JPH02184452A - インクジェット印字ヘッド - Google Patents
インクジェット印字ヘッドInfo
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- JPH02184452A JPH02184452A JP1301801A JP30180189A JPH02184452A JP H02184452 A JPH02184452 A JP H02184452A JP 1301801 A JP1301801 A JP 1301801A JP 30180189 A JP30180189 A JP 30180189A JP H02184452 A JPH02184452 A JP H02184452A
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、サーマルインクジェットプリンタ、より詳細
には、多数の発熱素子を同時にアドレスしたとき共通帰
線の寄生抵抗の効果を減らすように発熱素子に対する電
気接続を修正した改良型印字ヘッド構造に関するもので
ある。
には、多数の発熱素子を同時にアドレスしたとき共通帰
線の寄生抵抗の効果を減らすように発熱素子に対する電
気接続を修正した改良型印字ヘッド構造に関するもので
ある。
発明が解決しようとする課題
従来のプリンタの印字ヘッド構造では、インクの入って
いる細径毛管の少なくとも一壁面に発熱素子（抵抗器）
が配置されている。印字ヘッド変換器の性能は、抵抗器
とノズル間の距離に大きく左右される。また、滴サイズ
、滴速度、及びインク滴噴射の周波数は、ずべて、抵抗
器とノズル間の距離によって決まる。抵抗器がノズルの
後方、約１２０μｍの所から始まると、３００ ｓｐｉ
の印字性能は最適になる。高密度印字に必要な高記録密
度と結び付く、抵抗器とノズルの近接は、抵抗器の配列
の前を、抵抗器の一端に対する前方リード線が横切らな
ければならないことを意味する。ノズルから抵抗器まで
の距離が短いと、前方リード線を１２０μｍより狭くす
る必要がある。数ｐｐｍまで動作するように設計された
ジェット配列の場合は、抵抗器の一端がジェット配列の
両端がらの共通帰線に接続されている構造が満足できる
ものである。しかし、ページ幅のように広い配列になる
と、共通リード線の高い抵抗と結び付く、印字のための
抵抗器エネルギー要求のため、問題が起きる。
いる細径毛管の少なくとも一壁面に発熱素子（抵抗器）
が配置されている。印字ヘッド変換器の性能は、抵抗器
とノズル間の距離に大きく左右される。また、滴サイズ
、滴速度、及びインク滴噴射の周波数は、ずべて、抵抗
器とノズル間の距離によって決まる。抵抗器がノズルの
後方、約１２０μｍの所から始まると、３００ ｓｐｉ
の印字性能は最適になる。高密度印字に必要な高記録密
度と結び付く、抵抗器とノズルの近接は、抵抗器の配列
の前を、抵抗器の一端に対する前方リード線が横切らな
ければならないことを意味する。ノズルから抵抗器まで
の距離が短いと、前方リード線を１２０μｍより狭くす
る必要がある。数ｐｐｍまで動作するように設計された
ジェット配列の場合は、抵抗器の一端がジェット配列の
両端がらの共通帰線に接続されている構造が満足できる
ものである。しかし、ページ幅のように広い配列になる
と、共通リード線の高い抵抗と結び付く、印字のための
抵抗器エネルギー要求のため、問題が起きる。
課題を解決するための手段
本発明は、２つの共通帰線を形成し、それらを相互に接
続することにより、従来の印字ヘッドに使用されている
共通帰線を修正した。第２の共通帰線を設けることによ
り、抵抗器とノズルの間に配置された第１の共通帰線を
比較的狭くすることがてきるので、修正前の共通帰線の
より広い幅により制約されることなく、ノズルの上流側
の最適距離に抵抗器を配置することができる。抵抗器は
、第２の共通帰線の上に又は下に交差する低抵抗構造に
より加熱パルス源に接続されている。第１の実施例では
、低抵抗クロスオーバー構造は、濃くドープしたポリシ
リコン層であり、第２の共通帰線はアルミニウムである
。その他の組合せとして、ｐ型つェーハ内のｎ十拡散と
アルミニウム及び耐熱性金属ケイ素化合物とアルミニウ
ムが考えられる。これらの例は、単一共通帰線に付随す
る寄生抵抗を減少させる効果を有し、また突合せチップ
を相互に接合するための追加空間を提供する。より詳し
く述べると、本発明は、以下の特徴を備えた複数のチャ
ンネルを有する形式のインクジェット印字ヘッドを提供
する。各チャンネルはインクが供給され、インク滴噴射
ノズルの働きをする開口が設けられ、その内部には発熱
素子が配置されている。インク滴はデータ信号源からの
データ信号に応じて前記発熱素子へ電流パルスを選択的
に印加することにより、前記ノズルから噴射される。発
熱素子は、熱エネルギーをインクに転移して、インク滴
を推進する一時的な気泡の発生及び崩壊を起こさせる働
きをする。印字ヘッドは、さらに第１及び第２の導電性
共通帰線を有しており、前記第１及び第２の共通帰線は
前記発熱素子の間に延びているリード線によって相互に
接続されている。発熱素子は前記第２の共通帰線の下に
又は上に形成された低抵抗結線によって前記第１の共通
帰線と前記データ信号源の間に接続されている。
続することにより、従来の印字ヘッドに使用されている
共通帰線を修正した。第２の共通帰線を設けることによ
り、抵抗器とノズルの間に配置された第１の共通帰線を
比較的狭くすることがてきるので、修正前の共通帰線の
より広い幅により制約されることなく、ノズルの上流側
の最適距離に抵抗器を配置することができる。抵抗器は
、第２の共通帰線の上に又は下に交差する低抵抗構造に
より加熱パルス源に接続されている。第１の実施例では
、低抵抗クロスオーバー構造は、濃くドープしたポリシ
リコン層であり、第２の共通帰線はアルミニウムである
。その他の組合せとして、ｐ型つェーハ内のｎ十拡散と
アルミニウム及び耐熱性金属ケイ素化合物とアルミニウ
ムが考えられる。これらの例は、単一共通帰線に付随す
る寄生抵抗を減少させる効果を有し、また突合せチップ
を相互に接合するための追加空間を提供する。より詳し
く述べると、本発明は、以下の特徴を備えた複数のチャ
ンネルを有する形式のインクジェット印字ヘッドを提供
する。各チャンネルはインクが供給され、インク滴噴射
ノズルの働きをする開口が設けられ、その内部には発熱
素子が配置されている。インク滴はデータ信号源からの
データ信号に応じて前記発熱素子へ電流パルスを選択的
に印加することにより、前記ノズルから噴射される。発
熱素子は、熱エネルギーをインクに転移して、インク滴
を推進する一時的な気泡の発生及び崩壊を起こさせる働
きをする。印字ヘッドは、さらに第１及び第２の導電性
共通帰線を有しており、前記第１及び第２の共通帰線は
前記発熱素子の間に延びているリード線によって相互に
接続されている。発熱素子は前記第２の共通帰線の下に
又は上に形成された低抵抗結線によって前記第１の共通
帰線と前記データ信号源の間に接続されている。
実施例
サーマルインフジエラＩ・印字機構を使用するプリンタ
は、用紙が静止し、印字ヘッドが移動する形式と、用紙
が移動し、ページ幅印字ヘッドが静止している形式があ
る。第１図に、従来のキャリッジ形バブルインクジェッ
ト印字機構１０を示す。往復キャリッジ組立体２９の印
字へラド１１には、複数の滴発生用バブルジェットチャ
ンネルから成る直線アレーが入っている。インク滴１２
は記録媒体１３に向けて発射され、記録媒体１３は、印
字ヘッド１１が矢印１５の方向に記録媒体を横切って移
動するたびに、ステップモーター１６により矢印１４の
方向に所定の距離だけステップ送りされる。記録媒体１
３、例えば供給ロール１７に巻かれた用紙は、周知の手
段でステップモーター１６によりロール１８ヘステツプ
状に巻き取られる。
は、用紙が静止し、印字ヘッドが移動する形式と、用紙
が移動し、ページ幅印字ヘッドが静止している形式があ
る。第１図に、従来のキャリッジ形バブルインクジェッ
ト印字機構１０を示す。往復キャリッジ組立体２９の印
字へラド１１には、複数の滴発生用バブルジェットチャ
ンネルから成る直線アレーが入っている。インク滴１２
は記録媒体１３に向けて発射され、記録媒体１３は、印
字ヘッド１１が矢印１５の方向に記録媒体を横切って移
動するたびに、ステップモーター１６により矢印１４の
方向に所定の距離だけステップ送りされる。記録媒体１
３、例えば供給ロール１７に巻かれた用紙は、周知の手
段でステップモーター１６によりロール１８ヘステツプ
状に巻き取られる。
印字へラド１１は、周知の手段、例えば２個の平行案内
レール２０に沿って往復するように構成された支持体１
９の上に固定されている。印字ヘッドの支持体１９は、
記録媒体がステップ送りされる方向１４に垂直に、記録
媒体に平行な方向に、記録媒体を横切って前後に移動す
るキャリッジ組立体２９から成る。この印字ヘッドの往
復運動は、索２１と一対の回転可能なプーリー２２によ
って与えられる。
レール２０に沿って往復するように構成された支持体１
９の上に固定されている。印字ヘッドの支持体１９は、
記録媒体がステップ送りされる方向１４に垂直に、記録
媒体に平行な方向に、記録媒体を横切って前後に移動す
るキャリッジ組立体２９から成る。この印字ヘッドの往
復運動は、索２１と一対の回転可能なプーリー２２によ
って与えられる。
一方のプーリーは可逆モーター２３によって駆動される
。
。
印字ヘッド１１に組み入れられた直線アレーを構成する
各インクチャンネル内の個々のバブル発生用抵抗器に対
し、制御装置２５から結線２４を通して電流パルスが印
加される。電極２６を通して受は取ったティジタルデー
タ信号に応じて、制御装置２５はインク滴を発生させる
電流パルスが発生する。動作中、インクチャンネルは、
インク供給源２８からホース２７を通してインクが充満
した状態に保たれる。
各インクチャンネル内の個々のバブル発生用抵抗器に対
し、制御装置２５から結線２４を通して電流パルスが印
加される。電極２６を通して受は取ったティジタルデー
タ信号に応じて、制御装置２５はインク滴を発生させる
電流パルスが発生する。動作中、インクチャンネルは、
インク供給源２８からホース２７を通してインクが充満
した状態に保たれる。
第２図は、第１図のキャリッジ組立体２９の拡大部分断
面斜視図である。印字ヘッド１１は、３つの部分から成
ることがわかる。第１の部分は、リード線とモノリシッ
クシリコン半導体集積回路チップ４８を含む基板４１で
ある。他の２つの部分は、インクチャンネル４９八とイ
ンクマニホルド４９Ｂを持つチャンネル板４９を構成し
ている。図示したチャンネル板４９は独立した２個の部
品３１．３２から成っているが、一体構造にすることも
できよう。インクチャンネル４９八とインクマニホルド
４９Ｂはチャンネル板部品３１に形成されており、各イ
ンクチャンネル４９への一端はチャンネル板に形成され
たノズル３３に通じ、他端はインクマニホルド４９Ｂに
通じている。インクマニホルド４９Ｂはチャンネル板部
品３１内の通路３４（点線で示す）を介してインク供給
用ホース２７に通じている。チャンネル板部品３２はチ
ャンネル４９八とマニホルド４９Ｂをおおっている平ら
な部材であり、シリコン基板４１に正しく整合され、し
っかり取り付けられている。図面を簡潔にするため、８
チヤンネルだけ図示しであるが、印字ヘッドモジュール
にもっと多くのチャンネルとノズルを形成してもよいこ
とは理解されるであろう。
面斜視図である。印字ヘッド１１は、３つの部分から成
ることがわかる。第１の部分は、リード線とモノリシッ
クシリコン半導体集積回路チップ４８を含む基板４１で
ある。他の２つの部分は、インクチャンネル４９八とイ
ンクマニホルド４９Ｂを持つチャンネル板４９を構成し
ている。図示したチャンネル板４９は独立した２個の部
品３１．３２から成っているが、一体構造にすることも
できよう。インクチャンネル４９八とインクマニホルド
４９Ｂはチャンネル板部品３１に形成されており、各イ
ンクチャンネル４９への一端はチャンネル板に形成され
たノズル３３に通じ、他端はインクマニホルド４９Ｂに
通じている。インクマニホルド４９Ｂはチャンネル板部
品３１内の通路３４（点線で示す）を介してインク供給
用ホース２７に通じている。チャンネル板部品３２はチ
ャンネル４９八とマニホルド４９Ｂをおおっている平ら
な部材であり、シリコン基板４１に正しく整合され、し
っかり取り付けられている。図面を簡潔にするため、８
チヤンネルだけ図示しであるが、印字ヘッドモジュール
にもっと多くのチャンネルとノズルを形成してもよいこ
とは理解されるであろう。
第３図は、気泡発生用抵抗器に対する電気接続を示す、
発熱素子板３０の平面図である。図示のように、各抵抗
器５０にはアドレッシング電極５２が付いている。各抵
抗器は、さらに共通帰線５４にも接続されている。共通
帰線とアドレッシング電極は、発熱抵抗器の縁に蒸着し
たアルミニウムリード線である。電ｆｉ５２は、もし所
望ならば、係属中の米国特許出願第１６４，６６９号に
開示されている駆動トランジスタと論理制御回路で置換
することができる。第４図と第５図は、それぞれ、共通
帰線とチャンネルノズルと向かい合っている抵抗器の位
置と間隔を示す、印字ヘッドの横断面図と平面図である
。抵抗器の幅は、一般に４５ ｐｍであり、抵抗器から
ノズル３３までの距離は、一般に１２０ ｐｍである。
発熱素子板３０の平面図である。図示のように、各抵抗
器５０にはアドレッシング電極５２が付いている。各抵
抗器は、さらに共通帰線５４にも接続されている。共通
帰線とアドレッシング電極は、発熱抵抗器の縁に蒸着し
たアルミニウムリード線である。電ｆｉ５２は、もし所
望ならば、係属中の米国特許出願第１６４，６６９号に
開示されている駆動トランジスタと論理制御回路で置換
することができる。第４図と第５図は、それぞれ、共通
帰線とチャンネルノズルと向かい合っている抵抗器の位
置と間隔を示す、印字ヘッドの横断面図と平面図である
。抵抗器の幅は、一般に４５ ｐｍであり、抵抗器から
ノズル３３までの距離は、一般に１２０ ｐｍである。
ここで、第１図〜第３図の従来の構造に関する問題点を
容易に理解することができる。もし印字ヘッドの寸法を
増して（印字する方向に）、インフジエラ１へを追加す
れば、同時に噴射させなければならないインクジェット
の数も増加する。
容易に理解することができる。もし印字ヘッドの寸法を
増して（印字する方向に）、インフジエラ１へを追加す
れば、同時に噴射させなければならないインクジェット
の数も増加する。
１個又は全部のインクジェットが噴射されると、同時で
ある滴噴出のスレッショルドのため、アルミニウム共通
帰線の寄生抵抗の効果が増大し、ついには滴の不均一が
生じる。また、複数の印字ヘッドを共面線状に組み立て
、ページ幅印字へラドアレーを作る場合、従来の共通帰
線相互接続は問題を起こす。第６図は、複数の印字ヘッ
ド１１を組み立てて作ったアレーの端面図である（組立
てのための好ましい技術が、米国特許出願第１８５，６
００号（１９８６年４月２５日出願）に記載されている
）。この構造に関する問題点は、接合部６０に、各印字
ヘッドから共通帰線まで低抵抗結線を形成するための十
分な空間が無いことである。
ある滴噴出のスレッショルドのため、アルミニウム共通
帰線の寄生抵抗の効果が増大し、ついには滴の不均一が
生じる。また、複数の印字ヘッドを共面線状に組み立て
、ページ幅印字へラドアレーを作る場合、従来の共通帰
線相互接続は問題を起こす。第６図は、複数の印字ヘッ
ド１１を組み立てて作ったアレーの端面図である（組立
てのための好ましい技術が、米国特許出願第１８５，６
００号（１９８６年４月２５日出願）に記載されている
）。この構造に関する問題点は、接合部６０に、各印字
ヘッドから共通帰線まで低抵抗結線を形成するための十
分な空間が無いことである。
本発明は、第１の特徴に従って、第２の共通帰線を設け
ること、そして発熱抵抗器と電源を低抵抗結線で相互に
接続することにより、従来の共通帰線を修正した。第７
図はこれらの修正を施した印字ヘッドの平面図である。
ること、そして発熱抵抗器と電源を低抵抗結線で相互に
接続することにより、従来の共通帰線を修正した。第７
図はこれらの修正を施した印字ヘッドの平面図である。
この実施例では、第２の共通帰線７０を形成することに
より従来の共通帰線の寄生抵抗が少なくとも２５％減少
した。好ましい実施例では、幅を狭くするように修正し
た第１の共通帰線５４′に、第２の共通帰線７０が接続
されている。共通帰線７０は各抵抗器５０の間に交互に
配置されたリード線７２により第１の共通帰線５４′に
接続されている。第２の共通帰線７０の抵抗は、具体的
な使用によって決まる。抵抗器５０は、低抵抗結線７６
によりトランジスタスイッチ７４に接続されている。第
２の共通帰線７０は、結線７６の上又は下を通過してお
り、結線７６から絶縁されている。
より従来の共通帰線の寄生抵抗が少なくとも２５％減少
した。好ましい実施例では、幅を狭くするように修正し
た第１の共通帰線５４′に、第２の共通帰線７０が接続
されている。共通帰線７０は各抵抗器５０の間に交互に
配置されたリード線７２により第１の共通帰線５４′に
接続されている。第２の共通帰線７０の抵抗は、具体的
な使用によって決まる。抵抗器５０は、低抵抗結線７６
によりトランジスタスイッチ７４に接続されている。第
２の共通帰線７０は、結線７６の上又は下を通過してお
り、結線７６から絶縁されている。
下表は、結線７６及び第２の共通帰線７０に使用するこ
とができる材料の組合せを示す。結線７８は接地戻りバ
スであり、これもアルミニウムから作ることが好ましい
。トランジスタスイッチ７４は、モノリシック集積構造
により、抵抗器を含む同じシリコン基板の上に形成した
ＭＯ３型トランジスタにすることができる。スイッチを
形成する好ましい方法が係属中の米国特許出願第１６４
，６６９号に記載されている。結線７６は、もし構造１
又は２を使用ずれば、３０〜１０Ω／口のシー１〜抵抗
を有し、これは、電力消費が比較的少ない印字機構の要
求を満たずことができる。多数のインクジェットを噴射
させたり、電力消費が比較的大きな抵抗器を使用したい
場合には、耐熱性金属ケイ素化合物／シリコン又は金属
ケイ素化合物／ポリシリコンのスタック（ｆＩＩ造３〜
４）を使用することにより、シート抵抗をさらに小さく
することができる。好ましい実施例は、アルミニウムで
あるが、タングステンなど他の高導電性層を使用しても
よい。
とができる材料の組合せを示す。結線７８は接地戻りバ
スであり、これもアルミニウムから作ることが好ましい
。トランジスタスイッチ７４は、モノリシック集積構造
により、抵抗器を含む同じシリコン基板の上に形成した
ＭＯ３型トランジスタにすることができる。スイッチを
形成する好ましい方法が係属中の米国特許出願第１６４
，６６９号に記載されている。結線７６は、もし構造１
又は２を使用ずれば、３０〜１０Ω／口のシー１〜抵抗
を有し、これは、電力消費が比較的少ない印字機構の要
求を満たずことができる。多数のインクジェットを噴射
させたり、電力消費が比較的大きな抵抗器を使用したい
場合には、耐熱性金属ケイ素化合物／シリコン又は金属
ケイ素化合物／ポリシリコンのスタック（ｆＩＩ造３〜
４）を使用することにより、シート抵抗をさらに小さく
することができる。好ましい実施例は、アルミニウムで
あるが、タングステンなど他の高導電性層を使用しても
よい。
第８図は、第７図の線Δ−八に沿った断面図である。シ
リコン基板ウェーハ６０はＬＯＣＯ３（ｌｏｃａｏｘｉ
ｄａｔｉｏｎ ｏｆ ５ｉｌｉｃｏｎの略）処理で処理
されて、厚い隔離酸化層６２が形成される。次に ｎ＋
ポリシリコン層６４が堆積され、ドープされ、パターニ
ングされて、抵抗器５０が形成される。アドレッシング
電極リード線に対する低抵抗（３０Ω／口）結線７６を
形成するため、同じレベルに、ｎ＋ポリシリコン層６５
が形成される。次に、絶縁層６６を形成するため、燐ド
ープガラスが堆積される。次に、抵抗器６４と接続リー
ド線６５に対する開孔６８，６９を形成するため、フォ
ｌ〜レジス１〜が塗布され、パターニングされる。次に
、ウェーハにアルミニウムが蒸着され、パターニングさ
れて、アルミニウム共通帰線５４′と７０が形成される
。共通帰線５４′と７０の厚さは１００〜３００ミクロ
ンであることが好ましい。
リコン基板ウェーハ６０はＬＯＣＯ３（ｌｏｃａｏｘｉ
ｄａｔｉｏｎ ｏｆ ５ｉｌｉｃｏｎの略）処理で処理
されて、厚い隔離酸化層６２が形成される。次に ｎ＋
ポリシリコン層６４が堆積され、ドープされ、パターニ
ングされて、抵抗器５０が形成される。アドレッシング
電極リード線に対する低抵抗（３０Ω／口）結線７６を
形成するため、同じレベルに、ｎ＋ポリシリコン層６５
が形成される。次に、絶縁層６６を形成するため、燐ド
ープガラスが堆積される。次に、抵抗器６４と接続リー
ド線６５に対する開孔６８，６９を形成するため、フォ
ｌ〜レジス１〜が塗布され、パターニングされる。次に
、ウェーハにアルミニウムが蒸着され、パターニングさ
れて、アルミニウム共通帰線５４′と７０が形成される
。共通帰線５４′と７０の厚さは１００〜３００ミクロ
ンであることが好ましい。
第９図は、本発明の第２の実施例で、第２レベルの胴体
６５′は、ｎ十拡散シリコン層（構造１）である。拡散
層６５′はアルミニウムリード線７２によるか、又は抵
抗器６４と拡散層６５′を直接突き合わせることによっ
て、抵抗器に接続することができる。再び表を参照する
と、構造３と４は、構造１と２に類似した断面を有する
が、結線７６の抵抗は、金属ケイ素化合物の形成により
さらに小さく、そのシーＩ・抵抗は約１Ω／口である。
６５′は、ｎ十拡散シリコン層（構造１）である。拡散
層６５′はアルミニウムリード線７２によるか、又は抵
抗器６４と拡散層６５′を直接突き合わせることによっ
て、抵抗器に接続することができる。再び表を参照する
と、構造３と４は、構造１と２に類似した断面を有する
が、結線７６の抵抗は、金属ケイ素化合物の形成により
さらに小さく、そのシーＩ・抵抗は約１Ω／口である。
第１０図は、第７図の実施例に代る交差方式の平面図で
ある。この場合は、Ｉ−ランジスタスイッチ７４と第２
の共通帰線７０との間に、接地戻り結線７８が形成され
ている。また、トランジスタスイッチ７４と論理制御回
路９２の間に、結線９０が形成されている。結線９０は
容量型ドライバーのゲートロードのみを駆動するのて、
ポリシリコン又は拡散によって形成することができる。
ある。この場合は、Ｉ−ランジスタスイッチ７４と第２
の共通帰線７０との間に、接地戻り結線７８が形成され
ている。また、トランジスタスイッチ７４と論理制御回
路９２の間に、結線９０が形成されている。結線９０は
容量型ドライバーのゲートロードのみを駆動するのて、
ポリシリコン又は拡散によって形成することができる。
その理由は、回路性能が、これらの層が示すシート抵抗
の１０〜１００２のあまり大きくないインピーダンスに
よって影響されないからである。この場合には、結線７
２は戻り結線７８の上（又は、下）を交差して、共通帰
線７０に結合している。結線７６について説明した同じ
製造方法（第７図）を、結線７２にも適用することがで
きる。
の１０〜１００２のあまり大きくないインピーダンスに
よって影響されないからである。この場合には、結線７
２は戻り結線７８の上（又は、下）を交差して、共通帰
線７０に結合している。結線７６について説明した同じ
製造方法（第７図）を、結線７２にも適用することがで
きる。
第１図は、従来のバブルインクジエソｌ−式印字機横の
斜視図、 第２図は、第１図に示した印字ヘッドの拡大斜視図、 第３図は、第２図に示したインクチャンネル板の平面図
、 第４図は、抵抗器と共通帰線の幅と間隔を示す、第３図
の印字ヘッドの一部の横断面図、第５図は、第４図の印
字ヘッドの一部の平面図、第６図は、より長いアレーを
作るため突き合わせた複数の印字ヘッドの側面図、 第７図は、本発明に従って、第１の共通帰線に相互に接
続された第２の共通帰線を形成することにより修正した
印字ヘッドの一部の平面図、第８図は、第７図の印字ヘ
ッドの一部の側面図、第９図は、印字ヘットの第２の実
施例の平面図、及び 第１０図は、本発明に従って、第１の共通帰線に相互に
接続された第２の共通帰線を形成することにより修正し
た印字ヘッドの第２の実施例の一部の平面図である。 符号の説明 １０・・・従来のバブルインクジェッｌ〜印字機構、１
１・・・印字ヘッド、１２・・・インク滴、１３・・・
記録媒体、１４゜１５・・・移動方向、１６・・・ステ
ップモーター、１７・・・供給ロール、１８・・・巻取
りロール、１９・・・支持体、２０・・・案内レール、
２１・・索、２２・・・プーリー、２３・・・可逆モー
ター、２４・・・結線、２５・・・制御装置、２６・・
・電極、２７・・・インク供給ホース、２８・・・イン
ク供給源、２９・・・キャリッジ組立体、３０・・・発
熱素子板、３１．３２・・・チャンネル板部品、３３・
・・ノズル、３４・・・通路、４１・・・基板、４８・
・・集積回路チップ、４９・・チャンネル板、４９八・
・・インクチャンネル、４９Ｂ・・・インクマニホルド
、５０・・・抵抗器、５２・アドレッシング電極、５４
・・・共通帰線、５４′・・・第１の共通帰線、６０・
・接合部、６４・・・抵抗器、６５・・・ｎ＋ポリシリ
コン層、６５′・・・第２レベルの導体、６６・・絶縁
層、６８．６９・・・開孔、７０・・・第２の共通帰線
、７２・・・リード線、７４・・・トランジスタスイッ
チ、７６・・・低抵抗結線、７８・・・結線、９０・・
・結線、９２・・・論理制御回路。 ＦＩＧ、 ７ ＦＩＧ、 ８ ＦＩＧ、 ９
斜視図、 第２図は、第１図に示した印字ヘッドの拡大斜視図、 第３図は、第２図に示したインクチャンネル板の平面図
、 第４図は、抵抗器と共通帰線の幅と間隔を示す、第３図
の印字ヘッドの一部の横断面図、第５図は、第４図の印
字ヘッドの一部の平面図、第６図は、より長いアレーを
作るため突き合わせた複数の印字ヘッドの側面図、 第７図は、本発明に従って、第１の共通帰線に相互に接
続された第２の共通帰線を形成することにより修正した
印字ヘッドの一部の平面図、第８図は、第７図の印字ヘ
ッドの一部の側面図、第９図は、印字ヘットの第２の実
施例の平面図、及び 第１０図は、本発明に従って、第１の共通帰線に相互に
接続された第２の共通帰線を形成することにより修正し
た印字ヘッドの第２の実施例の一部の平面図である。 符号の説明 １０・・・従来のバブルインクジェッｌ〜印字機構、１
１・・・印字ヘッド、１２・・・インク滴、１３・・・
記録媒体、１４゜１５・・・移動方向、１６・・・ステ
ップモーター、１７・・・供給ロール、１８・・・巻取
りロール、１９・・・支持体、２０・・・案内レール、
２１・・索、２２・・・プーリー、２３・・・可逆モー
ター、２４・・・結線、２５・・・制御装置、２６・・
・電極、２７・・・インク供給ホース、２８・・・イン
ク供給源、２９・・・キャリッジ組立体、３０・・・発
熱素子板、３１．３２・・・チャンネル板部品、３３・
・・ノズル、３４・・・通路、４１・・・基板、４８・
・・集積回路チップ、４９・・チャンネル板、４９八・
・・インクチャンネル、４９Ｂ・・・インクマニホルド
、５０・・・抵抗器、５２・アドレッシング電極、５４
・・・共通帰線、５４′・・・第１の共通帰線、６０・
・接合部、６４・・・抵抗器、６５・・・ｎ＋ポリシリ
コン層、６５′・・・第２レベルの導体、６６・・絶縁
層、６８．６９・・・開孔、７０・・・第２の共通帰線
、７２・・・リード線、７４・・・トランジスタスイッ
チ、７６・・・低抵抗結線、７８・・・結線、９０・・
・結線、９２・・・論理制御回路。 ＦＩＧ、 ７ ＦＩＧ、 ８ ＦＩＧ、 ９
Claims (1)
- （１）複数のインクチャンネルを有する形式のインクジ
ェット印字ヘッドであって、 前記各チャンネルはインクが供給され、イ ンク滴噴射ノズルの働きをする開口が設けられ、その内
部には発熱素子が配置されており、インク滴はデータ信
号源からのデータ信号に応じて前記発熱素子へ電流パル
スを選択的に印加することによって前記ノズルから噴射
され、前記発熱素子は、熱エネルギーをインクに転移し
て、インク滴を推進する一時的な気泡の発生及び崩壊を
起こさせる働きをし、前記印字ヘッドは、さらに第１及
び第２の導電性共通帰線を有しており、前記第１及び第
２の共通帰線は前記発熱素子の間に延びているリード線
によって相互に接続されており、前記発熱素子は前記第
２の共通帰線の下に又は上に形成された低抵抗結線によ
って前記第１の共通帰線と前記データ信号源の間に接続
されていることを特徴とするインクジェット印字ヘッド
。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US275991 | 1988-11-25 | ||
| US07/275,991 US4887098A (en) | 1988-11-25 | 1988-11-25 | Thermal ink jet printer having printhead transducers with multilevelinterconnections |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02184452A true JPH02184452A (ja) | 1990-07-18 |
| JPH0785931B2 JPH0785931B2 (ja) | 1995-09-20 |
Family
ID=23054681
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1301801A Expired - Lifetime JPH0785931B2 (ja) | 1988-11-25 | 1989-11-20 | インクジェット印字ヘッド |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4887098A (ja) |
| EP (1) | EP0370817B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0785931B2 (ja) |
| DE (1) | DE68913012T2 (ja) |
Families Citing this family (40)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5030971B1 (en) * | 1989-11-29 | 2000-11-28 | Xerox Corp | Precisely aligned mono- or multi-color roofshooter type printhead |
| JP2708596B2 (ja) * | 1990-01-31 | 1998-02-04 | キヤノン株式会社 | 記録ヘッドおよびインクジェット記録装置 |
| JP3029129B2 (ja) * | 1990-02-13 | 2000-04-04 | キヤノン株式会社 | 記録ヘッド用導電シート及びこれを用いた記録ヘッド並びに記録装置 |
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| US5600354A (en) * | 1992-04-02 | 1997-02-04 | Hewlett-Packard Company | Wrap-around flex with address and data bus |
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| US7195339B2 (en) | 1997-07-15 | 2007-03-27 | Silverbrook Research Pty Ltd | Ink jet nozzle assembly with a thermal bend actuator |
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-
1988
- 1988-11-25 US US07/275,991 patent/US4887098A/en not_active Expired - Lifetime
-
1989
- 1989-11-20 JP JP1301801A patent/JPH0785931B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1989-11-23 DE DE68913012T patent/DE68913012T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1989-11-23 EP EP89312194A patent/EP0370817B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0370817B1 (en) | 1994-02-09 |
| DE68913012D1 (de) | 1994-03-24 |
| JPH0785931B2 (ja) | 1995-09-20 |
| DE68913012T2 (de) | 1994-06-16 |
| EP0370817A2 (en) | 1990-05-30 |
| EP0370817A3 (en) | 1991-02-13 |
| US4887098A (en) | 1989-12-12 |
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