JPH02198715A - 電解仕上げ加工方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ この発明は、電解仕上げ加工方法に係り、特にワークの
加工量を制御し得て、高い加工精度が得られる電解仕上
げ加工方法に間する。

［従来の技術］ 従来、放電加工されたワークと、このワークの加工面に
倣った電極面を有する電極とを、静止した電解液中で所
定の間隙で対向配置し、その極間に単一の加工パルスを
供給するとともに、間隙に電解液を間欠的に噴出して、
該間隙の加工屑を排除しながらワークを仕上げ加工する
電解仕上げ加１方法としては、例えば特開昭６３−１１
４８１５号公報に開示のものが知られている。

［発明が解決しようとする問題点コ ところで、この電解仕上げ加工方法にあっては、ワーク
の加工量を精度よく制御することが難しく、高い加工精
度が得られないという不都合があった。

即ち、この電解仕上げ加工方法にあっては、仕上げ加工
に当り、ワークの放電加工面の粗さを確認し、必要とす
る粗さ面を得るために、実験（試し加工）によって求め
たモノグラフから、目標とする加工量を入力する。また
、材料毎の電気化学当量と実験による加工効率のデータ
とから演算式を求め、この演算式により、前記入力した
加工量に相当する単位面積当りのクーロン量を算出し、
このクーロン量に基づいて加工回数を設定する。

そして、通常、・実験と同じ条件で加工されれば、任意
の加工量に対して加工精度（寸法精度）は±６％程度に
収まる。しかしながら、実際の加工を実験と同じ条件で
行うことは、電解液の濃度、温度、ベーハー等の変化に
より難しい。また、ワークの表面形状は複雑で、その正
確な面積を計算で求めるのが困難であり、入力された面
積の誤差が単位面積当りのクーロン量を狂わせ、加工精
度に悪影響を与える。更に、フラッシング動作による間
隙の電解液の排除条件を、実験と同じ水準で行うことが
困難であるとともに、複雑な形状のワークでは、表面全
域に亙っての確実な排除が困難で、加工効率が悪化し、
実際の加工量が入力した加工量よりも少なくなるのが現
状であり、目標とする寸法精度が得られないなど、高い
加工精度を得ることができない。

そこでこの発明の目的は、上述の不都合を除去し、特に
ワークの加工量を制御し得て、高い加工精度が得られる
電解仕上げ加工方法を実現するにある。

［ｒ！！題を解決するための手段］ この目的を達成するために、この出願の第１発明は、所
定形状に加工されたワークと、このワークの加工面に倣
った電極面を有する電極とを、電解液中で所定の間隙で
対向配置し、その極間に加工パルスを供給するとともに
、前記間隙に電解液の噴流を供給して加工屑を排除しな
がら前記ワークを仕上げ加工するものにおいて、前記ワ
ークの目標とする加工量（Ｄ）と、この加工量を得るに
必要な前記仕上げ加工の加工回数（Ｎ）とを設定するス
テップと、前記仕上げ加工が所定の加工回数に達した時
に、前記ワークの加工量を測定するとともに、この加工
量に基づいて加工効率を算出するステップと、この算出
した加工効率、と、前記加工ｆ１　（Ｄ）と加工回数（
Ｎ）とに基づく所定の加工効率とを比較し、その比較結
果により前記加工パルスの電流密度を増減させるステッ
プとを具備することを特徴とし、また、第２発明は、第
１発明において、前記算出した加工効率が所定の加工効
率に対して所定の範囲外の時に、前記仕上げ加工の加工
回数を増減させるステップを具備することを特徴とする
。

［作用］ この出願の第１発明の構成によれば、目標とする加工量
りと、この加工量りが得られる仕上げ加工の加工回数Ｎ
とを設定し、仕上げ加工が所定の加工回数Ｎｉに達した
時に、ワークの実際の加工量Δｄｉを測定する。そして
、この測定した加工量Δｄｉと加工回数Ｎｉとに基づき
実際の加工効率Ｋｉを算出するとともに、この加工効率
Ｋｉと、前記加工回数Ｎと加工量りとに基づく加工効率
にとを比較し、実際の加工効率Ｋｉが所定の加工効率Ｋ
に対して所定の範囲外の時に、加工パルスの電流密度を
増減させ、この加工パルスにより次の仕上げ加工を行う
。これにより、ワークの加工量を目標とする加工量りに
近づける。

また、第２発明の構成によれば、算出した加工効率Ｋｉ
が所定の加工効率Ｋに対して所定の範囲外の時に、電流
密度を変更するとともに、次の仕上げ加工の加工回数を
算出して変更し、ワークの加工量を所定の加工量りに、
より短時間に近づける。

［実施例］ 以下、図面を参照してこの出願の第１及び第２発明の一
実施例を詳−細かつ具体的に説明する。

第１図において、この出願の各発明を実施し得る電解仕
上げ加工装置１は、電極２を固定する電極固定装置３、
ワーク４を固定するワーク固定装置５、サーボモータ６
０回転運動を往復運動に変換する駆動変換部７、加工パ
ルスを発生する電源装置８、ヘッド駆動制御部９と加工
条件制御部１０と電解液流制御部１１等からなる制御装
置１２、各種データ等を入力する入力装置１３、電解液
を濾過する電解液濾過装置１４、加工槽１５等からなる
。

前記電極固定装置３は、その下部に設けたロッド１６の
下端に、例えば純銅もしくはグラファイトからなる電極
２を、その電極面２ａとワーク４の加工面４ａとが三次
元方向に−様な間隙１７を保つように固定する。この電
極固定装置３は、前記ヘッド駆動制御部９０制御信号に
よるサーボモータ６の回転により上下動し、電極面２ａ
と加工面４ａとを所定の間隙１７に設定する。また、前
記ワーク固定装置５は、絶縁性の高いグラナイトもしく
はセラミックス製のテーブルで、その上面には例えば型
彫放電加工されたワーク４を図示しないセット治具等に
より固定する。なお、第１図中、符号１８は間隙１７に
清浄な電解液を噴出するための噴出ノズルである。

前記入力装置１３は、ワーク４の材質と加工面積、目標
とする加工量Ｄ（以下指定加工量という）、この加工量
りを得るに必要な後述する仕上げ加工２の総加工回数、
Ｎ、加工パルスの条件、初期電極間隙δ等を入力し、こ
れらの各信号を制御装置１２のヘッド駆動制御部９及び
加工条件制御部１０に出力する。

また、前記電解液濾過装置１４は、加工で生じた電解生
成物等を含む電解液を濾過するもので、前記電解液流制
御部１１の制御信号に基づいて、加工開始時に加工槽１
５に電解液を供給するとともに、加工中に電極２とワー
ク４の間隙１７に生成した加工屑を排除するために、加
工パルスの供給毎に上昇動作する電極２と同期して、該
間隙１７に清浄な電解液を前記噴出ノズル１Ｂを介して
噴出する。

前記電極２とワーク４との極間に、所定の条件の加工パ
ルスを供給する電源装置８と、この電源装置８を制御す
る前記加工条件制御部１０は、例えば第２図に示す如く
構成する。

即ち、電源装置８は直流電源部１９と充放電部２０とで
構成され、直流電源部１９は、変圧器２１と整流器２２
とからなり、変圧器２１により電圧を所定値に降下させ
、整流器２２により整流して直流電流を得て、後述する
蓄電器２３−１〜２３−ｎに供給する。

また、充放電部２０は、極間に電荷を放電する複数個の
蓄電器２３−１〜２３−ｎと、これらの各蓄電器２３−
１〜２３−ｎに接続し直流電源部１９側への電荷の逆流
を阻止するダイオード２４−１〜２４−ｎと、放電側へ
電荷を放電させるべく開閉される放電スイッチ２５−１
〜２５−ｎと、前記各蓄電器２３−１〜２３−ｎを所定
に充電すべく前記直流電源部１９からの電源を給断する
充電スイッチ２６等とからなる。

前記加工条件制御部ＩＯは、蓄電器２３１１〜２３−ｎ
の充電電圧値を検出する電圧検出器２７と、この電圧検
出器２７で検出した充電電圧値とＤ／Ａ変換器２８から
の出力値とを比較する電圧比較器２９と、この電圧比較
器２９からの出力信号により前記蓄電器２３−１〜２３
−ｎの充電の完了及び開始を検出する充電検出器３０と
、極間に放電される電荷の電流値を検出する電流検出器
３１と、この電流検出器３１で検出した電流値のピーク
値をホールドするピークホールド回路３２と、このピー
クホールド回路３２でホールドしたピーク値とＤ／Ａ変
換器３３の出力値とを比較する電流比較器３４と、所定
時間幅のパルスを発生するパルス発生器３７と極間に放
電する電荷の電流波形を設定する電流波形設定器３８か
らの入力信号により前記各放電スイッチ２５−１〜２５
−ｎに開閉駆動信号を出力するゲート回路３５と、前記
各蓄電器２３−１〜２３−ｎへ供給する充電電圧値を設
定しその信号を前記Ｄ／Ａ変換器２８に出力する充電電
圧設定器３６と、極間に流れる電流値を設定しその信号
を前記Ｄ／Ａ変換器３３に出力する電流設定器３９と、
前記各回路からの入力信号に基づき加工条件等を演算・
処理するＣＰＵ４０と、電極２とワーク４の接触を検知
する接触検知器４１等からなる。なお、図中符号４２は
逆起電力によって各放電スイッチ２５−１〜２５−ｎが
破壊するのを防止するダイオードである。

前記接触検知器４１は、第３図に示す如く、極間に分解
電圧以下の基準電圧を供給する基準電Ｒ４３と、電流検
出用の抵抗４４と、この抵抗４４０両端にそれぞれ抵抗
４５．４６を介して、その入力側を接続する増幅器４７
と、この増幅器４７の出力信号と可変抵抗４８によって
設定した信号とを比較する比較器４９等で構成する。第
３図中符号５０は、前記電流検出器３１の電流検出用の
抵抗である。なお、前記分解電圧とは、ワーク４・電解
液・電極２からなる電気二重層の電極反応が開始する電
圧である。

この接触検知器４１は、基準電源４３から供給する基準
電圧に基づいて、極間電流を検出し、この極間電流と前
記可変抵抗４８で設定した基準電流とを比較し、極間電
流が基準電流より大きくなった場合に、ＣＰＵ４０に接
触検知信号を出力する。

次に、この出願の第１発明について第４〜６図のフロー
チャートに基づいて説明する。

仕上げ加工に際しては、電極固定装置３のロッド１６の
下端に、例えばワーク４を型彫放電加工する際に使用し
た電極２を固定するとともに、ワーク固定装置５にワー
ク４をそれぞれ固定（６０）　Ｌ／、電極２とワーク４
の芯出し後に、前記入力装置１３により、次の各データ
等を入力（６１）する。

Ｄ　二指定加工量 Ｎ　：指定加工量りが得られる仕上げ加工２の総加工回
数 δ　：初期電極間隙 ｎ　：仕上げ加工１の一回当たりの加工回数Ｎ１　：仕
上げ加工２の一回当たりの加工回数そして、加工槽１５
に硝酸ナトリウム等の電解液を供給して、仕上げ加工の
自動運転が開始（６２）されると、ＣＰＵ４０は、電源
装置８から所定の加工パルスを供給して、仕上げ加工１
　（６３）を行う。

この仕上げ加工１　（６３）は、第５図に示す如く、電
極２を初期電極間隙δを維持する位置に設定（６３−１
）　ｂ、極間にピーク電流密度がｉｐｌでパルス幅がｔ
ｌの単一の加工パルスを供給（６３−２）する。この加
工パルスがオフしたら、電極２を上昇（６３−３）させ
るとともに、間隙１７に前記噴出ノズル１８から電解液
を噴出（６３−４）　シて、加工パルスの供給により生
成した電解生成物等からなる加工屑を該間隙１７から排
除し、電極２を下降（６３−５）させて、前記ステップ
（６３−１）で設定した位置に再設定する。そして、Ｃ
ＰＵ４０のカウンタａ（図示せず）をクリア（６３−６
）　ｔ、＋て、該カウンタａのカウント数Ｃａを＋１　
（６３−７）するとともに、このカウント数Ｃａが所定
数、即ち前記ステップ（６１）で入力設定した加工回数
ｎであるか否かを判断（６３−８）　Ｌ／、コノ判断（
６３−８）　テＮ０（７）場合は、ステップ（６３−２
）に戻り、判断（６３−８）でＹＥＳになるまで、ステ
ップ（６３−２）〜（６３−７）を繰り返す。

なお、この仕上げ加工１における加工パルスは、後述す
る面粗度向上用の加工パルスの供給により、ワーク４の
加工面４ａに生成及び付着した酸化被膜等を除去するも
ので、その条件は、ピーク電流密度ｊｆ）ｔが３０〜５
０Ａ　／　ｃ　ｍ２、パルス幅ｔ１が２０ｍ５ｅｃ以上
、加工回数ｎが３〜１ｏに設定される。

仕上げ加工１　（６３）により、ワーク４の加工面４ａ
の酸化被膜等を除去すると、仕上げ加工１による加工が
最初か否かを判断（６４）　Ｌ／、最初の加工である場
合はこの判断（６４）でＹＥＳとなり、後述するステッ
プ（７１）ヘジャンブする。また、仕上げ加工１を２回
以上行うと、判断（６４）でＮＯとなり、ワーク４の加
工量Δｄｉを測定（６５）する。

このステップ（６５）を、第６図に基づいて詳細に説明
する。まず、Ｚ軸方向の加工量Δｄｚを測定（６５−１
）するために、ＣＰＵ４０の図示しないカウンタｂをク
リア（６５−１ａ）　Ｌ／て、該カウンタｂのカウント
数ｃｂに＋１　（６５−１ｂ）　Ｌ／、電極２を所定路
１ｌＷｔ、例えば１μｍ下降（６５−１ｃ）させる。

そして、前記接触検知器４１からの接触検知信号の有無
を判断（８５−１ｄ）　ｔ、、、この判断（６５−１ｄ
）でＮＯの場合は、ステップ（６５−１ｂ）に戻り、判
断（６５−１ｄ）でＹＥＳになるまで、ステップ（篩−
１ｂ）〜（６５−１ｃ）を繰り返す。判断（６５−１ｄ
）でＹＥＳになると、電極２の移動量Ｌｚを次の式（１
）によって算出（６５−１ｅ）　Ｌ／、ＣＰＵ４０に記
憶する。

Ｌｚ＝ＣｂＸｔ　　　　　　　　　　　−−−（１）但
し、ｃｂはカウンタｂのカウント数である。

なお、この移動！ｉ：Ｌｚは、例えば前記ステップ（６
３−１）で設定した電極２のＸ軸上の最下端を基準点Ａ
、即ちｘ−ｙ−ｚ軸の原点（０，０，０）として記憶し
、電極２がワーク４に接触した時の該基準点ＡのＸ軸の
座標に基づいて算出される。

移動量Ｌｚが算出されると、この値に基づいて次の式（
２）によってＸ軸方向の加工量Δｄｚを算出（６５−Ｉ
ｆ）する。

Δｄｚ＝　（ＣｂＸｔ）−δ　　−−−（２）但し、δ
は前記入力装置１３で入力設定した初期電極間隙である
。

加工量Δｄｚが算出されると、電極２を移動量Ｌｚ　（
：ＣｂＸｔ）だけ上昇させ、これにより電極２を初期位
置に設定（６５−１ｇ）　Ｌ／て、Ｘ軸方向の加工量△
ｄｘを測定するステップ（６５−２）に移る。

ステップ（６５−２）は、前記ステップ（６５−１ａ）
〜（６５−Ｉｆ）と同様のステップ（６５−２ａ）　〜
（６５−２ｆ）により、まずＸ軸のプラス（＋）方向の
加工量Δ　ｄｘ（＋）を算出した後、（＋）及び（−）
の両方向を測定したか否かの判断（６５−２ｇ）でＮＯ
となり、再びステ・ンブ（６５−２ａ）　〜（６５−２
ｆ５によってＸ軸のく−）方向の加工量Δｄｘ（−）を
算出する。そして、両方向の加工量Δｄｘ（＋）及びΔ
ｄｘ（−）が算出されたら、Ｘ軸方向の加工量Δｄｘを
次の式（３）により算出（６５−２ｈ）する。

Δｄｘ＝（Δｄｘ（＋）＋ΔｄＸ（−））　／２−−−
　（３）加工量Δｄｘを算出したら、電極２を移動量Ｌ
ｘ（−）だけ（＋）方向に移動して、初期位置に設定（
６５−２ｉ）　Ｌ／、Ｘ軸方向の加工量Δｄｘを測定す
る一連のステップ（６５−２）を終了する。

このステップ（６５−２）によりＸ軸方向の加工量Δｄ
ｘを算出したら、このステップ（６５−２）と全く同様
の方法（その説明は省略する）により、Ｙ軸方向の加工
量Δｄｙを測定（６５−３＞する。そして、各軸の加工
量Δｄｚ、Δｄｘ、Δｄｙに基づいて、次の式（４）に
よって加工量Δｄｉを算出（６５−４）する。

Δｄ　ｌ＝　（Δｄ２＋Δｄｘ＋Δｄｙ）　、、’ａ　
　−−−（４）以上が加工量Δｄｉを算出するステップ
＜６５）である。

このステップ（６５）によって加工量Δｄｉが算出され
ると、この加工量Δｄｉに基づいて累積加工ｊｉｄを算
出（６６）する。そして、この累積加工ｊｉｄが前記ス
テップ（６１）で入力設定した指定加工量りに対して所
定値ｒ内か、否かを判断（６７）シ、この判断（６７）
でＮｏの場合、即ち累積加工１ＪｋｄがＤ±ｒに達して
いない場合は、ステップ（６５）で算出した加工量Δｄ
ｉと加工回数Ｎ１とに基づいて、次の式く５）によって
加工効率Ｋｉを算出（６８）する。

Ｋｉ＝Δｄｉ／Ｎ１　　　　　　　　・・・（５）加工
効率Ｋｉが算出されると、この加工効率Ｋｉが所定の加
工効率Ｋ、即ちステップ（６１）で入力された指定加工
量りとこの加工量りを得るに必要な所定の加工回数Ｎと
から算出される加工効率Ｋに対して所定値Ｓの範囲内か
否かを判断（６９）する。

この判断（６９）は、第７図に示すように、測定した実
際の加工効率Ｋｉ（図の点線イ）が、実験等によって求
めた理想とする加工効率直線アに対して、所定の範囲内
にあるか否かを判断するものであり、この判断（６９）
でＹＥＳの場合は、ステップ（７１）へ移り、ＮＯの場
合、即ち実際の加工効率Ｋｉかに＋ｓの範囲内にない場
合は、仕上げ加工２　（７１）の加工パルスのピーク電
流密度ｉｐ２を増減させる。なお、このピーク電流密度
ｉｐｚの増減は、前記ＣＰＵ４０の制御信号−により、
加工効率Ｋｉかに＋８以上の時は、前記充電電圧設定器
３６の設定電圧を増加させ、Ｋｉかに−ｓ以下の時は、
前記設定電圧を減少させることにより行われる。

そして、この増減させたピーク電流密度ｉｐ２の加工パ
ルスにより、前記仕上げ加工１　（６３）と全く同一の
ステップにより仕上げ加工２　（７１）を所定回数Ｎ１
回行う、なお、この仕上げ加工２における加工パルスは
、例えばピーク電流密度ｊｐ２が３０〜５０Ａ／ｃｍ２
、パルスのオン時間ｔ２が１０ｍ５ｅｃ以下、パルスの
オフ時間ｔ　ｏｆｆ２が１００〜５００ｍ　ｓ　ｅ　ｃ
の単一パルスを５パルス連続したパルス列を使用するが
、もちろん仕上げ加工１と同様の単一のパルスを使用す
ることもできる。

仕上げ加工２が所定回数Ｎ１回行われると、ステップ（
６３）に戻り仕上げ加工１を行う。そして、各ステップ
を繰り返し、判断（６７）で累積加工量ｄが指定加工ｊ
ｉＤに対して所定値ｒの範囲内になった時に、該判断（
６７）でＹＥＳとなり、仕上げ加工を終了（７２）する
。

このように、この実施例にあっては、仕上げ加工ｌによ
り、ワーク４の加工面４ａに生成した酸化被膜等を除去
した後に、実際の加工量Δｄｉを測定し、この測定した
加工量Δｄｉに基づいて、加工効率Ｋｉを算出するとと
もに、このＫｉと所定の加工効率にとを比較し、加工効
率Ｋｉかに±Ｓの範囲外の時に、面粗度向上のための仕
上げ加工２の加工パルスのピーク電流密度ｉｐ２を増減
して変更するため、加工量を制御しつつ仕上げ加工を行
うことができ、加工量を指定加工量りに近づけることが
できて、ワーク４の寸法精度を向上させ得る。また、実
際の加工効率Ｋｉが所定の加工効率Ｋに対して少ない場
合は、加工パルスのピーク電流密度を増加させるため、
加工時間の短縮が図れる。ざらに、ワーク４の加工面４
ａの加工面積Ｓの計算精度が劣っている場合でも、算出
した実際の加工効率Ｋｉにより、これを補正することが
でき、加工面積Ｓに応じた所定のピーク電流密度ｉｐ２
の加工パルスの供給ができる。

第８図はこの出願の第２発明の一実施例を示すフローチ
ャートであり、この実施例の特徴は、判断（６９）にお
いて、加工効率Ｋｉかに±Ｓの範囲外の時、即ち判断（
６９）でＮｏの時に、ピーク電流ｉｐ２を変更（７０）
するとともに、測定した加工量Δｄｉに基づいて加工回
数Ｎｉ＋１を算出（７３）し、これを仕上げ加工２　（
７１）の加工回数として設定（７４）する点にある。他
のステップについては、第４図と同一であるため、同一
符号を付して、その詳細な説明は省略する。

ステップ（７３）の加工回数Ｎｉ＋１の算出は、第９図
に示すように、測定した力Ｉ玉量Δｄｉ、例えばΔｄ２
とその加工回数Ｎ１とから、次の式（６）により算出（
７３）する。

Ｎｉ＋１＝ΔｄＸ（Ｎｔ／Δｄ２）　　・・・（６）但
し、Δｄは加工回数がＮｌの時に得られる所定の加工量
（例えば１０μｍ）である。なお、この実施例の場合、
判断（６９）においては、算出した加工効率Ｋｉが所定
の加工効率Ｋに対して所定の範囲を内か否かを判断する
が、この範囲ｔは、例えば−５０％に設定する。

このように、この実施例にあっては、加工効率Ｋｉに基
づいて、ピーク電流密度ｉｐ２を増減させるとともに、
次の仕上げ加工２の加工回数Ｎｉ＋１を算出して設定す
るため、例えば加工効率Ｋｉかに−ｓ以下の時に、ｉｐ
２を増加させるとともに、次の仕上げ加工の加工回数Ｎ
ｉ＋１を増加させるため、加工効率が低い場合に、増加
させたピーク電流密度ｉｐ２の加工パルスで、加工量Δ
ｄｉを頻繁に測定することなく仕上げ加工し、加工効率
Ｋｉを所定の加工効率Ｋに短時間で近づけることができ
、仕上げ加工全体の加工時間の短縮が図れる。

なお、上記各実施例においては、加工量の測定を、Ｚ軸
、Ｘ軸及びＹ軸方向の３方向について行ったが、この発
明はこれに何ら限定されず、例えば、Ｚ軸方向のみ測定
してもよい。

また、上記各実施例においては、加工量を測定する際に
、電極を移動させたが、ワークを移動させてもよいし、
さらに上記各実施例におけるフローチャートは一例にす
ぎず、各フローチャートを組み合わせ等、この出願の各
発明の要旨を逸脱しない範囲において、適宜変更可能で
あることはいうまでもない。

［発明の効果］ この出願の各発明は上述の通りに構成したので、次に記
載する効果を奏する。

（第１発明） ■　仕上げ加工が所定の加工回数に達した時に、実際の
加工量を測定して加工効率を算出し、この加工効率に基
づいて、加工パルスの電流密度を増減させるため、加工
量を制御しつつ仕上げ加工を行うことができ、ワークの
寸法精度を向上させることができる。

■　実際の加工効率が所定の加工効率に対して少ない場
合は、加工パルスのピーク電流密度を増加させるため、
仕上げ加工時間の短縮が図れる。

■　ワークの加工面積の計算精度が劣っている場合でも
、実際の加工効率の測定により、これを補正することが
でき、加工面積に応じた所定の加工パルスを供給するこ
とができ、高精度の加工面が得られる。

（第２発明） 算出した加工効率に基づいて、電流密度を増減させると
ともに、次の仕上げ加工の加工回数を増減するため、仕
上げ加工全体の加工時間の短縮が図れる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明に係る電解仕上げ加工装置の概略構
成図、第２図は同要部のブロック図、第３図は同接触検
知器の回路図、第４図は第１発明の一実施例を示すフロ
ーチャート、第５図及び第６図は同要部のフローチャー
ト、第７図は同加工回数と加工量の関係を示す図、第８
図は第２発明の一実施例を示すフローチャート、第９図
は同加工回数と加工量の関係を示す図である。 １・・・電解仕上げ加工装置、２・・・電極、２ａ・・
・電極面、　　　　　４・・・ワーク、４ａ・・・加工
面、　　　　　　８・・・電源装置、９・・・ヘッド駆
動制御部、１０・・・加工条件制御部１１・・・電解液
流制御部、　　１２・・・制御装置、１８φ・・噴出ノ
ズル、　　　　４０・・・ＣＰＵ、４１・・・接触検知
器。 特許出願人　　静岡製機株式会社 代表者鈴木重夫 第１図 第４図 第５図 Ｃａ：カウンタａのカウント数 第８図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）イ、所定形状に加工されたワークと、このワーク
   の加工面に倣った電極面を有する電極とを、電解液中で
   所定の間隙で対向配置し、その極間に加工パルスを供給
   するとともに、前記間隙に電解液の噴流を供給して加工
   屑を排除しながら前記ワークを仕上げ加工するものにお
   いて、 ロ、前記ワークの目標とする加工量（Ｄ）と、この加工
   量を得るに必要な前記仕上げ加工の加工回数（Ｎ）とを
   設定するステップと、 ハ、前記仕上げ加工が所定の加工回数に達した時に、前
   記ワークの加工量を測定するとともに、この加工量に基
   づいて加工効率を算出するステップと、 ニ、この算出した加工効率と、前記加工量（Ｄ）と加工
   回数（Ｎ）とに基づく所定の加工効率とを比較し、その
   比較結果により前記加工パルスの電流密度を増減させる
   ステップと、 を具備する電解仕上げ加工方法。
2. （２）請求項１記載の電解仕上げ加工方法において、 ホ、前記算出した加工効率が所定の加工効率に対して所
   定の範囲外の時に、前記仕上げ加工の加工回数を増減さ
   せるステップ、 を具備する電解仕上げ加工方法。