JPH02186284A - 磁束密度を検出するために磁界中で使用する磁束センサ - Google Patents
磁束密度を検出するために磁界中で使用する磁束センサInfo
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- JPH02186284A JPH02186284A JP1240919A JP24091989A JPH02186284A JP H02186284 A JPH02186284 A JP H02186284A JP 1240919 A JP1240919 A JP 1240919A JP 24091989 A JP24091989 A JP 24091989A JP H02186284 A JPH02186284 A JP H02186284A
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
- G01R33/07—Hall effect devices
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は全体として電磁力センサに関するものであり、
とくに、縦続接続された第１と第２のホール発電器を有
する電磁力センサに関するものである。
とくに、縦続接続された第１と第２のホール発電器を有
する電磁力センサに関するものである。
従来の磁気アクチュエータが各種の磁気的分離装置、磁
気的指向装置および磁気的支持浮遊装置に用いられる。
気的指向装置および磁気的支持浮遊装置に用いられる。
それら従来のアクチュエータは、物理的に物体に接触す
ることかしにその物体に電磁力を加えるために用いられ
る。電流が固定子コイルに流されると力を発生する磁束
が発生される。
ることかしにその物体に電磁力を加えるために用いられ
る。電流が固定子コイルに流されると力を発生する磁束
が発生される。
その磁束は磁気回路を通る。指定されたレベルの電流が
コイルを流れ定時に、磁気アクチュエータが既知で、再
現できる力を加えることが理想的であるが、実際には指
令され念力と加えられる力に誤差すなわち違いが存在す
る。その誤差は装置レベルの誤差に々る。精密な指向お
よび分離装置にとっては誤差をできるだけ小さくするこ
とが極めて重要である。
コイルを流れ定時に、磁気アクチュエータが既知で、再
現できる力を加えることが理想的であるが、実際には指
令され念力と加えられる力に誤差すなわち違いが存在す
る。その誤差は装置レベルの誤差に々る。精密な指向お
よび分離装置にとっては誤差をできるだけ小さくするこ
とが極めて重要である。
従来のアクチュエータにおいては、磁気アクチュエータ
の応答を直線的にするために種々の能動制御装置が採用
されている。磁気電機子の力を制御するいくつかの方法
を記述するのにいくつかの方法が有用である。
の応答を直線的にするために種々の能動制御装置が採用
されている。磁気電機子の力を制御するいくつかの方法
を記述するのにいくつかの方法が有用である。
Ｆ＝−（Ｂ） （１）Ｆ＝電磁力
Ａ＝磁気回路で囲まれ友横断面の面積、ｕｏ ” 真空
中の透磁率（空気中とほぼ同じ）、Ｂ＝磁束密度。
中の透磁率（空気中とほぼ同じ）、Ｂ＝磁束密度。
２ｇ
Ｎ＝コイルの巻数、
■＝電磁コイルを流れる電流、
ｇ＝磁気インターフェイスの間隙、
（２）式を（１）式に代入すると
この式から、力は磁束密度の自乗に比例する。
磁束密度は電流を間隙で除し几商の自乗に比例する。
従来の第１の磁気アクチュエータは力制御装置を有する
。これは、電機子に加えられる力を制御する最も直接で
、最も正確な方法である。ｔた、これは、帰還要素とし
て、水晶力結晶のような正確な力測定器を用いる。この
装置は非常に正確で、非常に直線的々アクチュエータで
あるが、この装置は、固定子と電機子の境界の間の間隙
を橋絡する比較的壊れやすいセンサを用いることを要す
る。
。これは、電機子に加えられる力を制御する最も直接で
、最も正確な方法である。ｔた、これは、帰還要素とし
て、水晶力結晶のような正確な力測定器を用いる。この
装置は非常に正確で、非常に直線的々アクチュエータで
あるが、この装置は、固定子と電機子の境界の間の間隙
を橋絡する比較的壊れやすいセンサを用いることを要す
る。
その次めに、高い加速度が加えられている間にセンサを
保護することを必要とし、かつ弾性質量モードも生ずる
。そのモードはアクチュエータの帯域幅を制限する。こ
の装置は最も高価でもあり、かつ複雑な支援電子装置も
必要とする。
保護することを必要とし、かつ弾性質量モードも生ずる
。そのモードはアクチュエータの帯域幅を制限する。こ
の装置は最も高価でもあり、かつ複雑な支援電子装置も
必要とする。
従来の第２の磁気アクチュエータは電流−間隙制御器を
有する。その制御器は磁気アクチュエータの力を制御す
るために（３）式の関係を用いる。プロキシメータ（ｐ
ｒｏｘ１ｍ＠ｔｅｒ） が固定子部分と電機子部分の間
の間隙を測定し、電流センサが磁気アクチュエータのコ
イルを流れる電流を測定する。
有する。その制御器は磁気アクチュエータの力を制御す
るために（３）式の関係を用いる。プロキシメータ（ｐ
ｒｏｘ１ｍ＠ｔｅｒ） が固定子部分と電機子部分の間
の間隙を測定し、電流センサが磁気アクチュエータのコ
イルを流れる電流を測定する。
この装置の利点は実現が比較的容易であり、かつ容易に
利用できるセンサである。この装置の主な欠点は、理想
的々電流−間隙対磁束の関係から外れることから生ずる
。電流−間隙制御を用いる精密な磁気アクチュエータは
、磁束と電流の関係がほぼ直線的である磁性材料を必要
とする。この直線性を達成するために、磁性材料は磁気
履歴が小さい必要がある。そのためＫは磁性材料を慎重
かつ費用のかかる処理を必要とする。また、磁気履歴が
小さい材料は比較的低い磁束密度で飽和するから、大き
い磁気履歴の材料に対して、与えられ念力に対して体積
が太きく、重いアクチュエータを必要とする。
利用できるセンサである。この装置の主な欠点は、理想
的々電流−間隙対磁束の関係から外れることから生ずる
。電流−間隙制御を用いる精密な磁気アクチュエータは
、磁束と電流の関係がほぼ直線的である磁性材料を必要
とする。この直線性を達成するために、磁性材料は磁気
履歴が小さい必要がある。そのためＫは磁性材料を慎重
かつ費用のかかる処理を必要とする。また、磁気履歴が
小さい材料は比較的低い磁束密度で飽和するから、大き
い磁気履歴の材料に対して、与えられ念力に対して体積
が太きく、重いアクチュエータを必要とする。
従来の第３の磁気アクチュエータは磁束センサを含む磁
束制御器を有する。力は磁束の自乗に比例する（式１）
から、磁束センサを用いる制御ループが磁気履歴ループ
の周囲で閉じて、その非直線性を能動的に制御する。こ
の装置は磁気履歴の大きい材料を用いることによりアク
チュエータを安価にし、かつ軽くする。この装置の欠点
は、電流と間隔の制御器よりも複雑なセンサを必要とす
ることである。直線的な動作領域内で差動磁気アクチュ
エータを動作させる九めにバイアス技術が用いられる。
束制御器を有する。力は磁束の自乗に比例する（式１）
から、磁束センサを用いる制御ループが磁気履歴ループ
の周囲で閉じて、その非直線性を能動的に制御する。こ
の装置は磁気履歴の大きい材料を用いることによりアク
チュエータを安価にし、かつ軽くする。この装置の欠点
は、電流と間隔の制御器よりも複雑なセンサを必要とす
ることである。直線的な動作領域内で差動磁気アクチュ
エータを動作させる九めにバイアス技術が用いられる。
バイアス技術は、磁束に比例する出力を生ずるセンサで
自乗された磁束に比例する・くラメータの制御に関連す
る問題を解決する。バイアス技術の欠点は、差の力を必
要としない時でも、エネルギーをアクチュエータコイル
で消費せねば々らないことである。この装置の静止状態
におけるエネルギーを減少させる友めに、力指令の平方
根を求め、それを磁束制御ループ指令として供給する別
の制御概念が用いられる。これはアナログ制御装置にお
いて非直線素子（アナログ乗算器）を必要とし、ま九は
デジタル制御器において平方根を求めるアルゴリズムを
必要とする。アナログの平方根を求める装置は、アナロ
グ装置の非直線性の几めにアクチュエータ装置の全体の
確度を下げる。この問題はデジタル制御器では太し几と
とはないが、平方根を求める機能を実行するために計算
の遅れを一層要する。
自乗された磁束に比例する・くラメータの制御に関連す
る問題を解決する。バイアス技術の欠点は、差の力を必
要としない時でも、エネルギーをアクチュエータコイル
で消費せねば々らないことである。この装置の静止状態
におけるエネルギーを減少させる友めに、力指令の平方
根を求め、それを磁束制御ループ指令として供給する別
の制御概念が用いられる。これはアナログ制御装置にお
いて非直線素子（アナログ乗算器）を必要とし、ま九は
デジタル制御器において平方根を求めるアルゴリズムを
必要とする。アナログの平方根を求める装置は、アナロ
グ装置の非直線性の几めにアクチュエータ装置の全体の
確度を下げる。この問題はデジタル制御器では太し几と
とはないが、平方根を求める機能を実行するために計算
の遅れを一層要する。
本発明に従って、磁束を自乗されるセンサを有する磁気
アクチュエータが得られる。機能的には、そのセンサは
磁束制御器と同じ制御利点を提供する。ま穴、そのセン
サは力に比例する帰還信号を提供して、非直線回路素子
まｔはアルゴリズムを必要とすることなしに、ゼロバイ
アス動作を可能にする。これは全アナログ装置における
アクチュエータの確度を向上し、デジタル制御器または
へイブリッド制御器における計算オーバヘッドを減少す
る。共通磁界内で２個のホール素子ｔ−縦続接続するこ
とにＬり磁束密度は自乗される。第１のホール素子の出
力が磁束で変調され定入力を第２のホール素子へ供給す
る。したがって、自乗され次磁束（お工び（１）式にエ
フ定められ念力）に比例する出力電圧が直線回路素子を
用いて供給される。
アクチュエータが得られる。機能的には、そのセンサは
磁束制御器と同じ制御利点を提供する。ま穴、そのセン
サは力に比例する帰還信号を提供して、非直線回路素子
まｔはアルゴリズムを必要とすることなしに、ゼロバイ
アス動作を可能にする。これは全アナログ装置における
アクチュエータの確度を向上し、デジタル制御器または
へイブリッド制御器における計算オーバヘッドを減少す
る。共通磁界内で２個のホール素子ｔ−縦続接続するこ
とにＬり磁束密度は自乗される。第１のホール素子の出
力が磁束で変調され定入力を第２のホール素子へ供給す
る。したがって、自乗され次磁束（お工び（１）式にエ
フ定められ念力）に比例する出力電圧が直線回路素子を
用いて供給される。
馬蹄形の磁気アクチュエータは電機子と、第１と第２の
端部を有するＵ形固定子とを含む。第１の端部は第１の
コイルを有し、第２の端部は第２のコイルを有する。第
１のホール素子と、それに縦続接続され定第２のホール
素子とを有する磁束自乗センサは、磁気回路内のコイル
磁極拡大部分上の両方のホール素子、またはｆａｌのコ
イルと第２のコイルにおける１個のホール素子で製作で
きる。
端部を有するＵ形固定子とを含む。第１の端部は第１の
コイルを有し、第２の端部は第２のコイルを有する。第
１のホール素子と、それに縦続接続され定第２のホール
素子とを有する磁束自乗センサは、磁気回路内のコイル
磁極拡大部分上の両方のホール素子、またはｆａｌのコ
イルと第２のコイルにおける１個のホール素子で製作で
きる。
磁束自乗センサを用いることにより、磁気間隙を橋絡す
ること危しに電磁アクチュエータへ加えられる力に比例
する出力電圧と出力電流が供給される。力を直接に測定
することＫより、非直線回路素子′またはアルゴリズを
用いることなし第１アクチユエータを休止状態における
消費電力が少い構造で直接動作させることができる。従
来の磁気アクチュエータの諸問題はこの装置により避け
られる。
ること危しに電磁アクチュエータへ加えられる力に比例
する出力電圧と出力電流が供給される。力を直接に測定
することＫより、非直線回路素子′またはアルゴリズを
用いることなし第１アクチユエータを休止状態における
消費電力が少い構造で直接動作させることができる。従
来の磁気アクチュエータの諸問題はこの装置により避け
られる。
μ下、図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第１図に示すように、電磁アクチュエータまたは磁気ア
クチュエータ１０が得られる。磁気アクチュエータ１０
は差動形磁気アクチュエータである。磁気アクチュエー
タ１０は第１の上部固定子１２と、＃！２の下部固定子
１４と、電機子１６とを含む。
クチュエータ１０が得られる。磁気アクチュエータ１０
は差動形磁気アクチュエータである。磁気アクチュエー
タ１０は第１の上部固定子１２と、＃！２の下部固定子
１４と、電機子１６とを含む。
第２図と第３図に上部固定子１２が示されている。上部
固定子１２の構造は下部固定子１４の構造と同じである
。上部固定子１２は第１の左コイル１８と、第２の右コ
イル２０と、固定子後部鉄２２とを有する。磁束自乗セ
ンサ２３が第１の左磁束センサ２４と、第２の右磁束セ
ンサ２６とを含む。それらの磁束センサ２４，２８は磁
他拡大部２５．２７にそれぞれ取付けられる。上部固定
子１２は磁路２８も有する。その磁路は電機子１６から
、左磁束センサ２４と、左コイル１Ｂと、固定子後部鉄
２２と、右コイル２０と、右磁束センサ２６とを通って
電機子１６まで延長する。
固定子１２の構造は下部固定子１４の構造と同じである
。上部固定子１２は第１の左コイル１８と、第２の右コ
イル２０と、固定子後部鉄２２とを有する。磁束自乗セ
ンサ２３が第１の左磁束センサ２４と、第２の右磁束セ
ンサ２６とを含む。それらの磁束センサ２４，２８は磁
他拡大部２５．２７にそれぞれ取付けられる。上部固定
子１２は磁路２８も有する。その磁路は電機子１６から
、左磁束センサ２４と、左コイル１Ｂと、固定子後部鉄
２２と、右コイル２０と、右磁束センサ２６とを通って
電機子１６まで延長する。
第３図には、磁束センサ２４と２６で構成され元磁束自
乗センサ２３の機能ブロック図が示されている。この実
施例では磁束センサ２４と２６の構造は同じである。磁
束自乗センサ２３は第１のホール発電器サブ組立体３０
と、第２のホール発電器サブ組立体３２とを含む。第１
のサブ組立体３０Ｆｉ第１の増幅器３４と、ホール発電
器すなわちセンサ２４と、第２の増幅器ｔｅは相互イン
ピーダンス増幅器３８とを含む。第２のサブ組立体３２
も第１の増幅器４０と、ホール発電器すなわちセンサ２
６と、第２の増幅器４４とを有する。
乗センサ２３の機能ブロック図が示されている。この実
施例では磁束センサ２４と２６の構造は同じである。磁
束自乗センサ２３は第１のホール発電器サブ組立体３０
と、第２のホール発電器サブ組立体３２とを含む。第１
のサブ組立体３０Ｆｉ第１の増幅器３４と、ホール発電
器すなわちセンサ２４と、第２の増幅器ｔｅは相互イン
ピーダンス増幅器３８とを含む。第２のサブ組立体３２
も第１の増幅器４０と、ホール発電器すなわちセンサ２
６と、第２の増幅器４４とを有する。
第３図において、増幅器３４は上部正入力端子４６と、
下部負入力端子４８と、出力端子５０とを有する。コネ
クタ５２は上部正入力端子４６から基準電源の端子５４
まで延長する。
下部負入力端子４８と、出力端子５０とを有する。コネ
クタ５２は上部正入力端子４６から基準電源の端子５４
まで延長する。
ホール発電器２４は第１の左正端子５６と、第２の右正
端子５８と、第１の左負端子６０と、第２の右負端子６
２とを有する。コネクタ６４が第２の正端子５８から増
幅器の出力端子５０まで延びる。コネクタ６６が増幅器
の負入力端子４８から回路点６Ｂと、抵抗１０と、回路
点７２とを通ってアースＴ４まで延びる。コネクタＴ６
がホール発電器の第１の負端子６０から回路点６８まで
延びる。
端子５８と、第１の左負端子６０と、第２の右負端子６
２とを有する。コネクタ６４が第２の正端子５８から増
幅器の出力端子５０まで延びる。コネクタ６６が増幅器
の負入力端子４８から回路点６Ｂと、抵抗１０と、回路
点７２とを通ってアースＴ４まで延びる。コネクタＴ６
がホール発電器の第１の負端子６０から回路点６８まで
延びる。
増幅器３８は下部正入力端子７Ｂと、上部負入力端子８
０と、出力端子８２とを有する。コネクタ８４が下部正
入力端子７８から第１の左正入力端子５６まで延びる。
０と、出力端子８２とを有する。コネクタ８４が下部正
入力端子７８から第１の左正入力端子５６まで延びる。
コネクタ８６が負入力端子８０から回路点８８を通って
ホール発電器の出力端子６２まで延長する。コネクタ９
０が増幅器の出力端子８２から回路点９２と抵抗９４を
通って回路点８８まで延びる。
ホール発電器の出力端子６２まで延長する。コネクタ９
０が増幅器の出力端子８２から回路点９２と抵抗９４を
通って回路点８８まで延びる。
＠３図において、増幅器４０は上部正入力端子９６と、
下部負入力端子９８と、出力端子１００とを有する。コ
ネクタ１０２が上部正入力端子９６から回路点９２まで
延びる。
下部負入力端子９８と、出力端子１００とを有する。コ
ネクタ１０２が上部正入力端子９６から回路点９２まで
延びる。
ホール発電器２６け第１の左正端子１０４と、第２の下
部正端子１０６と、第１の左負端子１０８と、第２の右
負端子１１０とを有する。コネクタ１１２が第２の正端
子１０６から増幅器の出力端子１００まで延びる。コネ
クタ１１４が増幅器の負入力端子９８から回路点１１６
と抵抗１１８を通ってアースγ４ｔで延びる。コネクタ
１２０がホール発電器の第１の負端子１０８から回路点
１１６ｔで延びる。
部正端子１０６と、第１の左負端子１０８と、第２の右
負端子１１０とを有する。コネクタ１１２が第２の正端
子１０６から増幅器の出力端子１００まで延びる。コネ
クタ１１４が増幅器の負入力端子９８から回路点１１６
と抵抗１１８を通ってアースγ４ｔで延びる。コネクタ
１２０がホール発電器の第１の負端子１０８から回路点
１１６ｔで延びる。
増幅器４４け下部正入力端子１２２と、上部負入力端子
１２４−と１、正出力端子１２６とを有する。コネクタ
１２８が下部正入力端子１２２から第１の左正入力端子
１０４４で延びる。コネクタ１３０が負入力端子１２４
から回路点１３２を通って出力端子１１０まで延びる。
１２４−と１、正出力端子１２６とを有する。コネクタ
１２８が下部正入力端子１２２から第１の左正入力端子
１０４４で延びる。コネクタ１３０が負入力端子１２４
から回路点１３２を通って出力端子１１０まで延びる。
コネクタ１３４が増幅器の出力端子１２６から回路点１
３６と抵抗１３Ｂを通って回路点１３２まで延びる。コ
ネクタ１４０が端子１３６から電圧出力（ｖｏｕｔ）の
次めの端子１４２まで延びる。
３６と抵抗１３Ｂを通って回路点１３２まで延びる。コ
ネクタ１４０が端子１３６から電圧出力（ｖｏｕｔ）の
次めの端子１４２まで延びる。
Ｍ３図は磁束自乗センサ２３の機能ブロック図である。
ホール発電器サブ組立体３０と３２が共通の磁界内で縦
続接続される。第１のホール発電器３０の出力が第１の
ホール発電器３２の穴めの磁束密度に比例する制御電流
（工□）へ変換される。その結果として第２のホール発
電器３２の端子１４２に生ずる出力は自乗され念磁束密
度に比例し、その磁束密度はアクチュエータの力に比例
する。
続接続される。第１のホール発電器３０の出力が第１の
ホール発電器３２の穴めの磁束密度に比例する制御電流
（工□）へ変換される。その結果として第２のホール発
電器３２の端子１４２に生ずる出力は自乗され念磁束密
度に比例し、その磁束密度はアクチュエータの力に比例
する。
電圧制御電流源３４は安定な一定電圧を受け、第１のホ
ール発電器（ｆ（Ｇｌ）２４を介して一定電流（ＩＨｌ
）を生ずる。この電流は次式により表される。
ール発電器（ｆ（Ｇｌ）２４を介して一定電流（ＩＨｌ
）を生ずる。この電流は次式により表される。
第１のホール発電器（Ｉ（Ｇｌ）２４からの出力電流力
Ｓホール方程式により４見られる。
Ｓホール方程式により４見られる。
Ｉ、ｌ＝〜Ｇｌ ” Ｈｌ °Ｂ１
ことに、 ■。１＝出力電流（Ａ）
Ｋ、ｏ０＝ ＨＯＩのホール係数（Ａ／Ａ−テスラ）Ｉ
Ｈ□＝ホール電流囚 Ｂｌ ＝ ＨＧＩへ入る磁束密度（テスラ）である。相
互インピーダンス増幅器３８はこの電流をＢＩ Ｋ比例
する出力電圧ＶＢＩＫ変換する（ ＫＨＧＩ と贈１
は一定であると仮定する）。その電圧ＶＢ□は次式によ
り与えられる。
Ｈ□＝ホール電流囚 Ｂｌ ＝ ＨＧＩへ入る磁束密度（テスラ）である。相
互インピーダンス増幅器３８はこの電流をＢＩ Ｋ比例
する出力電圧ＶＢＩＫ変換する（ ＫＨＧＩ と贈１
は一定であると仮定する）。その電圧ＶＢ□は次式によ
り与えられる。
ｖＢｌ ” ＲＦｌ ” ０１
この電圧は第２の電圧により制御される電流源４０を駆
動する。これは、第２のホール発電器（田２）２６を通
じて供給される電流がＢ１に比例するようにする。第２
のホール発電器３２の出力電圧は次式で与えられる。
動する。これは、第２のホール発電器（田２）２６を通
じて供給される電流がＢ１に比例するようにする。第２
のホール発電器３２の出力電圧は次式で与えられる。
ｖお＝〜Ｇｌ ” Ｋｍ ’ ”” ”Ｆｌ■１ｍを代
入すると（ｖｏｕｔ ＝ＶＢｓとする）、と置き、Ｂｌ
＝ Ｂ２− Ｂと仮定すると、重 ｖｏｕｔ ” Ｋ’・Ｂ となる。したがって、出力電圧は磁束密度の自乗に比例
する。
入すると（ｖｏｕｔ ＝ＶＢｓとする）、と置き、Ｂｌ
＝ Ｂ２− Ｂと仮定すると、重 ｖｏｕｔ ” Ｋ’・Ｂ となる。したがって、出力電圧は磁束密度の自乗に比例
する。
電磁アクチュエータ１０の利点について以下に述べる。
第１に、センサ２３は力に比例する帰還信号を供給する
。
。
第２に、センサ２３Ｆｉ、力に比例する出力を供給する
ためにセンサ２３け非直線信号調整素子を必要としない
。
ためにセンサ２３け非直線信号調整素子を必要としない
。
第３Ｋ、センサ２３け、従来のセンサと比較して、全ア
ナログ装置における力の確度を高くする。
ナログ装置における力の確度を高くする。
第４１Ｃ，センサ２３がデジタル制御器ま友はハイブリ
ッド制御器に用いられた時に、センサ２３け計算オーバ
ーヘッドを減少させる。
ッド制御器に用いられた時に、センサ２３け計算オーバ
ーヘッドを減少させる。
第５に、非直線回路素子ま友はアルゴリズムを用いると
となしＫ、アクチュエータ１ｏは休止時の消費電力が少
い工うＫして動作できる。
となしＫ、アクチュエータ１ｏは休止時の消費電力が少
い工うＫして動作できる。
以上、本発明を好適な実施例について説明し九が、その
説明において用い次用語は本発明を限定するものではな
くて説明のｔめの用語であり、本発明の要旨を逸脱する
ことなしに、添附請求の範囲の記載範囲内でその実施例
を変更できる。
説明において用い次用語は本発明を限定するものではな
くて説明のｔめの用語であり、本発明の要旨を逸脱する
ことなしに、添附請求の範囲の記載範囲内でその実施例
を変更できる。
次とえば、センサ２３のホール素子を前記電流モードで
実現する代りに、電圧モードで実現できる。
実現する代りに、電圧モードで実現できる。
第１図は本発明の電磁アクチュエータの斜視図、第２図
は第１図の電磁アクチュエータの部分側面図、第３図は
第２図の一部の機能ブロック図である。 １０・・・・磁気アクチュエータ、１２．１４・・・・
固定子、１６・・・・電機子、１８．２０・・・・コイ
ル、２３・・・・磁束自乗センサ、２４．２６・・・・
磁束センサ、３０．３２・・・・ホール素子、３４，４
０．４４・自−増ｍ器、３８・・・・相互インピーダン
ス増幅器。
は第１図の電磁アクチュエータの部分側面図、第３図は
第２図の一部の機能ブロック図である。 １０・・・・磁気アクチュエータ、１２．１４・・・・
固定子、１６・・・・電機子、１８．２０・・・・コイ
ル、２３・・・・磁束自乗センサ、２４．２６・・・・
磁束センサ、３０．３２・・・・ホール素子、３４，４
０．４４・自−増ｍ器、３８・・・・相互インピーダン
ス増幅器。
Claims (2)
- （１）基準電圧を受ける第１の入力端子と第１の出力端
子を有する第１の増幅器と、 第１の出力端子と、基準電圧制御電流を受けるために第
１の増幅器の第１の出力端子へ接続される第１の入力端
子とを有する第１のホール発電器と、 第１のホール発電器の第１の出力端子へ接続される第１
の入力端子と、出力電圧を供給するための第１の出力端
子とを有する第２の増幅器と、第２の増幅器の第１の出
力端子へ接続される第１の入力端子と、第１の出力端子
とを有する第３の増幅器と、 第１の出力端子と、磁束変調された電流を受けるために
第３の増幅器の第１の出力端子へ接続される第１の入力
端子とを有する第２のホール発電器と、 出力電圧を供給するための第１の出力端子と、第２のホ
ール発電器の第１の出力端子へ接続される第１の入力端
子とを有する第４の増幅器と、を備えることを特徴とす
る磁束密度を検出するために磁界中で使用する磁束セン
サ。 - （２）第１のホール発電器サブ組立体と第２のホール発
電器サブ組立体を含み、磁束密度を検出するために磁界
中で使用する磁束センサにおいて、第１のホール発電器
は、 基準電圧を受ける第１の入力端子と第１の出力端子を有
する第１の増幅器と、 第１の出力端子と、基準電圧制御電流を受けるために第
１の増幅器の第１の出力端子へ接続される第１の入力端
子とを有する第１のホール発電器と、 第１のホール発電器の第１の出力端子へ接続される第１
の入力端子と、出力電圧を供給するための第１の出力端
子とを有する第２の増幅器と、を含み、第２のホール発
電器は、 第２の増幅器の第１の出力端子へ接続される第１の入力
端子と第１の出力端子を有する第３の増幅器と、 第１の出力端子と、制御電流を受けるために第３の増幅
器の第１の出力端子へ接続される第１の入力端子とを有
する第２のホール発電器と、第２のホール発電器の第１
の出力端子へ接続される第１の入力端子と、磁束密度の
自乗に比例する出力電圧を供給するための第１の出力端
子とを有する第４の増幅器と、 を含むことを特徴とする磁束密度を検出するために磁界
中で使用する磁束センサ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/246,129 US4882512A (en) | 1988-09-19 | 1988-09-19 | Electromagnetic force sensor |
| US246,129 | 1988-09-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02186284A true JPH02186284A (ja) | 1990-07-20 |
Family
ID=22929418
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1240919A Pending JPH02186284A (ja) | 1988-09-19 | 1989-09-19 | 磁束密度を検出するために磁界中で使用する磁束センサ |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4882512A (ja) |
| EP (1) | EP0360166B1 (ja) |
| JP (1) | JPH02186284A (ja) |
| CA (1) | CA1309140C (ja) |
| DE (1) | DE68909157T2 (ja) |
| ES (1) | ES2043999T3 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7759929B2 (en) * | 2005-03-30 | 2010-07-20 | Austriamicrosystems Ag | System and method for determining an angle of rotation with cascade sensors |
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| US5294757A (en) * | 1990-07-18 | 1994-03-15 | Otis Elevator Company | Active vibration control system for an elevator, which reduces horizontal and rotational forces acting on the car |
| US5321217A (en) * | 1990-07-18 | 1994-06-14 | Otis Elevator Company | Apparatus and method for controlling an elevator horizontal suspension |
| US5308938A (en) * | 1990-07-18 | 1994-05-03 | Otis Elevator Company | Elevator active suspension system |
| US5115192A (en) * | 1990-11-06 | 1992-05-19 | Nova Corporation Of Alberta | Magnetic displacement transducer with saturation compensation |
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| CN102519633B (zh) * | 2011-11-30 | 2014-07-16 | 浙江大学 | 磁弹磁电效应式应力监测装置 |
| US9664753B2 (en) * | 2014-03-27 | 2017-05-30 | Stmicroelectronics S.R.L. | Hall-effect-based magnetic field sensor having an improved output bandwidth |
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|---|---|---|---|---|
| DE3110107A1 (de) * | 1981-03-16 | 1982-09-23 | Mannesmann Rexroth GmbH, 8770 Lohr | Kraftmessverfahren und kraftmessvorrichtung zur steuerung des krafthebers eines ackerschleppers |
| DE3435455A1 (de) * | 1984-09-27 | 1986-03-27 | Nukem Gmbh, 6450 Hanau | Vorrichtung mit zwei hallgeneratoren zur messung der gradienten magnetischer felder |
| JPS61194885A (ja) * | 1985-02-25 | 1986-08-29 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 磁気センサ |
| US4629262A (en) * | 1985-06-24 | 1986-12-16 | Sperry Corporation | Position sensor for magnetic suspension and pointing system |
| US4642501A (en) * | 1985-10-15 | 1987-02-10 | Sperry Corporation | Magnetic suspension and pointing system with flux feedback linearization |
| DE3627127A1 (de) * | 1986-08-06 | 1988-02-18 | Pfister Gmbh | Membran fuer kraftmesseinrichtungen |
-
1988
- 1988-09-19 US US07/246,129 patent/US4882512A/en not_active Expired - Lifetime
-
1989
- 1989-09-15 ES ES89117093T patent/ES2043999T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1989-09-15 EP EP89117093A patent/EP0360166B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-09-15 DE DE89117093T patent/DE68909157T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1989-09-18 CA CA000611715A patent/CA1309140C/en not_active Expired - Fee Related
- 1989-09-19 JP JP1240919A patent/JPH02186284A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7759929B2 (en) * | 2005-03-30 | 2010-07-20 | Austriamicrosystems Ag | System and method for determining an angle of rotation with cascade sensors |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4882512A (en) | 1989-11-21 |
| ES2043999T3 (es) | 1994-01-01 |
| DE68909157D1 (de) | 1993-10-21 |
| EP0360166A2 (en) | 1990-03-28 |
| EP0360166A3 (en) | 1991-04-10 |
| CA1309140C (en) | 1992-10-20 |
| EP0360166B1 (en) | 1993-09-15 |
| DE68909157T2 (de) | 1994-02-03 |
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