JPS6430530U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る光偏向器の一実施例を示
す構成説明図、第２図は第１図装置の動作を説明
するための要部説明図、第３図〜第６図は第１図
装置の動作特性を示す特性曲線図、第７図は第１
図装置の変形例を示す構成説明図、第８図は第１
図装置の応用例を示す構成ブロツク図、第９図は
光偏向器の先行技術を示す構成説明図、第１０図
、第１１図は第１図装置の動作を説明するための
説明図である。 １……基板、２，３……ばね部、１０……可動
部、１１……反射鏡、ｂ_０……２点間の間隔、２
ｂ……反射鏡の横幅。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 絶縁基板上にばね部と、このばね部を介し
   て固定端に支持される可動部とをフオトリソグラ
   フイ技術により形成した光偏向器において、可動
   部に反射鏡を設け、この反射鏡とばね部の間を２
   点支持により結合し、２点間の間隔を反射鏡の横
   幅の約１／２〜１倍にすることを特徴とする光偏
   向器。 (2) 可動部にコイルパターンを加えて形成し、
   反射鏡と前記コイルパターンの間を２点支持によ
   り結合した実用新案登録請求の範囲第１項記載の
   光偏向器。 (3) 固有振動数で共振させるように構成した実
   用新案登録請求の範囲第１項記載の光偏向器。 (4) 自動振回路と組合せて反射鏡を自励振動さ
   せるように構成した実用新案登録請求の範囲第１
   項記載の光偏向器。 (5) コイルパターンへ電気導体物質をメツキす
   ることにより、コイル抵抗値を小さくした実用新
   案登録請求の範囲第２項記載の光偏向器。