JPH02192464A - 炭化ケイ素焼結多孔体の製造方法 - Google Patents
炭化ケイ素焼結多孔体の製造方法Info
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- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 38
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 title claims description 33
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 10
- 239000011148 porous material Substances 0.000 title abstract description 19
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 40
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims abstract description 35
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 11
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims abstract description 10
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims abstract description 9
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 9
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 claims abstract description 7
- 239000007858 starting material Substances 0.000 claims description 13
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims description 7
- 238000005238 degreasing Methods 0.000 claims description 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 abstract description 16
- 239000012530 fluid Substances 0.000 abstract description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 8
- 229920000609 methyl cellulose Polymers 0.000 abstract description 4
- 239000001923 methylcellulose Substances 0.000 abstract description 4
- 235000010981 methylcellulose Nutrition 0.000 abstract description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 abstract 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 238000005261 decarburization Methods 0.000 description 12
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 10
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 10
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 4
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 4
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 4
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 229910052878 cordierite Inorganic materials 0.000 description 3
- JSKIRARMQDRGJZ-UHFFFAOYSA-N dimagnesium dioxido-bis[(1-oxido-3-oxo-2,4,6,8,9-pentaoxa-1,3-disila-5,7-dialuminabicyclo[3.3.1]nonan-7-yl)oxy]silane Chemical compound [Mg++].[Mg++].[O-][Si]([O-])(O[Al]1O[Al]2O[Si](=O)O[Si]([O-])(O1)O2)O[Al]1O[Al]2O[Si](=O)O[Si]([O-])(O1)O2 JSKIRARMQDRGJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000009740 moulding (composite fabrication) Methods 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 238000012805 post-processing Methods 0.000 description 2
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052580 B4C Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012752 auxiliary agent Substances 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- INAHAJYZKVIDIZ-UHFFFAOYSA-N boron carbide Chemical compound B12B3B4C32B41 INAHAJYZKVIDIZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003610 charcoal Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000003795 desorption Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 1
- 239000003966 growth inhibitor Substances 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000006911 nucleation Effects 0.000 description 1
- 238000010899 nucleation Methods 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 235000019422 polyvinyl alcohol Nutrition 0.000 description 1
- 235000019353 potassium silicate Nutrition 0.000 description 1
- NTHWMYGWWRZVTN-UHFFFAOYSA-N sodium silicate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-][Si]([O-])=O NTHWMYGWWRZVTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N trimethyl(1,1,2,2,2-pentafluoroethyl)silane Chemical compound C[Si](C)(C)C(F)(F)C(F)(F)F MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、炭化ケイ素焼結多孔体の製造方法に関し、さ
らに詳しくは、自動車、発電機等の内燃機関、窯業、金
属工業における工業炉等からの徘ガス中に含まれる微粒
炭素を捕集するフィルターとして用いられる炭化ケイ素
焼結多孔体の製造方法に関する。
らに詳しくは、自動車、発電機等の内燃機関、窯業、金
属工業における工業炉等からの徘ガス中に含まれる微粒
炭素を捕集するフィルターとして用いられる炭化ケイ素
焼結多孔体の製造方法に関する。
[従来の技術及び発明が解決しようとする課題]従来、
徘ガス中に含まれる微粒炭素を捕集し除去するために、
排気経路中にセラミック製焼結多孔体をフィルターとし
て用いることが多く試みられている。
徘ガス中に含まれる微粒炭素を捕集し除去するために、
排気経路中にセラミック製焼結多孔体をフィルターとし
て用いることが多く試みられている。
例えば、コージェライトや炭化ケイ素を主成分とするハ
ニカム状のものが多く用いられている。
ニカム状のものが多く用いられている。
しかし、コージェライトを主成分とするものにあっては
、押出し成形される際にハニカム状焼結多孔体隔壁のセ
ラミック粒子が押出し方向に配向し易いため、流体物が
隔壁を通過し難く圧力損失が大きくなるという問題があ
る。また、セラミック粒子が板状で、かつ、表面が比較
的平滑であるために、流体物との接触表面積が少なく、
隔壁間の熱移動等を効率よく行なうことができないとい
う問題がある。
、押出し成形される際にハニカム状焼結多孔体隔壁のセ
ラミック粒子が押出し方向に配向し易いため、流体物が
隔壁を通過し難く圧力損失が大きくなるという問題があ
る。また、セラミック粒子が板状で、かつ、表面が比較
的平滑であるために、流体物との接触表面積が少なく、
隔壁間の熱移動等を効率よく行なうことができないとい
う問題がある。
一方、炭化ケイ素を主成分とするものは、コージェライ
トを主成分とするものより融点が高く、フィルター再使
用のための、高温加熱を行なっても、それに耐えること
ができる。しかし、隔壁中に存在する気孔の占める割合
が30〜40%と比較的少ないため、通気抵抗が大きく
、かつ、流体物との接触有効表面積が少な(、触媒坦体
やフィルターなどの用途には適さないものが多いという
問題がある。
トを主成分とするものより融点が高く、フィルター再使
用のための、高温加熱を行なっても、それに耐えること
ができる。しかし、隔壁中に存在する気孔の占める割合
が30〜40%と比較的少ないため、通気抵抗が大きく
、かつ、流体物との接触有効表面積が少な(、触媒坦体
やフィルターなどの用途には適さないものが多いという
問題がある。
また、炭化ケイ素を主成分とするものは、焼結条件や助
剤などの影響を受けやすく、特に、形状が大きくなると
よりその影響が大きくなり、結晶形状や気孔率の均一性
に欠けるという問題がある。
剤などの影響を受けやすく、特に、形状が大きくなると
よりその影響が大きくなり、結晶形状や気孔率の均一性
に欠けるという問題がある。
本発明は、上記問題点を解消し、高い気孔率と均一な結
晶径と気孔径を有し、流体(排ガス)との接触有効表面
積が大きく、効率よく流体中の微粒炭素を捕集し除去す
ることができる炭化ケイ素焼結多孔体の製造方法の提供
を目的とする。
晶径と気孔径を有し、流体(排ガス)との接触有効表面
積が大きく、効率よく流体中の微粒炭素を捕集し除去す
ることができる炭化ケイ素焼結多孔体の製造方法の提供
を目的とする。
[課題を解決するための手段]
本発明の炭化ケイ素焼結多孔体の製造方法は、炭化ケイ
素粉末を出発原料とし、必要により結晶成長助剤を添加
し混合物を得る第1工程;該混合物に成形用結合剤を添
加し所定の形状に成形した生成形体を得る第2工程:該
生成形体を、不活性ガス雰囲気下において、脱脂処理後
1500〜1900℃の温度範囲内で一次焼結する第3
工程;該一次焼結体を、不活性ガス雰囲気下において、
2000〜2400℃の温度範囲内で二次焼結する第4
工程:よりなる炭化ケイ素焼結多孔体の製造方法におい
て、該第4工程における二次焼結前に、第3工程で得ら
れた一次焼結体を、酸化雰囲気下、400〜900℃の
温度範囲内で加熱する脱炭処理を行なうことを特徴とす
る。
素粉末を出発原料とし、必要により結晶成長助剤を添加
し混合物を得る第1工程;該混合物に成形用結合剤を添
加し所定の形状に成形した生成形体を得る第2工程:該
生成形体を、不活性ガス雰囲気下において、脱脂処理後
1500〜1900℃の温度範囲内で一次焼結する第3
工程;該一次焼結体を、不活性ガス雰囲気下において、
2000〜2400℃の温度範囲内で二次焼結する第4
工程:よりなる炭化ケイ素焼結多孔体の製造方法におい
て、該第4工程における二次焼結前に、第3工程で得ら
れた一次焼結体を、酸化雰囲気下、400〜900℃の
温度範囲内で加熱する脱炭処理を行なうことを特徴とす
る。
まず、第1工程においては、β型の炭化ケイ素粉末を出
発原料とすることが好ましい。その理由は、β型の炭化
ケイ素結晶は比較的低温で合成される低温安定型結晶で
あり、焼結に際し、その−部が4日、6Hあるいは15
R型等の高温安定型のα型結晶に相転移して板状結晶を
形成し易いからである。また、結晶の成長性にも優れて
いるからである。特に、β型炭化ケイ素を60重量%以
上含有する出発原料を用いることにより、本発明の目的
とする焼結多孔体を好適に製造することができる。なか
でも、β型炭化ケイ素を70重量%以上含有する出発原
料を使用することが有利である。
発原料とすることが好ましい。その理由は、β型の炭化
ケイ素結晶は比較的低温で合成される低温安定型結晶で
あり、焼結に際し、その−部が4日、6Hあるいは15
R型等の高温安定型のα型結晶に相転移して板状結晶を
形成し易いからである。また、結晶の成長性にも優れて
いるからである。特に、β型炭化ケイ素を60重量%以
上含有する出発原料を用いることにより、本発明の目的
とする焼結多孔体を好適に製造することができる。なか
でも、β型炭化ケイ素を70重量%以上含有する出発原
料を使用することが有利である。
結晶成長助剤としては、例えば、アルミニウム、ホウ素
、鉄、炭素等が挙げられる。
、鉄、炭素等が挙げられる。
上記した物質のうち、アルミニウム、ホウ素、鉄は、炭
化ケイ素の結晶粒成長の速度を速(する働きを有してい
る。したがって、これらの物質の存在する箇所では極め
て多くの板状結晶の核が生成される。そして、それぞれ
の部分で板状結晶の発達が起こる結果、形成される板状
結晶の大きさが制限されるので、これらの物質が多く存
在する箇所はど細かい組織の三次元網目構造とすること
ができる。
化ケイ素の結晶粒成長の速度を速(する働きを有してい
る。したがって、これらの物質の存在する箇所では極め
て多くの板状結晶の核が生成される。そして、それぞれ
の部分で板状結晶の発達が起こる結果、形成される板状
結晶の大きさが制限されるので、これらの物質が多く存
在する箇所はど細かい組織の三次元網目構造とすること
ができる。
これに対し、炭素は上記物質とは逆に炭化ケイ素の結晶
粒成長の速度を遅くする働きを有している。したがって
、これらの物質の存在する箇所では板状結晶の核生成が
抑制されるので、形成される板状結晶の数は相対的に少
なくなる。その結果、それぞれの板状結晶が比較的大き
く成長するので、これらの物質が多く存在する箇所はど
大きな組織の三次元網目構造とすることができる。
粒成長の速度を遅くする働きを有している。したがって
、これらの物質の存在する箇所では板状結晶の核生成が
抑制されるので、形成される板状結晶の数は相対的に少
なくなる。その結果、それぞれの板状結晶が比較的大き
く成長するので、これらの物質が多く存在する箇所はど
大きな組織の三次元網目構造とすることができる。
次に、第2工程において、第1工程において得られた混
合物にメチルセルロース、ポリビニルアルコール、水ガ
ラス等の成形用結合剤を添加し、押出し成形、シート成
形、プレス成形等の方法により所定の形状1例えばハニ
カム状に成形した生成形体とする。
合物にメチルセルロース、ポリビニルアルコール、水ガ
ラス等の成形用結合剤を添加し、押出し成形、シート成
形、プレス成形等の方法により所定の形状1例えばハニ
カム状に成形した生成形体とする。
第3工程においては、まず、第2工程で得られた生成形
体を不活性ガス雰囲気下、700〜800℃で1〜2時
間加熱して脱脂処理を行なう。しかる後、同じく不活性
ガス雰囲気下、1500〜1900℃の温度範囲内で0
.5〜2時間焼結して一次焼結体とする。
体を不活性ガス雰囲気下、700〜800℃で1〜2時
間加熱して脱脂処理を行なう。しかる後、同じく不活性
ガス雰囲気下、1500〜1900℃の温度範囲内で0
.5〜2時間焼結して一次焼結体とする。
後述する二次焼結処理の温度より低温で一次焼結するの
は、多孔体の加工あるいは表面処理等を容易にするため
である。また、焼結温度を1500〜1900℃の温度
範囲とするのは、多孔体の加工をする上において容易な
強度とするとともに生成形体中の炭素に影響のない温度
とするためである。
は、多孔体の加工あるいは表面処理等を容易にするため
である。また、焼結温度を1500〜1900℃の温度
範囲とするのは、多孔体の加工をする上において容易な
強度とするとともに生成形体中の炭素に影響のない温度
とするためである。
例えば、コーティング処理や連続生成形した後、切断あ
るいは充填等により成形加工を行なう場合において、生
成形体の状態では処理および加工が困難であり、また、
後加工処理が必要な場合に、二次焼結した後に後加工を
施そうとすると、セラミック材質のため硬くて機械加工
等を施すことが非常に困難となりコストの面より経済的
でない。
るいは充填等により成形加工を行なう場合において、生
成形体の状態では処理および加工が困難であり、また、
後加工処理が必要な場合に、二次焼結した後に後加工を
施そうとすると、セラミック材質のため硬くて機械加工
等を施すことが非常に困難となりコストの面より経済的
でない。
本発明においては、第4工程において、二次焼結処理を
行なう前に、−次焼結体を、酸化雰囲気下、400〜9
00℃の温度範囲内で1〜4時間加熱し脱炭処理を行な
うことを最大の特徴とする。これは、均一な結晶径と気
孔径並びに高い気孔率を有する多孔体とするために、−
次焼結で残留した炭素を除去するために行なう処理であ
る6すなわち、上記したように、−次焼結後に残留した
炭素は、二次焼結時に結晶成長抑制剤として作用し、均
一な気孔径や高い気孔率の多孔体とすることが困難とな
る。
行なう前に、−次焼結体を、酸化雰囲気下、400〜9
00℃の温度範囲内で1〜4時間加熱し脱炭処理を行な
うことを最大の特徴とする。これは、均一な結晶径と気
孔径並びに高い気孔率を有する多孔体とするために、−
次焼結で残留した炭素を除去するために行なう処理であ
る6すなわち、上記したように、−次焼結後に残留した
炭素は、二次焼結時に結晶成長抑制剤として作用し、均
一な気孔径や高い気孔率の多孔体とすることが困難とな
る。
特に、形状が大きい、例えば、外径50mm以上の多孔
体においては、残留炭素濃度が部分により異なり、結晶
成長速度に相違が生じるので、均一で大きな気孔径とす
ることが困難となる。
体においては、残留炭素濃度が部分により異なり、結晶
成長速度に相違が生じるので、均一で大きな気孔径とす
ることが困難となる。
そこで本発明の製造方法は、この脱炭処理を行なうこと
により多孔体全体にわたって均一な結晶径と気孔径とを
有する焼結多孔体を製造しようとするものである。脱炭
処理の温度が400℃より低いと脱炭速度が遅く実質的
に脱炭が困難となる。また、900℃を超えると炭素と
ともにマドフックスの炭化ケイ素が酸化するおそれがあ
る。
により多孔体全体にわたって均一な結晶径と気孔径とを
有する焼結多孔体を製造しようとするものである。脱炭
処理の温度が400℃より低いと脱炭速度が遅く実質的
に脱炭が困難となる。また、900℃を超えると炭素と
ともにマドフックスの炭化ケイ素が酸化するおそれがあ
る。
好ましくは500〜750℃の範囲である。酸化雰囲気
としては、通常、空気中や酸素中を利用することができ
るが、CO□ガスを含んだ雰囲気はマイルドな酸化が進
みマトリックスの炭化ケイ素の酸化を抑えられる。
としては、通常、空気中や酸素中を利用することができ
るが、CO□ガスを含んだ雰囲気はマイルドな酸化が進
みマトリックスの炭化ケイ素の酸化を抑えられる。
かかる処理を施すことにより、本発明により製造される
炭化ケイ素焼結多孔体の平均電孔径な5〜50μmの範
囲とすることができる。5μm未満の場合には、炭化ケ
イ素結晶によって構成される気孔が、結晶の占める容積
に比べて小さくなり、高い気孔率と大きな気孔径を有す
ることが困難となる。また通気抵抗も高くなる。一方、
50μmを超えた場合には、板状結晶の接合部の強度が
低くなるため、焼結多孔体自体の強度が著しく低いもの
となり、その結果、焼結多孔体の保形をも困難にする。
炭化ケイ素焼結多孔体の平均電孔径な5〜50μmの範
囲とすることができる。5μm未満の場合には、炭化ケ
イ素結晶によって構成される気孔が、結晶の占める容積
に比べて小さくなり、高い気孔率と大きな気孔径を有す
ることが困難となる。また通気抵抗も高くなる。一方、
50μmを超えた場合には、板状結晶の接合部の強度が
低くなるため、焼結多孔体自体の強度が著しく低いもの
となり、その結果、焼結多孔体の保形をも困難にする。
平均気孔径を25〜30μmの範囲とすることがより好
ましい。
ましい。
次に、脱炭処理を行なった一次焼結体を不活性ガス雰囲
気下、2000〜2400℃の温度範囲内で2〜6時間
二次焼結処理を行なう。
気下、2000〜2400℃の温度範囲内で2〜6時間
二次焼結処理を行なう。
なお、ハニカム構造体の場合には、通常、ハニカム状の
生成形体を成形した後、あるいは脱炭処理を行なった後
、所定の貫通孔の端部に例えば該生成形体と同材料から
成る封止剤を充填して、焼結処理を行なうことになる。
生成形体を成形した後、あるいは脱炭処理を行なった後
、所定の貫通孔の端部に例えば該生成形体と同材料から
成る封止剤を充填して、焼結処理を行なうことになる。
不活性ガス雰囲気下、外気の侵入を遮断しつつ焼結する
ことにより、隣接する炭化ケイ素結晶同士を融合させ、
かつ、炭化ケイ素の板状結晶の成長を促進させることが
できる。したがって、焼結多孔体を、板状結晶が複雑な
状態で絡み合った三次元の網目構造とすることができる
。その結果、流体(排ガス)と接触する有効表面積が太
き(なり、微粒炭素の捕集効率を高めることができる。
ことにより、隣接する炭化ケイ素結晶同士を融合させ、
かつ、炭化ケイ素の板状結晶の成長を促進させることが
できる。したがって、焼結多孔体を、板状結晶が複雑な
状態で絡み合った三次元の網目構造とすることができる
。その結果、流体(排ガス)と接触する有効表面積が太
き(なり、微粒炭素の捕集効率を高めることができる。
また、ハニカム構造体の場合には、ハエカムの軸方向か
らの流れを隔壁内に取り込み易くなる。
らの流れを隔壁内に取り込み易くなる。
さらに、隔壁表面で生じる流体の流れが乱流となるため
、流れ内における拡散、撹拌等による均一化が促進され
、隔壁表面で生じる熱移動、化学反応、物質移動等が有
効に行なわれるようになる。
、流れ内における拡散、撹拌等による均一化が促進され
、隔壁表面で生じる熱移動、化学反応、物質移動等が有
効に行なわれるようになる。
本発明において、上記した各工程における焼結処理を行
なう場合、雰囲気や焼結温度等の焼結条件が変わるたび
に多孔体を容器から取り出し雰囲気や温度を変えて焼結
処理してもよく、また、そのつど外部に取り出すのでは
なく同じ容器内に多孔体を入れたまま雰囲気や温度を変
化させる連続焼結処理してもよい、なお、連続焼結を行
なう場合は、酸化雰囲気で行なう脱炭処理を行なっても
容器が燃焼しないように炭化ケイ素、炭化チタン、炭化
ホウ素等からなる容器を用いる必要がある。
なう場合、雰囲気や焼結温度等の焼結条件が変わるたび
に多孔体を容器から取り出し雰囲気や温度を変えて焼結
処理してもよく、また、そのつど外部に取り出すのでは
なく同じ容器内に多孔体を入れたまま雰囲気や温度を変
化させる連続焼結処理してもよい、なお、連続焼結を行
なう場合は、酸化雰囲気で行なう脱炭処理を行なっても
容器が燃焼しないように炭化ケイ素、炭化チタン、炭化
ホウ素等からなる容器を用いる必要がある。
このようにして得られた炭化ケイ素焼結多孔体は、多孔
体全体にわたって高い気孔率(20〜95容量%)と大
きな気孔径(5〜50μm)を有しながら十分な強度を
有する。また、ハニカム状焼結多孔体の隔壁等の微粒炭
素捕集部位は、炭化ケイ素の板状結晶により構成される
三次元網目構造となっており、効率よく微粒炭素を捕集
して除去することができる。
体全体にわたって高い気孔率(20〜95容量%)と大
きな気孔径(5〜50μm)を有しながら十分な強度を
有する。また、ハニカム状焼結多孔体の隔壁等の微粒炭
素捕集部位は、炭化ケイ素の板状結晶により構成される
三次元網目構造となっており、効率よく微粒炭素を捕集
して除去することができる。
なお、このようにして得られた焼結多孔体を、さらに、
200〜1O−3torrの減圧下、1700〜230
0℃の温度範囲内で焼結処理してもよい。
200〜1O−3torrの減圧下、1700〜230
0℃の温度範囲内で焼結処理してもよい。
かかる処理を施すと、10−1〜10−3Ω・Cmとい
う低い比抵抗を有する焼結多孔体とすることができる。
う低い比抵抗を有する焼結多孔体とすることができる。
したがって、フィルター再使用時の加熱の際に、直接通
電により、しかも低電圧で全体を均一に加熱することが
できる。
電により、しかも低電圧で全体を均一に加熱することが
できる。
[実施例]
実施例1
出発原料として使用した炭化ケイ素微粉末は、80重量
%がβ型結晶からなるものを用いた。この出発原料には
不純物としてBが0.01.Cが0、5. Anが0.
01. Nが0.2. Feが0.08原子量部、その
他の元素は痕跡量含まれており、これらの不純物総量は
0.81原子量部であった。また、この出発原料の平均
粒径は0.3um、比表面積は1B、7rn’/gであ
った。
%がβ型結晶からなるものを用いた。この出発原料には
不純物としてBが0.01.Cが0、5. Anが0.
01. Nが0.2. Feが0.08原子量部、その
他の元素は痕跡量含まれており、これらの不純物総量は
0.81原子量部であった。また、この出発原料の平均
粒径は0.3um、比表面積は1B、7rn’/gであ
った。
この出発原料に成形用結合剤としてメチルセルロースを
10重量部、水分を20重量部添加した。これを混練し
て、押出し成形法により直径140nv+、長さ140
++us、貫通孔の隔壁の厚さ0.3n+m、1平方イ
ンチ当りの貫通孔数的200のハニカム状の生成形体を
得た。
10重量部、水分を20重量部添加した。これを混練し
て、押出し成形法により直径140nv+、長さ140
++us、貫通孔の隔壁の厚さ0.3n+m、1平方イ
ンチ当りの貫通孔数的200のハニカム状の生成形体を
得た。
この生成形体を、黒鉛ルツボに入れ、Arガス雰囲気中
で0.5℃/分の昇温速度で750”Cまで昇温し最高
温度で1時間脱脂処理を行なった。
で0.5℃/分の昇温速度で750”Cまで昇温し最高
温度で1時間脱脂処理を行なった。
その後、この成形体を気孔率20%の黒鉛ルツボに入れ
、1気圧のArガス雰囲気中で一次焼結した。
、1気圧のArガス雰囲気中で一次焼結した。
焼結は、2℃/分で1700℃まで昇温し、i&高温度
で1時間保持した。
で1時間保持した。
ついで、−次焼結体を黒鉛ルツボから取り出して、貫通
孔の一方の端部に縦横−つおきに生成形体と同一の組成
より成る封止材を充填し、また。
孔の一方の端部に縦横−つおきに生成形体と同一の組成
より成る封止材を充填し、また。
該封止材が充填されていない貫通孔の他方の端部にも同
じ(封止材を充填した。しかる後、酸化雰囲気下、1℃
/分の昇温速度で700℃まで加熱する脱炭処理を行な
った。
じ(封止材を充填した。しかる後、酸化雰囲気下、1℃
/分の昇温速度で700℃まで加熱する脱炭処理を行な
った。
その後、この脱炭処理された一次焼結体を再び気孔率2
0%の黒鉛ルツボに入れ、1気圧のArガス雰囲気中で
二次焼結した。焼結は1.5℃/分で2200℃まで昇
温し最高温度で4時間保持した。
0%の黒鉛ルツボに入れ、1気圧のArガス雰囲気中で
二次焼結した。焼結は1.5℃/分で2200℃まで昇
温し最高温度で4時間保持した。
得られたハニカム状の炭化ケイ素焼結多孔体は板状結晶
構造であり、板状結晶の平均アスペクト比が1.3、開
放気孔径が30μm、開放気孔率が48容量%であった
。
構造であり、板状結晶の平均アスペクト比が1.3、開
放気孔径が30μm、開放気孔率が48容量%であった
。
実施例2
本実施例では、生成形体を同一ルツボ内に入れたまま、
雰囲気と温度を変化させる連続焼結処理で行なった。
雰囲気と温度を変化させる連続焼結処理で行なった。
出発原料として使用した炭化ケイ素微粉末は、80重量
%がβ型結晶からなるものを用いた。
%がβ型結晶からなるものを用いた。
この出発原料には不純物としてBが0.01゜Cが0.
5. 、lが0.01. Nが0.2. Feが0.0
8原子量部、その他の元素は痕跡量含まれており、これ
らの不純物総量は0.81原子量部であった。また、こ
の出発原料の平均粒径は0.3gm、比表面積は18.
7rn”/gであった。
5. 、lが0.01. Nが0.2. Feが0.0
8原子量部、その他の元素は痕跡量含まれており、これ
らの不純物総量は0.81原子量部であった。また、こ
の出発原料の平均粒径は0.3gm、比表面積は18.
7rn”/gであった。
この出発原料に成形用結合剤としてメチルセルロースを
10重量部、水分を20重量部添加した。これを混線し
て、押出し成形法により直径140m■、長さ140■
■0貫通孔の隔壁の厚さ0.5mm、1平方インチ当り
の貫通孔数的150のハニカム状の生成形体を得た。こ
の生成形体の貫通孔の一方の端部に縦横−つおきに生成
形体と同一の組成より成る封止材を充填し、また、該封
止材が充填されていない貫通孔の他方の端部にも同じく
封止材を充填した。
10重量部、水分を20重量部添加した。これを混線し
て、押出し成形法により直径140m■、長さ140■
■0貫通孔の隔壁の厚さ0.5mm、1平方インチ当り
の貫通孔数的150のハニカム状の生成形体を得た。こ
の生成形体の貫通孔の一方の端部に縦横−つおきに生成
形体と同一の組成より成る封止材を充填し、また、該封
止材が充填されていない貫通孔の他方の端部にも同じく
封止材を充填した。
その後、この生成形体を気孔率2%のSiCルツボに入
れ1気圧のArガス雰囲気中で0.5℃/分の昇温速度
で700℃まで昇温し最高温度で1時間脱脂を行なった
。
れ1気圧のArガス雰囲気中で0.5℃/分の昇温速度
で700℃まで昇温し最高温度で1時間脱脂を行なった
。
つづいて、2℃/分で1900℃まで昇温し、最高温度
で1時間保持して一次焼結を行なった。
で1時間保持して一次焼結を行なった。
つづいて、SiCルツボ内を5℃/分の冷却速度で30
0℃まで冷却した後、ルツボ内雰囲気を酸化雰囲気とし
た。
0℃まで冷却した後、ルツボ内雰囲気を酸化雰囲気とし
た。
しかる後、1℃/分の昇温速度で700℃まで酸化雰囲
気中で加熱する脱炭処理を行なった。
気中で加熱する脱炭処理を行なった。
次に、ルツボ内雰囲気をArガス雰囲気として二次焼結
した。焼結は2℃/分で2200℃まで昇温し最高温度
で4時間保持した。
した。焼結は2℃/分で2200℃まで昇温し最高温度
で4時間保持した。
得られたハニカム状の炭化ケイ素焼結多孔体は板状結晶
構造であり、板状結晶の平均アスペクト比が1.3.開
放気孔径が32μm、開放気孔率が49容量%であった
。
構造であり、板状結晶の平均アスペクト比が1.3.開
放気孔径が32μm、開放気孔率が49容量%であった
。
比較例
脱炭処理を行なわなかった他は、実施例1と同様とし、
ハニカム状の炭化ケイ素焼結多孔体を製造した。
ハニカム状の炭化ケイ素焼結多孔体を製造した。
得られた焼結多孔体は板状結晶構造であり、板状結晶の
平均アスペクト比が1.3、開放気孔径が2μm、開放
気孔率が46容量%であった。
平均アスペクト比が1.3、開放気孔径が2μm、開放
気孔率が46容量%であった。
[発明の効果]
本発明の炭化ケイ素焼結多孔体の製造方法によれば、脱
炭処理を施すことにより、多孔体全体にわたって均一で
高い気孔率と大きな気孔径を有し、微粒炭素の捕集効率
が高く、しかも高強度の炭化ケイ素焼結多孔体を製造す
ることができる。
炭処理を施すことにより、多孔体全体にわたって均一で
高い気孔率と大きな気孔径を有し、微粒炭素の捕集効率
が高く、しかも高強度の炭化ケイ素焼結多孔体を製造す
ることができる。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 炭化ケイ素粉末を出発原料とし、必要により結晶成長助
剤を添加し混合物を得る第1工程;該混合物に成形用結
合剤を添加し所定の形状に成形した生成形体を得る第2
工程; 該生成形体を、不活性ガス雰囲気下において、脱脂処理
後1500〜1900℃の温度範囲内で一次焼結する第
3工程; 該一次焼結体を、不活性ガス雰囲気下において、200
0〜2400℃の温度範囲内で二次焼結する第4工程; よりなる炭化ケイ素焼結多孔体の製造方法において、 該第4工程における二次焼結前に、第3工程で得られた
一次焼結体を、酸化雰囲気下、400〜900℃の温度
範囲内で加熱する脱炭処理を行なうことを特徴とする炭
化ケイ素焼結多孔体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63273143A JPH02192464A (ja) | 1988-10-01 | 1988-10-31 | 炭化ケイ素焼結多孔体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63-245884 | 1988-10-01 | ||
| JP24588488 | 1988-10-01 | ||
| JP63273143A JPH02192464A (ja) | 1988-10-01 | 1988-10-31 | 炭化ケイ素焼結多孔体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02192464A true JPH02192464A (ja) | 1990-07-30 |
Family
ID=26537454
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63273143A Pending JPH02192464A (ja) | 1988-10-01 | 1988-10-31 | 炭化ケイ素焼結多孔体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02192464A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0692753A (ja) * | 1992-09-11 | 1994-04-05 | Ibiden Co Ltd | 炭化ケイ素焼結多孔体の製造法 |
| US5422322A (en) * | 1993-02-10 | 1995-06-06 | The Stackpole Corporation | Dense, self-sintered silicon carbide/carbon-graphite composite and process for producing same |
| JP2001524451A (ja) * | 1997-12-02 | 2001-12-04 | コーニング インコーポレイテッド | セラミックハニカム体の焼成方法 |
| KR100379744B1 (ko) * | 2000-06-19 | 2003-04-11 | (주)글로벌코센테크 | 기포형성제를 포함하는 메틸셀룰로오스 고분자를 이용한 다공성 탄화규소체의 제조방법 |
-
1988
- 1988-10-31 JP JP63273143A patent/JPH02192464A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0692753A (ja) * | 1992-09-11 | 1994-04-05 | Ibiden Co Ltd | 炭化ケイ素焼結多孔体の製造法 |
| US5422322A (en) * | 1993-02-10 | 1995-06-06 | The Stackpole Corporation | Dense, self-sintered silicon carbide/carbon-graphite composite and process for producing same |
| JP2001524451A (ja) * | 1997-12-02 | 2001-12-04 | コーニング インコーポレイテッド | セラミックハニカム体の焼成方法 |
| JP4771590B2 (ja) * | 1997-12-02 | 2011-09-14 | コーニング インコーポレイテッド | セラミックハニカム体の焼成方法 |
| KR100379744B1 (ko) * | 2000-06-19 | 2003-04-11 | (주)글로벌코센테크 | 기포형성제를 포함하는 메틸셀룰로오스 고분자를 이용한 다공성 탄화규소체의 제조방법 |
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