JPH0219495A - 電着による超伝導性物品の形成方法 - Google Patents
電着による超伝導性物品の形成方法Info
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-
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分腎〕
本発明は電着技法を用いた各種形状及び寸法の有用な超
伝導物品の形成方法に関する。
伝導物品の形成方法に関する。
ある金属酸化物セラミック類からなる新規なりラスの超
伝導体は液体窒素の沸点(77°にすなわち一196℃
)より高い温度において、実質上抵抗なく電気を伝導す
ることができる。ががる超伝導体の一つは、Y 、 、
2B ao、sc LIo 4の概略組成を持つイット
リウム−バリウム−銅酸化物である。
伝導体は液体窒素の沸点(77°にすなわち一196℃
)より高い温度において、実質上抵抗なく電気を伝導す
ることができる。ががる超伝導体の一つは、Y 、 、
2B ao、sc LIo 4の概略組成を持つイット
リウム−バリウム−銅酸化物である。
別のもっとよく知られた組成は、Y + B atc
u30、−xである。 Y−Ba−Cu−0組成物が代
表的である金属酸化物セラミック超伝導体は転移温度(
すなわち物質が超伝導性になる温度)におけるイツトリ
ウム、バリウム及び銅の置換物質の効果を測定するため
に適当な置換物質に関する激しい実験の対象であった0
例えば、イツトリウムはほとんどの他の稀土類元素によ
り置換することができ、バリウムは他のアルカリ土類元
素により置換することができ、また酸素は少なくとも部
分的にフッ素と置換することができる。さらに最近、銅
並びにストロチウム、カルシウム、ビスマス及びタリウ
ムの各種組合わせの酸化物からなり、100°により高
い転移温度を有する酸化物超伝導体が発見された。現在
、銅に代わる有望な置換物質は見つかっておらず、少な
くとも以下に記載する元素すなわちAg、Au、Fe、
Ni及びCOでは好都合に置換することができない。
u30、−xである。 Y−Ba−Cu−0組成物が代
表的である金属酸化物セラミック超伝導体は転移温度(
すなわち物質が超伝導性になる温度)におけるイツトリ
ウム、バリウム及び銅の置換物質の効果を測定するため
に適当な置換物質に関する激しい実験の対象であった0
例えば、イツトリウムはほとんどの他の稀土類元素によ
り置換することができ、バリウムは他のアルカリ土類元
素により置換することができ、また酸素は少なくとも部
分的にフッ素と置換することができる。さらに最近、銅
並びにストロチウム、カルシウム、ビスマス及びタリウ
ムの各種組合わせの酸化物からなり、100°により高
い転移温度を有する酸化物超伝導体が発見された。現在
、銅に代わる有望な置換物質は見つかっておらず、少な
くとも以下に記載する元素すなわちAg、Au、Fe、
Ni及びCOでは好都合に置換することができない。
最も一般的な処理技術には、正味Y−Ba−CuO系ま
たはその他の酸化物を主体とする超伝導物質を形成する
ための固体状態(ソリッドステート)反応及び溶液の共
沈が含まれる。中でも、蒸着法、スパッタリング法、プ
ラズマスプレー法及び分子ビームエピタキシ法が、薄膜
を形成するのに適している。ゾル−ゲル法も、極めて均
一で微細な粒子を合成できる点で、注目を集めている。
たはその他の酸化物を主体とする超伝導物質を形成する
ための固体状態(ソリッドステート)反応及び溶液の共
沈が含まれる。中でも、蒸着法、スパッタリング法、プ
ラズマスプレー法及び分子ビームエピタキシ法が、薄膜
を形成するのに適している。ゾル−ゲル法も、極めて均
一で微細な粒子を合成できる点で、注目を集めている。
超伝導体は、その物質を通る電流密度が臨界値を越える
と、通常の非超伝導状態へと戻る。大規模な用途で要求
されているような、非常に高い臨界電流密度を示す超伝
導体が現在探求されている。
と、通常の非超伝導状態へと戻る。大規模な用途で要求
されているような、非常に高い臨界電流密度を示す超伝
導体が現在探求されている。
高い臨界電流密度を得るための困難は、斜方晶系セラミ
ック材の異方性が本質的に大きく、また結晶粒界が複雑
なことに部分的に起因する。そのため、粒子の整列性を
高めると共に、結晶粒界を整えるのに適した技術の開発
に、現在力が注がれている。
ック材の異方性が本質的に大きく、また結晶粒界が複雑
なことに部分的に起因する。そのため、粒子の整列性を
高めると共に、結晶粒界を整えるのに適した技術の開発
に、現在力が注がれている。
Y−Ba−Cu−0系超伝導物質を製造する代表的な方
法では、元素の酸化物粉末または炭酸塩粉末の緊密な混
合体を、800℃〜1100℃の温度で加熱する必要が
ある。炭酸塩の粉末が使われる場合、加熱により炭酸塩
から二酸化炭素が放逐され、炭酸塩をY、Ba及びCu
酸化物の所望な化合物に変換する。再粉砕及び再加熱の
後、混合物を通常ベレットにプレス成形し、前記と同様
な温度で数時間焼結(熔融せずに結合)して複合酸化物
を形成する。その後、ベレットを前記より低い温度、通
常400℃〜550℃で再び酸化処理し、高温の焼結工
程時に失われたかもしれない酸素の若干を置換すること
もできる。
法では、元素の酸化物粉末または炭酸塩粉末の緊密な混
合体を、800℃〜1100℃の温度で加熱する必要が
ある。炭酸塩の粉末が使われる場合、加熱により炭酸塩
から二酸化炭素が放逐され、炭酸塩をY、Ba及びCu
酸化物の所望な化合物に変換する。再粉砕及び再加熱の
後、混合物を通常ベレットにプレス成形し、前記と同様
な温度で数時間焼結(熔融せずに結合)して複合酸化物
を形成する。その後、ベレットを前記より低い温度、通
常400℃〜550℃で再び酸化処理し、高温の焼結工
程時に失われたかもしれない酸素の若干を置換すること
もできる。
一般に、ベレットまたはクーポンの形状は超伝導材料か
ら製造するのに容易だが、特に有用なわけではない、筒
またはワイヤ形状が最も望ましい。
ら製造するのに容易だが、特に有用なわけではない、筒
またはワイヤ形状が最も望ましい。
しかし、砕は易く脆いクーポンは、銅やその他の延性金
属のように、引き抜いてワイヤを形成できない、有用な
ワイヤ形状を製造するための一方法では、セラミックの
超伝導粉末を有機結合剤と混合し、この混合物を押出成
形するか、あるいは金属管内に粉末を満たした後、その
金属管をその直径が小さくなるようにダイを通して引き
抜いていた。別の試みでは、結合剤と超伝導体粉末の混
合物が、銅のからなる非超伝導性ワイヤなどの支持体に
接合されていた。
属のように、引き抜いてワイヤを形成できない、有用な
ワイヤ形状を製造するための一方法では、セラミックの
超伝導粉末を有機結合剤と混合し、この混合物を押出成
形するか、あるいは金属管内に粉末を満たした後、その
金属管をその直径が小さくなるようにダイを通して引き
抜いていた。別の試みでは、結合剤と超伝導体粉末の混
合物が、銅のからなる非超伝導性ワイヤなどの支持体に
接合されていた。
超伝導性セラミック材料から有用な物品を形成する有効
な方法をい出すため、次のような各製造プロセスが使用
され且つ提案されている:蒸着法、スパッタリング法、
支持体への急速凝固(結晶)化法、仕上げ加工が後に続
く中間形状または最終形状への仮焼−粉砕−焼結法、高
圧酸素焼結法、アイソスタティックプレス成形法、共沈
−焼結法、押出成形法及び爆発成形法、しかし残念なが
ら、上記の方式はその有効性、及び製造可能な超伝導製
品の種類において極めて制限されている。そのため、超
伝導体工業の直面する主な問題の一つは、超伝導セラミ
ック材料を使用に便利な造形物すなわち製品へ形成可能
とする適切な製造技術の開発にある。
な方法をい出すため、次のような各製造プロセスが使用
され且つ提案されている:蒸着法、スパッタリング法、
支持体への急速凝固(結晶)化法、仕上げ加工が後に続
く中間形状または最終形状への仮焼−粉砕−焼結法、高
圧酸素焼結法、アイソスタティックプレス成形法、共沈
−焼結法、押出成形法及び爆発成形法、しかし残念なが
ら、上記の方式はその有効性、及び製造可能な超伝導製
品の種類において極めて制限されている。そのため、超
伝導体工業の直面する主な問題の一つは、超伝導セラミ
ック材料を使用に便利な造形物すなわち製品へ形成可能
とする適切な製造技術の開発にある。
従って、本発明の目的は超伝導セラミック材料を使用に
便利な造形物すなわち製品へ形成することができる製造
技術を提供することにある。
便利な造形物すなわち製品へ形成することができる製造
技術を提供することにある。
さらに、本発明の目的は改善された臨界電流密度を有す
る超伝導セラミック材料の形成することができる製造技
術を提供することにある。
る超伝導セラミック材料の形成することができる製造技
術を提供することにある。
本発明の別の目的は超伝導セラミック材料から使用に便
利な造形物すなわち製品を製造するのに、電着技術を用
いることにある。
利な造形物すなわち製品を製造するのに、電着技術を用
いることにある。
本発明のさらに別の目的は超伝導セラミック材料から使
用に便利な造形物すなわち製品を製造するのに、電気泳
動と誘電泳動を用いることにある。
用に便利な造形物すなわち製品を製造するのに、電気泳
動と誘電泳動を用いることにある。
本発明の更なる目的は超伝導セラミック材料から複雑な
造形物すなわち製品を製造するのに、電着技術を用いる
ことにある。
造形物すなわち製品を製造するのに、電着技術を用いる
ことにある。
本発明の別の更なる目的は超伝導セラミック材料を製品
へ被覆するのに、電着技術を用いることにある。
へ被覆するのに、電着技術を用いることにある。
本発明の付加的な目的は製品上に均一な厚さの超伝導セ
ラミック材料の被覆を得るために電着技術を用いること
にある。
ラミック材料の被覆を得るために電着技術を用いること
にある。
本発明では、超伝導セラミック材料から有用な製品を製
造するのに電着技術(特に電気泳動と誘電泳動)を用い
る8本明細書に使用する術語「超伝導セラミック材料」
はY−Ba−Cu−0系超伝導体並びに付加成分または
置換成分(銅の置換成分を含む)を用いた超伝導体並び
に今後開発されるであろう他の組成の超伝導体を含む、
Y−BaCu−0を主体とする化合物内の一種または二
種以上の元素は他の元素、通常Yについては他の稀土類
元素類、Baについては他のアルカリ土類金属元素類、
Cuについては他の金属元素、0についてはFまたは他
のハロゲンと置換し得る。ビスマスとタリウムを含む化
合物も、高温(100’により高い)超伝導体になるこ
とが実証されている。
造するのに電着技術(特に電気泳動と誘電泳動)を用い
る8本明細書に使用する術語「超伝導セラミック材料」
はY−Ba−Cu−0系超伝導体並びに付加成分または
置換成分(銅の置換成分を含む)を用いた超伝導体並び
に今後開発されるであろう他の組成の超伝導体を含む、
Y−BaCu−0を主体とする化合物内の一種または二
種以上の元素は他の元素、通常Yについては他の稀土類
元素類、Baについては他のアルカリ土類金属元素類、
Cuについては他の金属元素、0についてはFまたは他
のハロゲンと置換し得る。ビスマスとタリウムを含む化
合物も、高温(100’により高い)超伝導体になるこ
とが実証されている。
これら置換成分の目的は材料の転移温度を高めたり、得
られる超伝導体の機械的挙動と熱及び環境的安定性を改
善することにある。
られる超伝導体の機械的挙動と熱及び環境的安定性を改
善することにある。
電気泳動は電荷を所持することが観察される微細材料の
液体媒体内での懸濁液を含む、この電荷の極性は材料と
分散媒の性質とに依存する0例えば、高純度水中の炭素
、金属類、イオウ及びセルロースはヒドロキシルイオン
を吸着するために負電荷を有することが見い出されてい
る;しかじ、金属酸化物と水酸化物は水素イオンを吸着
するため正電荷を有することが見い出されている。これ
らの懸濁粒子が電荷を持つという事実は、それら懸濁粒
子が直流電場の作用下で移動可能であることを意味する
。
液体媒体内での懸濁液を含む、この電荷の極性は材料と
分散媒の性質とに依存する0例えば、高純度水中の炭素
、金属類、イオウ及びセルロースはヒドロキシルイオン
を吸着するために負電荷を有することが見い出されてい
る;しかじ、金属酸化物と水酸化物は水素イオンを吸着
するため正電荷を有することが見い出されている。これ
らの懸濁粒子が電荷を持つという事実は、それら懸濁粒
子が直流電場の作用下で移動可能であることを意味する
。
この基本的挙動は各種の被覆を付着可能とする。
この方法で付着可能な物質のリストには、ゴム、ラテッ
クス、酸化物類、金属類、潤滑剤類、セルロース、グラ
ファイト、天然樹脂、合成樹脂及び超伝導セラミック材
料が含まれる。
クス、酸化物類、金属類、潤滑剤類、セルロース、グラ
ファイト、天然樹脂、合成樹脂及び超伝導セラミック材
料が含まれる。
稀土類元素(イツトリウム)の酸化物及びアルカリ金属
類(バリウム)の酸化物は水と反応するので、超伝導セ
ラミック材料用の電気泳動技術では非水性液体媒体を用
いる必要がある。上記の反応は所望な超伝導セラミック
材料の形成にとって有害である。全ての電気泳動法と同
様に、該媒体は電気的に非伝導性か、あるいは非常に低
い導電性でなければならない。
類(バリウム)の酸化物は水と反応するので、超伝導セ
ラミック材料用の電気泳動技術では非水性液体媒体を用
いる必要がある。上記の反応は所望な超伝導セラミック
材料の形成にとって有害である。全ての電気泳動法と同
様に、該媒体は電気的に非伝導性か、あるいは非常に低
い導電性でなければならない。
超伝導セラミック材料は媒体中に溶解されず、単に、懸
濁化されるだけである。許容できる媒体としでは、例え
ば、アセトン、トルエン及びメチル−エチルケトンが含
まれる。浴内に2つの電極が配置される。電極は陽極と
陰極を示し、鋼、銅、炭素、アルミニウムなどの慣用の
電極材料より形成することができる。
濁化されるだけである。許容できる媒体としでは、例え
ば、アセトン、トルエン及びメチル−エチルケトンが含
まれる。浴内に2つの電極が配置される。電極は陽極と
陰極を示し、鋼、銅、炭素、アルミニウムなどの慣用の
電極材料より形成することができる。
数百ボルトの電位が両電極間に印加され、これが材料の
有する電荷に応じて、陽極または陰極へ向かう材料の移
動を生じる。材料が適切な電極上に付着され、そこで電
荷が中性化される。電極は被覆にとって所望な最終形状
に形成しておくことができる。この方式の大きな利点は
、電極が不規則な形状であっても、被覆の付着による付
加抵抗のため、材料の−様な被覆が得られる点にある。
有する電荷に応じて、陽極または陰極へ向かう材料の移
動を生じる。材料が適切な電極上に付着され、そこで電
荷が中性化される。電極は被覆にとって所望な最終形状
に形成しておくことができる。この方式の大きな利点は
、電極が不規則な形状であっても、被覆の付着による付
加抵抗のため、材料の−様な被覆が得られる点にある。
このように、本方式は複雑な形状を持つ超伝導製品を作
成するのに理想的である。
成するのに理想的である。
ある量の粉末が付着されたら(数分から数時間かかる)
、被覆された電極を浴から取り出し、さらに処理を施し
て所望の形状とし得る0次に、焼結を行って付着粒子を
相互に接合し、より強固な製品とすることができる。焼
結は800℃〜1100℃で行うことができる。但し、
かかる温度での焼結後、高温で生じた酸素の損失を補償
するため、セラミック材料の再度酸化処理が必要なこと
もある。
、被覆された電極を浴から取り出し、さらに処理を施し
て所望の形状とし得る0次に、焼結を行って付着粒子を
相互に接合し、より強固な製品とすることができる。焼
結は800℃〜1100℃で行うことができる。但し、
かかる温度での焼結後、高温で生じた酸素の損失を補償
するため、セラミック材料の再度酸化処理が必要なこと
もある。
この発明に含まれる本方法の変形では、誘電泳動付着を
用いる。(電気泳動と同様な)この変形方式では、電場
の強度が一様でなく、粒子は予め存在する電荷と独立に
、電場強度の高い領域の方へと移動する。誘電泳動によ
る付着浴用構成の一例では、中心ワイヤ及びこれと同心
円状の円筒体が2つの電極をなし、粒子はワイヤ(例え
ば浴の中心)の方へと移動する。この方式は、ワイヤを
超伝導材料で被覆するのに極めて適する。
用いる。(電気泳動と同様な)この変形方式では、電場
の強度が一様でなく、粒子は予め存在する電荷と独立に
、電場強度の高い領域の方へと移動する。誘電泳動によ
る付着浴用構成の一例では、中心ワイヤ及びこれと同心
円状の円筒体が2つの電極をなし、粒子はワイヤ(例え
ば浴の中心)の方へと移動する。この方式は、ワイヤを
超伝導材料で被覆するのに極めて適する。
本発明の一実施態様は、非導電性で極性をもつ有機溶媒
中に、イツトリウム、バリウム及び銅の各炭酸塩、ある
いはこれら元素のいずれかまたは全ての置換成分のコロ
イド状分散体を形成する最初の工程を含む。
中に、イツトリウム、バリウム及び銅の各炭酸塩、ある
いはこれら元素のいずれかまたは全ての置換成分のコロ
イド状分散体を形成する最初の工程を含む。
実際上、加熱によって分解して酸化物を形成する所望元
素の任意の塩またはその他の化合物も、分散体の原料成
分として使うことができるる。ここで用いる術語「コロ
イド状」は、分散体内の粒子が分散媒から容易に沈澱し
ないように、直径1ミクロン以下の寸法であることを意
味する。イツトリウム、バリウム及び銅の各炭酸塩の粒
径を変化させ、付着特性を制御するのが好ましいことも
ある。
素の任意の塩またはその他の化合物も、分散体の原料成
分として使うことができるる。ここで用いる術語「コロ
イド状」は、分散体内の粒子が分散媒から容易に沈澱し
ないように、直径1ミクロン以下の寸法であることを意
味する。イツトリウム、バリウム及び銅の各炭酸塩の粒
径を変化させ、付着特性を制御するのが好ましいことも
ある。
本発明の別の実施態様では、所望のセラミック酸化物材
料の粉末を媒体内に懸濁させることができる。媒体内に
おけるセラミック材料の分散相の形成は、通例コロイド
ミルく粉砕機)または乳鉢で粉砕した後、超音波または
その他任意の方法で振動させ、媒体内にセラミック材料
の懸濁相を生じることからなる0粒子上の電荷を増すた
め、少量の表面活性剤を加えてもよい。
料の粉末を媒体内に懸濁させることができる。媒体内に
おけるセラミック材料の分散相の形成は、通例コロイド
ミルく粉砕機)または乳鉢で粉砕した後、超音波または
その他任意の方法で振動させ、媒体内にセラミック材料
の懸濁相を生じることからなる0粒子上の電荷を増すた
め、少量の表面活性剤を加えてもよい。
懸濁相を形成する別の方法では、イツトリウム、バリウ
ム及び銅の各硝酸塩の水溶駅を作成した後、しゆう酸と
アンモニアとを加え、Y、Ba及びCuのしゆう酸塩を
共沈させる。この方法は、水酸化物の早すぎる沈澱を避
けてしゆう酸塩の同時沈澱を可能とするためDHを注意
深く制御しながら行わねばならない、この方法では、コ
ロイドミルで可能なよりも微細な混合が得られる。もち
ろん、陰イオンをしゆう酸根とする必要はなく、炭酸塩
、水酸化物、橡たはその他分解可能な塩も使える。
ム及び銅の各硝酸塩の水溶駅を作成した後、しゆう酸と
アンモニアとを加え、Y、Ba及びCuのしゆう酸塩を
共沈させる。この方法は、水酸化物の早すぎる沈澱を避
けてしゆう酸塩の同時沈澱を可能とするためDHを注意
深く制御しながら行わねばならない、この方法では、コ
ロイドミルで可能なよりも微細な混合が得られる。もち
ろん、陰イオンをしゆう酸根とする必要はなく、炭酸塩
、水酸化物、橡たはその他分解可能な塩も使える。
しかし、上記各しゅう酸塩の解離定数は極めて小さく、
それぞれKp=8xl 0−231.6xl O−’及
び2.3xlO−’である。沈澱物はグーチ(Gooc
h)濾過器で一過され、洗浄され、乾燥され、前記のご
とく超音波で分散可能である。
それぞれKp=8xl 0−231.6xl O−’及
び2.3xlO−’である。沈澱物はグーチ(Gooc
h)濾過器で一過され、洗浄され、乾燥され、前記のご
とく超音波で分散可能である。
前述したように、分散媒はアセトン、トルエン、メチル
一二チルケトン、イソブチルアルコール、炭酸プロピレ
ン、酢酸アミル、酢酸ブチルなど、またはこれらの混合
物、あるいは電気泳動で通例使われているその他の分散
媒とし得る。有機分散媒は水分に影響されるので、制御
下の雰囲気状態が必要なこともある。
一二チルケトン、イソブチルアルコール、炭酸プロピレ
ン、酢酸アミル、酢酸ブチルなど、またはこれらの混合
物、あるいは電気泳動で通例使われているその他の分散
媒とし得る。有機分散媒は水分に影響されるので、制御
下の雰囲気状態が必要なこともある。
次いで、材料の電気泳動による付着は、1c■の電極間
隔当り5〜100ボルト程度の代表的な電圧を用いて行
われる。付着速度は荷電粒子の濃度と電場の強度との関
数で、■ミルの付着物の厚さ当り数分から数時間の範囲
である。従って、これは速い付着プロセスと見なすこと
ができる。高い電場強度が、粒子の軸方向のよりすぐれ
た整列を可能とする。このため、付着速度の制御を維持
しつつ高圧の印加を可能とするように、低濃度の荷電粒
子が一般に使われる。電極は、例えば金属や合金など任
意の導電性材料で、また例えばストリップ、ワイヤなど
任意の所望形状で形成できる。
隔当り5〜100ボルト程度の代表的な電圧を用いて行
われる。付着速度は荷電粒子の濃度と電場の強度との関
数で、■ミルの付着物の厚さ当り数分から数時間の範囲
である。従って、これは速い付着プロセスと見なすこと
ができる。高い電場強度が、粒子の軸方向のよりすぐれ
た整列を可能とする。このため、付着速度の制御を維持
しつつ高圧の印加を可能とするように、低濃度の荷電粒
子が一般に使われる。電極は、例えば金属や合金など任
意の導電性材料で、また例えばストリップ、ワイヤなど
任意の所望形状で形成できる。
付着後材料は、例えば無線周波数での誘導加熱によって
焼結される。無線周波数での誘導加熱の使用は、一般に
800〜1000℃で10〜16時間を必要とする長い
加熱浸漬法にとって代わるものである。つまり、誘導加
熱法は急速加熱による速いプロセスである。急速加熱の
ため、電極材料のセラミック層内への拡散及びそれに伴
う拡散原子による超伝導体の汚染が、大きく減少もしく
は除去される。
焼結される。無線周波数での誘導加熱の使用は、一般に
800〜1000℃で10〜16時間を必要とする長い
加熱浸漬法にとって代わるものである。つまり、誘導加
熱法は急速加熱による速いプロセスである。急速加熱の
ため、電極材料のセラミック層内への拡散及びそれに伴
う拡散原子による超伝導体の汚染が、大きく減少もしく
は除去される。
最後に、正しい酸素比を再び得るため、低い温度での酸
素アニール(熱処理)が行われる。この工程は、粉末冶
金による超伝導体製造方法と同様である。
素アニール(熱処理)が行われる。この工程は、粉末冶
金による超伝導体製造方法と同様である。
一定の条件下では、溶液からの原料の共沈により反応し
た化合物を生じる。この場合、反応を起こすのに追加の
熱処理は何等必要ない0例えば、本発明者等はY、Ba
、Cuのしゆう酸塩を、それらの可溶な塩(例えば硝酸
塩)の水溶液から共沈させた。共沈した物質のX線回折
パターンは、個々のしゆう酸塩に対応した回折線を示さ
ず、逆にY、Ba、Cuの1−2−3Lゆう酸塩化合物
と非常に類似した回折線を示・した、つまり、個々のし
ゆう酸塩材料間で反応が生じ、追加の熱処理を何等必要
させずに複合しゆう酸塩が形成されている。従ってこの
方式は、超伝導物質を形成する従来周知の全ての方法で
、必要な反応を促進させ原子の充分な相互拡散を得るの
に必要であった高温での加熱工程を除去可能とする。
た化合物を生じる。この場合、反応を起こすのに追加の
熱処理は何等必要ない0例えば、本発明者等はY、Ba
、Cuのしゆう酸塩を、それらの可溶な塩(例えば硝酸
塩)の水溶液から共沈させた。共沈した物質のX線回折
パターンは、個々のしゆう酸塩に対応した回折線を示さ
ず、逆にY、Ba、Cuの1−2−3Lゆう酸塩化合物
と非常に類似した回折線を示・した、つまり、個々のし
ゆう酸塩材料間で反応が生じ、追加の熱処理を何等必要
させずに複合しゆう酸塩が形成されている。従ってこの
方式は、超伝導物質を形成する従来周知の全ての方法で
、必要な反応を促進させ原子の充分な相互拡散を得るの
に必要であった高温での加熱工程を除去可能とする。
メチル一二チルケトン(M E K )で湿潤させた各
1グラムのイツトリウム、バリウム及び銅のそれぞれ炭
酸塩を別々に、(コロイドミルを用いる代わりに)ガラ
ス製乳鉢内で30分間手作業で粉砕した。得られたペー
ストを、ガラス製ビーカー内の200m1のMEK内へ
超音波振動させながら分散した。ガラス製ビーカー内に
、6.3c涌(2,5インチ)離してlaw幅のアルミ
ストリップ電極を対向配置した。
1グラムのイツトリウム、バリウム及び銅のそれぞれ炭
酸塩を別々に、(コロイドミルを用いる代わりに)ガラ
ス製乳鉢内で30分間手作業で粉砕した。得られたペー
ストを、ガラス製ビーカー内の200m1のMEK内へ
超音波振動させながら分散した。ガラス製ビーカー内に
、6.3c涌(2,5インチ)離してlaw幅のアルミ
ストリップ電極を対向配置した。
電圧を500■までゆっくり上昇させたところ、何等認
め得る付着は生じなかった0次に、分散媒に0.2nl
のZONYL PC^(デュポン社製フッ素表面活性剤
の商標)を加え、実験を繰り返した。表面活性剤の推奨
範囲は、分散媒の体積に対し0.005〜0.1%であ
る。その他、TIIITON(n o II III
& If a a s社)及びT[ERGITOL(ユ
ニオン・カーバイト社)などの表面活性剤も使える。表
面活性剤は、粉砕中に加えるのが好ましい、但し、この
例ではすでに存在する洛中に表面活性剤を加えた。
め得る付着は生じなかった0次に、分散媒に0.2nl
のZONYL PC^(デュポン社製フッ素表面活性剤
の商標)を加え、実験を繰り返した。表面活性剤の推奨
範囲は、分散媒の体積に対し0.005〜0.1%であ
る。その他、TIIITON(n o II III
& If a a s社)及びT[ERGITOL(ユ
ニオン・カーバイト社)などの表面活性剤も使える。表
面活性剤は、粉砕中に加えるのが好ましい、但し、この
例ではすでに存在する洛中に表面活性剤を加えた。
表面活性剤を加えると、電圧が15〜30Vの範囲に達
したところで、すぐに陽極上への付着が始まった(イツ
トリウム炭酸塩の方が低い付着電圧で、バリウム炭酸塩
の方が高い付着電圧)、付着物は非常に−様で、よく接
着しており、そのまま焼結可能であった。また付着物は
、粉末冶金で知られている一般的な「圧粉体(グリーン
)強度」を有していた。
したところで、すぐに陽極上への付着が始まった(イツ
トリウム炭酸塩の方が低い付着電圧で、バリウム炭酸塩
の方が高い付着電圧)、付着物は非常に−様で、よく接
着しており、そのまま焼結可能であった。また付着物は
、粉末冶金で知られている一般的な「圧粉体(グリーン
)強度」を有していた。
付着量は電圧の線形関数であり、50VにおいてBa炭
酸塩が1. 、4 wig/ cm’、Y炭酸塩が4.
3mg/cII2、銅がその中間であった。
酸塩が1. 、4 wig/ cm’、Y炭酸塩が4.
3mg/cII2、銅がその中間であった。
電気泳動に関する基本の線形式を次に示す:W=Xpe
LS(C/6)(3,14)v但しWは付着物の重量 Xは電位勾配 pは動電学的電位 eは分散媒の誘電定数 tは時間 Sは電極の表面積 Cは粒子の濃度 Vは分散媒の粘性 この式は、所望の付着物組成を得るのに、個々の成分の
付着速度をどのように制御すればよいかを示している。
LS(C/6)(3,14)v但しWは付着物の重量 Xは電位勾配 pは動電学的電位 eは分散媒の誘電定数 tは時間 Sは電極の表面積 Cは粒子の濃度 Vは分散媒の粘性 この式は、所望の付着物組成を得るのに、個々の成分の
付着速度をどのように制御すればよいかを示している。
簡単な手法としては、速く付着する炭酸塩は低い濃度と
し、またぞの逆を行えばよい。m調整は異なる粒径(p
の変化)や別の分散媒(eの変化)の使用など、それ以
外のパラメータを替えることによって得られる。
し、またぞの逆を行えばよい。m調整は異なる粒径(p
の変化)や別の分散媒(eの変化)の使用など、それ以
外のパラメータを替えることによって得られる。
3つのペーストを混合し、均質で−様な0.0075輪
m(3ミル)厚のY−Ba−Cu系炭酸塩の付着物を3
0ボルト、5分間で得た。その後、高い電圧(数百ボル
ト以上)が付着物のより優れた結晶学的整列を可能とす
ることが見い出された。
m(3ミル)厚のY−Ba−Cu系炭酸塩の付着物を3
0ボルト、5分間で得た。その後、高い電圧(数百ボル
ト以上)が付着物のより優れた結晶学的整列を可能とす
ることが見い出された。
本発明に従って行ったさらに別の実験では、Y IB
azc 1120 ?−Xの粉末を、電気泳動によって
銅と銀両方のコイル上に析出させた。
azc 1120 ?−Xの粉末を、電気泳動によって
銅と銀両方のコイル上に析出させた。
電気泳動による付着(析出)は、現在知られている他の
どの方式よりもコストが低く、簡単で、しかも速い超伝
導体の製造技術である。そして、次のような非常に重要
な利点を持っている:(付着物が密集し緻密なので)粉
末冶金で必要なアイソスタティックプレス成形を必要と
せず、(粒子が密に混合され、結晶が非常に−様なので
)相互拡散を生じるのに必要な非常に長い高温加熱を省
け、しかも同じ理由から、支持体から超伝導体への拡散
によって生じる汚染を避けることができる。さらに、電
圧の調整によって膜厚を変えられ、複雑な形状でも−様
な結果が得られる。
どの方式よりもコストが低く、簡単で、しかも速い超伝
導体の製造技術である。そして、次のような非常に重要
な利点を持っている:(付着物が密集し緻密なので)粉
末冶金で必要なアイソスタティックプレス成形を必要と
せず、(粒子が密に混合され、結晶が非常に−様なので
)相互拡散を生じるのに必要な非常に長い高温加熱を省
け、しかも同じ理由から、支持体から超伝導体への拡散
によって生じる汚染を避けることができる。さらに、電
圧の調整によって膜厚を変えられ、複雑な形状でも−様
な結果が得られる。
また、電気泳動による付着は、粒子の整列と粒界の調整
を改善可能とする。この方法には、次のような幾つかの
制御可能な変数が存在する:個々の成分の濃度、分散媒
の誘電定数と粘性、印加電圧及び表面活性剤の種類。後
の3つのファクタは付着中における選択的な配向に寄与
する一方、4つのファクタは全てが製品のミクロ構造の
他の特徴に合わせて選択できる0本発明の電気泳動付着
によって形成された超伝導体の電子顕微鏡での検査は、
個々の粒子がかなり整列されていることを示した。現在
の超伝導体は、通例それらの粒子の約1%だけが整列し
ている(すなわち連続状のフィラメントが全体積のほぼ
1%にすぎない)ため、5000アンペア/C@2まで
しか一般に導通しない。
を改善可能とする。この方法には、次のような幾つかの
制御可能な変数が存在する:個々の成分の濃度、分散媒
の誘電定数と粘性、印加電圧及び表面活性剤の種類。後
の3つのファクタは付着中における選択的な配向に寄与
する一方、4つのファクタは全てが製品のミクロ構造の
他の特徴に合わせて選択できる0本発明の電気泳動付着
によって形成された超伝導体の電子顕微鏡での検査は、
個々の粒子がかなり整列されていることを示した。現在
の超伝導体は、通例それらの粒子の約1%だけが整列し
ている(すなわち連続状のフィラメントが全体積のほぼ
1%にすぎない)ため、5000アンペア/C@2まで
しか一般に導通しない。
上記した個々の粒子の選択的な整列を達成するためには
、10ミクロン以下の全体寸法を有し、しかも少なくと
も2:1のアスペクト比をもつ細長いつまり針状の粒子
を含む、細かく粉砕された材料粉末からスタートするの
が望ましい、アスペクト比が高いほど、電気泳動または
誘電泳動プロセスの結果として、整列性が高まる。正方
晶系及び斜方晶系の1−2−3結晶は固有の性質上やや
細長いが、それらの自然のアスペクト比は良好な整列を
与えるのに充分でない、しかし、これらの材料の針状粒
子を成長させるのに使える方法が存在する。このような
針状粒子を電気泳動または誘電泳動プロセス下に置くと
、その結果付着く析出)した物質は選択的に配向された
構造を示し、これが高い臨界電流密度と関連している。
、10ミクロン以下の全体寸法を有し、しかも少なくと
も2:1のアスペクト比をもつ細長いつまり針状の粒子
を含む、細かく粉砕された材料粉末からスタートするの
が望ましい、アスペクト比が高いほど、電気泳動または
誘電泳動プロセスの結果として、整列性が高まる。正方
晶系及び斜方晶系の1−2−3結晶は固有の性質上やや
細長いが、それらの自然のアスペクト比は良好な整列を
与えるのに充分でない、しかし、これらの材料の針状粒
子を成長させるのに使える方法が存在する。このような
針状粒子を電気泳動または誘電泳動プロセス下に置くと
、その結果付着く析出)した物質は選択的に配向された
構造を示し、これが高い臨界電流密度と関連している。
前述したように、本発明は各種の幾何形状を持つ超伝導
体の製造を可能とする。この点は、付着が生じる電極を
、ある所定の用途に必要な特別の形状へ前成形すること
によって達成できる。この利点は、従来の金属形成技術
のほとんどを非実用的なものとしていた酸化物セラミッ
クの脆さを考慮すれば、顕著である。
体の製造を可能とする。この点は、付着が生じる電極を
、ある所定の用途に必要な特別の形状へ前成形すること
によって達成できる。この利点は、従来の金属形成技術
のほとんどを非実用的なものとしていた酸化物セラミッ
クの脆さを考慮すれば、顕著である。
電気泳動による付着の原料は、Y−Ba−Cu−〇(ま
たはその変形)などの細かく粉砕した超伝導化合物粒子
、あるいはY−酸化物、Ba−酸化物、Cu−酸化物な
どの化合物、または加熱によって反応し酸化物を形成す
るその他の化合物のための個々の原料とし得る。後者の
場合は、合成と処理が組合されており、ゾル−ゲル手法
の場合と同様な利点を有する。次いで、得られた微細粒
子の生成物は、拡散距離が短いため比較的低い温度で焼
結できる。
たはその変形)などの細かく粉砕した超伝導化合物粒子
、あるいはY−酸化物、Ba−酸化物、Cu−酸化物な
どの化合物、または加熱によって反応し酸化物を形成す
るその他の化合物のための個々の原料とし得る。後者の
場合は、合成と処理が組合されており、ゾル−ゲル手法
の場合と同様な利点を有する。次いで、得られた微細粒
子の生成物は、拡散距離が短いため比較的低い温度で焼
結できる。
発電機、モータ及び電磁石など、超伝導体の大規模な用
途の場合、超伝導物質は後で巻線へと処理できるように
、ワイヤ形状でなければならない。
途の場合、超伝導物質は後で巻線へと処理できるように
、ワイヤ形状でなければならない。
前述したように、本発明の誘電泳動による付着プロセス
は、ワイヤを形成するのに理想的である。
は、ワイヤを形成するのに理想的である。
2つの電極間での比較的−様な電位差を横切って移動す
る分散粒子を持つという原理に基づく電気泳動プロセス
とは異なって、誘電泳動プロセスは、電極の周囲に存在
する大きい電場の勾配に基づいている。そして、非常に
分極しやすい分子または粒子か、電極の設計によって規
定された形状へと整列可能である。大きい電場の勾配°
は、半径の小さいワイヤ電極の周囲に誘起される。従っ
て、細いワイヤ電極を使えば、誘電泳動プロセスによっ
て超伝導物質がその上に形成され、超伝導性のワイヤを
簡便に製造できる。
る分散粒子を持つという原理に基づく電気泳動プロセス
とは異なって、誘電泳動プロセスは、電極の周囲に存在
する大きい電場の勾配に基づいている。そして、非常に
分極しやすい分子または粒子か、電極の設計によって規
定された形状へと整列可能である。大きい電場の勾配°
は、半径の小さいワイヤ電極の周囲に誘起される。従っ
て、細いワイヤ電極を使えば、誘電泳動プロセスによっ
て超伝導物質がその上に形成され、超伝導性のワイヤを
簡便に製造できる。
またこの方式は、特にコイル用に一層だけが必要される
場合のコイルの形成にも有利である。この場合には、電
極を必要な幾何形状のコイルとするだけでよい、あるい
は、コイルに必要なのと同し半径の絶縁管を導電層で被
覆し、次いで必要なピッチのラセン状導電路へとエツチ
ングしてもよい。その後、ラセン状導電路を電極として
、誘電泳動プロセスを行うことができる。必要なら、電
極とその下にある電極形成用のマンドレルはさまざまな
方法でその後除去でき、例えば、電極及び/またはマン
ドレルが融点の低い材料製であれば加熱したり、あるい
は電極及び/またはマンドレルを適切な溶媒中で溶解し
たり、あるいは電極及び/またはマンドレルが崩壊可能
な設計で構成されていればその構造を崩壊しなりなどし
て除去できる。
場合のコイルの形成にも有利である。この場合には、電
極を必要な幾何形状のコイルとするだけでよい、あるい
は、コイルに必要なのと同し半径の絶縁管を導電層で被
覆し、次いで必要なピッチのラセン状導電路へとエツチ
ングしてもよい。その後、ラセン状導電路を電極として
、誘電泳動プロセスを行うことができる。必要なら、電
極とその下にある電極形成用のマンドレルはさまざまな
方法でその後除去でき、例えば、電極及び/またはマン
ドレルが融点の低い材料製であれば加熱したり、あるい
は電極及び/またはマンドレルを適切な溶媒中で溶解し
たり、あるいは電極及び/またはマンドレルが崩壊可能
な設計で構成されていればその構造を崩壊しなりなどし
て除去できる。
以上本発明を特定の実施例を参照して説明したが、これ
らの実施例は発明の特徴を例示するものにすぎないこと
が理解されるべきである。従って、発明の精神及び範囲
を逸脱せずに、例示の実施例に数多くの変更を施したり
、その他の構成を工夫したり可能なことも理解されるべ
きである。
らの実施例は発明の特徴を例示するものにすぎないこと
が理解されるべきである。従って、発明の精神及び範囲
を逸脱せずに、例示の実施例に数多くの変更を施したり
、その他の構成を工夫したり可能なことも理解されるべ
きである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、物品上に超伝導物質を付着する方法において: (a)超伝導物質を合成するのに必要な成分の混合物を
調製する工程; (b)液体媒体内に前期混合物のコロイド状分散体を形
成する工程; (c)前記液体媒体内に2つの電極を設置し、ここで該
電極の一方が付着を施したい物品よりなる工程; (d)前記2つの電極間に電位差を印加し、それによっ
て前記媒体内の成分の混合物が前記物品からなる電極上
に付着物を形成する工程;及び (e)前記付着物を反応させて酸化物を形成する工程; を含んでなることを特徴とする物品上に超伝導物質を付
着する方法。 2、工程(e)が酸化物を形成し且つ酸化物を緻密化す
るのに充分高い温度で付着物を焼結することからなる請
求項1記載の方法。 3、付着物を酸素雰囲気下で加熱する付加工程(f)を
さらに含む請求項1記載の方法。4、付着物を酸素雰囲
気下で加熱する付加工程(f)をさらに含む請求項2記
載の方法。5、工程(d)後に、物品を所望の形状に成
形する付加工程をさらに含む請求項1ないし4のいずれ
か1項記載の方法。 6、成分が加熱によって酸化物を形成する化合物からな
る群から選ばれる請求項1ないし4のいずれか1項記載
の方法。 7、成分が稀土類元素類、アルカリ土類金属類、銅、ス
トロンチウム、カルシウム、ビスマス、タリウム及び酸
素の化合物からなる群から選ばれる請求項1ないし4の
いずれか1項記載の方法。 8、成分が炭酸塩類、しゅう酸塩類、酸化物類及び硝酸
塩類からなる群から選ばれる請求項1ないし4のいずれ
か1項記載の方法。 9、液体媒体が有機溶媒である請求項1ないし4のいず
れか1項記載の方法。 10、液体媒体がアセトン、トルエン、メチル−エチル
ケトン、イソブチルアルコール、炭酸プロピレン、酢酸
アミル及び酢酸ブチルからなる群から選ばれる請求項1
ないし4のいずれか1項記載の方法。 11、成分の混合物に表面活性剤を加える請求項1ない
し4のいずれか1項記載の方法。12、液体媒体に表面
活性剤を加える請求項1ないし4のいずれか1項記載の
方法。 13、2つの電極が幾何学的に成形且つ配置されており
、それによって2つの電極間における電位差の印加が前
記液体媒体内に電場の勾配を生じる請求項1ないし4の
いずれか1項記載の方法。 14、物品上に超伝導物質を付着する方法において: (a)超伝導物質を合成するのに必要な成分の混合物を
調製する工程; (b)液体媒体内に前期混合物のコロイド状分散体を形
成する工程; (c)前記液体媒体内に2つの電極を設置し、ここで電
極の一方が付着を施したい物品よりなる工程; (d)前記2つの電極間に電位差を印加し、それによつ
て前記媒体内の物質が前記物品からなる電極上に付着物
を形成する工程;及び (e)前記付着物を反応させて該付着物を緻密化する工
程; を含んでなることを特徴とする物品上に超伝導物質を付
着する方法。 15、工程(e)が付着物を緻密化するのに充分高い温
度で付着物を焼結することからなる請求項14記載の方
法。 16、付着物を酸素雰囲気下で加熱する付加の工程(f
)をさらに含む請求項14記載の方法。 17、付着物を酸素雰囲気下で加熱する付加工程(f)
をさらに含む請求項15記載の方法。 18、工程(d)後に、物品を所望の形状に成形する付
加工程をさらに含む請求項14ないし17のいずれか1
項記載の方法。 19、化合物が稀土類元素類、アルカリ土類金属類、銅
、ビスマス、タリウム及び酸素の化合物からなる群から
選ばれる元素を含む請求項14ないし17のいずれか1
項記載の方法。 20、液体媒体が有機溶媒である請求項14ないし17
のいずれか1項記載の方法。 21、液体媒体がアセトン、トルエン、メチル−エチル
ケトン、イソブチルアルコール、炭酸プロピレン、酢酸
アミル及び酢酸ブチルからなる群から選ばれる請求項1
4ないし17のいずれか1項記載の方法。 22、化合物に表面活性剤を加える請求項14ないし1
7のいずれか1項記載の方法。 23、液体媒体に表面活性剤を加える請求項14ないし
17のいずれか1項記載の方法。 24、2つの電極が幾何学的に成形且つ配置されており
、それによって2つの電極間における電位差の印加が前
記液体媒体内に電場の勾配を生じる請求項14ないし1
7のいずれか1項記載の方法。 25、物品上に超伝導性イットリウム−バリウム−銅−
酸化物系セラミック材を付着する方法において: (a)炭酸イットリウム、炭酸バリウム及び炭酸銅の混
合物を調製する工程; (b)液体媒体内に前記混合物のコロイド状分散体を形
成する工程; (c)前記液体媒体内に2つの電極を提供し、ここで電
極の一方が付着を施したい物品よりなる工程; (d)前記2つの電極間に電位差を印加し、それによっ
て前記媒体内の炭酸イットリウム、炭酸バリウム及び炭
酸銅が前記物品からなる電極上に付着物を形成する工程
;及び (e)前記付着物を反応させて、酸化物を形成する工程
;を含んでなることを特徴とする物品上に超伝導性イッ
トリウム−バリウム−銅−酸化物系セラミック材を付着
する方法。26、工程(e)が酸化物を形成し且つ酸化
物を緻密化するのに充分高い温度で付着物を焼結するこ
とからなる請求項25記載の方法。 27、付着物を酸素雰囲気下で加熱する付加工程(f)
をさらに含む請求項25記載の方法。 28、付着物を酸素雰囲気下で加熱する付加工程(f)
をさらに含む請求項26記載の方法。 29、工程(d)後に、物品を所望の形状に成形する付
加工程をさらに含む請求項25ないし28のいずれか1
項記載の方法。 30、液体媒体が有機媒体である請求項25ないし28
のいずれか1項記載の方法。 31、液体媒体がアセトン、トルエン、メチル−エチル
ケトン、イソブチルアルコール、炭酸プロピレン、酢酸
アミル及び酢酸ブチルからなる群から選ばれる請求項2
5ないし28のいずれか1項記載の方法。 32、混合物に表面活性剤を加える請求項25ないし2
8のいずれか1項記載の方法。 33、液体媒体に表面活性剤を加える請求項25ないし
28のいずれか1項記載の方法。34、2つの電極が幾
何学的に成形且つ配置されており、それによつて2つの
電極間における電位差の印加が前記液体媒体内に電場の
勾配を生じる請求項25ないし28のいずれか1項記載
の方法。 35、物品上に超伝導性イットリウム−バリウム−銅−
酸化物系セラミック材を付着する方法において: (a)しゅう酸イットリウム、しゅう酸バリウム及びし
ゅう酸銅の混合物を調製する工程; (b)液体媒体内に前記混合物のコロイド状分散体を形
成する工程; (c)前記液体媒体内に2つの電極を配置し、ここで電
極の一方を付着を施したい物品よりなる工程; (d)前記2つの電極間に電位差を印加し、それによっ
て前記媒体内のしゅう酸イットリウム、しゅう酸バリウ
ム及びしゅう酸銅が前記物品からなる電極上に付着物を
形成する工程;及び (e)前記付着物を反応させて酸化物を形成する工程; を含んでなることを特徴とする物品上に超伝導性イット
リウム−バリウム−銅−酸化物系セラミック材を付着す
る方法。 36、工程(e)が前記酸化物を形成し且つ酸化物を緻
密化するのに充分高い温度で付着物を焼結することから
なる請求項35記載の方法。 37、付着物を酸素雰囲気下で加熱する付加工程(f)
をさらに含む請求項35記載の方法。 38、付着物を酸素雰囲気下で加熱する付加工程(f)
をさらに含む請求項36記載の方法。 39、工程(d)後に、物品を所望の形状に成形する付
加工程をさらに含む請求項35ないし38のいずれか1
項記載の方法。 40、液体媒体が有機媒体である請求項35ないし38
のいずれか1項記載の方法。 41、液体媒体がアセトン、トルエン、メチル−エチル
ケトン、イソブチルアルコール、炭酸プロピレン、酢酸
アミル及び酢酸ブチルからなる群の中から選ばれた請求
項35ないし38のいずれか1項記載の方法。 42、混合物に表面活性剤を加える請求項35ないし3
8のいずれか1項記載の方法。 43、液体媒体に表面活性剤を加える請求項35ないし
38のいずれか1項記載の方法。44、2つの電極が幾
何学的に成形且つ配置されており、それによって2つの
電極間における電位差の印加が前記液体媒体内に電場の
勾配を生じる請求項35ないし38のいずれか1項記載
の方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/215,581 US4952557A (en) | 1987-11-09 | 1988-07-06 | Formation of superconducting articles by electrodeposition |
| US215,581 | 1988-07-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0219495A true JPH0219495A (ja) | 1990-01-23 |
Family
ID=22803544
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1057692A Pending JPH0219495A (ja) | 1988-07-06 | 1989-03-09 | 電着による超伝導性物品の形成方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4952557A (ja) |
| EP (1) | EP0350143A1 (ja) |
| JP (1) | JPH0219495A (ja) |
| KR (1) | KR890009011A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005059001A (ja) * | 2003-07-31 | 2005-03-10 | Cluster Technology Co Ltd | 析出方法 |
| JP2013024824A (ja) * | 2011-07-26 | 2013-02-04 | Denso Corp | センサ装置の製造方法 |
| US9550588B2 (en) | 2010-11-08 | 2017-01-24 | Sartorius Lab Instruments Gmbh & Co. Kg | Welding device, use thereof as a control valve, and metering device |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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