JPH0219785Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0219785Y2 JPH0219785Y2 JP1982174841U JP17484182U JPH0219785Y2 JP H0219785 Y2 JPH0219785 Y2 JP H0219785Y2 JP 1982174841 U JP1982174841 U JP 1982174841U JP 17484182 U JP17484182 U JP 17484182U JP H0219785 Y2 JPH0219785 Y2 JP H0219785Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reflecting mirror
- spring part
- movable part
- deflection element
- spring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、電磁オツシログラフ等に用いて有効
な光偏向素子に関するものである。
な光偏向素子に関するものである。
第１図は本願考案者らが先に特願昭55−44383
号で提案したこの種の光偏向素子の一例を示す構
成斜視図である。
号で提案したこの種の光偏向素子の一例を示す構
成斜視図である。
この光偏向素子は、フレーム１に可動部２を細
くなつたバネ部３１，３２を介して支持するとと
もに、可動部２に、反射鏡４とコイルパターン５
とを形成したものである。フレーム１，可動部２
およびバネ部３１，３２は、例えば厚さが５×
10-5ｍ程度のひとつの水晶基板で構成され、これ
らの形状、反射鏡やコイルパターンの作成はホト
リソグラフイ（写真食刻）の技術とエツチングの
技術とを利用して行なわれる。
くなつたバネ部３１，３２を介して支持するとと
もに、可動部２に、反射鏡４とコイルパターン５
とを形成したものである。フレーム１，可動部２
およびバネ部３１，３２は、例えば厚さが５×
10-5ｍ程度のひとつの水晶基板で構成され、これ
らの形状、反射鏡やコイルパターンの作成はホト
リソグラフイ（写真食刻）の技術とエツチングの
技術とを利用して行なわれる。
このように構成した光偏向素子は、コイルパタ
ーン５を図示する矢印方向の磁界（基板の平面方
向と同一方向の磁界）中に配置させ、コイルパタ
ーンに電流を流すことによつて、可動部２をバネ
部３１，３２を軸として偏位させ、反射鏡４に入
射する光ビームを偏向することができる。
ーン５を図示する矢印方向の磁界（基板の平面方
向と同一方向の磁界）中に配置させ、コイルパタ
ーンに電流を流すことによつて、可動部２をバネ
部３１，３２を軸として偏位させ、反射鏡４に入
射する光ビームを偏向することができる。
ところで、このような構成の光偏向素子は、高
性能で品質の揃つた素子を一度に多数生産するこ
とができるという特長がある反面、反射鏡４をそ
の上下端で支持しているため、可動部２が回転し
た場合に反射鏡４にトルクが作用し、バネ部３１
と反射鏡４のねじり剛性比に対応して反射鏡４が
第２図に示すようにねじれるという問題があつ
た。反射鏡４が第２図に示すようにねじれると、
反射鏡のビームは横に拡がつてしまい、スポツト
をしぼることができなくなつてしまう。
性能で品質の揃つた素子を一度に多数生産するこ
とができるという特長がある反面、反射鏡４をそ
の上下端で支持しているため、可動部２が回転し
た場合に反射鏡４にトルクが作用し、バネ部３１
と反射鏡４のねじり剛性比に対応して反射鏡４が
第２図に示すようにねじれるという問題があつ
た。反射鏡４が第２図に示すようにねじれると、
反射鏡のビームは横に拡がつてしまい、スポツト
をしぼることができなくなつてしまう。
本考案はこのような、可動部が回転した場合の
反射鏡のねじれによる問題点を解決することを目
的としてなされたものである。
反射鏡のねじれによる問題点を解決することを目
的としてなされたものである。
本考案に係る光偏向素子は一つの絶縁基板にホ
トリソグラフイ技術とエツチング技術を用いてバ
ネ部と、このバネ部を介してその上下端が固定端
に支持される可動部と、前記バネ部に接続する反
射鏡を形成するとともに、前記可動部にコイルパ
ターンを設け、前記反射鏡は前記バネ部に接続す
る部分の長さが反射鏡の前記バネ部と平行な方向
の最大長よりも短くなるような形状としたことを
特徴とする。
トリソグラフイ技術とエツチング技術を用いてバ
ネ部と、このバネ部を介してその上下端が固定端
に支持される可動部と、前記バネ部に接続する反
射鏡を形成するとともに、前記可動部にコイルパ
ターンを設け、前記反射鏡は前記バネ部に接続す
る部分の長さが反射鏡の前記バネ部と平行な方向
の最大長よりも短くなるような形状としたことを
特徴とする。
以下図面にもとずいて本考案を説明する。
第３図は本考案に係る光偏向素子の実施例を示
す構成図である。この光偏向素子は、固定端１
（フレーム等）に可動部２を細くなつたバネ部３
１，３２を介して支持するとともに、可動部２に
コイルパターンを形成し、バネ部３１に接続して
Ｈ型の反射鏡４を設けたものである。
す構成図である。この光偏向素子は、固定端１
（フレーム等）に可動部２を細くなつたバネ部３
１，３２を介して支持するとともに、可動部２に
コイルパターンを形成し、バネ部３１に接続して
Ｈ型の反射鏡４を設けたものである。
このように構成される光偏向素子によれば、可
動部２が回転した場合にも、反射鏡４にトルクが
働くのは、反射鏡４がバネ部３１に接続する幅の
部分で、これによつて生じる反射鏡のひねりは僅
かの領域（図の２つの点線の間の帯状の部分）で
しか生じない。この結果、反射光ビームの拡がり
は僅かで済み、反射鏡からの反射光はレンズによ
つて充分小さなスポツトにしぼられることを確認
できた。
動部２が回転した場合にも、反射鏡４にトルクが
働くのは、反射鏡４がバネ部３１に接続する幅の
部分で、これによつて生じる反射鏡のひねりは僅
かの領域（図の２つの点線の間の帯状の部分）で
しか生じない。この結果、反射光ビームの拡がり
は僅かで済み、反射鏡からの反射光はレンズによ
つて充分小さなスポツトにしぼられることを確認
できた。
上記の実施例では、反射鏡としてＨ型形状のも
のを用いた場合を示したが、反射鏡がバネ部と接
続する部分の長さｌがバネ部と平行な方向の反射
鏡の最大長Ｌよりも短かい（ｌ＜Ｌ）全ての形状
について同様に適用できる。
のを用いた場合を示したが、反射鏡がバネ部と接
続する部分の長さｌがバネ部と平行な方向の反射
鏡の最大長Ｌよりも短かい（ｌ＜Ｌ）全ての形状
について同様に適用できる。
なお第３図に示す光偏向素子はひとつの絶縁基
板から、ホトリソグラフイの技術とエツチングの
技術を利用して、同一工程で形成できるものなの
で、第１図の場合に比べて工程が複雑になるよう
なことはない。また可動部は上下端支持構造なの
で、片持ちばり型の可動部に比べて横方向の外部
振動等に対して強く、安定性が優れている。
板から、ホトリソグラフイの技術とエツチングの
技術を利用して、同一工程で形成できるものなの
で、第１図の場合に比べて工程が複雑になるよう
なことはない。また可動部は上下端支持構造なの
で、片持ちばり型の可動部に比べて横方向の外部
振動等に対して強く、安定性が優れている。
以上述べたように本考案によれば、可動部が回
転した場合に反射鏡のねじれの少ない光偏向素子
を簡単な構成で実現できる。
転した場合に反射鏡のねじれの少ない光偏向素子
を簡単な構成で実現できる。
第１図は本願考案者らが先に提案した光偏向素
子の一例を示す構成斜視図、第２図はその問題点
を説明するための動作状態における構成説明図、
第３図は本考案に係る光偏向素子の動作状態にお
ける構成説明図である。 ２……可動部、３１，３２……バネ部、４……
反射鏡、５……コイルパターン。
子の一例を示す構成斜視図、第２図はその問題点
を説明するための動作状態における構成説明図、
第３図は本考案に係る光偏向素子の動作状態にお
ける構成説明図である。 ２……可動部、３１，３２……バネ部、４……
反射鏡、５……コイルパターン。
Claims (1)
- 一つの絶縁基板にホトリソグラフイ技術とエツ
チング技術を用いてバネ部と、このバネ部を介し
てその上下端が固定端に支持される可動部と、前
記バネ部に接続する反射鏡を形成するとともに、
前記可動部にコイルパターンを設け、前記反射鏡
は前記バネ部に接続する部分の長さが反射鏡の前
記バネ部と平行な方向の最大長よりも短くなるよ
うな形状としたことを特徴とする光偏向素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17484182U JPS5979825U (ja) | 1982-11-18 | 1982-11-18 | 光偏向素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17484182U JPS5979825U (ja) | 1982-11-18 | 1982-11-18 | 光偏向素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5979825U JPS5979825U (ja) | 1984-05-30 |
| JPH0219785Y2 true JPH0219785Y2 (ja) | 1990-05-31 |
Family
ID=30380537
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17484182U Granted JPS5979825U (ja) | 1982-11-18 | 1982-11-18 | 光偏向素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5979825U (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5425742A (en) * | 1977-07-28 | 1979-02-26 | Seiko Epson Corp | Sweeping and driving device |
| JPS6057053B2 (ja) * | 1980-08-11 | 1985-12-13 | 横河電機株式会社 | 光偏向素子 |
-
1982
- 1982-11-18 JP JP17484182U patent/JPS5979825U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5979825U (ja) | 1984-05-30 |
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