JPH02189503A - 光学部品 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） この発明は、光学的情報処理装置例えば光ピツクアップ
ヘッド等における半導体レーザ光の全反射ミラーなどに
使用して好適な光学部品に関する。

（従来の技術） 一般に、光学部品例えば光ピツクアップヘッドにおける
半導体レーザ光の全反射ミラーは、所定の波長帯のみの
光の透過及び反射の機能を有する高屈折率物質膜と低屈
折率物質膜が交互に積層された誘電体多層膜からなって
おり、製造に当たっては真空蒸着法で成膜している。

（発明が解決しようとする課題） ところが、従来の製造方法では、−船釣に２０層以上と
いうように成膜層数が多く、長時間の蒸着時間を必要と
し、生産性が悪い。

この発明は、上記課題を改芒するためになされたもので
、少ない層数で特定波長範囲を全反射する特性が得られ
る光学部品を提供することを目的とする。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） この発明は、透明ガラス基板上に酸化クロム膜又はシリ
コン膜が付むされ、この酸化クロム膜又はシリコン膜上
に、交互層からなる誘電体多層膜が形成されてなる光学
部品である。尚、透明ガラス基板は光透過率が９０％以
上のガラスである。

（作用） この発明によれば、少ない層数で所要の透過率、反射率
の分光特性が得られ、更にＪｌｌがれが防止されると共
に耐環境性も改善される。

（実施例） 以下、図面を参照して、この発明の一実施例を詳細に説
明する。

光学部品として、光ピツクアップヘッドにおける半導体
レーザ光の全反射ミラーを例にとると、この全反射ミラ
ーの形状はプリズム形又は平板形のものが使用されてお
り、７８０ｎｍ±２０ｎｍの波長の全反射用である。

即ち、この発明による全反射ミラーは第１図に示すよう
に構成され、上記波長の透過率が９２％の硼硅酸ガラス
からなる透明ガラス基板１上に、酸化クロム（Ｃｒ２０
３）膜２が付着されている。

この酸化クロム膜２は、紫外線をカットするもので、第
２図に示すような分光特性を有している。

このような酸化クロム膜２上には、光学的厚さがそれぞ
れλ／４の高屈折率物質膜であるＴｉＯ２膜３と低屈折
率物質膜である５ｉｎ２膜４の交互層が４回繰返し積層
されてなる誘電体多層膜が形成され、更に最終層として
光学的厚さがλ／２のＳｉＯ□膜５が形成されている。

尚、λは中心波長で、例えば約７８０ｎｍである。

ところで、従来から一般に用いられている全反射ミラー
は、透明ガラス基板１上に、’ｒｉｏ２膜３と５ｉｎ２
膜４の交互層が９回繰返し積層されてなる誘電体多層膜
が形成され、更に最終層としてＴｉＯ２膜５が形成され
ている。

従って、この発明ではＴｉＯ２膜３とＳｉＯ２膜４の交
互層が従来に比べ５回減らされた誘電体多層膜でミラー
を形成することが出来、生産性の向上が図れる。又、こ
の発明の全反射ミラーは第３図に示す分光特性を有し、
少ない層数で所要の透過率、反射率の分光特性が得られ
る。

、（変形例） 上記実施例における酸化クロム膜（ｃｒ２０ｉ）の代わ
りにシリコン（Ｓｔ）膜を使用しても、同様効果が得ら
れる。尚、シリコン膜は赤外線をカットするものである
。

［発明の効果］ この発明によれば、透明ガラス基板上に酸化クロム膜又
はシリコン膜を付着し、紫外線或いは可視域、赤外域の
透過率をフラットに下げ、その表面に高屈折率物質膜と
低屈折率物質膜とが交２ｉに積層されてなる少ない誘電
体多層膜が形成されている。

この結果、所要の透過率、反射率の分光特性を有する膜
構成が少なく出来、生産性の良好な光学部品が得られる
。

又、膜の剥がれが防止され、耐環境性が改善される。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例に係る光学部品（全反射ミ
ラー）を示す断面図、第２図は酸化クロムの分光特性を
示す特性曲線図、第３図はこの発明の光学部品（全反射
ミラー）の分光特性を示す特性曲線図である。 １・・・ガラス基板、２・・・酸化クロム膜、３・・・
Ｔ　ｉ　０２膜、４・・・ＳｉＯ＊膜、５・・・Ｓｉｎ
、膜。 第１図 出願人代理人　弁理士　鈴江武彦 魚 ＋０００ λ（ｎｍ）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 透明ガラス基板上に酸化クロム膜又はシリコン膜が付着
   され、この酸化クロム膜又はシリコン膜上に、交互層か
   らなる誘電体多層膜が形成されてなることを特徴とする
   光学部品。