JPH02192464A - 炭化ケイ素焼結多孔体の製造方法 - Google Patents

炭化ケイ素焼結多孔体の製造方法

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JPH02192464A
JPH02192464A JP63273143A JP27314388A JPH02192464A JP H02192464 A JPH02192464 A JP H02192464A JP 63273143 A JP63273143 A JP 63273143A JP 27314388 A JP27314388 A JP 27314388A JP H02192464 A JPH02192464 A JP H02192464A
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JP
Japan
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silicon carbide
sintering
sintered
hour
temperature
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Application number
JP63273143A
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English (en)
Inventor
Hidetoshi Yamauchi
山内 英俊
Yoshimi Ohashi
大橋 義美
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Ibiden Co Ltd
Original Assignee
Ibiden Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、炭化ケイ素焼結多孔体の製造方法に関し、さ
らに詳しくは、自動車、発電機等の内燃機関、窯業、金
属工業における工業炉等からの徘ガス中に含まれる微粒
炭素を捕集するフィルターとして用いられる炭化ケイ素
焼結多孔体の製造方法に関する。
[従来の技術及び発明が解決しようとする課題]従来、
徘ガス中に含まれる微粒炭素を捕集し除去するために、
排気経路中にセラミック製焼結多孔体をフィルターとし
て用いることが多く試みられている。
例えば、コージェライトや炭化ケイ素を主成分とするハ
ニカム状のものが多く用いられている。
しかし、コージェライトを主成分とするものにあっては
、押出し成形される際にハニカム状焼結多孔体隔壁のセ
ラミック粒子が押出し方向に配向し易いため、流体物が
隔壁を通過し難く圧力損失が大きくなるという問題があ
る。また、セラミック粒子が板状で、かつ、表面が比較
的平滑であるために、流体物との接触表面積が少なく、
隔壁間の熱移動等を効率よく行なうことができないとい
う問題がある。
一方、炭化ケイ素を主成分とするものは、コージェライ
トを主成分とするものより融点が高く、フィルター再使
用のための、高温加熱を行なっても、それに耐えること
ができる。しかし、隔壁中に存在する気孔の占める割合
が30〜40%と比較的少ないため、通気抵抗が大きく
、かつ、流体物との接触有効表面積が少な(、触媒坦体
やフィルターなどの用途には適さないものが多いという
問題がある。
また、炭化ケイ素を主成分とするものは、焼結条件や助
剤などの影響を受けやすく、特に、形状が大きくなると
よりその影響が大きくなり、結晶形状や気孔率の均一性
に欠けるという問題がある。
本発明は、上記問題点を解消し、高い気孔率と均一な結
晶径と気孔径を有し、流体(排ガス)との接触有効表面
積が大きく、効率よく流体中の微粒炭素を捕集し除去す
ることができる炭化ケイ素焼結多孔体の製造方法の提供
を目的とする。
[課題を解決するための手段] 本発明の炭化ケイ素焼結多孔体の製造方法は、炭化ケイ
素粉末を出発原料とし、必要により結晶成長助剤を添加
し混合物を得る第1工程;該混合物に成形用結合剤を添
加し所定の形状に成形した生成形体を得る第2工程:該
生成形体を、不活性ガス雰囲気下において、脱脂処理後
1500〜1900℃の温度範囲内で一次焼結する第3
工程;該一次焼結体を、不活性ガス雰囲気下において、
2000〜2400℃の温度範囲内で二次焼結する第4
工程:よりなる炭化ケイ素焼結多孔体の製造方法におい
て、該第4工程における二次焼結前に、第3工程で得ら
れた一次焼結体を、酸化雰囲気下、400〜900℃の
温度範囲内で加熱する脱炭処理を行なうことを特徴とす
る。
まず、第1工程においては、β型の炭化ケイ素粉末を出
発原料とすることが好ましい。その理由は、β型の炭化
ケイ素結晶は比較的低温で合成される低温安定型結晶で
あり、焼結に際し、その−部が4日、6Hあるいは15
R型等の高温安定型のα型結晶に相転移して板状結晶を
形成し易いからである。また、結晶の成長性にも優れて
いるからである。特に、β型炭化ケイ素を60重量%以
上含有する出発原料を用いることにより、本発明の目的
とする焼結多孔体を好適に製造することができる。なか
でも、β型炭化ケイ素を70重量%以上含有する出発原
料を使用することが有利である。
結晶成長助剤としては、例えば、アルミニウム、ホウ素
、鉄、炭素等が挙げられる。
上記した物質のうち、アルミニウム、ホウ素、鉄は、炭
化ケイ素の結晶粒成長の速度を速(する働きを有してい
る。したがって、これらの物質の存在する箇所では極め
て多くの板状結晶の核が生成される。そして、それぞれ
の部分で板状結晶の発達が起こる結果、形成される板状
結晶の大きさが制限されるので、これらの物質が多く存
在する箇所はど細かい組織の三次元網目構造とすること
ができる。
これに対し、炭素は上記物質とは逆に炭化ケイ素の結晶
粒成長の速度を遅くする働きを有している。したがって
、これらの物質の存在する箇所では板状結晶の核生成が
抑制されるので、形成される板状結晶の数は相対的に少
なくなる。その結果、それぞれの板状結晶が比較的大き
く成長するので、これらの物質が多く存在する箇所はど
大きな組織の三次元網目構造とすることができる。
次に、第2工程において、第1工程において得られた混
合物にメチルセルロース、ポリビニルアルコール、水ガ
ラス等の成形用結合剤を添加し、押出し成形、シート成
形、プレス成形等の方法により所定の形状1例えばハニ
カム状に成形した生成形体とする。
第3工程においては、まず、第2工程で得られた生成形
体を不活性ガス雰囲気下、700〜800℃で1〜2時
間加熱して脱脂処理を行なう。しかる後、同じく不活性
ガス雰囲気下、1500〜1900℃の温度範囲内で0
.5〜2時間焼結して一次焼結体とする。
後述する二次焼結処理の温度より低温で一次焼結するの
は、多孔体の加工あるいは表面処理等を容易にするため
である。また、焼結温度を1500〜1900℃の温度
範囲とするのは、多孔体の加工をする上において容易な
強度とするとともに生成形体中の炭素に影響のない温度
とするためである。
例えば、コーティング処理や連続生成形した後、切断あ
るいは充填等により成形加工を行なう場合において、生
成形体の状態では処理および加工が困難であり、また、
後加工処理が必要な場合に、二次焼結した後に後加工を
施そうとすると、セラミック材質のため硬くて機械加工
等を施すことが非常に困難となりコストの面より経済的
でない。
本発明においては、第4工程において、二次焼結処理を
行なう前に、−次焼結体を、酸化雰囲気下、400〜9
00℃の温度範囲内で1〜4時間加熱し脱炭処理を行な
うことを最大の特徴とする。これは、均一な結晶径と気
孔径並びに高い気孔率を有する多孔体とするために、−
次焼結で残留した炭素を除去するために行なう処理であ
る6すなわち、上記したように、−次焼結後に残留した
炭素は、二次焼結時に結晶成長抑制剤として作用し、均
一な気孔径や高い気孔率の多孔体とすることが困難とな
る。
特に、形状が大きい、例えば、外径50mm以上の多孔
体においては、残留炭素濃度が部分により異なり、結晶
成長速度に相違が生じるので、均一で大きな気孔径とす
ることが困難となる。
そこで本発明の製造方法は、この脱炭処理を行なうこと
により多孔体全体にわたって均一な結晶径と気孔径とを
有する焼結多孔体を製造しようとするものである。脱炭
処理の温度が400℃より低いと脱炭速度が遅く実質的
に脱炭が困難となる。また、900℃を超えると炭素と
ともにマドフックスの炭化ケイ素が酸化するおそれがあ
る。
好ましくは500〜750℃の範囲である。酸化雰囲気
としては、通常、空気中や酸素中を利用することができ
るが、CO□ガスを含んだ雰囲気はマイルドな酸化が進
みマトリックスの炭化ケイ素の酸化を抑えられる。
かかる処理を施すことにより、本発明により製造される
炭化ケイ素焼結多孔体の平均電孔径な5〜50μmの範
囲とすることができる。5μm未満の場合には、炭化ケ
イ素結晶によって構成される気孔が、結晶の占める容積
に比べて小さくなり、高い気孔率と大きな気孔径を有す
ることが困難となる。また通気抵抗も高くなる。一方、
50μmを超えた場合には、板状結晶の接合部の強度が
低くなるため、焼結多孔体自体の強度が著しく低いもの
となり、その結果、焼結多孔体の保形をも困難にする。
平均気孔径を25〜30μmの範囲とすることがより好
ましい。
次に、脱炭処理を行なった一次焼結体を不活性ガス雰囲
気下、2000〜2400℃の温度範囲内で2〜6時間
二次焼結処理を行なう。
なお、ハニカム構造体の場合には、通常、ハニカム状の
生成形体を成形した後、あるいは脱炭処理を行なった後
、所定の貫通孔の端部に例えば該生成形体と同材料から
成る封止剤を充填して、焼結処理を行なうことになる。
不活性ガス雰囲気下、外気の侵入を遮断しつつ焼結する
ことにより、隣接する炭化ケイ素結晶同士を融合させ、
かつ、炭化ケイ素の板状結晶の成長を促進させることが
できる。したがって、焼結多孔体を、板状結晶が複雑な
状態で絡み合った三次元の網目構造とすることができる
。その結果、流体(排ガス)と接触する有効表面積が太
き(なり、微粒炭素の捕集効率を高めることができる。
また、ハニカム構造体の場合には、ハエカムの軸方向か
らの流れを隔壁内に取り込み易くなる。
さらに、隔壁表面で生じる流体の流れが乱流となるため
、流れ内における拡散、撹拌等による均一化が促進され
、隔壁表面で生じる熱移動、化学反応、物質移動等が有
効に行なわれるようになる。
本発明において、上記した各工程における焼結処理を行
なう場合、雰囲気や焼結温度等の焼結条件が変わるたび
に多孔体を容器から取り出し雰囲気や温度を変えて焼結
処理してもよく、また、そのつど外部に取り出すのでは
なく同じ容器内に多孔体を入れたまま雰囲気や温度を変
化させる連続焼結処理してもよい、なお、連続焼結を行
なう場合は、酸化雰囲気で行なう脱炭処理を行なっても
容器が燃焼しないように炭化ケイ素、炭化チタン、炭化
ホウ素等からなる容器を用いる必要がある。
このようにして得られた炭化ケイ素焼結多孔体は、多孔
体全体にわたって高い気孔率(20〜95容量%)と大
きな気孔径(5〜50μm)を有しながら十分な強度を
有する。また、ハニカム状焼結多孔体の隔壁等の微粒炭
素捕集部位は、炭化ケイ素の板状結晶により構成される
三次元網目構造となっており、効率よく微粒炭素を捕集
して除去することができる。
なお、このようにして得られた焼結多孔体を、さらに、
200〜1O−3torrの減圧下、1700〜230
0℃の温度範囲内で焼結処理してもよい。
かかる処理を施すと、10−1〜10−3Ω・Cmとい
う低い比抵抗を有する焼結多孔体とすることができる。
したがって、フィルター再使用時の加熱の際に、直接通
電により、しかも低電圧で全体を均一に加熱することが
できる。
[実施例] 実施例1 出発原料として使用した炭化ケイ素微粉末は、80重量
%がβ型結晶からなるものを用いた。この出発原料には
不純物としてBが0.01.Cが0、5. Anが0.
01. Nが0.2. Feが0.08原子量部、その
他の元素は痕跡量含まれており、これらの不純物総量は
0.81原子量部であった。また、この出発原料の平均
粒径は0.3um、比表面積は1B、7rn’/gであ
った。
この出発原料に成形用結合剤としてメチルセルロースを
10重量部、水分を20重量部添加した。これを混練し
て、押出し成形法により直径140nv+、長さ140
++us、貫通孔の隔壁の厚さ0.3n+m、1平方イ
ンチ当りの貫通孔数的200のハニカム状の生成形体を
得た。
この生成形体を、黒鉛ルツボに入れ、Arガス雰囲気中
で0.5℃/分の昇温速度で750”Cまで昇温し最高
温度で1時間脱脂処理を行なった。
その後、この成形体を気孔率20%の黒鉛ルツボに入れ
、1気圧のArガス雰囲気中で一次焼結した。
焼結は、2℃/分で1700℃まで昇温し、i&高温度
で1時間保持した。
ついで、−次焼結体を黒鉛ルツボから取り出して、貫通
孔の一方の端部に縦横−つおきに生成形体と同一の組成
より成る封止材を充填し、また。
該封止材が充填されていない貫通孔の他方の端部にも同
じ(封止材を充填した。しかる後、酸化雰囲気下、1℃
/分の昇温速度で700℃まで加熱する脱炭処理を行な
った。
その後、この脱炭処理された一次焼結体を再び気孔率2
0%の黒鉛ルツボに入れ、1気圧のArガス雰囲気中で
二次焼結した。焼結は1.5℃/分で2200℃まで昇
温し最高温度で4時間保持した。
得られたハニカム状の炭化ケイ素焼結多孔体は板状結晶
構造であり、板状結晶の平均アスペクト比が1.3、開
放気孔径が30μm、開放気孔率が48容量%であった
実施例2 本実施例では、生成形体を同一ルツボ内に入れたまま、
雰囲気と温度を変化させる連続焼結処理で行なった。
出発原料として使用した炭化ケイ素微粉末は、80重量
%がβ型結晶からなるものを用いた。
この出発原料には不純物としてBが0.01゜Cが0.
5. 、lが0.01. Nが0.2. Feが0.0
8原子量部、その他の元素は痕跡量含まれており、これ
らの不純物総量は0.81原子量部であった。また、こ
の出発原料の平均粒径は0.3gm、比表面積は18.
7rn”/gであった。
この出発原料に成形用結合剤としてメチルセルロースを
10重量部、水分を20重量部添加した。これを混線し
て、押出し成形法により直径140m■、長さ140■
■0貫通孔の隔壁の厚さ0.5mm、1平方インチ当り
の貫通孔数的150のハニカム状の生成形体を得た。こ
の生成形体の貫通孔の一方の端部に縦横−つおきに生成
形体と同一の組成より成る封止材を充填し、また、該封
止材が充填されていない貫通孔の他方の端部にも同じく
封止材を充填した。
その後、この生成形体を気孔率2%のSiCルツボに入
れ1気圧のArガス雰囲気中で0.5℃/分の昇温速度
で700℃まで昇温し最高温度で1時間脱脂を行なった
つづいて、2℃/分で1900℃まで昇温し、最高温度
で1時間保持して一次焼結を行なった。
つづいて、SiCルツボ内を5℃/分の冷却速度で30
0℃まで冷却した後、ルツボ内雰囲気を酸化雰囲気とし
た。
しかる後、1℃/分の昇温速度で700℃まで酸化雰囲
気中で加熱する脱炭処理を行なった。
次に、ルツボ内雰囲気をArガス雰囲気として二次焼結
した。焼結は2℃/分で2200℃まで昇温し最高温度
で4時間保持した。
得られたハニカム状の炭化ケイ素焼結多孔体は板状結晶
構造であり、板状結晶の平均アスペクト比が1.3.開
放気孔径が32μm、開放気孔率が49容量%であった
比較例 脱炭処理を行なわなかった他は、実施例1と同様とし、
ハニカム状の炭化ケイ素焼結多孔体を製造した。
得られた焼結多孔体は板状結晶構造であり、板状結晶の
平均アスペクト比が1.3、開放気孔径が2μm、開放
気孔率が46容量%であった。
[発明の効果] 本発明の炭化ケイ素焼結多孔体の製造方法によれば、脱
炭処理を施すことにより、多孔体全体にわたって均一で
高い気孔率と大きな気孔径を有し、微粒炭素の捕集効率
が高く、しかも高強度の炭化ケイ素焼結多孔体を製造す
ることができる。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 炭化ケイ素粉末を出発原料とし、必要により結晶成長助
    剤を添加し混合物を得る第1工程;該混合物に成形用結
    合剤を添加し所定の形状に成形した生成形体を得る第2
    工程; 該生成形体を、不活性ガス雰囲気下において、脱脂処理
    後1500〜1900℃の温度範囲内で一次焼結する第
    3工程; 該一次焼結体を、不活性ガス雰囲気下において、200
    0〜2400℃の温度範囲内で二次焼結する第4工程; よりなる炭化ケイ素焼結多孔体の製造方法において、 該第4工程における二次焼結前に、第3工程で得られた
    一次焼結体を、酸化雰囲気下、400〜900℃の温度
    範囲内で加熱する脱炭処理を行なうことを特徴とする炭
    化ケイ素焼結多孔体の製造方法。
JP63273143A 1988-10-01 1988-10-31 炭化ケイ素焼結多孔体の製造方法 Pending JPH02192464A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0692753A (ja) * 1992-09-11 1994-04-05 Ibiden Co Ltd 炭化ケイ素焼結多孔体の製造法
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JP2001524451A (ja) * 1997-12-02 2001-12-04 コーニング インコーポレイテッド セラミックハニカム体の焼成方法
KR100379744B1 (ko) * 2000-06-19 2003-04-11 (주)글로벌코센테크 기포형성제를 포함하는 메틸셀룰로오스 고분자를 이용한 다공성 탄화규소체의 제조방법

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