JPH0474961A - 超音波検査装置 - Google Patents
超音波検査装置Info
- Publication number
- JPH0474961A JPH0474961A JP2185359A JP18535990A JPH0474961A JP H0474961 A JPH0474961 A JP H0474961A JP 2185359 A JP2185359 A JP 2185359A JP 18535990 A JP18535990 A JP 18535990A JP H0474961 A JPH0474961 A JP H0474961A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspected
- signal
- probe
- distance
- subject
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/04—Wave modes and trajectories
- G01N2291/044—Internal reflections (echoes), e.g. on walls or defects
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は、被検体の欠陥を検査する超音波検査装置に関
する。
する。
（従来の技術）
従来から、超音波検査装置で検査するときに被検体の上
部に付着する気泡を検出して正確な検査データを得たい
との要請は、多くの検査分野から出されている。
部に付着する気泡を検出して正確な検査データを得たい
との要請は、多くの検査分野から出されている。
従来の被検体内部の欠陥を検出する方法の一つとして使
われている超音波検査装置は第５図しこ示すように、水
槽１に被検体２を沈め、同じく水槽１に挿入された探触
子３から被検体２に向けて超音波を発振し、被検体２の
内部の例えば気泡部からの反射波を受信してＲＦ （ｒ
ａｄｉｏ ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ）信号とし、このＲＦ倍
信号被検体の部分からの反射波だけを取り出すために、
所定の時間後に所定の時間だけの信号を取り出し、欠陥
として表示させるものである。
われている超音波検査装置は第５図しこ示すように、水
槽１に被検体２を沈め、同じく水槽１に挿入された探触
子３から被検体２に向けて超音波を発振し、被検体２の
内部の例えば気泡部からの反射波を受信してＲＦ （ｒ
ａｄｉｏ ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ）信号とし、このＲＦ倍
信号被検体の部分からの反射波だけを取り出すために、
所定の時間後に所定の時間だけの信号を取り出し、欠陥
として表示させるものである。
ＲＦ倍信号表示する方法として、オシロスコープ７の横
軸に時間を縦軸にＲＦ倍信号波形の振幅をとったＡスコ
ープ表示し、探触子３をｘ、Ｙの二方向に走査させてＲ
Ｆ信号波形の正又は負の最大値を階調表示するＣスコー
プ表示とがある。被検体２の内部に剥離や気泡があると
、超音波の反射はほぼ１００％となり、又表面からの反
射は約３０％となる。
軸に時間を縦軸にＲＦ倍信号波形の振幅をとったＡスコ
ープ表示し、探触子３をｘ、Ｙの二方向に走査させてＲ
Ｆ信号波形の正又は負の最大値を階調表示するＣスコー
プ表示とがある。被検体２の内部に剥離や気泡があると
、超音波の反射はほぼ１００％となり、又表面からの反
射は約３０％となる。
（発明が解決しようとする課題）
第６図（ａ）は被検体２の表面に気泡がないときの波形
、同図（ｂ）は気泡があるときの波形である。
、同図（ｂ）は気泡があるときの波形である。
ここで被検体２を水槽内に沈める際に、気泡が被検体２
の上部に付着することが多く、被検体２の内部の欠陥だ
けを取り出すための遅延時間の位置が気泡で被検体２の
表面波形を取り出してしまい、Ｃスコープ上では欠陥波
形が表面波形かの区別がつかず、Ａスコープ上で波形の
位置（時間）を確認しなければならないので、非常に作
業性の悪いものとなっていた。
の上部に付着することが多く、被検体２の内部の欠陥だ
けを取り出すための遅延時間の位置が気泡で被検体２の
表面波形を取り出してしまい、Ｃスコープ上では欠陥波
形が表面波形かの区別がつかず、Ａスコープ上で波形の
位置（時間）を確認しなければならないので、非常に作
業性の悪いものとなっていた。
そこで、本発明の目的は、被検体上部の気泡の有無を常
に正確かつ迅速に検出することのできる超音波検査装置
を得ることである。
に正確かつ迅速に検出することのできる超音波検査装置
を得ることである。
（課題を解決するための手段と作用）
本発明は、探触子から被検体に発振された超音波の反射
波を受信してＲＦ倍信号し、このＲＦ倍信号データを表
示して被検体の欠陥の有無を検査する超音波検査装置に
おいて、探触子と被検体表面までの距離を入力する第１
の手段と、ＲＦ倍信号発生するレシーバに接続されＲＦ
倍信号各検査点毎の先頭波形位置を検出し演算する第２
の手段と、被検体表面までの入力距離と各検査点毎の先
頭波形位置の演算値との位置関係を比較し演算する第３
の手段と、被検体の上部に気泡が付着している判断する
距離をＣＰＵに入力する第４の手段と、第３の手段の演
算結果と第４の手段の入力値を比較してその結果を表示
器に送信する第５の手段を設けることで、被検体上部に
付着した気泡を検出して被検体の内部欠陥を正確かつ迅
速に検査することのできる超音波検査装置である。
波を受信してＲＦ倍信号し、このＲＦ倍信号データを表
示して被検体の欠陥の有無を検査する超音波検査装置に
おいて、探触子と被検体表面までの距離を入力する第１
の手段と、ＲＦ倍信号発生するレシーバに接続されＲＦ
倍信号各検査点毎の先頭波形位置を検出し演算する第２
の手段と、被検体表面までの入力距離と各検査点毎の先
頭波形位置の演算値との位置関係を比較し演算する第３
の手段と、被検体の上部に気泡が付着している判断する
距離をＣＰＵに入力する第４の手段と、第３の手段の演
算結果と第４の手段の入力値を比較してその結果を表示
器に送信する第５の手段を設けることで、被検体上部に
付着した気泡を検出して被検体の内部欠陥を正確かつ迅
速に検査することのできる超音波検査装置である。
（実施例）
以下、本発明の超音波検査装置の一実施例を図面を参照
して説明する。
して説明する。
第１図は、本発明の超音波検査装置を示す図である。
同図において、水槽１の底面に置かれた被検体２に向け
て超音波を発振する探触子３は走査装置４に支持され、
被検体２に対して直交するニガ法、即ちＸ方向とＹ方向
に移動可能となっている。
て超音波を発振する探触子３は走査装置４に支持され、
被検体２に対して直交するニガ法、即ちＸ方向とＹ方向
に移動可能となっている。
探触子３は、それに超音波を発生するためのパルス信号
を送信するパルサ５と被検体２からの反射波を受信しそ
れに応じたＲＦ倍信号発生するレシーバ６とに接続され
ており、レシーバ６にはそのＲＦ倍信号Ａスコープ表示
するオシロスコープ７が接続されている。
を送信するパルサ５と被検体２からの反射波を受信しそ
れに応じたＲＦ倍信号発生するレシーバ６とに接続され
ており、レシーバ６にはそのＲＦ倍信号Ａスコープ表示
するオシロスコープ７が接続されている。
レシーバ６には又、ＲＦ倍信号正のピークの最大値と負
のピークの絶対値の最大値とを検出するピークディテク
タ８と、探触子３から各波形までの時間を検出するビー
ム路程検出器９が接続されている。
のピークの絶対値の最大値とを検出するピークディテク
タ８と、探触子３から各波形までの時間を検出するビー
ム路程検出器９が接続されている。
ピークディテクタ８は、正のピークの最大値と負のピー
クの絶対値の最大値に比例したＤＣ電圧を出力するよう
になっており、このＤＣ電圧はそれぞれのＡＤ変換器１
０．１１でデジタル信号に変換された後、ＣＰＵ１２に
入力される。
クの絶対値の最大値に比例したＤＣ電圧を出力するよう
になっており、このＤＣ電圧はそれぞれのＡＤ変換器１
０．１１でデジタル信号に変換された後、ＣＰＵ１２に
入力される。
ＣＰＵ１２では、第２図に示すようなプログラムが組ま
れている。即ち、探触子３から被検体２の表面までの距
離を入力手段１７で入力した値×１と。
れている。即ち、探触子３から被検体２の表面までの距
離を入力手段１７で入力した値×１と。
探触子３から各検査ポイント毎の先頭波形までの距離ｘ
２を演算した値とを比較して演算値Ｘ３を得るための演
算を行う。
２を演算した値とを比較して演算値Ｘ３を得るための演
算を行う。
次に、この演算値Ｘ、はさらに、前記被検体２の上部に
気泡が付いていると判断する距離を入力手段１８で入力
した値ｘ４とを比較して大小の判定を行い、それに応じ
た信号を画像信号として発生するようになっている。本
実施例では、この値が大きいときには、ＣＲＴ１３に被
検体内部情報に優先して白色を表示し、小さいときには
、ＣＲＴ１３に被検体内部情報を表示させるようにして
いる。
気泡が付いていると判断する距離を入力手段１８で入力
した値ｘ４とを比較して大小の判定を行い、それに応じ
た信号を画像信号として発生するようになっている。本
実施例では、この値が大きいときには、ＣＲＴ１３に被
検体内部情報に優先して白色を表示し、小さいときには
、ＣＲＴ１３に被検体内部情報を表示させるようにして
いる。
画像信号は、ＣＰＵ１２に接続された画像入出力装置１
４に出力される。画像入出力装置１４は、画像メモリ１
５とＣＲＴｌ３に接続され、ＣＰＵ１２から送られてき
た画像信号を画像メモリ１５に一時記憶させ、ＣＲＴｌ
、３に出力されるようになっている。
４に出力される。画像入出力装置１４は、画像メモリ１
５とＣＲＴｌ３に接続され、ＣＰＵ１２から送られてき
た画像信号を画像メモリ１５に一時記憶させ、ＣＲＴｌ
、３に出力されるようになっている。
ＣＰＵ１２は、又、走査袋Ｗ４を上述のように走査させ
るためのスキャナコントローラ１６に接続され、これに
より被検体２の所定の範囲に亘って画像信号を得、この
信号でＣスコープ表示をＣＲＴｌ３の表示画面上に表示
させることができる。
るためのスキャナコントローラ１６に接続され、これに
より被検体２の所定の範囲に亘って画像信号を得、この
信号でＣスコープ表示をＣＲＴｌ３の表示画面上に表示
させることができる。
このように構成された超音波検査装置においては、今、
レシーバ６から送られたＲＦ倍信号波形が第３図に示す
ような形をしているとすると、ビーム路程検出器９を通
過して探触子３から被検体２の先頭までの時間ｔ工がＣ
ＰＵ１２に入力され、このＣＰＵ１２で被検体２の先頭
までの距離（ｔｔ Ｘ音速）が演算されｘ２の演算値を
得る。
レシーバ６から送られたＲＦ倍信号波形が第３図に示す
ような形をしているとすると、ビーム路程検出器９を通
過して探触子３から被検体２の先頭までの時間ｔ工がＣ
ＰＵ１２に入力され、このＣＰＵ１２で被検体２の先頭
までの距離（ｔｔ Ｘ音速）が演算されｘ２の演算値を
得る。
この値と探触子３から被検体２の表面までを入力した値
ｘ１と比較して演算値Ｘ、を得る。
ｘ１と比較して演算値Ｘ、を得る。
ＣＰＵ１２においては、さらに、演算値Ｘ、と被検体２
の上部に気泡が付いていると判断される距離を入力した
値ｘ４との大小を判定し、この場合は小であるので、そ
れに応じた画像信号例えばＣＲＴｌ３には表面情報は表
示しないで被検体２の内部情報を表示する。
の上部に気泡が付いていると判断される距離を入力した
値ｘ４との大小を判定し、この場合は小であるので、そ
れに応じた画像信号例えばＣＲＴｌ３には表面情報は表
示しないで被検体２の内部情報を表示する。
なお、この値が小であることは被検体２の表面には気泡
が付いていないことを示す。
が付いていないことを示す。
次に、レシーバ６から送られたＲＦ倍信号波形が第４図
に示すような形化をしているとすると、同様にビーム路
程検出器９を通過して探触子３から被検体２の先頭まで
の時間ｔ２がＣＰＵ１２に入力され、このＣＰＵ１２で
被検体２の先頭までの距離（ｔ２Ｘ音速）が演算されＸ
ｚａの演算値を得る。
に示すような形化をしているとすると、同様にビーム路
程検出器９を通過して探触子３から被検体２の先頭まで
の時間ｔ２がＣＰＵ１２に入力され、このＣＰＵ１２で
被検体２の先頭までの距離（ｔ２Ｘ音速）が演算されＸ
ｚａの演算値を得る。
この値と探触子３から、被検体２の表面までを入力した
値Ｘ工とを比較し演算値ｘ３ａを得る。
値Ｘ工とを比較し演算値ｘ３ａを得る。
ＣＰＵ１２では、さらに演算値Ｌａと被検体２の上部に
気泡が付いていると判断される距離を入力した値Ｘ４ａ
との大小を判定し、この場合は大であるので、それに
応じた画像信号例えばＣＲＴｌ３には白を写し出す画像
信号を発生しそれを表示する。
気泡が付いていると判断される距離を入力した値Ｘ４ａ
との大小を判定し、この場合は大であるので、それに
応じた画像信号例えばＣＲＴｌ３には白を写し出す画像
信号を発生しそれを表示する。
なお、この値が犬であることは、被検体２の表面に気泡
が付いていることを示す。
が付いていることを示す。
このようにして被検体２の所定の走査範囲に亘って画像
信号を得、ＣＲＴｌ３に表示させることで、被検体２の
表面に気泡がある部分は白色で表示され、気泡がない部
分は表面の情報は表示しないで被検体２の内部情報を表
示したＣスコープ画像が得られる。
信号を得、ＣＲＴｌ３に表示させることで、被検体２の
表面に気泡がある部分は白色で表示され、気泡がない部
分は表面の情報は表示しないで被検体２の内部情報を表
示したＣスコープ画像が得られる。
これにより、容易かつ迅速に気泡の有無を検出すること
ができる。
ができる。
以上、本発明によれば、探触子から被検体に発振された
超音波の反射波を受信してＲＦ倍信号し、このＲＦ倍信
号データを表示して被検体の欠陥の有無を検査する超音
波検査装置において、探触子と被検体表面までの距離を
入力する第１の手段と、ＲＦ倍信号発生するレシーバに
接続されＲＦ倍信号各検査点毎の先頭波形位置を検出し
演算する第２の手段と、被検査体表面までの入力距離と
各検査点毎の先頭波形位置の演算値との位置関係を比較
し演算する第３の手段と、被検体の上部に気泡が付着し
ていると判断する距離をＣＰＵに入力する第４の手段と
、第３の手段の演算結果と第４の手段の入力値を比較し
てその結果を表示器に送信する第５の手段を設けたので
、被検体の上部の気泡の有無にかかわらず、被検体の内
部欠陥を正確且つ迅速に検出することのできる超音波検
査装置を得ることができる。
超音波の反射波を受信してＲＦ倍信号し、このＲＦ倍信
号データを表示して被検体の欠陥の有無を検査する超音
波検査装置において、探触子と被検体表面までの距離を
入力する第１の手段と、ＲＦ倍信号発生するレシーバに
接続されＲＦ倍信号各検査点毎の先頭波形位置を検出し
演算する第２の手段と、被検査体表面までの入力距離と
各検査点毎の先頭波形位置の演算値との位置関係を比較
し演算する第３の手段と、被検体の上部に気泡が付着し
ていると判断する距離をＣＰＵに入力する第４の手段と
、第３の手段の演算結果と第４の手段の入力値を比較し
てその結果を表示器に送信する第５の手段を設けたので
、被検体の上部の気泡の有無にかかわらず、被検体の内
部欠陥を正確且つ迅速に検出することのできる超音波検
査装置を得ることができる。
第１図は本発明の超音波検査装置の一実施例を示す図、
第２図は本発明の超音波検査装置の作用を示すフローチ
ャート、第３図と第４図は本発明の超音波検査装置の作
用を示す図で、第３図は被検体表面に気泡がないときの
被検体の表面波形、第４図は被検体表面に気泡があると
きの被検体表面波形、第５図は従来の超音波検査装置を
示す図、第６図は従来の超音波検査装置の作用を示す図
である。 ２・・・被検体 ３・・・探触子６・・・
レシーバ １２・・・ＣＰＵ１３・・・ＣＲ
Ｔ
第２図は本発明の超音波検査装置の作用を示すフローチ
ャート、第３図と第４図は本発明の超音波検査装置の作
用を示す図で、第３図は被検体表面に気泡がないときの
被検体の表面波形、第４図は被検体表面に気泡があると
きの被検体表面波形、第５図は従来の超音波検査装置を
示す図、第６図は従来の超音波検査装置の作用を示す図
である。 ２・・・被検体 ３・・・探触子６・・・
レシーバ １２・・・ＣＰＵ１３・・・ＣＲ
Ｔ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 探触子から被検体に発振された超音波の反射波を受信し
てＲＦ信号とし、このＲＦ信号のデータを表示して前記
被検体の欠陥の有無を検査する超音波検査装置において
、 前記探触子と前記被検体表面までの距離を入力する第１
の手段と、前記ＲＦ信号を発生するレシーバに接続され
前記ＲＦ信号の各検査点毎の先頭波形位置を検出し演算
する第２の手段と、前記被検体表面までの入力距離と前
記各検査点毎の先頭波形位置の演算値との位置関係を比
較し演算する第３の手段と、前記被検体の上部に気泡が
付着していると判断する距離をＣＰＵに入力する第４の
手段と、前記第３の手段の演算結果と前記第４の手段の
入力値を比較してその結果を表示器に送信する第５の手
段を設けたことを特徴とする超音波検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2185359A JPH0474961A (ja) | 1990-07-16 | 1990-07-16 | 超音波検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2185359A JPH0474961A (ja) | 1990-07-16 | 1990-07-16 | 超音波検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0474961A true JPH0474961A (ja) | 1992-03-10 |
Family
ID=16169415
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2185359A Pending JPH0474961A (ja) | 1990-07-16 | 1990-07-16 | 超音波検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0474961A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020186914A (ja) * | 2019-05-09 | 2020-11-19 | 株式会社日立パワーソリューションズ | 超音波検査装置及び超音波検査システム |
-
1990
- 1990-07-16 JP JP2185359A patent/JPH0474961A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020186914A (ja) * | 2019-05-09 | 2020-11-19 | 株式会社日立パワーソリューションズ | 超音波検査装置及び超音波検査システム |
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