JPH0526857A - 超音波検査方法 - Google Patents
超音波検査方法Info
- Publication number
- JPH0526857A JPH0526857A JP3180068A JP18006891A JPH0526857A JP H0526857 A JPH0526857 A JP H0526857A JP 3180068 A JP3180068 A JP 3180068A JP 18006891 A JP18006891 A JP 18006891A JP H0526857 A JPH0526857 A JP H0526857A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- probe
- inspection
- defect
- value
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/04—Analysing solids
- G01N29/07—Analysing solids by measuring propagation velocity or propagation time of acoustic waves
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/04—Analysing solids
- G01N29/11—Analysing solids by measuring attenuation of acoustic waves
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/44—Processing the detected response signal, e.g. electronic circuits specially adapted therefor
- G01N29/4454—Signal recognition, e.g. specific values or portions, signal events, signatures
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/04—Wave modes and trajectories
- G01N2291/044—Internal reflections (echoes), e.g. on walls or defects
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 探触子の検査能力を把握し、常に一定以上に
維持することで、被検体からの反射波に基づき出力され
るＲＦ信号波形のピーク電圧から欠陥部の有無が判断可
能である超音波検査方法を提供するものである。 【構成】 所定数また所定時間検査後に、探触子により
基準欠陥を有する被検体２ｆからのＲＦ信号のピーク電
圧の値Ｘｆと予め入力された基準欠陥を検出するのに必
要な最小のＲＦ信号の値Ｘmin を比較する。Ｘｆ≧Ｘmi
n の場合には、検査を続行する。Ｘｆ＜Ｘmin の場合に
は、探触子のＲＦゲインをＸｆ＞Ｘmin まで上昇させ
て、検査を続行する。
維持することで、被検体からの反射波に基づき出力され
るＲＦ信号波形のピーク電圧から欠陥部の有無が判断可
能である超音波検査方法を提供するものである。 【構成】 所定数また所定時間検査後に、探触子により
基準欠陥を有する被検体２ｆからのＲＦ信号のピーク電
圧の値Ｘｆと予め入力された基準欠陥を検出するのに必
要な最小のＲＦ信号の値Ｘmin を比較する。Ｘｆ≧Ｘmi
n の場合には、検査を続行する。Ｘｆ＜Ｘmin の場合に
は、探触子のＲＦゲインをＸｆ＞Ｘmin まで上昇させ
て、検査を続行する。
Description
［発明の目的］
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、被検体の欠陥を検査す
る超音波検査方法に関する。
る超音波検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、特に超音波検査装置により自動検
査を行う場合において、常に探触子の性能を検知し正確
な検査データを得たいとの要請は、多くの検査分野から
出されている。
査を行う場合において、常に探触子の性能を検知し正確
な検査データを得たいとの要請は、多くの検査分野から
出されている。
【０００３】従来の被検体内部の欠陥を検出する方法の
一つとして使われている超音波検査装置は図４に示す様
に、水槽１に被検体２を沈め、同じく水槽１に挿入され
た探触子３から被検体２に向けて超音波を発信し、被検
体２の内部の反射波を受信してＲＦ（Radio frequency
）信号とし、このＲＦ信号から被検体２の内部の例え
ば気泡部からの反射波だけを取り出すために、所定時間
後に所定時間だけの信号を取り出し、欠陥として表示さ
せるものである。
一つとして使われている超音波検査装置は図４に示す様
に、水槽１に被検体２を沈め、同じく水槽１に挿入され
た探触子３から被検体２に向けて超音波を発信し、被検
体２の内部の反射波を受信してＲＦ（Radio frequency
）信号とし、このＲＦ信号から被検体２の内部の例え
ば気泡部からの反射波だけを取り出すために、所定時間
後に所定時間だけの信号を取り出し、欠陥として表示さ
せるものである。
【０００４】これは、被検体に接着部のはく離又はボイ
ド等の欠陥があると、そのような界面における超音波の
反射はほぼ１００％となり、欠陥のない部位からの反射
に比べてレベルが大きくなる。又超音波は音波インバー
ダンス（物質の密度と音速の比）の大きい物質から小さ
い物質に入射する場合には、反射波の位相が反転する性
質を持っているので、接着部のはく離又はボイド等の欠
陥があると、欠陥がない部位から反射波の位相に対して
そこからの反射波の位相は反転しており、前者の位相を
正とすれば後者の位相は負を示すことになる。このよう
な特性を利用して、表示されたＲＦ信号から欠陥の有無
を検査するものである。
ド等の欠陥があると、そのような界面における超音波の
反射はほぼ１００％となり、欠陥のない部位からの反射
に比べてレベルが大きくなる。又超音波は音波インバー
ダンス（物質の密度と音速の比）の大きい物質から小さ
い物質に入射する場合には、反射波の位相が反転する性
質を持っているので、接着部のはく離又はボイド等の欠
陥があると、欠陥がない部位から反射波の位相に対して
そこからの反射波の位相は反転しており、前者の位相を
正とすれば後者の位相は負を示すことになる。このよう
な特性を利用して、表示されたＲＦ信号から欠陥の有無
を検査するものである。
【０００５】ＲＦ信号を表示する方法として、オシロス
コープ７の横軸に時間を縦軸にＲＦ信号の波形の振幅を
表示するＡスコープ表示と、探触子３をＸ，Ｙの二方向
に走査させて横軸に探触子３のＸ方向移動距離を、縦軸
に探触子のＹ方向移動距離をとり、ＲＦ信号波形の正又
は負の最大値を階調表示するＣスコープ表示とがある。
コープ７の横軸に時間を縦軸にＲＦ信号の波形の振幅を
表示するＡスコープ表示と、探触子３をＸ，Ｙの二方向
に走査させて横軸に探触子３のＸ方向移動距離を、縦軸
に探触子のＹ方向移動距離をとり、ＲＦ信号波形の正又
は負の最大値を階調表示するＣスコープ表示とがある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】図３の（ａ）は短時間
しか使用していない探触子で、被検体２の内部の剥離を
検出したときの波形、同図（ｂ）は長時間使用した探触
子で、検出したときの波形をＡスコープ表示したもので
ある。
しか使用していない探触子で、被検体２の内部の剥離を
検出したときの波形、同図（ｂ）は長時間使用した探触
子で、検出したときの波形をＡスコープ表示したもので
ある。
【０００７】ここで同一種類の被検体を多量に検査する
場合に、当初の探触子のＲＦ信号波形と、ある時間経過
後のＲＦ信号波形とを比べると、長時間使用による探触
子３の性能劣化により後者の波形の方がピーク電圧が低
下してしう。そのため、ピ−ク電圧値を基に欠陥を検出
しているので、結果として不良品が良品になる場合もあ
り、正確な検査が出来なくなるという問題点があった。
場合に、当初の探触子のＲＦ信号波形と、ある時間経過
後のＲＦ信号波形とを比べると、長時間使用による探触
子３の性能劣化により後者の波形の方がピーク電圧が低
下してしう。そのため、ピ−ク電圧値を基に欠陥を検出
しているので、結果として不良品が良品になる場合もあ
り、正確な検査が出来なくなるという問題点があった。
【０００８】そこで、本発明の目的は、探触子のＲＦ信
号波形のピーク電圧を常に正確かつ迅速に検出すること
により、正確な超音波検査をすることができる超音波検
査方法を提供するものである。 ［発明の構成］
号波形のピーク電圧を常に正確かつ迅速に検出すること
により、正確な超音波検査をすることができる超音波検
査方法を提供するものである。 ［発明の構成］
【０００９】
【課題を解決するための手段と作用】超音波を発生し、
被検体に向けて発信して、その反射波を受信してＲＦ信
号とする超音波送受信手段と、この超音波送受信手段の
出力するＲＦ信号を表示する表示手段とを有し、被検体
の欠陥の有無を検査する超音波検査方法において、基準
欠陥からの反射波のＲＦ信号のピーク値を検出し、この
ピーク値を予め設定された前記基準欠陥を検出可能な最
小のＲＦ信号のピーク値と比較し、基準欠陥からの反射
波のＲＦ信号のピーク値が、予め設定されたＲＦ信号の
ピーク値より小さい場合に、超音波送受信手段に対して
ゲイン調整を行い基準欠陥からの反射波のＲＦ信号のピ
ーク値が予め設定されたＲＦ信号のピーク値より大きく
する超音波送受手段の検査能力評価工程を検査工程の間
に設けたことを特徴とするものである。
被検体に向けて発信して、その反射波を受信してＲＦ信
号とする超音波送受信手段と、この超音波送受信手段の
出力するＲＦ信号を表示する表示手段とを有し、被検体
の欠陥の有無を検査する超音波検査方法において、基準
欠陥からの反射波のＲＦ信号のピーク値を検出し、この
ピーク値を予め設定された前記基準欠陥を検出可能な最
小のＲＦ信号のピーク値と比較し、基準欠陥からの反射
波のＲＦ信号のピーク値が、予め設定されたＲＦ信号の
ピーク値より小さい場合に、超音波送受信手段に対して
ゲイン調整を行い基準欠陥からの反射波のＲＦ信号のピ
ーク値が予め設定されたＲＦ信号のピーク値より大きく
する超音波送受手段の検査能力評価工程を検査工程の間
に設けたことを特徴とするものである。
【００１０】
【実施例】本発明の超音波検査方法の実施例を図面によ
って説明する。
って説明する。
【００１１】図１は、本発明による実施例を示す超音波
検査装置の構成図である。同図において、水槽１の底面
に置かれた被検体２に向けて超音波を発信する探触子３
は走査装置４に支持され、被検体２に対して直交する二
方向、即ちＸ方向とＹ方向に移動可能となっている。
検査装置の構成図である。同図において、水槽１の底面
に置かれた被検体２に向けて超音波を発信する探触子３
は走査装置４に支持され、被検体２に対して直交する二
方向、即ちＸ方向とＹ方向に移動可能となっている。
【００１２】又スキャナーコントローラ１６により走査
装置４は自動スキャンが可能となっており、その走査原
点に基準欠陥を有した被検体２ｆの欠陥が来るように、
水槽１の底面に置かれている。
装置４は自動スキャンが可能となっており、その走査原
点に基準欠陥を有した被検体２ｆの欠陥が来るように、
水槽１の底面に置かれている。
【００１３】探触子３は、それに超音波を発生するため
のパルス信号を送信するパルサ５と被検体２からの反射
波を受信しそれに応じたＲＦ信号を発生するレシーバ６
とに接続されており、レシーバ６にはそのＲＦ信号をＡ
スコープ表示するオシロスコープ７が接続されている。
のパルス信号を送信するパルサ５と被検体２からの反射
波を受信しそれに応じたＲＦ信号を発生するレシーバ６
とに接続されており、レシーバ６にはそのＲＦ信号をＡ
スコープ表示するオシロスコープ７が接続されている。
【００１４】また、レシーバ６には、ＲＦ信号の正のピ
ークの最大値と、負のピークの絶対値の最大値を検出す
るピークディテクタ８と、探触子３から各波形までの時
間を検出するビーム路程検出器９が接続されている。
ークの最大値と、負のピークの絶対値の最大値を検出す
るピークディテクタ８と、探触子３から各波形までの時
間を検出するビーム路程検出器９が接続されている。
【００１５】ピークディテクタ８は、レシーバ６から入
力されたＲＦ信号の正のピークの最大値と負のピークの
絶対値の最大値に比例したＤＣ電圧を出力するようにな
っており、このＤＣ電圧はそれぞれのＡＤ変換器１０，
１１でデジタル信号に変換され後、ＣＰＵ１２に入力さ
れる。ＣＰＵ１２では、図２のフローチャートに示すよ
うなプログラムが組まれている。
力されたＲＦ信号の正のピークの最大値と負のピークの
絶対値の最大値に比例したＤＣ電圧を出力するようにな
っており、このＤＣ電圧はそれぞれのＡＤ変換器１０，
１１でデジタル信号に変換され後、ＣＰＵ１２に入力さ
れる。ＣＰＵ１２では、図２のフローチャートに示すよ
うなプログラムが組まれている。
【００１６】即ち、基準欠陥を有する被検体２ｆからの
ＲＦ信号の負のピークの絶対値の最大値に比例した電圧
値であるピーク電圧の値Ｘｆと、欠陥検出必要電圧入力
器１７により入力した予め基準欠陥を検出するに必要な
ＲＦ信号の最小ピーク電圧値Ｘmin とを比較して大小の
判定を行い、それに応じてＲＦ信号のゲインを調整する
ようになっている。本実施例では、この値が小さいとき
には、ＲＦ信号のゲインをこの値が大きくなるまで上昇
させるようにしている。
ＲＦ信号の負のピークの絶対値の最大値に比例した電圧
値であるピーク電圧の値Ｘｆと、欠陥検出必要電圧入力
器１７により入力した予め基準欠陥を検出するに必要な
ＲＦ信号の最小ピーク電圧値Ｘmin とを比較して大小の
判定を行い、それに応じてＲＦ信号のゲインを調整する
ようになっている。本実施例では、この値が小さいとき
には、ＲＦ信号のゲインをこの値が大きくなるまで上昇
させるようにしている。
【００１７】また、ゲイン上昇限を設けて、所定値以上
にＲＦ信号のゲインを上昇しないようにする。画像信号
は、ＣＰＵ１２に接続された画像入出力装置１４に出力
される。画像入出力装置１４は、画像メモリ１５とＣＲ
Ｔ１３に接続され、ＣＰＵ１２から送られてきた画像信
号を画像メモリ１５に一時記憶させ、ＣＲＴ１３に出力
されるようになっている。
にＲＦ信号のゲインを上昇しないようにする。画像信号
は、ＣＰＵ１２に接続された画像入出力装置１４に出力
される。画像入出力装置１４は、画像メモリ１５とＣＲ
Ｔ１３に接続され、ＣＰＵ１２から送られてきた画像信
号を画像メモリ１５に一時記憶させ、ＣＲＴ１３に出力
されるようになっている。
【００１８】ＣＰＵ１２は、又、走査装置４を上述のよ
うに走査させるためのスキャナコントローラ１６に接続
され、これにより被検体２の所定の範囲に亘って画像信
号を得て、この信号でＣスコープ表示をＣＲＴ１３の表
示画面上に表示させることができる。このように構成さ
れた超音波検査装置においては、今、被検体２を検査す
る際に、スキャナー４に支持された探触子３は検査原点
にある。
うに走査させるためのスキャナコントローラ１６に接続
され、これにより被検体２の所定の範囲に亘って画像信
号を得て、この信号でＣスコープ表示をＣＲＴ１３の表
示画面上に表示させることができる。このように構成さ
れた超音波検査装置においては、今、被検体２を検査す
る際に、スキャナー４に支持された探触子３は検査原点
にある。
【００１９】この原点の直下に設置された基準欠陥を有
した被検体２ｆの欠陥から検出され、レシーバ６から送
られたＲＦ信号の波形が図３に示すような形をしている
とすると、ピークディテクタ８及びＡ／Ｄ変換器１０に
より基準欠陥のＲＦ信号のピーク電圧の値ＸｆがＣＰＵ
１２に入力される。
した被検体２ｆの欠陥から検出され、レシーバ６から送
られたＲＦ信号の波形が図３に示すような形をしている
とすると、ピークディテクタ８及びＡ／Ｄ変換器１０に
より基準欠陥のＲＦ信号のピーク電圧の値ＸｆがＣＰＵ
１２に入力される。
【００２０】ピーク電圧の値Ｘｐと、予め欠陥検出必要
電圧入力器１７で基準欠陥を検出するに必要なＲＦ信号
の最小ピーク電圧を値Ｘmin とを比較して大小の判定を
行い、それに応じてＲＦ信号のゲインを調整するように
なっている。
電圧入力器１７で基準欠陥を検出するに必要なＲＦ信号
の最小ピーク電圧を値Ｘmin とを比較して大小の判定を
行い、それに応じてＲＦ信号のゲインを調整するように
なっている。
【００２１】画像信号は、ＣＰＵ１２に接続された画像
入出力装置１４に出力される。画像入出力装置１４は、
画像メモリ１５とＣＲＴ１３に接続され、ＣＰＵ１２か
ら送られてきた画像信号を画像メモリ１５に一時機記さ
れ、ＣＲＴ１３に出力されるようになっている。
入出力装置１４に出力される。画像入出力装置１４は、
画像メモリ１５とＣＲＴ１３に接続され、ＣＰＵ１２か
ら送られてきた画像信号を画像メモリ１５に一時機記さ
れ、ＣＲＴ１３に出力されるようになっている。
【００２２】ＣＰＵ１２は走査装置４を上述のように走
査させるためのスキャナーコントローラ１６に接続さ
れ、これにより被検体２の所定の範囲に亘って画像信号
を得、この信号でＣスコープ表示をＣＲＴ１３の表示画
面上に表示させることができる。このように構成された
超音波検査装置においては、超音波検査を開始する場合
は最初に、探触子３の検査能力評価を行う。
査させるためのスキャナーコントローラ１６に接続さ
れ、これにより被検体２の所定の範囲に亘って画像信号
を得、この信号でＣスコープ表示をＣＲＴ１３の表示画
面上に表示させることができる。このように構成された
超音波検査装置においては、超音波検査を開始する場合
は最初に、探触子３の検査能力評価を行う。
【００２３】そのために、スキャナー４に支持された探
触子３は検査原点上に位置して、この原点の直下に設置
された基準欠陥を有した被検体２ｆの欠陥からの反射波
を受信し、それに応じたＲＦ信号の波形をレシーバ６は
出力する。レシーバ６の出力するＲＦ信号の波形は図３
の（ａ）に示すような形をしており、この出力波形から
ピークディテクタ８及びＡ／Ｄ変換器１０により基準欠
陥のＲＦ信号のピーク電圧値Ｘｆが検出され、このピー
ク電圧値Ｘｆは、ＣＰＵ１２に入力される。
触子３は検査原点上に位置して、この原点の直下に設置
された基準欠陥を有した被検体２ｆの欠陥からの反射波
を受信し、それに応じたＲＦ信号の波形をレシーバ６は
出力する。レシーバ６の出力するＲＦ信号の波形は図３
の（ａ）に示すような形をしており、この出力波形から
ピークディテクタ８及びＡ／Ｄ変換器１０により基準欠
陥のＲＦ信号のピーク電圧値Ｘｆが検出され、このピー
ク電圧値Ｘｆは、ＣＰＵ１２に入力される。
【００２４】この値と基準欠陥を検出するのに必要な予
め設定されたＲＦ信号の最小のピーク電圧値Ｘmin との
大小を判定し、Ｘｆ≧Ｘmin の場合には、検査可能信号
をスキャナコントローラ１６に出力する。
め設定されたＲＦ信号の最小のピーク電圧値Ｘmin との
大小を判定し、Ｘｆ≧Ｘmin の場合には、検査可能信号
をスキャナコントローラ１６に出力する。
【００２５】図３の（ｂ）に示すように、Ｘｆ＜Ｘmin
の場合には、ＲＦ信号のゲインをＸｆ≧Ｘmin になるま
で上昇させた後に、検査可能信号をスキャナーコントロ
ーラ１６に出力する。
の場合には、ＲＦ信号のゲインをＸｆ≧Ｘmin になるま
で上昇させた後に、検査可能信号をスキャナーコントロ
ーラ１６に出力する。
【００２６】なお、この時にＲＦ信号のゲインを上昇さ
せてもＸ1 ＜Ｘｆにならなくなった時または許容される
ゲイン上昇限を超える時には、警報及びＣＲＴ１３にメ
ッセージを表示する。次に探触子３はスキャナー４によ
り被検体２の上方の位置に移動し、被検体２に対して検
査を開始する。
せてもＸ1 ＜Ｘｆにならなくなった時または許容される
ゲイン上昇限を超える時には、警報及びＣＲＴ１３にメ
ッセージを表示する。次に探触子３はスキャナー４によ
り被検体２の上方の位置に移動し、被検体２に対して検
査を開始する。
【００２７】所定時間または所定数検査後、スキャナー
４により基準被検体２ｆ上方位置に移動し、基準欠陥に
対するＲＦ信号のピーク電圧値Ｘｆを検出する。この値
Ｘｆと基準欠陥を検出するに必要な予め設定されたＲＦ
信号の最小のピーク電圧値Ｘmin の大小を判定し、再度
探触子３の検出能力評価を行なう。このように、所定時
間または所定数検査後ごとに探触子３の検査能力を行
う。そのため、探触子３の検査能力を常に一定以上に維
持することができるので、信頼性の高い超音波検査を行
うことができる。
４により基準被検体２ｆ上方位置に移動し、基準欠陥に
対するＲＦ信号のピーク電圧値Ｘｆを検出する。この値
Ｘｆと基準欠陥を検出するに必要な予め設定されたＲＦ
信号の最小のピーク電圧値Ｘmin の大小を判定し、再度
探触子３の検出能力評価を行なう。このように、所定時
間または所定数検査後ごとに探触子３の検査能力を行
う。そのため、探触子３の検査能力を常に一定以上に維
持することができるので、信頼性の高い超音波検査を行
うことができる。
【００２８】一般に被検体のはく離のような欠陥のない
接着部に対し欠陥のある被検体からの接着部からの反射
波は、位相が反転し、かつ正のピークの最大値より負の
ピークの絶対値の最大値が大きいことが知られている。
このような波形を示す基準欠陥を有する被検体を用い
て、本実施例では、探触子の検出能力評価を行なった。
なお、ピーク電圧値Ｘ1 は単に波形レベルの大きさの最
大値としてもよい。
接着部に対し欠陥のある被検体からの接着部からの反射
波は、位相が反転し、かつ正のピークの最大値より負の
ピークの絶対値の最大値が大きいことが知られている。
このような波形を示す基準欠陥を有する被検体を用い
て、本実施例では、探触子の検出能力評価を行なった。
なお、ピーク電圧値Ｘ1 は単に波形レベルの大きさの最
大値としてもよい。
【００２９】
【発明の効果】本発明によれば、検査前後に超音波送受
信手段の出力するＲＦ信号により、基準欠陥を検出可能
となるようにＲＦ信号のゲインを調整する。
信手段の出力するＲＦ信号により、基準欠陥を検出可能
となるようにＲＦ信号のゲインを調整する。
【００３０】そのため超音波送受信手段の検査能力を把
握し、常に一定以上に検査能力を維持可能としたこと
で、超音波送受信手段の出力する被検体からのＲＦ信号
波形のピーク値を正確に検出する信頼性の高い超音波検
査方法を提供することができる。
握し、常に一定以上に検査能力を維持可能としたこと
で、超音波送受信手段の出力する被検体からのＲＦ信号
波形のピーク値を正確に検出する信頼性の高い超音波検
査方法を提供することができる。
【図１】図１は本発明の実施例を示す超音波検査装置の
構成図である。
構成図である。
【図２】図２は本発明の実施例を示す超音波検査装置の
作用を示すフローチャートである。
作用を示すフローチャートである。
【図３】図３は超音波検査装置の探触子が検出した欠陥
部からの反射波のＲＦ信号波形図である。
部からの反射波のＲＦ信号波形図である。
【図４】図４は従来の超音波検査装置を示す図である。
１…水槽、 ２…被検体、２
ｆ…基準被検体、 ３…探触子、４…スキャナ、
５…パルサ、６…レシーバ、
７…オシロスコープ、８…ピークデ
ィテクタ、 ９…ビーム路程検出器、１０…Ａ／Ｄ
変換器、 １１…Ａ／Ｄ変換器、１２…
ＣＰＵ、 １３…ＣＲＴ、１４…
画像入出力装置、 １５…画像メモリ、１
６…スキャナーコントローラ、 １７…欠陥検出必
要電圧入力器。
ｆ…基準被検体、 ３…探触子、４…スキャナ、
５…パルサ、６…レシーバ、
７…オシロスコープ、８…ピークデ
ィテクタ、 ９…ビーム路程検出器、１０…Ａ／Ｄ
変換器、 １１…Ａ／Ｄ変換器、１２…
ＣＰＵ、 １３…ＣＲＴ、１４…
画像入出力装置、 １５…画像メモリ、１
６…スキャナーコントローラ、 １７…欠陥検出必
要電圧入力器。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 超音波を発生し、被検体に向けて発信し
て、その反射波を受信してＲＦ信号とする超音波送受信
手段と、 この超音波送受信手段の出力するＲＦ信号を表示する表
示手段とを有し、被検体の欠陥の有無を検査する超音波
検査方法において、 基準欠陥からの反射波のＲＦ信号のピーク値を検出し、 このピーク値を予め設定された前記基準欠陥を検出可能
な最小のＲＦ信号のピーク値と比較し、 基準欠陥からの反射波のＲＦ信号のピーク値が、予め設
定されたＲＦ信号のピーク値より小さい場合に、超音波
送受信手段に対してゲイン調整を行い、基準欠陥からの
反射波のＲＦ信号のピーク値を予め設定されたＲＦ信号
のピーク値より大きくする超音波送受信手段の検査能力
評価工程を検査工程の間に設けたことを特徴とする超音
波検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3180068A JPH0526857A (ja) | 1991-07-22 | 1991-07-22 | 超音波検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3180068A JPH0526857A (ja) | 1991-07-22 | 1991-07-22 | 超音波検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0526857A true JPH0526857A (ja) | 1993-02-02 |
Family
ID=16076908
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3180068A Pending JPH0526857A (ja) | 1991-07-22 | 1991-07-22 | 超音波検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0526857A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20200027167A (ko) * | 2018-09-04 | 2020-03-12 | 주식회사 디이엔티 | Oled 패널 비파괴검사기에 적용된 트랜스듀서 성능 열화 보상장치 |
-
1991
- 1991-07-22 JP JP3180068A patent/JPH0526857A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20200027167A (ko) * | 2018-09-04 | 2020-03-12 | 주식회사 디이엔티 | Oled 패널 비파괴검사기에 적용된 트랜스듀서 성능 열화 보상장치 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20210018473A1 (en) | Ultrasonic testing device, method, program, and ultrasonic testing system | |
| US8336365B2 (en) | Automatic calibration error detection for ultrasonic inspection devices | |
| EP0219128B1 (en) | Ultrasonic inspection method and apparatus | |
| JP2018084416A (ja) | 超音波検査装置及び超音波検査方法 | |
| JP4364031B2 (ja) | 超音波探傷画像処理装置及びその処理方法 | |
| JPH0526857A (ja) | 超音波検査方法 | |
| JPH09171005A (ja) | 超音波探傷による欠陥種類判別方法 | |
| JP2012154877A (ja) | 超音波検査装置および超音波検査方法 | |
| TWI918255B (zh) | 超音波檢查裝置及超音波檢查方法 | |
| JPS6229023B2 (ja) | ||
| JPH0658917A (ja) | 超音波検査方法および装置 | |
| CN118443686B (zh) | 一种基于激光超声的gis组件检测方法及系统 | |
| JPS6337902B2 (ja) | ||
| JPH0474961A (ja) | 超音波検査装置 | |
| JPH10206402A (ja) | 超音波探傷方法 | |
| JPH06138105A (ja) | 超音波探傷装置 | |
| Kobayashi et al. | Signal processing method for scanning-acoustic-tomography defect detection based on correlation between ultrasound waveforms | |
| JP3263530B2 (ja) | 超音波検査装置 | |
| JP3008381B2 (ja) | 超音波測定装置 | |
| JPS61151458A (ja) | Ｃスキヤン超音波探傷方法及び装置 | |
| CN120404947A (zh) | 超声波检查装置以及超声波检查方法 | |
| CN120948629A (zh) | 基于二维相控阵传感器的蜂窝夹层结构缺陷检测系统及方法 | |
| JPH0540107A (ja) | 超音波顕微鏡 | |
| JPH03125964A (ja) | 超音波検査装置 | |
| JPH05288732A (ja) | 超音波ボイト状欠陥検出装置 |