JPH02187614A - 実装済プリント基板の検査装置 - Google Patents
実装済プリント基板の検査装置Info
- Publication number
- JPH02187614A JPH02187614A JP1008218A JP821889A JPH02187614A JP H02187614 A JPH02187614 A JP H02187614A JP 1008218 A JP1008218 A JP 1008218A JP 821889 A JP821889 A JP 821889A JP H02187614 A JPH02187614 A JP H02187614A
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- Japan
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- printed circuit
- photoelectric conversion
- circuit board
- beam spot
- conversion means
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は実装流プリント基板の検査装置に関するもので
、特に細く絞ったビームスポットを用いて実装された部
品の位置ずれ、はんだ不良、ハンダブリッジなどを検査
せんとするものである。
、特に細く絞ったビームスポットを用いて実装された部
品の位置ずれ、はんだ不良、ハンダブリッジなどを検査
せんとするものである。
従来の技術
従来実装法プリント基板の部品位置ずれ、欠品、はんだ
不良、はんだブリッジなどを検査する装置として、マル
チスリット光とカメラを用いる方法がある。
不良、はんだブリッジなどを検査する装置として、マル
チスリット光とカメラを用いる方法がある。
以下、図面を参照しながら説明する。第7図において、
55.56は各々スリット光を照射する照射装置であり
、64はカメラ、67は実装流プリント基板である。2
つのスリット光を実装流プリント基板67に対して、斜
め上方よシそれぞれの光軸が直行するように照射し、上
方よシカメラ54で観察すると三角測量の原理で実装部
品の高3 \−ノ さを測定できる。まだこのときマルチスリット照射装置
55.56を交互に照射することにより、x、y方向の
部品位置をしることができる。
55.56は各々スリット光を照射する照射装置であり
、64はカメラ、67は実装流プリント基板である。2
つのスリット光を実装流プリント基板67に対して、斜
め上方よシそれぞれの光軸が直行するように照射し、上
方よシカメラ54で観察すると三角測量の原理で実装部
品の高3 \−ノ さを測定できる。まだこのときマルチスリット照射装置
55.56を交互に照射することにより、x、y方向の
部品位置をしることができる。
発明が解決しようとする課題
しかしながら上記のような構成では、はんだ付は前にお
ける実装部品の位置測定などは可能であるが、はんだつ
け工程後の正確なはんだ面の検査は困帷である。なぜな
らはんだ面は鏡面に近いだめ、はんだ面のむきとカメラ
の位置関係によっては、反射光が強すぎてカメラが飽和
してしまう場合や、逆に反射光か弱すぎて検出できない
場合が生じるからである。
ける実装部品の位置測定などは可能であるが、はんだつ
け工程後の正確なはんだ面の検査は困帷である。なぜな
らはんだ面は鏡面に近いだめ、はんだ面のむきとカメラ
の位置関係によっては、反射光が強すぎてカメラが飽和
してしまう場合や、逆に反射光か弱すぎて検出できない
場合が生じるからである。
課題を解決するだめの手段
上記課題を解決する本発明のプリント基板の検査装置は
回転駆動される回転体と、その回転体に対して相対的に
検査すべきプリント基板を移動せしめる手段と、前記回
転体の回転中心を中心とする略同−円周上に位置して、
それぞれ前記プリント基板に略垂直な方向よりビームス
ポットを照射して、そのビームスポットが前記回転体の
回転に伴って順次プリント基板を走査するように前記回
転体に配置された複数のビームスポット発生手段と、前
記回転体にそれぞれの前記ビームスポットを中心として
放射状に配置され、前記プリント基板よりの反射光を受
光しその受光位置に応じた出力と、受光エネルギーに対
応する量を出力する複数の第一の光電変換手段と、前記
第一の光電変換手段よシ前記ビームスポットに対して更
に外側に位置して前記ビームスポットを中心として放射
状に配置された複数個の、受光エネルギーに対応する量
を出力する第二の光電変換手段とよりなることを特徴と
するものである。
回転駆動される回転体と、その回転体に対して相対的に
検査すべきプリント基板を移動せしめる手段と、前記回
転体の回転中心を中心とする略同−円周上に位置して、
それぞれ前記プリント基板に略垂直な方向よりビームス
ポットを照射して、そのビームスポットが前記回転体の
回転に伴って順次プリント基板を走査するように前記回
転体に配置された複数のビームスポット発生手段と、前
記回転体にそれぞれの前記ビームスポットを中心として
放射状に配置され、前記プリント基板よりの反射光を受
光しその受光位置に応じた出力と、受光エネルギーに対
応する量を出力する複数の第一の光電変換手段と、前記
第一の光電変換手段よシ前記ビームスポットに対して更
に外側に位置して前記ビームスポットを中心として放射
状に配置された複数個の、受光エネルギーに対応する量
を出力する第二の光電変換手段とよりなることを特徴と
するものである。
作用
上記構成によればビームスポットの反射光を受光する第
1の光電変換素子をビームスポットの周囲に複数個配置
しているためはんだ面の向きにより反射光が変化しても
それに対応して反射光を受光することができるため、は
んだ面の高さ及び輝度を測定することができ、あらかじ
め登録しである正しいはんだ形状等と比較することによ
シ実装5 ・\−ノ 済みプリント基板の良否を判断することができる。
1の光電変換素子をビームスポットの周囲に複数個配置
しているためはんだ面の向きにより反射光が変化しても
それに対応して反射光を受光することができるため、は
んだ面の高さ及び輝度を測定することができ、あらかじ
め登録しである正しいはんだ形状等と比較することによ
シ実装5 ・\−ノ 済みプリント基板の良否を判断することができる。
しかしはんだ面は種々雑多な形状をしているためはんだ
面の傾きいかんでは形状が正しく取れない場合がある。
面の傾きいかんでは形状が正しく取れない場合がある。
なぜなら第1の光電変換手段として三角測量の原理を用
いて距離を測定する光学系の距離センサーとして半導体
装置検出素子(PSD)、すなわち第6図に示すような
光学系においてP点の像がPSD上のP′に、Q点の像
がQ′に結像されたとするとPSDからの出力I1.
I2の比を取ることによりP′、Q′の位置、すなわち
P、Qの距離が測定でき、X、 、 I2の和でもって
P′Q′の光量、すなわちP、Qの輝度が測定できるよ
うなものを使用した場合、はんだ面の傾きが急峻なとき
大部分の反射光は第1の光電変換手段よりも照射ビーム
に対してさらに離れて行く方向に向かい、第1の光電変
換手段に入る光量が僅かとなり、前記PSDの光量に対
する許容範囲を下回った場合はPSDの出力比を計測し
ても正しい高さとはならない場合がある。このようなと
き第1の光電変換手段よりもさらにビームスポットに対
6 ′N 、7 して外側に配置された複数個の第2の光電変換手段で光
を受けることができるため、前記複数個の第2の光電変
換手段よシの出力分布、すなわち前記複数個の第2の光
電変換手段を仮にA、B、C。
いて距離を測定する光学系の距離センサーとして半導体
装置検出素子(PSD)、すなわち第6図に示すような
光学系においてP点の像がPSD上のP′に、Q点の像
がQ′に結像されたとするとPSDからの出力I1.
I2の比を取ることによりP′、Q′の位置、すなわち
P、Qの距離が測定でき、X、 、 I2の和でもって
P′Q′の光量、すなわちP、Qの輝度が測定できるよ
うなものを使用した場合、はんだ面の傾きが急峻なとき
大部分の反射光は第1の光電変換手段よりも照射ビーム
に対してさらに離れて行く方向に向かい、第1の光電変
換手段に入る光量が僅かとなり、前記PSDの光量に対
する許容範囲を下回った場合はPSDの出力比を計測し
ても正しい高さとはならない場合がある。このようなと
き第1の光電変換手段よりもさらにビームスポットに対
6 ′N 、7 して外側に配置された複数個の第2の光電変換手段で光
を受けることができるため、前記複数個の第2の光電変
換手段よシの出力分布、すなわち前記複数個の第2の光
電変換手段を仮にA、B、C。
Dの四個とすると、例えばA、B、C,Dの光量分布に
よりはんだ面がどの方向に傾いているかを知ることがで
きる。更に詳しく言えばAの光量がB、C,Dに比較し
て非常に大きい場合、はんだ面の法線ベク)/しがセン
サー人の方向をむいていると言うことが解シ前記複数個
の第2の光電変換手段が実装済みのプリント基板上を走
査して行くことによシはんだ面の形状変化を認識するこ
とができる。
よりはんだ面がどの方向に傾いているかを知ることがで
きる。更に詳しく言えばAの光量がB、C,Dに比較し
て非常に大きい場合、はんだ面の法線ベク)/しがセン
サー人の方向をむいていると言うことが解シ前記複数個
の第2の光電変換手段が実装済みのプリント基板上を走
査して行くことによシはんだ面の形状変化を認識するこ
とができる。
実施例
以下、本発明の一実施例の実装済みプリント基板検査装
置について、図面を参照しながら説明する。
置について、図面を参照しながら説明する。
第1図は、ビームスポット投光用光学系と受光用光学系
群である第1の光電変換手段および第20光電変換手段
が一体となった単位検査装置の斜7 ・\−7 視図である。1はたとえばレーザービームを使ったビー
ムスポット投光用光学系、2,4,6.8は前記ビーム
スポットの反射面からの反射光を受け、その反射面の高
さ及び輝度情報を得るため前記ビームスポットのまわシ
に放射状に配置された半導体装置検出素子(以下PSD
と呼ぶ)のような第1の光電変換素子群である。とのP
SDは所定の長さを有し、PSD上の光スポットの位置
に応じて複数の出力端子の出力が相対的に変化するもの
であシ、これにはCODラインセンサーなどを用いるこ
とも可能である。
群である第1の光電変換手段および第20光電変換手段
が一体となった単位検査装置の斜7 ・\−7 視図である。1はたとえばレーザービームを使ったビー
ムスポット投光用光学系、2,4,6.8は前記ビーム
スポットの反射面からの反射光を受け、その反射面の高
さ及び輝度情報を得るため前記ビームスポットのまわシ
に放射状に配置された半導体装置検出素子(以下PSD
と呼ぶ)のような第1の光電変換素子群である。とのP
SDは所定の長さを有し、PSD上の光スポットの位置
に応じて複数の出力端子の出力が相対的に変化するもの
であシ、これにはCODラインセンサーなどを用いるこ
とも可能である。
3.5,7.9は三角測量を行うために実装済みプリン
ト基板からの反射ビームをPSD2,4゜6.8上に各
々結像するためのレンズもしくはレンズ群である。
ト基板からの反射ビームをPSD2,4゜6.8上に各
々結像するためのレンズもしくはレンズ群である。
10.11.12.13は前記ビームスポットの実装済
みプリント基板からの反射光を受けほぼその光量エネル
ギーに相当する電気的出力を得るために、前記ビームス
ポットのまわりに配置された第2の光電変換手段である
。本実施例では第1゜第2の光電変換手段ともビームス
ポットを中心とする同一円周上に等間隔に配置され、か
つ、第2の光電変換手段がその光電変換手段より前記ビ
ームスポットに対して外側に位置するように配置されて
いる。
みプリント基板からの反射光を受けほぼその光量エネル
ギーに相当する電気的出力を得るために、前記ビームス
ポットのまわりに配置された第2の光電変換手段である
。本実施例では第1゜第2の光電変換手段ともビームス
ポットを中心とする同一円周上に等間隔に配置され、か
つ、第2の光電変換手段がその光電変換手段より前記ビ
ームスポットに対して外側に位置するように配置されて
いる。
第2図は第1図に示した第1.第2の光電変換手段が一
体となった1つの単位検査装置の断面図を示したもので
あり、図中6oはプリント基板に実装されたチップ部品
である。
体となった1つの単位検査装置の断面図を示したもので
あり、図中6oはプリント基板に実装されたチップ部品
である。
第3図は検査装置全体の斜視図である。17゜18.1
9.20は第1図で示した光学系群が一体となった一つ
の単位検査装置である。70はモーター等の駆動源(図
示せず)によシはぼ一定速度で回転駆動される回転円盤
である。17,18゜19.20は回転円盤70の中心
に対して同一円周上にほぼ等間隔に配置され、回転円盤
70の回転に伴って、前記ビームスポットが順次実装済
みプリント基板14を走査するように構成されている。
9.20は第1図で示した光学系群が一体となった一つ
の単位検査装置である。70はモーター等の駆動源(図
示せず)によシはぼ一定速度で回転駆動される回転円盤
である。17,18゜19.20は回転円盤70の中心
に対して同一円周上にほぼ等間隔に配置され、回転円盤
70の回転に伴って、前記ビームスポットが順次実装済
みプリント基板14を走査するように構成されている。
従って実装済みプリント基板14を第3図に示す!、7
.Z座標系のy方向へ順次移動すると9 ゝ−・ とによシ実装済みプリント基板14の全体をビームスポ
ットにより走査することが可能となる。
.Z座標系のy方向へ順次移動すると9 ゝ−・ とによシ実装済みプリント基板14の全体をビームスポ
ットにより走査することが可能となる。
21は現在単位検査装置18で走査している軌跡を示し
ており、22は直前に単位検査装置19で走査した軌跡
を示している。第3図において単位検査装置18が走査
完了すると実装済みプリント基板14がy軸方向へ一定
量だけ移動して、次の単位検査装置17の走査開始前に
移動が完了しするようになっておυ、無駄な時間がなく
最小時間で検査を終了することができる。
ており、22は直前に単位検査装置19で走査した軌跡
を示している。第3図において単位検査装置18が走査
完了すると実装済みプリント基板14がy軸方向へ一定
量だけ移動して、次の単位検査装置17の走査開始前に
移動が完了しするようになっておυ、無駄な時間がなく
最小時間で検査を終了することができる。
第4図は、第1の光電変換素子群、及び第2の光電変換
素子群からの反射光により高さ情報、輝度情報などを得
るための本装置の電気回路を示している。23は第1の
光電変換素子2の2つの電流出力から割算器52を通し
て高さ情報を得て、前記2つの電流出力の和よりオペア
ンプ63を通して輝度情報を得ている回路である。24
、25 。
素子群からの反射光により高さ情報、輝度情報などを得
るための本装置の電気回路を示している。23は第1の
光電変換素子2の2つの電流出力から割算器52を通し
て高さ情報を得て、前記2つの電流出力の和よりオペア
ンプ63を通して輝度情報を得ている回路である。24
、25 。
26も23と同様な検出回路であり、第1の光電変換素
子群である4、6.8に接続されている。
子群である4、6.8に接続されている。
本実施例の場合、第1の光電変換素子群として4101
\−ノ 個使用されているため高さ、輝度情報もビームスポット
の当る一つの光点に対して4個出力される。
\−ノ 個使用されているため高さ、輝度情報もビームスポット
の当る一つの光点に対して4個出力される。
27は4個の高さ情報から1つの高さ情報を得るための
高さ情報選択回路であり、選択方法としては例えば4つ
の平均を取る方法がある。28は2γと同様に4つの輝
度情報から1つの輝度情報を得るための輝度選択回路で
あり、選択方法として例えば最大レベルを取る方法があ
る。
高さ情報選択回路であり、選択方法としては例えば4つ
の平均を取る方法がある。28は2γと同様に4つの輝
度情報から1つの輝度情報を得るための輝度選択回路で
あり、選択方法として例えば最大レベルを取る方法があ
る。
31は第2の光電変換素子群10,11.12゜13に
接続されビームスポットの当っている面の傾きを予想す
る回路であり、例えば4つの出力レベルよ勺最大輝度方
向ベクトルを作成するものである。ベク)/しの作成方
法としては例えば、第5図に示すように前記第2の光電
変換素子群10゜11.12.1317)出力をa、b
、c、dとし第3図に示す座標系においてX軸に10.
12のセンサー、y軸に11.13のセンサーが配置さ
れているとすればこのときの合成ベク)/しのX成分、
y成分はそれぞれ次のようになる。
接続されビームスポットの当っている面の傾きを予想す
る回路であり、例えば4つの出力レベルよ勺最大輝度方
向ベクトルを作成するものである。ベク)/しの作成方
法としては例えば、第5図に示すように前記第2の光電
変換素子群10゜11.12.1317)出力をa、b
、c、dとし第3図に示す座標系においてX軸に10.
12のセンサー、y軸に11.13のセンサーが配置さ
れているとすればこのときの合成ベク)/しのX成分、
y成分はそれぞれ次のようになる。
X成分 = 2*lL −2*0
11 ′−’
y成分 = 2*b −2*d
前記2つの選択回路27.28、および輝度ベク) t
V発生回路31の出力は、cptysoのバスに接続さ
れているRAM29へ送られる。前記CPU30は、前
記RAM29より読み出された高さ、輝度情報と、あら
かじめ記憶されている基準となる実装済みプリント基板
の高さ情報、輝度情報とを比較することにより被検査実
装済みプリント基板の良否を判別する。
V発生回路31の出力は、cptysoのバスに接続さ
れているRAM29へ送られる。前記CPU30は、前
記RAM29より読み出された高さ、輝度情報と、あら
かじめ記憶されている基準となる実装済みプリント基板
の高さ情報、輝度情報とを比較することにより被検査実
装済みプリント基板の良否を判別する。
このときRAM29に取り込まれた輝度ベクトル発生回
路からの最大輝度情報ベク)/しをもちいてあらかじめ
予想される面形状になっているかをさらに精度よく判断
することができる。特にはんだ面の形状においては反射
光量が非常に小さくなったシ、非常に大きくなったりし
てPSDのダイナミックレンジを越えるような場合、正
しく高さを認識しなくなるので、非常に有効となる。
路からの最大輝度情報ベク)/しをもちいてあらかじめ
予想される面形状になっているかをさらに精度よく判断
することができる。特にはんだ面の形状においては反射
光量が非常に小さくなったシ、非常に大きくなったりし
てPSDのダイナミックレンジを越えるような場合、正
しく高さを認識しなくなるので、非常に有効となる。
発明の効果
以上のように本発明によれば、ビームスポットを実装済
みプリント基板へほぼ垂直に照射し、その光軸の廻りに
受光系である第1.第2の光電変換素子群を配置し、そ
れら照射、受光光学系群が一体となって走査して行くこ
とによシ、従来の検査機では困難であったはんだ面の検
査が良好に行えるようになった。
みプリント基板へほぼ垂直に照射し、その光軸の廻りに
受光系である第1.第2の光電変換素子群を配置し、そ
れら照射、受光光学系群が一体となって走査して行くこ
とによシ、従来の検査機では困難であったはんだ面の検
査が良好に行えるようになった。
第1図はビームクポット投光用光学系と受光用光学系群
である第1の光電変換素子群および第2の光電変換素子
群が一体となった単位検査装置の斜視図、第2図は第1
図で示した光学系群が一体となった1つの単位検査装置
の断面図、第3図は検査装置全体の斜視図、第4図は第
1の光電変換素子群、及び第2の光電変換素子群からの
反射光によシ高さ情報、輝度情報などを得るだめの電気
回路図、第6図は最大輝度方向合成ベク)/しを示す図
、第6図はPSDの原理を示す図、第7図は従来の検査
装置の斜視図である。 1・・・・・・ビームスポット照射光学系、2,4,6
゜8・・・・・・第1の光電変換素子、10,11.1
2゜13・・・・・・第2の光電変換素子、16.17
.18゜13 パ / 19・・・・・・光学系群が一体となった一つの単位検
査装置、23,24,25.26・・・・・・高さ、輝
度演算回路、27・・・・・・高さ情報選択回路、28
・・・・・・輝度情報選択回路、31・・・・・・輝度
ベクトル発生回路、60・・・・・・検査対象部品、7
o・・・・・・回転円盤。 代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ほか1名区 ■) 濾 区 α) 濾
である第1の光電変換素子群および第2の光電変換素子
群が一体となった単位検査装置の斜視図、第2図は第1
図で示した光学系群が一体となった1つの単位検査装置
の断面図、第3図は検査装置全体の斜視図、第4図は第
1の光電変換素子群、及び第2の光電変換素子群からの
反射光によシ高さ情報、輝度情報などを得るだめの電気
回路図、第6図は最大輝度方向合成ベク)/しを示す図
、第6図はPSDの原理を示す図、第7図は従来の検査
装置の斜視図である。 1・・・・・・ビームスポット照射光学系、2,4,6
゜8・・・・・・第1の光電変換素子、10,11.1
2゜13・・・・・・第2の光電変換素子、16.17
.18゜13 パ / 19・・・・・・光学系群が一体となった一つの単位検
査装置、23,24,25.26・・・・・・高さ、輝
度演算回路、27・・・・・・高さ情報選択回路、28
・・・・・・輝度情報選択回路、31・・・・・・輝度
ベクトル発生回路、60・・・・・・検査対象部品、7
o・・・・・・回転円盤。 代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ほか1名区 ■) 濾 区 α) 濾
Claims (1)
- 回転駆動される回転体と、その回転体に対して相対的
に検査すべきプリント基板を移動せしめる手段と、前記
回転体の回転中心を中心とする略同一円周上に位置して
、それぞれ前記プリント基板に略垂直な方向よりビーム
スポットを照射して、そのビームスポットが前記回転体
の回転に伴って順次プリント基板を走査するように前記
回転体に配置された複数のビームスポット発生手段と、
前記回転体にそれぞれの前記ビームスポットを中心とし
て放射状に配置され、前記プリント基板よりの反射光を
受光しその受光位置に応じた出力と、受光エネルギーに
対応する量を出力する複数の第一の光電変換手段と、前
記第一の光電変換手段より前記ビームスポットに対して
更に外側に位置して前記ビームスポットを中心として放
射状に配置され、受光エネルギーに対応する量を出力す
る複数個の第二の光電変換手段とを有することを特徴と
する実装済プリント基板の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1008218A JPH02187614A (ja) | 1989-01-17 | 1989-01-17 | 実装済プリント基板の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1008218A JPH02187614A (ja) | 1989-01-17 | 1989-01-17 | 実装済プリント基板の検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02187614A true JPH02187614A (ja) | 1990-07-23 |
Family
ID=11687071
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1008218A Pending JPH02187614A (ja) | 1989-01-17 | 1989-01-17 | 実装済プリント基板の検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02187614A (ja) |
-
1989
- 1989-01-17 JP JP1008218A patent/JPH02187614A/ja active Pending
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