JPH02212706A - 実装済プリント基板の検査装置 - Google Patents
実装済プリント基板の検査装置Info
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- JPH02212706A JPH02212706A JP1033988A JP3398889A JPH02212706A JP H02212706 A JPH02212706 A JP H02212706A JP 1033988 A JP1033988 A JP 1033988A JP 3398889 A JP3398889 A JP 3398889A JP H02212706 A JPH02212706 A JP H02212706A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は実装済プリント基板の検査装置に関するもので
、特に細く絞ったビームスポットを用いて実装された部
品の位置ずれ、はんだ不良、はんだブリッジなどを検査
せんとするものである。
、特に細く絞ったビームスポットを用いて実装された部
品の位置ずれ、はんだ不良、はんだブリッジなどを検査
せんとするものである。
従来の技術
従来実装済プリント基板の検査装置の部品ずれ欠品、は
んだ不良、はんだブリッジなどを検査する装置として、
マルチスリット光とカメラを用いる方法がある。
んだ不良、はんだブリッジなどを検査する装置として、
マルチスリット光とカメラを用いる方法がある。
以下、図面を参照しながら説明する。第4図において5
5.66は各々スリット光を照射する照射装置であり、
64はカメラ、57は実装済みプリント基板である。二
つのスリット光を実装済みプリント基板67に対して斜
め上方より各々の光軸が直行するように照射し、上方よ
りカメラ64で観察すると三角測量の原理で実装部品の
高さを測定できる。又このときマルチスリット照射装置
56.56を交互に照射することにより、x、y3 /
\−7 方向の部品位置を知ることができる。
5.66は各々スリット光を照射する照射装置であり、
64はカメラ、57は実装済みプリント基板である。二
つのスリット光を実装済みプリント基板67に対して斜
め上方より各々の光軸が直行するように照射し、上方よ
りカメラ64で観察すると三角測量の原理で実装部品の
高さを測定できる。又このときマルチスリット照射装置
56.56を交互に照射することにより、x、y3 /
\−7 方向の部品位置を知ることができる。
発明が解決しようと−する課題
しかしながら上記のような構成では、はんだ付は前にお
ける実装部品の位置測定などでは可能であるが、はんだ
付は工程後のはんだ面の正確な検査は困難である。なぜ
ならはんだ面は境面に近いため、はんだ面の向きとカメ
ラの位置関係によっては、反射光が強すぎてカメラが飽
和してし甘う場合や、逆に反射光か弱すぎて検出できな
い場合が生じるからである3、 課題を解決するための手段 本発明の実装済プリント基板の検査装置は、回転駆動さ
れる回転体と、その回転に対して相対的に検査すべきプ
リント基板を移動せしめる手段と、前記回転体の回転中
心を中心とする略同−円周」二に位置して、各々前記プ
リント基板にビームスポットを照射して、そのビームス
ポットが前記回転体の回転に伴って順次プリント基板を
走査するように前記回転体に配置された複数のビームス
ポット発生手段と、前記回転体に各々の前記ビームスポ
ットを中心として放射状に配置され、前記プリント共成
よりの反射光を受光[7、その受光イ装置に応じた出力
と、受光エネルギーに対応する量を・出力する複数個の
光電変換手段とを備え、前記プリント基板に対する前記
ビームスボッI−の個々の)H(5射角度を変えること
により、多角度からの情報を得ることを特徴とする。
ける実装部品の位置測定などでは可能であるが、はんだ
付は工程後のはんだ面の正確な検査は困難である。なぜ
ならはんだ面は境面に近いため、はんだ面の向きとカメ
ラの位置関係によっては、反射光が強すぎてカメラが飽
和してし甘う場合や、逆に反射光か弱すぎて検出できな
い場合が生じるからである3、 課題を解決するための手段 本発明の実装済プリント基板の検査装置は、回転駆動さ
れる回転体と、その回転に対して相対的に検査すべきプ
リント基板を移動せしめる手段と、前記回転体の回転中
心を中心とする略同−円周」二に位置して、各々前記プ
リント基板にビームスポットを照射して、そのビームス
ポットが前記回転体の回転に伴って順次プリント基板を
走査するように前記回転体に配置された複数のビームス
ポット発生手段と、前記回転体に各々の前記ビームスポ
ットを中心として放射状に配置され、前記プリント共成
よりの反射光を受光[7、その受光イ装置に応じた出力
と、受光エネルギーに対応する量を・出力する複数個の
光電変換手段とを備え、前記プリント基板に対する前記
ビームスボッI−の個々の)H(5射角度を変えること
により、多角度からの情報を得ることを特徴とする。
作用
上記構成(Cよればビームスポットの反射光を受光する
光電変換素子をビームスボッl−の周囲に複数個配置し
ているためはんだ而の向きにより反射光がある程度変化
してもそれに対応して反射光を受光することができ、ま
だビームスポットの周囲に複数個配置している光電変換
素子(Cよっても受光できないような急傾斜のはんだ面
等は前記プリント基板に対しある角度を持った前記光学
系1訂のいずれかによりその反射光を受光できる。
光電変換素子をビームスボッl−の周囲に複数個配置し
ているためはんだ而の向きにより反射光がある程度変化
してもそれに対応して反射光を受光することができ、ま
だビームスポットの周囲に複数個配置している光電変換
素子(Cよっても受光できないような急傾斜のはんだ面
等は前記プリント基板に対しある角度を持った前記光学
系1訂のいずれかによりその反射光を受光できる。
それにより実装済みプリン!・基板の凹凸を極めて正確
に再生でき精度の高い検査が可能となる。
に再生でき精度の高い検査が可能となる。
実施例
6ベーノ
以下、本発明の一実施例の実装済プリント基板自動検査
装置について、図面を参照しながら説明する。
装置について、図面を参照しながら説明する。
第1図は、 ビームスポット投光用光学系と受光用光学
系群が一体となった単位検査装置の斜視図である。1は
、例えばレーザーを使ったビームスボッl−投光用光学
系、2,4,6.8は前記ビームスポットの反射面から
の反射光を受け、その反射面の高さ及び輝度情報を得る
だめの半導体装置検出素T−(以下PSDと呼ぶ)のよ
うな光電変換素子である。このPSDは、ある所定の長
さを有L2、ビートスポットの照射位置に応じて複数の
出力端子の出力が相対的に変化するもので、これにはC
ODラインセンザー等を用いることも可能である。
系群が一体となった単位検査装置の斜視図である。1は
、例えばレーザーを使ったビームスボッl−投光用光学
系、2,4,6.8は前記ビームスポットの反射面から
の反射光を受け、その反射面の高さ及び輝度情報を得る
だめの半導体装置検出素T−(以下PSDと呼ぶ)のよ
うな光電変換素子である。このPSDは、ある所定の長
さを有L2、ビートスポットの照射位置に応じて複数の
出力端子の出力が相対的に変化するもので、これにはC
ODラインセンザー等を用いることも可能である。
3.6.7.9は、三角測量を行うために実装済みプリ
ント基板からの反射ビームスポットを前記光電変換素子
2.4.6.8上に各々結像するだめのレンズもしくは
レンズ群である。これらの光電変換素子及びレンズは、
ビームスポット116 ・−・ の光軸周辺に配置され、本実施例では、4組をビームス
ポットを中心とする同一円周上に等間隔(C配置してい
る。
ント基板からの反射ビームスポットを前記光電変換素子
2.4.6.8上に各々結像するだめのレンズもしくは
レンズ群である。これらの光電変換素子及びレンズは、
ビームスポット116 ・−・ の光軸周辺に配置され、本実施例では、4組をビームス
ポットを中心とする同一円周上に等間隔(C配置してい
る。
本実装済プリント基板の検査装置では、第1図で示され
た光学系群が一体となった単位検査装置を五つ持つ。一
つは実装済みプリント基板10に対してビームスポット
11をほぼ垂直に照射したものであり、残り四つは実装
済みプリント基板1oに対してビームスボッl−11を
ある一定の角度で、更に各々が別4の方向から照射する
ように構成しである。
た光学系群が一体となった単位検査装置を五つ持つ。一
つは実装済みプリント基板10に対してビームスポット
11をほぼ垂直に照射したものであり、残り四つは実装
済みプリント基板1oに対してビームスボッl−11を
ある一定の角度で、更に各々が別4の方向から照射する
ように構成しである。
第2図は、検査装置全体の斜視図である。13゜14.
15,16.17は第1図で示した光学系群が一体とな
った一つの単位検査装置であり。
15,16.17は第1図で示した光学系群が一体とな
った一つの単位検査装置であり。
13は実装済みプリント基板10に対しビーノ・スポッ
ト11をほぼ垂直に照射し、14(d実装済与プリント
基板10に対しビームスポット11を、ある角度(例え
ば実装済みプリント基叛に対し45度の角度)でX軸の
十方向から照射し、16は実装済みプリント基板10に
対しビームスボッ7ベーン ト11を、ある角度(例えば実装済みプリント基板に対
し45度の角度)でy軸の子方向から照射し、16は実
装済みプリント基板10に対しビームスポット11を、
ある角度(例えば実装済みプリント基板に対し46度の
角度)でX軸の一方向から照射し、17は実装済みプリ
ント基板10に対しビームスポット11を、ある角度(
例えば実装済みプリント基板に対し46度の角度)でy
軸の一方向から照射しである。
ト11をほぼ垂直に照射し、14(d実装済与プリント
基板10に対しビームスポット11を、ある角度(例え
ば実装済みプリント基叛に対し45度の角度)でX軸の
十方向から照射し、16は実装済みプリント基板10に
対しビームスボッ7ベーン ト11を、ある角度(例えば実装済みプリント基板に対
し45度の角度)でy軸の子方向から照射し、16は実
装済みプリント基板10に対しビームスポット11を、
ある角度(例えば実装済みプリント基板に対し46度の
角度)でX軸の一方向から照射し、17は実装済みプリ
ント基板10に対しビームスポット11を、ある角度(
例えば実装済みプリント基板に対し46度の角度)でy
軸の一方向から照射しである。
12はモーター等の駆動源(図示せず)によシはぼ一定
速度で回転駆動される回転円盤である。
速度で回転駆動される回転円盤である。
前記単位検査装置13.14.16.16.17は回転
円盤12の中心にたいし同一円周上に等間隔に回転円盤
12の回転に伴って、前記ビームスポットが順次実装済
みプリント基板10を走査するよう配置されている。従
って、実装済みプリント基板10を第2図に示す” r
7 r z座標系のy方向へ順次移動することにより
実装済みプリント基板10の全体をビームスポットによ
p走査することが可能となる。
円盤12の中心にたいし同一円周上に等間隔に回転円盤
12の回転に伴って、前記ビームスポットが順次実装済
みプリント基板10を走査するよう配置されている。従
って、実装済みプリント基板10を第2図に示す” r
7 r z座標系のy方向へ順次移動することにより
実装済みプリント基板10の全体をビームスポットによ
p走査することが可能となる。
18はプリント基板10が静止状態で現在単位検査装置
13で走査している軌跡を示しており、22はその静止
状態のプリント基板10を単位検査装置13に続いて単
位検査装置17で走査する軌跡を示しており、21は続
いて単位検査装置16で走査する軌跡を示しており、2
Qは単位検査装置16で走査する軌跡を示しており、1
9は単位検査装置14で走査する軌跡を示している。
13で走査している軌跡を示しており、22はその静止
状態のプリント基板10を単位検査装置13に続いて単
位検査装置17で走査する軌跡を示しており、21は続
いて単位検査装置16で走査する軌跡を示しており、2
Qは単位検査装置16で走査する軌跡を示しており、1
9は単位検査装置14で走査する軌跡を示している。
第2図においては、単位検査装置i3,14.16゜1
6.17が走査完了すると実装済みプリント基板10が
y軸方向へ1ピツチ1だけ間欠的に移動して、次の単位
検査装置13の走査開始前に移動が終了するようになっ
ており、無駄な時間がなく最小時間で検査を終了するこ
とができる。なお23は間欠駆動前の単位検査装置13
で走査した軌跡を示している。
6.17が走査完了すると実装済みプリント基板10が
y軸方向へ1ピツチ1だけ間欠的に移動して、次の単位
検査装置13の走査開始前に移動が終了するようになっ
ており、無駄な時間がなく最小時間で検査を終了するこ
とができる。なお23は間欠駆動前の単位検査装置13
で走査した軌跡を示している。
第3図は、光電変換素子からの照射位置により相対的に
値が変化する二つの電流出力を演算して高さ情報及び輝
度情報を得るための本装置の電気回路を示している。2
4Fi光電変換素子2の二つ9ページ の電流出力から割算器52を通して高さ情報を得、又、
前記二つの電流出力の和よりオペアンプ63を通して輝
度情報を得ている高さ及び輝度情報検出回路である。
値が変化する二つの電流出力を演算して高さ情報及び輝
度情報を得るための本装置の電気回路を示している。2
4Fi光電変換素子2の二つ9ページ の電流出力から割算器52を通して高さ情報を得、又、
前記二つの電流出力の和よりオペアンプ63を通して輝
度情報を得ている高さ及び輝度情報検出回路である。
26.26.27も前記高さ及び輝度情報検出回路24
と同様の検出回路であり、光電変換素子4.6.8に接
続されている。この場合、光電変換素子を4個使用して
いるため高さ及び輝度情報も一つの光点に対して4個出
力される。
と同様の検出回路であり、光電変換素子4.6.8に接
続されている。この場合、光電変換素子を4個使用して
いるため高さ及び輝度情報も一つの光点に対して4個出
力される。
28は、単位検査装置13の4個の高さ情報から一つの
高さ情報を得る高さ情報選択回路であり、選択方法とし
て例えば4個の内最大レベルと最小レベルを除いた残り
の二つの平均をとる方法とがある。29は28と同様に
、4個の輝度情報から一つの輝度情報を得る輝度情報選
択回路でちゃ、選択方法として例えば4個の内最大レベ
ルを取る方法がある。以上により、単位検査装置13の
輝度・高さ情報検出回路30を構成している。31゜3
2.33.34はそれぞれ単位検査装置14゜16.1
6.17の輝度・高さ情報検出回路であ10・\−7′ り前記輝度・高さ情報検出回路30と同様な構成になっ
ている。また選択回路28.29はRAM35.38.
37.38.39の節約及び前処理をつけることによる
C P U 40の負荷軽減の目的で設けられたもので
ある。
高さ情報を得る高さ情報選択回路であり、選択方法とし
て例えば4個の内最大レベルと最小レベルを除いた残り
の二つの平均をとる方法とがある。29は28と同様に
、4個の輝度情報から一つの輝度情報を得る輝度情報選
択回路でちゃ、選択方法として例えば4個の内最大レベ
ルを取る方法がある。以上により、単位検査装置13の
輝度・高さ情報検出回路30を構成している。31゜3
2.33.34はそれぞれ単位検査装置14゜16.1
6.17の輝度・高さ情報検出回路であ10・\−7′ り前記輝度・高さ情報検出回路30と同様な構成になっ
ている。また選択回路28.29はRAM35.38.
37.38.39の節約及び前処理をつけることによる
C P U 40の負荷軽減の目的で設けられたもので
ある。
この輝度・高さ情報検出回路30,31,32゜33.
34からの出力はcptr4oのバスに接続されている
RAM35,38,37.38.39へ送られる。尚、
RAM36にはビームスポットを実装済みプリント基板
にたいしほぼ垂直に照射した単位検査装置13により得
られたデータが格納され、同様にRAM36には単位検
査装置14により得られたデータ、RAM37には単位
検査装置16により得られたデータ、RAM3Bには単
位検査装置16により得られたデータであり、RAM3
9には単位検査装置17により得られたデータが格納さ
れる。
34からの出力はcptr4oのバスに接続されている
RAM35,38,37.38.39へ送られる。尚、
RAM36にはビームスポットを実装済みプリント基板
にたいしほぼ垂直に照射した単位検査装置13により得
られたデータが格納され、同様にRAM36には単位検
査装置14により得られたデータ、RAM37には単位
検査装置16により得られたデータ、RAM3Bには単
位検査装置16により得られたデータであり、RAM3
9には単位検査装置17により得られたデータが格納さ
れる。
前記CPU4oでは、前記RAM36.36 。
37.38.39よシ読み出された多角度から得た高さ
及び輝度情報を基にプリント基板上の対象11 /\−
7 物をより正確に再現し、予め記憶されている情報とを比
較することにより良否を決定する。
及び輝度情報を基にプリント基板上の対象11 /\−
7 物をより正確に再現し、予め記憶されている情報とを比
較することにより良否を決定する。
発明の効果
以上のように本発明は、検査すべき実装済みプリント基
板にビームスボッ)Q照射し、そのビームスポットをそ
の周囲に配置された光電変換素子とともに移動せしめな
がら実装済みプリン1一基板の各点の高さ及び輝度の変
化を計測するものであるため、実装済みプリント基板の
各点は同一条件で計測され良好な検査が望めるものであ
る。
板にビームスボッ)Q照射し、そのビームスポットをそ
の周囲に配置された光電変換素子とともに移動せしめな
がら実装済みプリン1一基板の各点の高さ及び輝度の変
化を計測するものであるため、実装済みプリント基板の
各点は同一条件で計測され良好な検査が望めるものであ
る。
又、ビームスポット照射面の垂直面に対し小さな傾きの
面であれば実装済みプリント基板からの反射光は、ビー
ムスポットの周囲に配置された複数の光電変換素子によ
り受光されるよう構成されているため、実装済みプリン
ト基板からの反射光が種々の拡散特性になってもそれに
伴う検査結果の変動を小さくでき、さらにはビームスポ
ットの照射角度を変えることにより実装済みプリント基
板に対し極めて急な斜面であってもその形状を極めて正
確に認識できるものである。
面であれば実装済みプリント基板からの反射光は、ビー
ムスポットの周囲に配置された複数の光電変換素子によ
り受光されるよう構成されているため、実装済みプリン
ト基板からの反射光が種々の拡散特性になってもそれに
伴う検査結果の変動を小さくでき、さらにはビームスポ
ットの照射角度を変えることにより実装済みプリント基
板に対し極めて急な斜面であってもその形状を極めて正
確に認識できるものである。
第1図は本発明の実装済プリント基板の検査装置の一実
施例におけるビームスポット投光用光学系と受光用光学
系が一体となった一単位の検査装置の斜視図、第2図は
同実施例の要部を示す斜視図、第3図は同検査装置の電
気回路のブロック図、第4図は従来のプリント基板検査
装置の斜視図である。 1・・・・・・ビームスポット投光用光学系、2,4゜
6.8・・・・・・光電変換素子、3,6,7.9・・
・・・・レンズ%1o・・・・・・プリント基板、11
・・・・・・ビームスポット、12・・・・・・回転円
盤、13,14,16゜16.1ア・・・・・・単位検
査装置、24.25.26゜27・・・・・・高さ及び
輝度情報検出回路、28・・・・・・高さ情報選択回路
、29・・・・・・輝度情報選択回路、35.36,3
7,38.39・・・・・・RAM、40・・・・・C
PU0
施例におけるビームスポット投光用光学系と受光用光学
系が一体となった一単位の検査装置の斜視図、第2図は
同実施例の要部を示す斜視図、第3図は同検査装置の電
気回路のブロック図、第4図は従来のプリント基板検査
装置の斜視図である。 1・・・・・・ビームスポット投光用光学系、2,4゜
6.8・・・・・・光電変換素子、3,6,7.9・・
・・・・レンズ%1o・・・・・・プリント基板、11
・・・・・・ビームスポット、12・・・・・・回転円
盤、13,14,16゜16.1ア・・・・・・単位検
査装置、24.25.26゜27・・・・・・高さ及び
輝度情報検出回路、28・・・・・・高さ情報選択回路
、29・・・・・・輝度情報選択回路、35.36,3
7,38.39・・・・・・RAM、40・・・・・C
PU0
Claims (1)
- 回転駆動される回転体と、その回転に対して相対的に検
査すべきプリント基板を移動せしめる手段と、前記回転
体の回転中心を中心とする略同一円周上に位置して、各
々前記プリント基板にビームスポットを照射して、その
ビームスポットが前記回転体の回転に伴って順次プリン
ト基板を走査するように前記回転体に配置された複数の
ビームスポット発生手段と、前記回転体に各々の前記ビ
ームスポットを中心として放射状に配置され、前記プリ
ント基板よりの反射光を受光しその受光位置に応じた出
力と、受光エネルギーに対応する量を出力する複数の光
電変換手段とを有し、前記プリント基板に対する前記ビ
ームスポットの個々の照射角度を変えることにより、多
角度からの情報を得ることを特徴とする実装済プリント
基板の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1033988A JPH02212706A (ja) | 1989-02-14 | 1989-02-14 | 実装済プリント基板の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1033988A JPH02212706A (ja) | 1989-02-14 | 1989-02-14 | 実装済プリント基板の検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02212706A true JPH02212706A (ja) | 1990-08-23 |
Family
ID=12401863
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1033988A Pending JPH02212706A (ja) | 1989-02-14 | 1989-02-14 | 実装済プリント基板の検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02212706A (ja) |
-
1989
- 1989-02-14 JP JP1033988A patent/JPH02212706A/ja active Pending
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