形成すべき導体パターンの断面寸法などによって適宜
設定されるが、通常は４０μｍ程度である。
次いで、吐出ノズル５の吐出口６から導体ペースト３を
吐出させなからＸ−Ｙテーブル４を移動させて吐出ノズ
ル５を所定の移動速度で形成すべき導体パターンに沿っ
て相対移動させる。このとき回転体７は、第５図６．Ｓ
示すように第１の位置検出器１１による検出位置４０が
常に吐出ノズル５に先行してパターン形成経路上に移動
するように回転制御する。この移動に伴って描画面２の
高さ位置が変化すると、第１の位置検出器１１によって
先行して検出された高さ位置データに基づいて吐出ノズ
ル５が４降する。この高さ位置データは描画面２の吐出
口６の近傍位置における高さ位置を絶対位置として検出
しているので、データ処理が筒車で高速処理できるため
、高精度に高さ位置を制御しながら高速で描画すること
ができる。また、高さ位置の検出位置４０が、上記のよ
うに吐出ノズル５に先行して導体パターン経路上を移動
するので、導体パターン形成経路が屈曲部を有する複雑
な形状であってもその全長にわたって吐出口６と描画面
２との間を所定間隔に保持し、導体パターンを精度よく
形成することができる。又、非接触なので、描画面２に
（８を付けないことはいうまでもない。
吐出させなからＸ−Ｙテーブル４を移動させて吐出ノズ
ル５を所定の移動速度で形成すべき導体パターンに沿っ
て相対移動させる。このとき回転体７は、第５図６．Ｓ
示すように第１の位置検出器１１による検出位置４０が
常に吐出ノズル５に先行してパターン形成経路上に移動
するように回転制御する。この移動に伴って描画面２の
高さ位置が変化すると、第１の位置検出器１１によって
先行して検出された高さ位置データに基づいて吐出ノズ
ル５が４降する。この高さ位置データは描画面２の吐出
口６の近傍位置における高さ位置を絶対位置として検出
しているので、データ処理が筒車で高速処理できるため
、高精度に高さ位置を制御しながら高速で描画すること
ができる。また、高さ位置の検出位置４０が、上記のよ
うに吐出ノズル５に先行して導体パターン経路上を移動
するので、導体パターン形成経路が屈曲部を有する複雑
な形状であってもその全長にわたって吐出口６と描画面
２との間を所定間隔に保持し、導体パターンを精度よく
形成することができる。又、非接触なので、描画面２に
（８を付けないことはいうまでもない。
又、吐出ノズル５の昇降は、ＡＣサーボモータから成る
上下用モータ１８により仮カム１９を回転させて大きな
幅の位置制御を行い、その幅の中での微小な位置制御を
ピエゾ素子２５によって行うことにより高精度の位置制
御を応答性良く行うことができ、高速で描画しても高精
度の位置制御が可能である。即ら、第３図（２１）に示
すように吐出ノズル５の高さ位置を制御４゛る場合、上
Ｆ用モータ１８におけるｌパルス毎の阪カム１９の回転
によって第３図（Ｅ））に示すように、例えば５μｍ程
度の幅で階段状に変位さけ、一方ピエゾ素子２５により
第３図（Ｃ）に示すように上記５μｍの幅内で変位させ
ることにより、これらの変位が合成されて、第３図（ａ
）のように吐出ノズル５の高さ位置を制御できる。また
、パルスモーク１８と１反カム１９による変位及びピエ
ゾ素子２５による変位の応答性は共に大変良く、全体と
して応答性良く、高精度に位置制御できる。
上下用モータ１８により仮カム１９を回転させて大きな
幅の位置制御を行い、その幅の中での微小な位置制御を
ピエゾ素子２５によって行うことにより高精度の位置制
御を応答性良く行うことができ、高速で描画しても高精
度の位置制御が可能である。即ら、第３図（２１）に示
すように吐出ノズル５の高さ位置を制御４゛る場合、上
Ｆ用モータ１８におけるｌパルス毎の阪カム１９の回転
によって第３図（Ｅ））に示すように、例えば５μｍ程
度の幅で階段状に変位さけ、一方ピエゾ素子２５により
第３図（Ｃ）に示すように上記５μｍの幅内で変位させ
ることにより、これらの変位が合成されて、第３図（ａ
）のように吐出ノズル５の高さ位置を制御できる。また
、パルスモーク１８と１反カム１９による変位及びピエ
ゾ素子２５による変位の応答性は共に大変良く、全体と
して応答性良く、高精度に位置制御できる。
また、吐出ノズル５の高さ位置を第２の位置検出器１７
にて検出しており、第１の位置検出器１１により得られ
た位置指令値に対して吐出ノズル５の現実の位置を検出
してサーボ制御を行うことにより、さらに高精度に吐出
ノズル５の高さ位置を匍口卸できる。
にて検出しており、第１の位置検出器１１により得られ
た位置指令値に対して吐出ノズル５の現実の位置を検出
してサーボ制御を行うことにより、さらに高精度に吐出
ノズル５の高さ位置を匍口卸できる。
ところで、吐出ノズル５は、内部に収容した導体ペース
ト２を消費した場合や形成すべき導体パターンの幅等が
変わる場合に交換される。この交換によって、吐出ノズ
ル５の吐出口６の高さ位置が変化するため、この高さ位
置を正も育に検出しないと、吐出口６と描画面２との間
の間隔を所定値に設定することはできない。
ト２を消費した場合や形成すべき導体パターンの幅等が
変わる場合に交換される。この交換によって、吐出ノズ
ル５の吐出口６の高さ位置が変化するため、この高さ位
置を正も育に検出しないと、吐出口６と描画面２との間
の間隔を所定値に設定することはできない。
そこで次に、測定ステージ３３と第１と第２の位置検出
器１１．１７とを用いて、任意に交換した吐出ノズル５
の吐出口６の高さ位置を検出する方法を説明する。まず
、第４図（ａ）に示すように、吐出ノズル５を取付けた
状態で可動部材１６を適当な高さ位置に設定するととも
に吐出ノズル５を測定ステージ３３の上方に対向位置さ
せ、第１の位置検出器１１にて測定ステージの高さＳｌ
を検出するとともに、第２の位置検出器１７にて吐出ノ
ズル５の高さ位置Ｎ１を間接的に検出する。次に、第４
図（ｂ）に示すように、吐出ノズル５を適当距離下方に
移動させて吐出ノズル５にて測定ステージ３３を適当距
離押し下げた後、第１と第２の位置検出器１１．１７に
てそれぞれ測定ステージ３３の高さ位置Ｓ２と吐出ノズ
ル５の高さ位置Ｎ２を検出する。これらの検出値から吐
出ノズル５の移動量ΔＮ−（Ｎｚ Ｎ＋ ）と測定ス
テージ３３の下降■Δ５＝（ｓｚ Ｓｌ）が得られ、
さらにこのΔＮとΔＳから、第４図（ａ）に示すように
吐出ノズル５を適当高さ位置に設定したときのその吐出
口６と測定ステージの間の距離ΔＨ＝（ΔＮΔＳ）が得
られる。かくして、第１の位置検出器１１による吐出ノ
ズル５の検出高さ位置と吐出口６の絶対高さ位置との対
応関係が判明し、吐出口６の絶対高さ位置を検出するこ
とができ、以降この吐出口６の高さ位置を基４（にして
位置制御を行えばよい。
器１１．１７とを用いて、任意に交換した吐出ノズル５
の吐出口６の高さ位置を検出する方法を説明する。まず
、第４図（ａ）に示すように、吐出ノズル５を取付けた
状態で可動部材１６を適当な高さ位置に設定するととも
に吐出ノズル５を測定ステージ３３の上方に対向位置さ
せ、第１の位置検出器１１にて測定ステージの高さＳｌ
を検出するとともに、第２の位置検出器１７にて吐出ノ
ズル５の高さ位置Ｎ１を間接的に検出する。次に、第４
図（ｂ）に示すように、吐出ノズル５を適当距離下方に
移動させて吐出ノズル５にて測定ステージ３３を適当距
離押し下げた後、第１と第２の位置検出器１１．１７に
てそれぞれ測定ステージ３３の高さ位置Ｓ２と吐出ノズ
ル５の高さ位置Ｎ２を検出する。これらの検出値から吐
出ノズル５の移動量ΔＮ−（Ｎｚ Ｎ＋ ）と測定ス
テージ３３の下降■Δ５＝（ｓｚ Ｓｌ）が得られ、
さらにこのΔＮとΔＳから、第４図（ａ）に示すように
吐出ノズル５を適当高さ位置に設定したときのその吐出
口６と測定ステージの間の距離ΔＨ＝（ΔＮΔＳ）が得
られる。かくして、第１の位置検出器１１による吐出ノ
ズル５の検出高さ位置と吐出口６の絶対高さ位置との対
応関係が判明し、吐出口６の絶対高さ位置を検出するこ
とができ、以降この吐出口６の高さ位置を基４（にして
位置制御を行えばよい。
本発明は上記実施例に示す外、種々の態様に構成するこ
とができる。
とができる。
例えば、上記実施例では微小移動機構２３として、２段
拡大しバーａ ＋ｆｉ！−２４とピエゾ素子２５を用い
て作動させるようにしたものを用いたが、ピエゾ素子２
５にて直接又は他の連動機構を介して吐出ノズル５を移
動させるようにしてもよい。
拡大しバーａ ＋ｆｉ！−２４とピエゾ素子２５を用い
て作動させるようにしたものを用いたが、ピエゾ素子２
５にて直接又は他の連動機構を介して吐出ノズル５を移
動させるようにしてもよい。
さらに、上記実施例では導体ペーストのパターンを形成
する場合を例示したが、任意のペーストを用いた描画に
適用することができる。
する場合を例示したが、任意のペーストを用いた描画に
適用することができる。
発明の効果
本発明の描画装置によれば、カム機構とピエゾ素子が共
に動作の応答性が良いため、応答性良く吐出ノズルの位
置調整を行うことができ、しかもカム機構にて大きな幅
で位置調整し、その幅内で微小な位置調整をピエゾ素子
によって行うことによって高精度で位置調整を行うこと
ができ、従って吐出ノズルの位置調整を応答性良くかつ
高精度で行うことができ、高速描画が可能となるという
大なる効果を発渾する。
に動作の応答性が良いため、応答性良く吐出ノズルの位
置調整を行うことができ、しかもカム機構にて大きな幅
で位置調整し、その幅内で微小な位置調整をピエゾ素子
によって行うことによって高精度で位置調整を行うこと
ができ、従って吐出ノズルの位置調整を応答性良くかつ
高精度で行うことができ、高速描画が可能となるという
大なる効果を発渾する。
第１図は本発明の一実施例の概略構成を示す斜視図、第
２図は同要部の側面図、第３図（ａ）、（ｂ）、（Ｃ）
は吐出ノズルの移動手段の動作説明図、第４図（ａ）、
（ｂ）は吐出ノズルの絶対高さ位置の検出動作の説明図
、第５図はパターン形成経路に沿って高さ検出位置が移
動する状態を示す平面図、第６図は従来例の概略側面図
である。 ２・・・・・・ｌｉ、７画面、５・・・・・・吐出ノズ
ル、１８・・・・・・−Ｆ下用モータ、１９・・・・・
・板カム、２１・・・・・・昇降ブロック、２２・・・
・・・アーム、２３・・・・・・微小移動機構、２５・
・・・・・ピエゾ素子。 代理、Ａ４弁理士 粟野 重孝 はか１名第 図 時間（ａ、ｔ） 時ＰｌＪｌ（ａ、ｔ） 図
２図は同要部の側面図、第３図（ａ）、（ｂ）、（Ｃ）
は吐出ノズルの移動手段の動作説明図、第４図（ａ）、
（ｂ）は吐出ノズルの絶対高さ位置の検出動作の説明図
、第５図はパターン形成経路に沿って高さ検出位置が移
動する状態を示す平面図、第６図は従来例の概略側面図
である。 ２・・・・・・ｌｉ、７画面、５・・・・・・吐出ノズ
ル、１８・・・・・・−Ｆ下用モータ、１９・・・・・
・板カム、２１・・・・・・昇降ブロック、２２・・・
・・・アーム、２３・・・・・・微小移動機構、２５・
・・・・・ピエゾ素子。 代理、Ａ４弁理士 粟野 重孝 はか１名第 図 時間（ａ、ｔ） 時ＰｌＪｌ（ａ、ｔ） 図
Claims (1)
- 吐出口からペーストを吐出する吐出ノズルを描画面に
対して遠近方向に移動可能に設け、モータにて回転駆動
されるカム機構と、ピエゾ素子とを備えた吐出ノズルの
移動手段を設けたことを特徴とする描画装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP175089A JP2751286B2 (ja) | 1989-01-06 | 1989-01-06 | 描画装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP175089A JP2751286B2 (ja) | 1989-01-06 | 1989-01-06 | 描画装置 |
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| JP2751286B2 JP2751286B2 (ja) | 1998-05-18 |
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|---|---|---|---|---|
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-
1989
- 1989-01-06 JP JP175089A patent/JP2751286B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6206066B1 (en) | 1995-12-15 | 2001-03-27 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Apparatus for mounting an electronic component |
| US6527905B1 (en) | 1995-12-15 | 2003-03-04 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method for mounting electronic components and apparatus and dispenser used in the method |
| JP2014148728A (ja) * | 2013-02-04 | 2014-08-21 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 脱水素方法 |
| CN108748096A (zh) * | 2018-06-11 | 2018-11-06 | 深圳市小怪兽教育科技有限公司 | 一种绘图机械臂及其控制系统 |
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