JPH0218929A - 基板保持具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 半導体製造装置、特に縦型反応装置に用いる基板保持具
に関する。

従来の技術 ウェハの大口径化に伴い、膜均一性やダスト低減等から
縦型構造を有する反応装置が提案されている。これは反
応管を垂直に立て、前記反応管をとり囲むように加熱部
を設置して成るものである。ウェハは垂直に立てた基板
保持具に水平に重ねて搭載し、前記反応管に挿入したの
ち、例えば反応管を減圧状態にして反応ガスを供給し、
膜を形成するものである。この際に用いる前記基板保持
具の従来構成を第２図に示す。基板保持具１は、２枚の
円盤上板部１−ａと前記２枚の円盤状板間に介在する複
数の凹凸部を有する柱状基板保持部１−ｂから成る。前
記基板保持部は一般には一体物であり、棒状のものに一
定ピッチを保って切り溝を設けて作製する。前記切り溝
すなわち凹部に基板２を挿入する。前記基板保持部１−
ｂは前記円盤状板１−ａの半円弧上に例えば４ケ所設は
挿入した基板２を４点でささえる構造となっている。そ
の様子を第４図に示す。

発明が解決しようとする課題 従来の方法によれば基板保持部の凹凸部は前述したよう
に切り溝を設けることで作製していることからその断面
は７字もしくはコの字型になっており、基板とは面接触
で保持される。従って基板に対する熱伝導性や膜均一性
、汚れ防止等から基板外周のわずかな面積で保持しなけ
ればならず、また面接触保持の場合には基板が滑りやす
い上、基板の半周で保持することから大口径基板に対し
て非常に不安定であった。

さらに従来法によれば基板保持具における基板の位置関
係が判りにくかった。

課題を解決するための手段 本発明は、基板保持用凹凸部の凸部が球状部を有するこ
とを特長とするものである。

作　　　用 基板保持用凹凸部の凸部先端が球状部を有することで基
板との接触を点接触にするとともに、球状部の大きさも
しくは凸部球状の基板に対する接点位置をかえることで
基板保持風における基板の位置関係を判りやすくさせる
。

実施例 本発明の一実施例を第１．２図に示すとともに以下に説
明する。

基板保持具１は二枚の円盤状板１−ａと複数の凹凸部を
有する柱状基板保持部１−ｂから成る。

前記凸部の先端は球状を有し、基板２との接触を点接触
にし、接触面積を小さ（している（第１図（Ａ）、（Ｂ
）参照）。また基板保持部の柱から基板接触部である球
状部迄の長さ、すなわち凸部の長さを変化させたり（第
１図（Ａ）参照）、凸部先端の球状部の大きさを変化さ
せることにより（第１図（Ｂ）参照）基板保持具１にお
ける２基板の位置関係が容易で明確に判るようにしてい
る第１図（Ａ）の方法によると基板保持用凸部の長さを
長くすることで大口径基板の周辺部のみならず中心部寄
りの位置でささえることができ、さらに従来ではできな
かった基板挿入側の位置での保持ができる上、その保持
が点接触であることから基板に対する熱伝導性等の問題
もな（、安定性のよい基板保持を行い得る。その様子を
第２図に示す。

発明の効果 基板保持用凹凸部の断面が７字もしくはコの字型になっ
ていた従来法は基板保持に際し、面接触で行われていた
が本発明によれば前記凸部の先端を球状にし、基板との
接点を前記球状部で行うことで点接触となることから熱
伝導性、膜均一性。

汚れ防止等に効果がある。また、前記点接触であること
から従来のように大口径基板の外周のわずかな面積での
保持に制約されず前記凸部の長さを長（することにより
基板中心部寄りの位置や基板挿入側の位置でも保持が可
能であることから安定性よ（基板保持を行い得る。さら
には前記凸部先端の球状部の大きさを変化させたり、前
述のように凸部の長さを変化させることで基板保持具に
おける基板の位置関係が容易で明確に判る等の効果もあ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の基板保持用凹凸部の凸部に球第１図 （Ａ） （Ｂ） は、従来の基板保持具の断面構造図ならびに上面図であ
る。 １・・・・・・基板保持具、１−ａ・・・・・・円盤状
板部、１−ｂ・・・・・・基板保持部、１−ｃ・・・・
・・球状部。 代理人の氏名　弁理士　粟野重孝　ほか１名第 図 １−山 基板押入

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 二枚の円盤状板間に複数の基板保持用凹凸部を有する柱
   を備えて成り、前記基板保持用凸部が球状を有すること
   を特長とする基板保持具。