JPH02190824A - 液晶表示素子の製造方法 - Google Patents
液晶表示素子の製造方法Info
- Publication number
- JPH02190824A JPH02190824A JP977189A JP977189A JPH02190824A JP H02190824 A JPH02190824 A JP H02190824A JP 977189 A JP977189 A JP 977189A JP 977189 A JP977189 A JP 977189A JP H02190824 A JPH02190824 A JP H02190824A
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- electrodes
- electrode
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
製造工程、特にラビング工程時に発生する静電気による
スパークに起因する欠陥の無い液晶表示素子の製造方法
。
スパークに起因する欠陥の無い液晶表示素子の製造方法
。
特にTN型液晶表示セルの基板には配向処理が施され、
それによって液晶分子の配向方向が規定されている、そ
して上記配向処理の一方法としてラビング法がある。そ
の−例としての手順を述べる。
それによって液晶分子の配向方向が規定されている、そ
して上記配向処理の一方法としてラビング法がある。そ
の−例としての手順を述べる。
(1)表示電極(TTO膜等がパターニングされたもの
)を有する上、下のガラス基板を用意する。
)を有する上、下のガラス基板を用意する。
(2)上記表示電極上に、ポリイミド膜等を印刷コーテ
ィングするか、又はMgO1MgFz等の誘電体ull
!を真空蒸着する等したあと、その表面を絹布、化繊布
、羊毛布などで特定の方向にラビングする。
ィングするか、又はMgO1MgFz等の誘電体ull
!を真空蒸着する等したあと、その表面を絹布、化繊布
、羊毛布などで特定の方向にラビングする。
以上のようにすれば液晶分子の長軸方向は上記ラビング
方向に配列される。ここで不都合な点は上記ラビング時
、基板表面に静電気が多量に発生し、そのため表示電極
で相互間隔が狭い所でスパークが発生し、このスパーク
によって配向膜の表面が乱れ、これによって液晶分子の
配向が良好にいかないという欠点があった。
方向に配列される。ここで不都合な点は上記ラビング時
、基板表面に静電気が多量に発生し、そのため表示電極
で相互間隔が狭い所でスパークが発生し、このスパーク
によって配向膜の表面が乱れ、これによって液晶分子の
配向が良好にいかないという欠点があった。
これに対して特公昭57−56044号公報においては
、表示電極パターンを短絡する手段を設けておき、′r
11極rjUに電位差が生ずるのを防止し。
、表示電極パターンを短絡する手段を設けておき、′r
11極rjUに電位差が生ずるのを防止し。
ラビング配向処理終了後上記短絡パターンを除去する方
法が開示されている。
法が開示されている。
しかしながら上記従来技術は次の欠点を有している。
ラビング配向処理工程前に電極間のタッチ不良等がある
か否かをチエツクし、タッチ不良の存在する基板は排除
する必要がある。しかしながら上記従来技術では各電極
があらかじめ短絡されてしまっているため、このチエツ
クが不可能である。
か否かをチエツクし、タッチ不良の存在する基板は排除
する必要がある。しかしながら上記従来技術では各電極
があらかじめ短絡されてしまっているため、このチエツ
クが不可能である。
本発明はラビング配向処理時に発生する静電気に起因す
るスパークによる配向膜の欠陥の発生を防止するととも
に、素子が完成する以前の段階において電極間のタッチ
不良の有無を検査することを可能とするものである。
るスパークによる配向膜の欠陥の発生を防止するととも
に、素子が完成する以前の段階において電極間のタッチ
不良の有無を検査することを可能とするものである。
上記目的を達成するために本発明は、ラビング処理前に
1表示電極に対し、表示部以外の所で表示部よりも小さ
な電圧で放電し得る放電電極を設け、ラビング配向処理
後、この放電電極を除去するものである。
1表示電極に対し、表示部以外の所で表示部よりも小さ
な電圧で放電し得る放電電極を設け、ラビング配向処理
後、この放電電極を除去するものである。
ラビング配向処理時に静電気が発生して電極間に電位差
が生じても、表示電極間で放電が生ずる以前に放電電極
において放電が生ずるため、表示部の配向膜に対して悪
影響を与えることがない。
が生じても、表示電極間で放電が生ずる以前に放電電極
において放電が生ずるため、表示部の配向膜に対して悪
影響を与えることがない。
第1図は本発明の実施例の1つである。同図において(
a)は、放電電極を有する状態の平面図、(b)はその
断面図、(C゛)は、放電電極を除去した液晶表示素子
の断面図、(d)は、除去された放電電極部を示す。1
,2はガラス基板であり、液晶5はスペーサ6を介して
ガラス基板間に形成された空間に封入される。3は表示
電極であり、ガラス基板上に形成されたITO(In、
Sn。
a)は、放電電極を有する状態の平面図、(b)はその
断面図、(C゛)は、放電電極を除去した液晶表示素子
の断面図、(d)は、除去された放電電極部を示す。1
,2はガラス基板であり、液晶5はスペーサ6を介して
ガラス基板間に形成された空間に封入される。3は表示
電極であり、ガラス基板上に形成されたITO(In、
Sn。
○の合金)薄膜をパターニングしたものである。
4は液晶5を配向させるための配向膜である。配向膜に
は印刷塗布された650人程度のポリイミド膜等の有機
膜又は、真空蒸着、スパッタリング等されたMgO、M
g Fz、 S i Ox、Ce Oz等の誘電体薄
膜等が用いられる。配向膜4は表示電極3の上に被覆形
成され、液晶5と接する。7は放電電極であり、放電パ
ターン8と、短絡パターン9より成る。第1図において
は、液晶表示素子完成後、4ケの電極に同一電位が印加
されると仮定して、これらの電極を短絡パターンと接続
しであるが、これは必須ではなく、すべての電極に対し
て放電電極を形成してもよい。
は印刷塗布された650人程度のポリイミド膜等の有機
膜又は、真空蒸着、スパッタリング等されたMgO、M
g Fz、 S i Ox、Ce Oz等の誘電体薄
膜等が用いられる。配向膜4は表示電極3の上に被覆形
成され、液晶5と接する。7は放電電極であり、放電パ
ターン8と、短絡パターン9より成る。第1図において
は、液晶表示素子完成後、4ケの電極に同一電位が印加
されると仮定して、これらの電極を短絡パターンと接続
しであるが、これは必須ではなく、すべての電極に対し
て放電電極を形成してもよい。
液晶分子の長軸を所定の方向に配向させるためには、配
向膜4の表面を、絹布、化繊布、羊毛布等によって特定
の方向にラビング配向させる必要がある。
向膜4の表面を、絹布、化繊布、羊毛布等によって特定
の方向にラビング配向させる必要がある。
このときに静電気が発生する。従来では静電気によって
生じた電極間電圧により、第1図の9に示すような表示
電極間隔が小さい所が放電をおこし、これによって配向
膜4に欠陥を生ずるという欠点を持っていた。因みに表
示電極間隔の精細なパターンでは30μm程度になる。
生じた電極間電圧により、第1図の9に示すような表示
電極間隔が小さい所が放電をおこし、これによって配向
膜4に欠陥を生ずるという欠点を持っていた。因みに表
示電極間隔の精細なパターンでは30μm程度になる。
これに対して本発明では故f11m極7を設けることに
より、静電気によって電極間に電位差が発生しても1表
示部での放電は防止することができる。
より、静電気によって電極間に電位差が発生しても1表
示部での放電は防止することができる。
モして配向膜4のラビング配向処理が終った後第1図の
(d)に示すように放電電極を除去する。
(d)に示すように放電電極を除去する。
第1図の(d)は(a)における切断線11で切断した
例であるが、切断線はこれに限らず、12のように放電
パターンが細くなり出した所、又は、工3のように放電
パターンと短絡パターンの間で切断しても良い、いずれ
にせよ短絡パターンが除去されれば良い。
例であるが、切断線はこれに限らず、12のように放電
パターンが細くなり出した所、又は、工3のように放電
パターンと短絡パターンの間で切断しても良い、いずれ
にせよ短絡パターンが除去されれば良い。
第2図は第1図の変形例である1本実施例の特徴は短絡
パターンと表示電極との接続部33を細くしたものであ
る。短絡パターンとの接続部33のみでなく、放電パタ
ーン部34を細くしてもよい。これは外観を勘案して決
めればよい。
パターンと表示電極との接続部33を細くしたものであ
る。短絡パターンとの接続部33のみでなく、放電パタ
ーン部34を細くしてもよい。これは外観を勘案して決
めればよい。
第1図(a)の7に示す放電電極の拡大図を第3図(a
)に示す。第1図に示す切断線11,12.13は第3
図(a)における切断線11,12.13に対応してい
る。放電電極の形状は第3図(a)のみに限らず、第3
図(b)、(Q)あるいは(d)等、表示電極よりも放
電し易ければよい。さらには放電電極の放電開始電圧は
表示電極の放電開始電圧の1/2以下とすることが望ま
しい。理由は1対の表示電極に対して、放f!!電極は
2ヶ直列につながるからである。放電電極部の放電開始
電圧を低くするためには電極形状を放電し易い形に選ぶ
か、電極間ギャップを小さくすればよい。しかしながら
1例えば第3図(a)の突起43を鋭くすれば放電電圧
は低くなるが、エツチング等によるパターニングの制約
から、形状を鋭くすることには限度がある。したがって
電極間ギャップを小さくする必要がある。実験によれば
。
)に示す。第1図に示す切断線11,12.13は第3
図(a)における切断線11,12.13に対応してい
る。放電電極の形状は第3図(a)のみに限らず、第3
図(b)、(Q)あるいは(d)等、表示電極よりも放
電し易ければよい。さらには放電電極の放電開始電圧は
表示電極の放電開始電圧の1/2以下とすることが望ま
しい。理由は1対の表示電極に対して、放f!!電極は
2ヶ直列につながるからである。放電電極部の放電開始
電圧を低くするためには電極形状を放電し易い形に選ぶ
か、電極間ギャップを小さくすればよい。しかしながら
1例えば第3図(a)の突起43を鋭くすれば放電電圧
は低くなるが、エツチング等によるパターニングの制約
から、形状を鋭くすることには限度がある。したがって
電極間ギャップを小さくする必要がある。実験によれば
。
放′#、電極が第3図(a)のような形状の場合、同図
における電極間ギャップQは表示電極部の最小ギャップ
の1/2以下とすることが望ましい。
における電極間ギャップQは表示電極部の最小ギャップ
の1/2以下とすることが望ましい。
第1図では比較的単純な表示部の形状を示したが、ドツ
トマトリクスのような電極数が多く、かつ複雑なパター
ンでも同様な効果を有する。又、第1図、第2図におい
ては端子が基板の片側にのみ存在するが、両側あるいは
4辺に端子が存在する場合も以上の説明と全く同様のこ
とが言える。
トマトリクスのような電極数が多く、かつ複雑なパター
ンでも同様な効果を有する。又、第1図、第2図におい
ては端子が基板の片側にのみ存在するが、両側あるいは
4辺に端子が存在する場合も以上の説明と全く同様のこ
とが言える。
本発明によれば、ラビング配向処理時に発生する静電気
に起因するスパークによる配向膜の欠陥を防止すること
ができる。さらに液晶表示素子が完成する前に表示電極
のタッチ不良の有無を検査することができるので、良品
の部品又はf、製品のみを加工することができ、最終製
品歩留りを向上させることができる。
に起因するスパークによる配向膜の欠陥を防止すること
ができる。さらに液晶表示素子が完成する前に表示電極
のタッチ不良の有無を検査することができるので、良品
の部品又はf、製品のみを加工することができ、最終製
品歩留りを向上させることができる。
第1図(a)は本発明の一実施例の平面図、第1図(b
)は断面図、第1図(c)は放電電極部が除去された状
態の平面図、第1図(d)は除去された放電電極部の平
面図、第2図(a)は本発明の他の実施例の平面図、第
2図(b)は同じく放電電極部が除去された状態の平面
図、第3図(a)、(b)、(c)、(d)は放電電極
の実施例を示す図である。 1.2・・・ガラス基板、3・・・表示電極、4・・・
配向膜、5・・・液晶、6・・・スペーサ、7・・・放
電電極、8・・・放電パターン、9・・・短絡パターン
、1o・・・接近した表示電極、11.12.13・・
・切断線、43・・・第3図 αし) (む
)は断面図、第1図(c)は放電電極部が除去された状
態の平面図、第1図(d)は除去された放電電極部の平
面図、第2図(a)は本発明の他の実施例の平面図、第
2図(b)は同じく放電電極部が除去された状態の平面
図、第3図(a)、(b)、(c)、(d)は放電電極
の実施例を示す図である。 1.2・・・ガラス基板、3・・・表示電極、4・・・
配向膜、5・・・液晶、6・・・スペーサ、7・・・放
電電極、8・・・放電パターン、9・・・短絡パターン
、1o・・・接近した表示電極、11.12.13・・
・切断線、43・・・第3図 αし) (む
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、ラビング法によって配向処理を行う液晶表示素子の
製造方法において、ラビング処理前に、表示部で隣接す
る電極間の放電開始電圧よりも低い電圧で電極間の放電
をおこす手段を同一基板上に有し、ラビング処理後、上
記放電をおこすための手段を解除するための手段を設け
たことを特徴とする液晶表示素子の製造方法。 2、前記放電をおこすための手段として、表示電極と同
一物質を用いて、同一基板上に放電電極をパターニング
し、この放電電極は短絡線と、各表示電極と接続された
放電パターンとからなることを特徴とする特許請求の範
囲第1項記載の液晶表示素子の製造方法。 3、前記短絡線は1以上の表示電極と接続されているこ
とを特徴とする特許請求の範囲第2項記載の液晶表示素
子の製造方法。 4、前記放電電極と短絡線との間隔は、表示部での電極
間距離の最小値の1/2以下であることを特徴とする特
許請求の範囲第2項記載の液晶表示素子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP977189A JPH02190824A (ja) | 1989-01-20 | 1989-01-20 | 液晶表示素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP977189A JPH02190824A (ja) | 1989-01-20 | 1989-01-20 | 液晶表示素子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02190824A true JPH02190824A (ja) | 1990-07-26 |
Family
ID=11729524
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP977189A Pending JPH02190824A (ja) | 1989-01-20 | 1989-01-20 | 液晶表示素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02190824A (ja) |
-
1989
- 1989-01-20 JP JP977189A patent/JPH02190824A/ja active Pending
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