JPH02190706A - パターン終端部検査装置 - Google Patents
パターン終端部検査装置Info
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- JPH02190706A JPH02190706A JP1011334A JP1133489A JPH02190706A JP H02190706 A JPH02190706 A JP H02190706A JP 1011334 A JP1011334 A JP 1011334A JP 1133489 A JP1133489 A JP 1133489A JP H02190706 A JPH02190706 A JP H02190706A
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- 230000007547 defect Effects 0.000 claims abstract description 50
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims abstract description 18
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims abstract description 18
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims abstract description 4
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 11
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、光電スキャナで走査して読出した印刷配線基
板（プリント基板）の検査対象パターンの終端部に欠陥
があるか否かを判定するためのパターン終端部検査装置
に関する。
板（プリント基板）の検査対象パターンの終端部に欠陥
があるか否かを判定するためのパターン終端部検査装置
に関する。
印刷配線基板（プリント基板）の検査対象パターンの終
端部に欠陥があるか否かを判定するための従来の技術と
しては、専用の検査マスクを用いる方法がよく知られて
いる（例えば、武藤・安藤：［プリント基板の目視検査
の自動化」、機械設計、第２９巻、２号、Ｐ８７〜９６
．１９８５）。
端部に欠陥があるか否かを判定するための従来の技術と
しては、専用の検査マスクを用いる方法がよく知られて
いる（例えば、武藤・安藤：［プリント基板の目視検査
の自動化」、機械設計、第２９巻、２号、Ｐ８７〜９６
．１９８５）。
第６図は専用の検査マスクを用いた従来のパターンの終
端部の欠陥の検出手段の一例を示す平面図である。 第
６図において、検査マスク３３上の点がすべてパターン
上になく、かつ検査領域３１にパターン上の点が含まれ
ている場合に、検査対象パターン３２に欠陥があると判
定している。
端部の欠陥の検出手段の一例を示す平面図である。 第
６図において、検査マスク３３上の点がすべてパターン
上になく、かつ検査領域３１にパターン上の点が含まれ
ている場合に、検査対象パターン３２に欠陥があると判
定している。
上述したような従来のパターンの終端部の欠陥の検出手
段は、検査マスクに基いて判定を行っているため、欠陥
の形状によっては検出ができないことがあるという欠点
がある。
段は、検査マスクに基いて判定を行っているため、欠陥
の形状によっては検出ができないことがあるという欠点
がある。
本発明のパターン終端部検査装置は、印刷配線基板の検
査対象パターンを走査して読出す光電変換スキャナと、
前記光電変換スキャナが読出した入力画像信号を“０″
および“１”の２値化画像信号に変換して出力する２値
化回路と、前記２値化画像信号を入力して前記２値化画
像信号にあらかじめ設定されている寸法の線除去マスク
をラスタースキャンに同期して走査することによって前
記検査対象パターンの終端部のみを検出して終端検出画
像信号を送出する終端部検出回路と、前記終端検出画像
信号を入力してその終端部の重心位置を検出して重心位
置信号を出力する重心検出回路と、前記重心位置信号を
中心としてあらかじめ設定されている寸法の欠損検出ウ
ィンドおよび突起・検出ウィンドを含む検出ウィンドを
発生するウィンド発生回路と、前記検出ウィンドに含ま
れる前記欠損検出ウィンドの内部の点で前記２値化画像
信号のパターン上にない点の有無によって欠損の有無の
判定を行なって欠損信号を出力する欠損検出回路と、前
記検出ウィンドに含まれる前記突起検出ウィンドの外部
の点で前記２値化画像信号のパターン上にある点のみを
抽出して突起抽出画像信号を出力する突起抽出回路と、
前記突起抽出画像信号からあらかじめ設定されている一
定の幅以下の部分を突起部として検出して突起信号を出
力する突起検出回路と、前記欠損信号および前記突起信
号から前記検査対象パターンの終端部の欠陥の有無を判
定して欠陥信号を出力する欠陥判定回路とを備えている
。
査対象パターンを走査して読出す光電変換スキャナと、
前記光電変換スキャナが読出した入力画像信号を“０″
および“１”の２値化画像信号に変換して出力する２値
化回路と、前記２値化画像信号を入力して前記２値化画
像信号にあらかじめ設定されている寸法の線除去マスク
をラスタースキャンに同期して走査することによって前
記検査対象パターンの終端部のみを検出して終端検出画
像信号を送出する終端部検出回路と、前記終端検出画像
信号を入力してその終端部の重心位置を検出して重心位
置信号を出力する重心検出回路と、前記重心位置信号を
中心としてあらかじめ設定されている寸法の欠損検出ウ
ィンドおよび突起・検出ウィンドを含む検出ウィンドを
発生するウィンド発生回路と、前記検出ウィンドに含ま
れる前記欠損検出ウィンドの内部の点で前記２値化画像
信号のパターン上にない点の有無によって欠損の有無の
判定を行なって欠損信号を出力する欠損検出回路と、前
記検出ウィンドに含まれる前記突起検出ウィンドの外部
の点で前記２値化画像信号のパターン上にある点のみを
抽出して突起抽出画像信号を出力する突起抽出回路と、
前記突起抽出画像信号からあらかじめ設定されている一
定の幅以下の部分を突起部として検出して突起信号を出
力する突起検出回路と、前記欠損信号および前記突起信
号から前記検査対象パターンの終端部の欠陥の有無を判
定して欠陥信号を出力する欠陥判定回路とを備えている
。
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図である。
第１図において、光電変換スキャナ１を走査して読出し
た入力画像信号２は、２値化回路３によって“０”およ
び１°′の２値化画像信号４に変換して出力される。こ
の２値化画像信号４を入力する終端部検出回路５は、２
値化画像信号４にあらかしめ設定されている寸法の線除
去マスクをラスタースキャンに同期して走査し、パター
ンの終端部のみを検出して終端検出画像信号６を送出す
る０重心検出回路７は、終端検出画像信号６を入力して
その終端部の重心位置を検出して重心位置信号８を出力
する。ウィンド発生回路９は、重心位置信号８を中心と
してあらかじめ設定されている寸法の欠損検出ウィンド
および突起検出ウィンドを含む検出ウィンド１０を発生
する。欠損検出回路１１は、検出ウィンド１０に含まれ
る欠損検出ウィンドの内部の点で、２値化画像信号４の
パターン上にない点の有無によって欠損の有無の判定を
行なって欠損信号１２を出力する。突起抽出回路１３は
、検出ウィンド１０に含まれる突起検出ウィンドの外部
の点で、２値化画像信号４のパターン上にある点のみを
抽出して突起抽出画像信号１４を出力する。突起検出回
路１５は、突起抽出画像信号１４からあらかじめ設定さ
れている一定の幅以下の部分を突起部として検出して突
起信号１６を出力する。欠陥判定回路１７は、欠損信号
１２および突起信号１６からパターンの終端部の欠陥の
有無を判定して欠陥信号１８を出力する。
た入力画像信号２は、２値化回路３によって“０”およ
び１°′の２値化画像信号４に変換して出力される。こ
の２値化画像信号４を入力する終端部検出回路５は、２
値化画像信号４にあらかしめ設定されている寸法の線除
去マスクをラスタースキャンに同期して走査し、パター
ンの終端部のみを検出して終端検出画像信号６を送出す
る０重心検出回路７は、終端検出画像信号６を入力して
その終端部の重心位置を検出して重心位置信号８を出力
する。ウィンド発生回路９は、重心位置信号８を中心と
してあらかじめ設定されている寸法の欠損検出ウィンド
および突起検出ウィンドを含む検出ウィンド１０を発生
する。欠損検出回路１１は、検出ウィンド１０に含まれ
る欠損検出ウィンドの内部の点で、２値化画像信号４の
パターン上にない点の有無によって欠損の有無の判定を
行なって欠損信号１２を出力する。突起抽出回路１３は
、検出ウィンド１０に含まれる突起検出ウィンドの外部
の点で、２値化画像信号４のパターン上にある点のみを
抽出して突起抽出画像信号１４を出力する。突起検出回
路１５は、突起抽出画像信号１４からあらかじめ設定さ
れている一定の幅以下の部分を突起部として検出して突
起信号１６を出力する。欠陥判定回路１７は、欠損信号
１２および突起信号１６からパターンの終端部の欠陥の
有無を判定して欠陥信号１８を出力する。
次に第２図〜第５図を参照して各部の動作の詳細につい
て説明する。
て説明する。
第２図は第１図の実施例の終端部検出回路の動作原理を
示す説明図である。
示す説明図である。
第２図において、入力画像２０に対して、あらかじめ設
定されている寸法の線除去マスク２３をラスタースキャ
ンに同期して走査し、線除去マスク２３の内部の点がす
べてパターン上にある点のみを取出す。
定されている寸法の線除去マスク２３をラスタースキャ
ンに同期して走査し、線除去マスク２３の内部の点がす
べてパターン上にある点のみを取出す。
第３図は第１図の実施例の終端部検出回路で検出された
終端検出画像の一例を示す画像図である。 重心検出回
路７は、第３図に示す終端位置信号２５の重心位置を求
める。
終端検出画像の一例を示す画像図である。 重心検出回
路７は、第３図に示す終端位置信号２５の重心位置を求
める。
第４図は第１図の実施例の欠損検出および突起抽出方法
を示す説明図である。
を示す説明図である。
第４図において、欠損検出ウィンド２６の内部の点でパ
ターン上にない点を求めると、欠損部２９が検出できる
。また、突起検出ウィンド２７の外部の点でパターン上
にある点を求めると、突起抽出画像が取出せる。
ターン上にない点を求めると、欠損部２９が検出できる
。また、突起検出ウィンド２７の外部の点でパターン上
にある点を求めると、突起抽出画像が取出せる。
第５図は上述のようにして取出した突起抽出画像の一例
を示す平面図である。
を示す平面図である。
第５図における突起抽出画像３０に対して、あらかじめ
設定されている一定の幅以下の条件を用いて突起部２８
を検出することができる。
設定されている一定の幅以下の条件を用いて突起部２８
を検出することができる。
以上説明したように、本発明のパターン終端部検査装置
は、従来使用していた検査マスクの代りに、欠損検出ウ
ィンドと突起検出ウィンドとを有する検出ウィンドを用
いてパターンの終端部の検出して欠損部と突起部の検出
を行なうことができるため、欠陥の形状に無関係に精度
よく欠陥部の検出を行なうことができるという効果があ
る。
は、従来使用していた検査マスクの代りに、欠損検出ウ
ィンドと突起検出ウィンドとを有する検出ウィンドを用
いてパターンの終端部の検出して欠損部と突起部の検出
を行なうことができるため、欠陥の形状に無関係に精度
よく欠陥部の検出を行なうことができるという効果があ
る。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図、第２図は
第１図の実施例の終端部検出回路の動作原理を示す説明
図、第３図は第１図の実施例の終端部検出回路で検出さ
れた終端検出画像の一例を示す画像図、第４図は第１図
の実施例の欠損検出および突起抽出方法を示す説明図、
第５図は突起抽出画像の一例を示す平面図、第６図は専
用の検査マスクを用いた従来のパターン欠陥の検出手段
の一例を示す平面図である。 １・・・・・・光電変換スキャナ、２・・・・・・入力
画像信号、３・・・・・・２値化回路、４・・・・・・
２値化画像信号、５・・・・・・終端部検出回路、６・
・・・・・終端検出画像信号、７・・・・・・重心検出
回路、８・・・・・・重心位置信号、９・・・・・・ウ
ィンド発生回路、１０・・・・・・検出ウィンド、１１
・・・・・・欠損検出回路、１２・旧・・欠損信号、１
３・・・・・・突起抽出回路、１４・・・・・・突起抽
出画像信号、１５・・・・・・突起検出回路、１６・・
・・・・突起信号、１７・・・・・・欠陥判定回路、１
８・・・−・・欠陥信号。
第１図の実施例の終端部検出回路の動作原理を示す説明
図、第３図は第１図の実施例の終端部検出回路で検出さ
れた終端検出画像の一例を示す画像図、第４図は第１図
の実施例の欠損検出および突起抽出方法を示す説明図、
第５図は突起抽出画像の一例を示す平面図、第６図は専
用の検査マスクを用いた従来のパターン欠陥の検出手段
の一例を示す平面図である。 １・・・・・・光電変換スキャナ、２・・・・・・入力
画像信号、３・・・・・・２値化回路、４・・・・・・
２値化画像信号、５・・・・・・終端部検出回路、６・
・・・・・終端検出画像信号、７・・・・・・重心検出
回路、８・・・・・・重心位置信号、９・・・・・・ウ
ィンド発生回路、１０・・・・・・検出ウィンド、１１
・・・・・・欠損検出回路、１２・旧・・欠損信号、１
３・・・・・・突起抽出回路、１４・・・・・・突起抽
出画像信号、１５・・・・・・突起検出回路、１６・・
・・・・突起信号、１７・・・・・・欠陥判定回路、１
８・・・−・・欠陥信号。
Claims (1)
- 印刷配線基板の検査対象パターンを走査して読出す光電
変換スキャナと、前記光電変換スキャナが読出した入力
画像信号を“０”および“１”の２値化画像信号に変換
して出力する２値化回路と、前記２値化画像信号を入力
して前記２値化画像信号にあらかじめ設定されている寸
法の線除去マスクをラスタースキャンに同期して走査す
ることによって前記検査対象パターンの終端部のみを検
出して終端検出画像信号を送出する終端部検出回路と、
前記終端検出画像信号を入力してその終端部の重心位置
を検出して重心位置信号を出力する重心検出回路と、前
記重心位置信号を中心としてあらかじめ設定されている
寸法の欠損検出ウインドおよび突起検出ウインドを含む
検出ウインドを発生するウインド発生回路と、前記検出
ウインドに含まれる前記欠損検出ウインドの内部の点で
前記２値化画像信号のパターン上にない点の有無によっ
て欠損の有無の判定を行なって欠損信号を出力する欠損
検出回路と、前記検出ウインドに含まれる前記突起検出
ウインドの外部の点で前記２値化画像信号のパターン上
にある点のみを抽出して突起抽出画像信号を出力する突
起抽出回路と、前記突起抽出画像信号からあらかじめ設
定されている一定の幅以下の部分を突起部として検出し
て突起信号を出力する突起検出回路と、前記欠損信号お
よび前記突起信号から前記検査対象パターンの終端部の
欠陥の有無を判定して欠陥信号を出力する欠陥判定回路
とを備えることを特徴とするパターン終端部検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1011334A JPH02190706A (ja) | 1989-01-20 | 1989-01-20 | パターン終端部検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1011334A JPH02190706A (ja) | 1989-01-20 | 1989-01-20 | パターン終端部検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02190706A true JPH02190706A (ja) | 1990-07-26 |
Family
ID=11775136
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1011334A Pending JPH02190706A (ja) | 1989-01-20 | 1989-01-20 | パターン終端部検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02190706A (ja) |
-
1989
- 1989-01-20 JP JP1011334A patent/JPH02190706A/ja active Pending
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