JPH02193064A - 超音波映像装置 - Google Patents
超音波映像装置Info
- Publication number
- JPH02193064A JPH02193064A JP1012217A JP1221789A JPH02193064A JP H02193064 A JPH02193064 A JP H02193064A JP 1012217 A JP1012217 A JP 1012217A JP 1221789 A JP1221789 A JP 1221789A JP H02193064 A JPH02193064 A JP H02193064A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit
- inspection
- prober
- scanning
- control processing
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- Pending
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野１
本発明は、被検物体上を超音波探触子で走査し、パルス
エコー法により欠陥検査な行う超音波映像装置に関する
ものである。
エコー法により欠陥検査な行う超音波映像装置に関する
ものである。
［従来の技術］
超音波探触子で被検物体上を走査しながら、超音波パル
スを被検物体に向けて送信し、その反射信号から被検物
体の欠陥の深さや分布を表示する超音波映像装置が広く
知られている。従来のこの種の装置では、探触子の走査
範囲は操作者が検査の度に数値等を入力することにより
設定する方法が一般的である。
スを被検物体に向けて送信し、その反射信号から被検物
体の欠陥の深さや分布を表示する超音波映像装置が広く
知られている。従来のこの種の装置では、探触子の走査
範囲は操作者が検査の度に数値等を入力することにより
設定する方法が一般的である。
しかしながら上述の方法では、煩雑な入力操作のため特
に同形の被検物体を複数個連続して検査する場合などに
検査の効率が悪く、また被検物体の正確な位置や形状が
不明である場合には、−目視によって得られる凡その位
置台形状を用いる他なく、必然的に大きめの範囲が設定
される結果、検査時間やデータメモリを浪費するという
欠点がある。
に同形の被検物体を複数個連続して検査する場合などに
検査の効率が悪く、また被検物体の正確な位置や形状が
不明である場合には、−目視によって得られる凡その位
置台形状を用いる他なく、必然的に大きめの範囲が設定
される結果、検査時間やデータメモリを浪費するという
欠点がある。
［発明の目的〕
本発明の目的は、上述の欠点を解消し、被検物体の位置
と形状に応じて、自動的に探触子の走査範囲を設定でき
る超音波映像装置を提供することにある。
と形状に応じて、自動的に探触子の走査範囲を設定でき
る超音波映像装置を提供することにある。
［発明の概要］
上述の目的を達成するための本発明の要旨は、被検物体
上を走査しながら超音波パルスな送信し、その反射信号
から被検物体の内部を検査する装置において、前記検査
に先立ち被検物体の位置及び形状を検出する検出手段と
、該検出手段により検出した位置及び形状から検査時の
走査範囲を設定する設定手段とを具備したことを特徴と
する超音波映像装置である。
上を走査しながら超音波パルスな送信し、その反射信号
から被検物体の内部を検査する装置において、前記検査
に先立ち被検物体の位置及び形状を検出する検出手段と
、該検出手段により検出した位置及び形状から検査時の
走査範囲を設定する設定手段とを具備したことを特徴と
する超音波映像装置である。
［発明の実施例１
本発明を図示の実施例に基づいて詳細に説明する。
第１図は装置のブロック回路構成図を示し、水侵法によ
り検査される被検物体Ｓは水槽底面に沈設されている。
り検査される被検物体Ｓは水槽底面に沈設されている。
この被検物体Ｓに対して超音波の送受信を行う探触子ｌ
は、その先端部が水中に浸された状態で走査装置２に取
り付けられている。
は、その先端部が水中に浸された状態で走査装置２に取
り付けられている。
また、この探触子ｌは超音波を発生させる高電圧を印加
し、また受信４号を増幅するためのバルサレシーバ３と
接続されている。バルサレシーバ３の出力は、ゲート回
路４を介して表面距離計数器５、信号強度検出回路６、
欠陥深さ計数器７にそれぞれ分岐して接続され、更にそ
れぞれの出力は制御処理回路８に接続されており、制御
処理回路８はその他に走査装置２、画像映出装置９、印
刷装置１０、入力装置１１に接続されている。
し、また受信４号を増幅するためのバルサレシーバ３と
接続されている。バルサレシーバ３の出力は、ゲート回
路４を介して表面距離計数器５、信号強度検出回路６、
欠陥深さ計数器７にそれぞれ分岐して接続され、更にそ
れぞれの出力は制御処理回路８に接続されており、制御
処理回路８はその他に走査装置２、画像映出装置９、印
刷装置１０、入力装置１１に接続されている。
上述の構成において、入力装置１１からの開始指示に従
って制御処理回路８は走査装置２を制御し、走査装置２
の走査可能な全範囲を実際の検査時よりも粗く走査する
ようにする。バルサレシーバ３は一定間隔で高電圧パル
スを探触子１に送り、第２図に示すように探触子ｌは鉛
直方向に超音波パルスを送信する。探触子１の直下の被
検物体Ｓ或いは水槽底面で反射された超音波パルスは再
び探触子１で受信され、バルサレシーバ３で増幅されゲ
ート回路４に送られる。ここで、ゲート回路４及び表面
距離計数器５はバルサレシーバ３と同期して、超音波を
送信してから探触子ｌの直下の最も近い反射面による反
射信号の受信までの時間を計数する。
って制御処理回路８は走査装置２を制御し、走査装置２
の走査可能な全範囲を実際の検査時よりも粗く走査する
ようにする。バルサレシーバ３は一定間隔で高電圧パル
スを探触子１に送り、第２図に示すように探触子ｌは鉛
直方向に超音波パルスを送信する。探触子１の直下の被
検物体Ｓ或いは水槽底面で反射された超音波パルスは再
び探触子１で受信され、バルサレシーバ３で増幅されゲ
ート回路４に送られる。ここで、ゲート回路４及び表面
距離計数器５はバルサレシーバ３と同期して、超音波を
送信してから探触子ｌの直下の最も近い反射面による反
射信号の受信までの時間を計数する。
第３図は第２図のＡ−Ａ’銀線上走査した場合の表面距
離計数器５で得られた出力波形を示している。水中での
音速をＶｗ、表面距離計数器５の出力をｔとすれば、探
触子１直下の最も近い反射面までの距＃Ｎは１次の（１
）式で表される。
離計数器５で得られた出力波形を示している。水中での
音速をＶｗ、表面距離計数器５の出力をｔとすれば、探
触子１直下の最も近い反射面までの距＃Ｎは１次の（１
）式で表される。
夕＝Ｖｗ＠ｔ／２ ・・・（１）探
触子１から基準面である水槽底面までの距離をＬとする
と、探触子１直下の最も近い反射面の基準面からの高さ
Ｈは、次の（２）式となる。
触子１から基準面である水槽底面までの距離をＬとする
と、探触子１直下の最も近い反射面の基準面からの高さ
Ｈは、次の（２）式となる。
Ｈ＝Ｌ−ｊ＝Ｌ ノー （Ｖｗ ・ ｔ／２）
”（２）第４図は（２）式を用いて、制御処理回
路８で第３図から求めた高さＨの分布である。このよう
にして求めた高さＨの分布中、高さＨが成る閾値Ｔｈよ
りも高い部分を被検物体Ｓと見做すことができ、制御処
理回路８により該当部分を検出すれば、被検物体Ｓの位
置と形状が明らかとなる。続いて、制御処理回路８によ
り被検物体Ｓの全体を含む最小の走査範囲が決定され、
この範囲内で実際の検査が行われる。
”（２）第４図は（２）式を用いて、制御処理回
路８で第３図から求めた高さＨの分布である。このよう
にして求めた高さＨの分布中、高さＨが成る閾値Ｔｈよ
りも高い部分を被検物体Ｓと見做すことができ、制御処
理回路８により該当部分を検出すれば、被検物体Ｓの位
置と形状が明らかとなる。続いて、制御処理回路８によ
り被検物体Ｓの全体を含む最小の走査範囲が決定され、
この範囲内で実際の検査が行われる。
実際の検査における走査は上述の場合よりも細かく、表
面距離計数器５、信号強度検出回路６、欠陥深さ計数器
７のそれぞれの出力を基に、制御処理回路８が画像映出
装置９や印刷装置１０に検査結果を出力する。この実際
の検査での走査範囲を最小限とすれば、検査時間、デー
タメモリを最小で済ませることができる。
面距離計数器５、信号強度検出回路６、欠陥深さ計数器
７のそれぞれの出力を基に、制御処理回路８が画像映出
装置９や印刷装置１０に検査結果を出力する。この実際
の検査での走査範囲を最小限とすれば、検査時間、デー
タメモリを最小で済ませることができる。
第５図〜第７図は被検物体Ｓの検出に関する他の実施例
を示す、第５図において、被検物体Ｓは水槽底面に置か
れた固定台１２の上に固定されている。第６図は第５図
のＢ−Ｂ’線上を走査した場合の表面距離計数器５の出
力波形を示し、第７図は第６図から（２）式により求め
た高さＨの分布である。
を示す、第５図において、被検物体Ｓは水槽底面に置か
れた固定台１２の上に固定されている。第６図は第５図
のＢ−Ｂ’線上を走査した場合の表面距離計数器５の出
力波形を示し、第７図は第６図から（２）式により求め
た高さＨの分布である。
この実施例では、閾値Ｔｈを走査範囲内の高さの最大（
ｉＨｍａｘよりも４丁りだけ小さい値と定め、その閾値
↑ｈよりも高い部分を被検物体Ｓと見做している。この
場合には、被検物体Ｓが未知の高さ固定台１２上に固定
されている場合でも、正確な位置と形状の検査が可能と
なる。
ｉＨｍａｘよりも４丁りだけ小さい値と定め、その閾値
↑ｈよりも高い部分を被検物体Ｓと見做している。この
場合には、被検物体Ｓが未知の高さ固定台１２上に固定
されている場合でも、正確な位置と形状の検査が可能と
なる。
［発明の効果］
以上説明したように本発明に係る超音波映像装置は、粗
い走査により自動的に被検物体の位置・形状を検出し、
それに応じた検査時の最小の走査範囲を容易にかつ正確
に設定し得ることにより、煩雑な入力操作が省略できる
ため検査の効率が向上し、無駄な走査がないために検査
時間が短縮でき、データメモリを節約できる利点がある
。
い走査により自動的に被検物体の位置・形状を検出し、
それに応じた検査時の最小の走査範囲を容易にかつ正確
に設定し得ることにより、煩雑な入力操作が省略できる
ため検査の効率が向上し、無駄な走査がないために検査
時間が短縮でき、データメモリを節約できる利点がある
。
図面は本発明に係る超音波映像装置の実施例を示し、第
１図はブロック回路構成図、第２図は動作説明図、第３
図、第４図は第２図の動作における被検物体の検出過程
の説明図、第５図は固定台上に被検物体が置かれた場合
の動作説明図、第６図、第７図は第５図の動作における
被検物体の検出過程の説明図である。 符号ｌは接触子、２は走査装置、３はパルサレシーバ、
４はゲート回路、５は表面距離計数器、６は信号強度検
出回路、７は欠陥深さ計数器、８は制御処理回路、９は
画像検出装置、ｌＯは印刷装置、１１は入力装置、１２
は固定台である。 第１図
１図はブロック回路構成図、第２図は動作説明図、第３
図、第４図は第２図の動作における被検物体の検出過程
の説明図、第５図は固定台上に被検物体が置かれた場合
の動作説明図、第６図、第７図は第５図の動作における
被検物体の検出過程の説明図である。 符号ｌは接触子、２は走査装置、３はパルサレシーバ、
４はゲート回路、５は表面距離計数器、６は信号強度検
出回路、７は欠陥深さ計数器、８は制御処理回路、９は
画像検出装置、ｌＯは印刷装置、１１は入力装置、１２
は固定台である。 第１図
Claims (1)
- １、被検物体上を走査しながら超音波パルスを送信し、
その反射信号から被検物体の内部を検査する装置におい
て、前記検査に先立ち被検物体の位置及び形状を検出す
る検出手段と、該検出手段により検出した位置及び形状
から検査時の走査範囲を設定する設定手段とを具備した
ことを特徴とする超音波映像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1012217A JPH02193064A (ja) | 1989-01-20 | 1989-01-20 | 超音波映像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1012217A JPH02193064A (ja) | 1989-01-20 | 1989-01-20 | 超音波映像装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02193064A true JPH02193064A (ja) | 1990-07-30 |
Family
ID=11799214
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1012217A Pending JPH02193064A (ja) | 1989-01-20 | 1989-01-20 | 超音波映像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02193064A (ja) |
-
1989
- 1989-01-20 JP JP1012217A patent/JPH02193064A/ja active Pending
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