JPH021976A - カラー固体撮像装置 - Google Patents
カラー固体撮像装置Info
- Publication number
- JPH021976A JPH021976A JP63141831A JP14183188A JPH021976A JP H021976 A JPH021976 A JP H021976A JP 63141831 A JP63141831 A JP 63141831A JP 14183188 A JP14183188 A JP 14183188A JP H021976 A JPH021976 A JP H021976A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- layer
- filter layer
- filter
- imaging device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明はカラー固体撮像装置に関するものである。
（従来の技術）
第２図および第３図は従来例のカラー固体撮像装置であ
るフレームトランスファをＣＣＤ撮像装置の二個の要部
側断面ＩＪである。この種の従来のフレームトランスフ
ァ型ＣＣＤＩ最像装置のカラー化には、第２１７１に示
すように、ガラス板１トにあらかしめ所望の色フィルタ
配列を形成したガラスフィルタＡ１ＣＣＤ等から成るセ
ンサーチップ８１−に位置合せして貼り合せる方式と、
第３１’Ｅ４に示亀すように、通常のＩｃの製造工程と
同しように、ＣＣＯ等のデバイスを形成したウェハ状態
で直接ウェハＬに順次フィルタ層りを形成するオンウニ
八方式とかあり、又この従来例のフレームトランスファ
の場合、画素か密着していることから、色配列としては
縦のストライブとすることが多い。
るフレームトランスファをＣＣＤ撮像装置の二個の要部
側断面ＩＪである。この種の従来のフレームトランスフ
ァ型ＣＣＤＩ最像装置のカラー化には、第２１７１に示
すように、ガラス板１トにあらかしめ所望の色フィルタ
配列を形成したガラスフィルタＡ１ＣＣＤ等から成るセ
ンサーチップ８１−に位置合せして貼り合せる方式と、
第３１’Ｅ４に示亀すように、通常のＩｃの製造工程と
同しように、ＣＣＯ等のデバイスを形成したウェハ状態
で直接ウェハＬに順次フィルタ層りを形成するオンウニ
八方式とかあり、又この従来例のフレームトランスファ
の場合、画素か密着していることから、色配列としては
縦のストライブとすることが多い。
図面について、第２図中、ｌはガラス板、２は中間層、
３はフィルタ保護服、４は接着剤の層、５は保護１１ｑ
（酸化１１１２）、６は隣り１合せの画素ｇａと８ａと
の中間のチャネルストッパ８の１−ＪＴで色、ｉＢ、Ｇ
、Ｒのそれぞれの中間部分に返光のために、クロム、シ
リサイド等によって形成された遮光層、８は各画素に蓄
えられた信号電荷か隣へ拡散するのを防止するチャネル
ストッパ、９はポリシリコンゲート電極、１０は酸化膜
、１１は赤の色素（Ｒ）、１２は青の色素（Ｂ）、１３
は緑の色素（Ｇ）であり、第３図中、６は半導体ウニ八
〇のチャネルストッパ８の上方とフィルタ層りの間でチ
ャネルストッパ８に近接して配設された１層のみの遮光
層、７は平坦層である。
３はフィルタ保護服、４は接着剤の層、５は保護１１ｑ
（酸化１１１２）、６は隣り１合せの画素ｇａと８ａと
の中間のチャネルストッパ８の１−ＪＴで色、ｉＢ、Ｇ
、Ｒのそれぞれの中間部分に返光のために、クロム、シ
リサイド等によって形成された遮光層、８は各画素に蓄
えられた信号電荷か隣へ拡散するのを防止するチャネル
ストッパ、９はポリシリコンゲート電極、１０は酸化膜
、１１は赤の色素（Ｒ）、１２は青の色素（Ｂ）、１３
は緑の色素（Ｇ）であり、第３図中、６は半導体ウニ八
〇のチャネルストッパ８の上方とフィルタ層りの間でチ
ャネルストッパ８に近接して配設された１層のみの遮光
層、７は平坦層である。
以上述へたように、第２図の従来例における遮光層６は
、ＶＡり合せの画Ｊ８ａと８ａの中間のチャネルストッ
パ８の上方で、このチャネルストッパ８より遠く躍れて
いる色Ｊ （Ｂ） 、色素（Ｇ）１色素（Ｒ）のそわぞ
わの中間部分に形成されており、チャネルストッパ８の
上方とフィルタ層りの中間には遮光層か無かったために
、例えば色素（Ｂ）部に入射した斜入射光ａは色素（Ｂ
）１２を通り、遮光されないで色素（Ｇ）！３のチャネ
ルｂ部に達し色素（Ｇ）に対応した光電変換をする。又
、第３図の従来例における遮光層６は゛１ｊＡ体ウェハ
Ｃのチャネルストッパ８の１−力に近接してフィルタ層
りとの間に１層のみで形成されているため、遮光層６は
チャネルストッパ８に近接した１層のみてあり、チャネ
ルストッパ８とフィルタ層の中間には無かったので、例
えば色素（Ｂ）１２部に入射した斜入射光ａは色素（Ｂ
）１２を通り、１層の遮光層６て遮光されない大部分の
光は色素（Ｇ）１３のチャネルｂ部に達し、色素（Ｇ）
に対応した光電変換をする。
、ＶＡり合せの画Ｊ８ａと８ａの中間のチャネルストッ
パ８の上方で、このチャネルストッパ８より遠く躍れて
いる色Ｊ （Ｂ） 、色素（Ｇ）１色素（Ｒ）のそわぞ
わの中間部分に形成されており、チャネルストッパ８の
上方とフィルタ層りの中間には遮光層か無かったために
、例えば色素（Ｂ）部に入射した斜入射光ａは色素（Ｂ
）１２を通り、遮光されないで色素（Ｇ）！３のチャネ
ルｂ部に達し色素（Ｇ）に対応した光電変換をする。又
、第３図の従来例における遮光層６は゛１ｊＡ体ウェハ
Ｃのチャネルストッパ８の１−力に近接してフィルタ層
りとの間に１層のみで形成されているため、遮光層６は
チャネルストッパ８に近接した１層のみてあり、チャネ
ルストッパ８とフィルタ層の中間には無かったので、例
えば色素（Ｂ）１２部に入射した斜入射光ａは色素（Ｂ
）１２を通り、１層の遮光層６て遮光されない大部分の
光は色素（Ｇ）１３のチャネルｂ部に達し、色素（Ｇ）
に対応した光電変換をする。
以上はフレームトランスファ型ＣＣＤ撮像装置に関する
ものであるか、同し〈従来例としてインターライントラ
ンスファ型ＣＣＤ撮像装置およびＸ−Ｙアドレス型固体
撮像装置においても同様のフィルタ方式か使用されてい
る。
ものであるか、同し〈従来例としてインターライントラ
ンスファ型ＣＣＤ撮像装置およびＸ−Ｙアドレス型固体
撮像装置においても同様のフィルタ方式か使用されてい
る。
以上のように、従来例のフレームトランスファ型ＣＣＤ
固体撮像装置では、第２図および第３図の点線で示すよ
うに、斜入射光ａが例えば青果の波長のみを透過するフ
ィルタである青の色素（Ｂ）１２を通って、縁糸の光の
み入射するはずのチャネルｂ部に入射することになり、
青と緑の混色となる。このため、このデバイスを使った
撮像装置の映像系の色再現性を悪化させるという問題点
かあった。
固体撮像装置では、第２図および第３図の点線で示すよ
うに、斜入射光ａが例えば青果の波長のみを透過するフ
ィルタである青の色素（Ｂ）１２を通って、縁糸の光の
み入射するはずのチャネルｂ部に入射することになり、
青と緑の混色となる。このため、このデバイスを使った
撮像装置の映像系の色再現性を悪化させるという問題点
かあった。
尚、而記従来例のインターライントランスファ型、もし
くはＸ−Ｙアドレス型固体撮像素子においても、画素寸
法か小さくなるに従って面述と同様の問題点か生じた。
くはＸ−Ｙアドレス型固体撮像素子においても、画素寸
法か小さくなるに従って面述と同様の問題点か生じた。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので斜入射光による混色をなくし、このデバイスを
使った撮像装置の映像系の色再現性を高くし、良質の画
像を得ることを目的とする。
たもので斜入射光による混色をなくし、このデバイスを
使った撮像装置の映像系の色再現性を高くし、良質の画
像を得ることを目的とする。
このため、この発明においては、ＣＣＤ等を几備して成
るイメージエリア上部に所望の色フィルタ層を設けた固
体撮像装置において、首記ＣＣＤのチャネルストッパの
上方と曲尾フィルタ層間に２層以上の遮光層を設けるこ
とにより０「記［］的を達成しようとするものである。
るイメージエリア上部に所望の色フィルタ層を設けた固
体撮像装置において、首記ＣＣＤのチャネルストッパの
上方と曲尾フィルタ層間に２層以上の遮光層を設けるこ
とにより０「記［］的を達成しようとするものである。
尚、又、画素の光電変換領域に隣接する不感光部上とフ
ィルタ層間に２層以Ｆの遮光層を設けることにより、首
記目的を達成しようとする乙のである。
ィルタ層間に２層以Ｆの遮光層を設けることにより、首
記目的を達成しようとする乙のである。
（作用）
この発明におけるカラー固体撮像装置は、ＣＣＤのチャ
ネルストッパのに方とフィルタ層間に２層以上の遮光層
を設け、又は、固体撮像装置の画素の光電変換領域に隣
接する不感光部上とフィルタ層間に２層以上の遮光層を
設けたので、例えば、Ｉｆ系の波長のみを透過する計の
色素を通った斜入射光は遮光され、隣の縁糸のチャネル
に入射しない。
ネルストッパのに方とフィルタ層間に２層以上の遮光層
を設け、又は、固体撮像装置の画素の光電変換領域に隣
接する不感光部上とフィルタ層間に２層以上の遮光層を
設けたので、例えば、Ｉｆ系の波長のみを透過する計の
色素を通った斜入射光は遮光され、隣の縁糸のチャネル
に入射しない。
以下この発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第１図はこの発明の一実施例であるカラー固体撮像装置
の主要部の側断面図であり、図中、前記従；に例におけ
ると同一または相当構成要素は同一・符号で表わす。
の主要部の側断面図であり、図中、前記従；に例におけ
ると同一または相当構成要素は同一・符号で表わす。
次にこの一実７ｉＫ例の構成をその積層順に説明する。
第１図において、ＣＣＤ Ｅは、通常用いられる光電
変換と転送チャネルを兼ねた領域、信号電荷か電子の場
合Ｐ９領域であるチャネルストッパ領域８．信号電荷を
蓄積する蓄積領域、水平読出しレジスタおよび出力アン
プ等（以上チャネルストッパ以外図示せず）を公知のイ
オン注入法等で作り込み、その上部に酸化ＩＩＡ １０
、ポリシリコン、アルミニウム等でケート電極９等を
積層し、そのトに保護膜としての酸化１１Ｑ ５を形成
して構成されている。このようなＣＣＤ Ｈのチャネ
ルストッパ８の上方に２層以上、この場合は２層の遮光
層６か、その間隙に保護膜としての酸化膜５をはさんで
形成され、その−に部を最上層の保護膜としての酸化１
１！２５が形成される。次にこの酸化ＩＩＱ ５の上部
に透明な樹脂等による平坦化層７か形成され、ＣＣＤ
ＥのイメージエリアＦ上部に所望のフィルタ層りか設
けられる。該フィルタ層りは。
変換と転送チャネルを兼ねた領域、信号電荷か電子の場
合Ｐ９領域であるチャネルストッパ領域８．信号電荷を
蓄積する蓄積領域、水平読出しレジスタおよび出力アン
プ等（以上チャネルストッパ以外図示せず）を公知のイ
オン注入法等で作り込み、その上部に酸化ＩＩＡ １０
、ポリシリコン、アルミニウム等でケート電極９等を
積層し、そのトに保護膜としての酸化１１Ｑ ５を形成
して構成されている。このようなＣＣＤ Ｈのチャネ
ルストッパ８の上方に２層以上、この場合は２層の遮光
層６か、その間隙に保護膜としての酸化膜５をはさんで
形成され、その−に部を最上層の保護膜としての酸化１
１！２５が形成される。次にこの酸化ＩＩＱ ５の上部
に透明な樹脂等による平坦化層７か形成され、ＣＣＤ
ＥのイメージエリアＦ上部に所望のフィルタ層りか設
けられる。該フィルタ層りは。
たとえば緑（Ｇ）の波長のみを透過する第１のフィルタ
１３．透明の中間層２．たとえば赤（Ｒ）の波長のみを
透過する第２のフィルタ１１、透明の中間層２．青（Ｂ
）の波長のみを透過する第３のフィルタ層１２の順に作
られ、その１−に保護膜３か積層されることにより形成
される。
１３．透明の中間層２．たとえば赤（Ｒ）の波長のみを
透過する第２のフィルタ１１、透明の中間層２．青（Ｂ
）の波長のみを透過する第３のフィルタ層１２の順に作
られ、その１−に保護膜３か積層されることにより形成
される。
次にこの一実施例の動作を第１図を用いて説明する。
第１図において、例えば時運のように前糸の波１（のみ
を透過する青の色素である第３のフィルタ層１２を通っ
た斜めの入射光ａは必ず、ＣＣＤＥのチャネルストッパ
８のｌ―方とフィルタ層りの間に配設した遮光層６のい
ずれかに当り、遮光層６で吸収又は反射さね、この斜め
の入射光ａか隣接する縁糸の光のみ入射するチャネル６
部に入射し、光電変換することはない。
を透過する青の色素である第３のフィルタ層１２を通っ
た斜めの入射光ａは必ず、ＣＣＤＥのチャネルストッパ
８のｌ―方とフィルタ層りの間に配設した遮光層６のい
ずれかに当り、遮光層６で吸収又は反射さね、この斜め
の入射光ａか隣接する縁糸の光のみ入射するチャネル６
部に入射し、光電変換することはない。
以上は、フレームトランスファ５１ＩＣＣＤ固体撮像装
置について述へたか、インターライントランスファキノ
もしくはＸ−Ｙアドレス型固体撮像装置の場合は、固体
撮像装置の画素の光電変換領域、例えば感光部に隣接す
る不感光部、例えば通常チャネルスト・Ｉパを有する転
送部の−Ｆ方とフィルタ層間に２層以上の遮光層を設け
ることにより、首記フレームトランスファ型と同様の構
成と作用を得ることかできる。
置について述へたか、インターライントランスファキノ
もしくはＸ−Ｙアドレス型固体撮像装置の場合は、固体
撮像装置の画素の光電変換領域、例えば感光部に隣接す
る不感光部、例えば通常チャネルスト・Ｉパを有する転
送部の−Ｆ方とフィルタ層間に２層以上の遮光層を設け
ることにより、首記フレームトランスファ型と同様の構
成と作用を得ることかできる。
以−１−説明したように、この発明によれば、ＣＣＤ等
を具備して成るイメージエリア上部に所望のフィルタ層
を設けた固体撮像装置において、ＣＣＤのチャネルスト
ッパの上方とフィルタ層間に２層以上の遮光層を設ける
か、又は固体撮像装置の光電変換領域に隣接する不感光
部−上方とフィルタ層間に２層以上の遮光層を設けたの
で、斜め入射光による混色をなくし、このテバイスを使
った撮像装置の映像系の色再現性を高くし、良質の画像
か得られる効果がある。。
を具備して成るイメージエリア上部に所望のフィルタ層
を設けた固体撮像装置において、ＣＣＤのチャネルスト
ッパの上方とフィルタ層間に２層以上の遮光層を設ける
か、又は固体撮像装置の光電変換領域に隣接する不感光
部−上方とフィルタ層間に２層以上の遮光層を設けたの
で、斜め入射光による混色をなくし、このテバイスを使
った撮像装置の映像系の色再現性を高くし、良質の画像
か得られる効果がある。。
【図面の簡単な説明】
第１図はこの発明の一実施例であるカラー固体撮像装置
の主要部の側断面図、第２図および第３図は従来例のカ
ラー固体撮像装置の要部側断面図である。 Ａ・・・・・・ガラスフィルタ Ｂ・・・・・・センサーチップ Ｃ・・・・・・半導体ウェハ Ｄ・・・・・・フィルタ層 Ｅ・・・・・・ＣＣＤ Ｆ・・・・・・イメージエリア ６・・・・・・遮光層 ８・・・・・・チャネルストッパ １１・・・・・・第２フイルタ（赤） １２・・・・・・第３フイルタ（Ｉ”ｆ ）１３・・・
・・・第１フイルタ（緑） ［ｉ願人 キャノン株式会社 く の
の主要部の側断面図、第２図および第３図は従来例のカ
ラー固体撮像装置の要部側断面図である。 Ａ・・・・・・ガラスフィルタ Ｂ・・・・・・センサーチップ Ｃ・・・・・・半導体ウェハ Ｄ・・・・・・フィルタ層 Ｅ・・・・・・ＣＣＤ Ｆ・・・・・・イメージエリア ６・・・・・・遮光層 ８・・・・・・チャネルストッパ １１・・・・・・第２フイルタ（赤） １２・・・・・・第３フイルタ（Ｉ”ｆ ）１３・・・
・・・第１フイルタ（緑） ［ｉ願人 キャノン株式会社 く の
Claims (2)
- （１）ＣＣＤ等を具備して成るイメージエリア上部に所
望のフィルタ層を設けた固体撮像装置において、前記Ｃ
ＣＤのチャネルストッパの上方と前記フィルタ層間に２
層以上の遮光層を設けたことを特徴とするカラー固体撮
像装置。 - （２）画素の光電変換領域に隣接する不感光部の上方と
フィルタ層間に２層以上の遮光層を設けことを特徴とす
る請求項１記載のカラー固体撮像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63141831A JPH021976A (ja) | 1988-06-10 | 1988-06-10 | カラー固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63141831A JPH021976A (ja) | 1988-06-10 | 1988-06-10 | カラー固体撮像装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH021976A true JPH021976A (ja) | 1990-01-08 |
Family
ID=15301148
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63141831A Pending JPH021976A (ja) | 1988-06-10 | 1988-06-10 | カラー固体撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH021976A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH022169A (ja) * | 1988-06-14 | 1990-01-08 | Fuji Photo Film Co Ltd | 固体撮像装置 |
| JPH04199875A (ja) * | 1990-11-29 | 1992-07-21 | Nec Corp | 固体撮像装置 |
-
1988
- 1988-06-10 JP JP63141831A patent/JPH021976A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH022169A (ja) * | 1988-06-14 | 1990-01-08 | Fuji Photo Film Co Ltd | 固体撮像装置 |
| JPH04199875A (ja) * | 1990-11-29 | 1992-07-21 | Nec Corp | 固体撮像装置 |
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