JPH02198716A - 電解仕上げ加工方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ この発明は、電解仕上げ加工方法に係り、特に接触検知
精度を向上させ、ワークの加工量を正確に測定し得て、
高い加工精度が得られる電解仕上げ加工方法に関する。

［従来の技術］ 従来、放電加工されたワークと、このワークの加工面に
倣った電極面を有する電極とを、静止した電解液中で所
定の間隙で対向配置し、その極間に単一の加工パルスを
供給するとともに、間隙に電解液を間欠的に噴出して、
該間隙の加工屑を排除しながらワークを仕上げ加工する
電解仕上げ加工方法としては、例えば特開昭６３−１１
４８１５号公報に開示のものが知られている。

［発明が解決しようとする問題点］ ところで、この電解仕上げ加工方法にあっては、ワーク
の加工量を精度よく制御することが難しく、高い加工精
度が得られないという不都合があった。

即ち、この電解仕上げ加工方法にあっては、仕上げ加工
に当り、ワークの放電加工面の粗さを確認し、必要とす
る粗さ面を得るために、実験（試し加工）によって求め
たモノグラフから、目標とする加工量を入力する。また
、材料毎の電気化学当量と実験による加工効率のデータ
とから演算式を求め、この演算式により、前記人力した
加工量に相当する単位面積当りのクーロン量を算出し、
このクーロン量に基づいて加工回数を設定する。

そして、通常、実験と同じ条件で加工されれば、任意の
加工量に対して加工精度（寸法精度）は±５％程度に収
まる。しかしながら、実際の加工を実験と同じ条件で行
うことは、電解液の濃度、温度、ペーパー等の変化によ
り難しい。また、ワークの表面形状は複雑で、その正確
な表面積を計算で求めるのが困難であり、入力された表
面積の誤差が単位面積当りのクーロン量を狂わせ、加工
精度に悪影響を与える。更に、フラッシング動作による
間隙の電解液の排除条件を、実験と同じ水準で行うこと
が困難であるとともに、複雑な形状のワークでは、表面
全域に亙っての確実な排除が困難で、加工効率が悪化し
、実際の加工量が人力した加工量よりも少なくなるのが
現状であり、目標とする寸法精度が得られないなど、高
い加工精度を得ることができない。

そこでこの発明の目的は、上述の不都合を除去し、特に
接触検知精度を向上させ、ワークの加工量を正確に測定
し得て、高い加工精度が得られる電解仕上げ加工方法を
実現するにある。

［課題を解決するための手段］ この目的を達成するために、この出願の第１発明は、所
定形状に加工されたワークと、このワークの加工面に倣
った電極面を有する電極とを、電解液中で所定の間隙で
対向配置し、その極間に加工パルスを供給するとともに
、前記間隙に電解液の噴流を供給して加工屑を排除しな
がら前記ワークを仕上げ加工するものにおいて、前記ワ
ークの目標とする加工量を設定するステップと、少なく
とも、前記ワークの加工面に光沢面を得る第１の条件と
、この第１の条件とは異なり前記加工面の面粗度を向上
させる第２の条件とからなる、前記加工パルスの条件を
設定するステップと、前記第１の条件による仕上げ加工
の後に、前記ワークの加工量を測定するステップと、こ
の測定した加工量に基づいて前記第２の条件の加工回数
を変更するステップとを具備することを特徴とする。

また、第２発明は、第１発明において、前記ワークの加
工量を測定した後で、前記第２の条件による仕上げ加工
の前に、電極とワークとの芯出しを行うステップを具備
することを特徴とし、第３発明は、第１又は第２発明に
おいて、前記第２の条件による仕上げ加工の最大加工回
数を設定するステップを具備することを特徴とする。

［作用］ この出願の第１発明の構成によれば、目標とする加工量
と、ワークの加工面に光沢面が得られるの第１の条件及
び面粗度が向上する第２の条件からなる加工パルスの条
件とを設定し、第２の条件によってワークの加工面に生
成及び付着した酸化被膜及び加工屑等を、第１の条件に
よる仕上げ加工で除去し、加工面を清浄な状態にした上
で、電極とワークとを接触させ、ワークの実際の加工量
を測定する。これにより、接触検知精度が向上し、正確
な加工量の測定が可能となる。そして、この測定した加
工量と、この加工量が得られる前記第１の条件の加工回
数から、次の第２の条件の加工回数を算出して設定変更
し、該条件による仕上げ加工を行う。これを測定加工量
が設定加工量に対して所定差になるまで繰り返し、仕上
げ加工を終了する。

また、第２発明の構成によれば、例えば電極を移動させ
ることによって加工量を測定し、この測定後に、電極と
ワークとの芯出しを行い、第２の条件による仕上げ加工
を行うため、ワークの加工面全域に亙って電極間隙を一
定に維持し得て、加工量の均一化が図れる。さらに、第
３発明の構成によれば、面粗度を向上させる第２の条件
による仕上げ加工の最大加工回数を設定し、この最大加
工回数毎に第１の条件に基づく仕上げ加工を行うため、
酸化被膜の生成及び電極間隙内の加工屑を一定量以下に
抑えることができ、仕上げ加工の加工効率を向上させ得
る。

［実施例］ 以下、図面を参照してこの出願の第１〜３発明の一実施
例を詳細かつ具体的に説明する。

第１図において、この出願の各発明を実施し得る電解仕
上げ加工装置１は、電極２を固定する電極固定装置３、
ワーク４を固定するワーク固定装置５、サーボモータ６
の回転運動を往復運動に変換する駆動変換部７、加工パ
ルスを発生する電源装置８、ヘッド駆動制御部９と加工
条件制御部１０と電解液流制御部１１等からなる制御装
置１２、各種データ等を入力する入力装置１３、電解液
を濾過する電解液濾過装置１４、加工槽１５等からなる
。

前記電極固定装置３は、その下部に設けたロッド１６の
下端に、例えば純銅もしくはグラファイトからなる電極
２を、その電極面２ａとワーク４の加工面４ａとが三次
元方向に−様な間隙１７を保つように固定する。この電
極固定装置３は、前記ヘッド駆動制御部９の制御信号に
よるサーボモータ６の回転により上下動し、電極面２ａ
と加工面４ａとを所定の間隙１７に設定する。また、前
記ワーク固定装置５は、絶縁性の高いグラナイトもしく
はセラミックス製のテーブルで、その上面には例えば型
彫放電加工されたワーク４を図示しないセット治具等に
より固定する。なお、第１図中、符号１８は間隙１７に
清浄な電解液を噴出するための噴出ノズルである。

前記入力装置１３は、ワーク４の材質と加工面積、目標
とする加工量Ｄ（以下指定加工量という）、後述する加
工パルスの、光沢面を得るための第１の条件と面粗度を
向上させるための第２の条件、初期電極間隙δ等を入力
し、これらの各信号を制御装置１２のヘッド駆動制御部
９及び加工条件制御部１０に出力する。

また、前記電解液濾過装置１４は、加工で生じた電解生
成物等を含む電解液を濾過するもので、前記電解液流制
御部１１の制御信号に基づいて、加工開始時に加工槽１
５に電解液を供給するとともに、加工中に電極２とワー
ク４の間隙１７に生成した加工屑を排除するために、加
工パルスの供給毎に上昇動作する電極２と同期して、該
間隙１７に清浄な電解液を前記噴出ノズル１８を介して
噴出する。

前記電極２とワーク４との極間に、所定の条件の加工パ
ルスを供給する電源装置８と、この電源装置８を制御す
る前記加工条件制御部１０は、例えば第２図に示す如く
構成する。

即ち、電源装置８は直流電源部１９と充放電部２０とで
構成され、直流電源部１９は、変圧器２１と整流器２２
とからなり、変圧器２１により電圧を所定値に降下させ
、整流器２２により整流して直流電流を得て、後述する
蓄電器２３−１〜２３−ｎに供給する。

また、充放電部２０は、極間に電荷を放電する複数個の
蓄電器２３−１〜２３−ｎと、これらの各蓄電器２３−
１〜２３−ｎに接続し直流電源部１９側への電荷の逆流
を阻止するダイオード２４−１〜２４−ｎと、放電側へ
電荷を放電させるべく開閉される放電スイッチ２５−１
〜２５−ｎと、前記各蓄電器２３−１〜２３−ｎを所定
に充電すべく前記直流電源部１９からの電源を給断する
充電スイッチ２６等とからなる。

前記加工条件制御部１０は、蓄電器２３−１〜２３−ｎ
の充電電圧値を検出する電圧検出器２７と、この電圧検
出器２７で検出した充電電圧値とＤ／Ａ変換器２８から
の出力値とを比較する電圧比較器２９と、この電圧比較
器２９からの出力信号により前記蓄電器２３−１〜２３
−ｎの充電の完了及び開始を検出する充電検出器３０と
、極間に放電される電荷の電流値を検出する電流検出器
３１と、この電流検出器３１で検出した電流値のピーク
値をホールドするピークホールド回路３２と、このピー
クホールド回路３２でホールドしたピーク値とＤ／Ａ変
換器３３の出力値とを比較する電流比較器３４と、所定
時間幅のパルスを発生するパルス発生器３７と極間に放
電する電荷の電流波形を設定する電流波形設定器３８か
らの入力信号により前記各放電スイッチ２５−１〜２５
−ｎに開閉駆動信号を出力するゲート回路３５と、前記
各蓄電器２３−１〜２３−ｎへ供給する充電電圧値を設
定しその信号を前記Ｄ／Ａ変換器２８に出力する充電電
圧設定器３６と、極間に流れる電流値を設定しその信号
を前記Ｄ／Ａ変換器３３に出力する電流設定器３９と、
前記各回路からの人力信号に基づき加工条件等を演算・
処理するＣＰＵ４０と、電極２とワーク４の接触を検知
する接触検知器４１等からなる。なお、図中符号４２は
逆起電力によって各放電スイッチ２５−１〜２５−ｎが
破壊するのを防止するダイオードである。

前記接触検知器４１は、第３図に示す如く、極間に分解
電圧以下の基準電圧を供給する基準電源４３と、電流検
出用の抵抗４４と、この抵抗４４０両端にそれぞれ抵抗
４５．４６を介して、その入力側を接続する増幅器４７
と、この増幅器４７の出力信号と可変抵抗４８によって
設定した信号とを比較する比較器４９とで構成する。第
３図中符号５０は、前記電流検出器３１の電流検出用の
抵抗である。なお、前記分解電圧とは、ワーク４・電解
液・電極２からなる電気二重層の電極反応が開始する電
圧である。

この接触検知器４１は、基準電源４３から供給する基準
電圧に基づいて、極間電流を検出し、この極間電流と前
記可変抵抗４８で設定した基準電流とを比較し、極間電
流が基準電流より大きくなった場合に、ＣＰＵ４０に接
触検知信号を出力する。

次に、この出願の第１発明について第４〜６図のフロー
チャートに基づいて説明する。

仕上げ加工に際しては、電極固定装置３のロッド１６の
下端に、例えばワーク４を型彫放電加工する際に使用し
た電極２を固定するとともに、ワーク固定装置５にワー
ク４をそれぞれ固定（６０）　Ｌ／、電極２とワーク４
の芯出し後に、前記入力装置１３により、次の各データ
等を入力（６１）する。

Ｄ　：指定加工量 δ　：初期電極間隙 ｉｐｌ：加工パルスの第１の条件の ピーク電流密度 ｔｌ：〃　　　　　　パルス幅 （パルスのオン時間） ｎ　：　　　　〃　　　加工回数 ｉ　９２　：加工パルスの第２の条件のピーク電流密度 ｔ２　：　　　　〃　　　　　パルス幅Ｎ、：　　　　
〃　　　初期加工回数 そして、加工槽１５に硝酸ナトリウム等の電解液を供給
して、仕上げ加工の自動運転が開始（６２）されると、
ＣＰＵ４０は、電源装置８から前記第１の条件による加
工パルスを供給して、仕上げ加工１を行う（６３）。

この仕上げ加工１　（６３）は、第５図に示す如く、電
極２を初期電極間隙δを維持する位置に設定（６３−１
）　Ｌ／、極間にピーク電流密度がｉｐｌでパルス幅が
ｔ、の単一の加工パルスを供給（６３−２）する。この
加工パルスがオフしたら、電極２を上昇（６３−３）さ
せるとともに、間隙１７に前記噴出ノズル１８から電解
液を噴出（６３−４）　Ｌ／て、加工パルスの供給によ
り生成した電解生成物等からなる加工屑を該間隙１７か
ら排除し、電極２を下降（６３−５）させて、前記ステ
ップ（６３−１）で設定した位置に再設定する。そして
、ＣＰＵ４０のカウンタａ（図示せず）をクリア（６３
−６）　ｔ、、て、該カウンタａのカウント数Ｃａを＋
１　（６３−７）するとともに、このカウント数Ｃａが
所定数、即ち前記ステップ（６１）で入力設定した加工
回数ｎであるか否かを判断（６３−８）　Ｌ／、この判
断（６３−８）でＮＯの場合は、ステップ（６３−２）
に戻り、判断（６３−８）でＹＥＳになるまで、ステッ
プ（６３−２）〜（６３−７）を繰り返す。

なお、この仕上げ加工１における加工パルスは、後述す
る面粗度向上用の加工パルスの供給により、ワーク４の
加工面４ａに生成及び付着した酸化被膜等を除去するも
ので、その条件は、ピーク電流密度ｊｆ）ｔが３０〜５
０Ａ／ｃｍ２、パルス幅ｔ１が２０ｍ５ｅｃ以上、加工
回数ｎが３〜ｌＯに設定される。

仕上げ加工１　（６３）により、ワーク４の加工面４ａ
の酸化被膜等を除去すると、仕上げ加工１による加工が
最初か否かを判断（６４）　Ｌ／、最初の加工である場
合はこの判断（６４）でＹＥＳとなり、後述するステッ
プ（７０）ヘジャンブする。また、仕上げ加工１を２回
以上行うと、判断（６４）でＮＯとなり、ワーク４の加
工量Δｄｉを測定（６５）する。　このステップ（６５
）を、第６図に基づいて詳細に説明する。まず、Ｘ軸方
向の加工量Δｄ２を測定（６５−１）するために、ＣＰ
Ｕ４０の図示しないカウンタｂをクリア（６５−１ａ）
　Ｌ／て、該カウンタｂのカウント数ｃｂに＋１　（６
５−１ｂ）　シ、電極２を所定距離ｔ、例えば１μｍ下
降（６５−１ｃ）させる。そして、前記接触検知器４１
からの接触検知信号の有無を判断（６５−１ｄ）　ｌ、
、、この判断（６５−１ｄ）でＮｏの場合は、ステップ
（６５−１ｂ）に戻り、判断（６５−１ｄ）でＹＥＳに
なるまで、ステップ（６５−１ｂ）　〜（６５−１ｃ）
を繰り返す。判断（６５−１ｄ）でＹＥＳになると、電
極２の移動量Ｌｚを次の式（１）によって算出（６５−
１ｅ）　シ、ＣＰＵ４０に記Ｌｚ＝ＣｂＸｔ　　　　　
　　　　　　　　　　　　”Φ　（１）但し、ｃｂはカ
ウンタｂのカウント数である。

なお、この移動量Ｌｚは、例えば前記ステップ（６３−
１）で設定した電極２のＺ軸上の最下端を基準点Ａ１即
ちＸ−Ｙ−Ｚ軸の原点（０，０，０）として記憶し、電
極２がワーク４に接触した時の該基準点ＡのＺ軸の座標
に基づいて算出される。

移動量Ｌｚが算出されると、・この値に基づいて次の式
（２）によってＸ軸方向の加工量Δｄｚを算出（６５−
Ｉｆ）する。

Δｄｚ＝　（ＣｂＸｔ）−δ　　−−−（２）但し、δ
は前記入力装置１３で入力設定した初期電極間隙である
。

加工量Δｄｚが算出されると、電極２を移動量Ｌｚ　（
＝ＣｂＸｔ）だけ上昇させ、これにより電極２を初期位
置に設定（６５−１８）　ｔ、、て、Ｘ軸方向の加工量
Δｄｘを測定するステップ（６５−２）に移る。

ステップ（６５−２）は、前記ステップ（６５−１ａ）
〜（６５−Ｉｆ）と同様のステップ（６５−２ａ）　〜
（６５−２ｆ）により、まずＸ軸のプラス（＋）方向の
加工量Δ　ｄｚ（＋）を算出した後、（＋）及び（−）
の両方向を測定したか否かの判断（６５−２ｇ）でＮＯ
となり、再びステップ（６５−２ａ）　〜（６５−２ｆ
）によフてＸ軸の（−）方向の加工量Δｄｘｃ−）を算
出する。そして、両方向の加工量Δｄｘ（＋）及びΔｄ
ｘ（−）が算出されたら、Ｘ軸方向の加工量Δｄｘを次
の式（３）により算出（６５−２ｈ）する。

Δｄｘ＝（Δｄｘ（＋）＋Δｄｘ（））／２・・・（３
）加工量Δｄｘを算出したら、電極２を移動量Ｌｘ（−
）だけ（＋）方向に移動して、初期位置に設定（６５−
２ｉ）　Ｌ／、Ｘ軸方向の加工量Δｄｘを測定する一連
のステップ（６５−２）を終了する。

このステップ（６５−２’）によりＸ軸方向の加工量Δ
ｄｘを算出したら、このステップ（６５−２）と全く同
様の方法（その説明は省略する）により、Ｙ軸方向の加
工量Δｃｔｙを測定（６５−３）する。そして、各軸の
加工量Δｄ　Ｚ　％Δｄｘ、Δｄｙに基づいて、次の式
（４）によって加工量Δｄｉを算出（８５−４）する。

Δｄｊ＝（Δｄ２＋Δｄｘ＋Δｄｙ）　／　３　”・（
４）以上が加工量Δｄｉを算出するステップ（６５）で
ある。

このステップ（６５）によって加工量Δｄｉが算出され
ると、この加工量Δｄｉに基づいて累積加工量ｄを算出
（６６）する、そして、この累積加工量ｄが前記ステッ
プ（６１）で入力設定した指定加工量りに対して所定値
ｒ内か否かを判断（６７）　Ｌ／、この判断（６７）で
Ｎｏの場合、即ち累積加工量ｄがＤｔｒに達していない
場合は、ステップ（６５）で算出した加工量Δｄｉと加
工回数Ｎｉとに基づいて、次の式（５）によって加工回
数Ｎ１＋１を算出（６８）する。

Ｎ　ｉｌｌ　＝αＸ（Ｎｉ／Δｄｉ）　　　・・・（５
）この式（５）は、第７図に示すように、例えばｉ＝１
とした場合、Ｎｉに相当する最初のＮｉ回の加工による
実際の加工量Δｄｌから、所定の加工量α（例えばα＝
１０μｍ）が得られる、Ｎ　ｉｌｌである２回目の加工
回数Ｎ２を算出するものである。

なお、第７図の点線アは、予め実験等により求めた計算
上の加工直線、点線イは最初のＮ１回の加工に基づく加
工直線、実線つは実際の加工線である。

加工回数Ｎ　ｉ＋１が算出されると、このＮ　ｉ＋１を
次のステップの仕上げ加工２　（７０）の加工回数とし
て設定（６９）　Ｌ／、ピーク電流密度がｉｐ２でパル
ス幅がｔ２の面粗度向上用の加工パルスにより、仕上げ
加工２をＮ　ｉ＋１回行う（７０）。この仕上げ加工２
も、極間に供給する加工パルスの条件は異なるものの、
その動作は前記仕上げ加工１　（６３）と全く同一であ
るため、その説明は省略する。

なお、この仕上げ加工２における加工パルスは、例えば
ｊｐ２が３０〜５０Ａ／ｃｍ２、ｔ２が１０ｍ５ｅｃ以
下、ｔｏｆｆ２（パルスの休止時間）が１００〜５００
ｍ５ｅｃの単一パルスを５パルス連続したパルス列を使
用するが、もちろん仕上げ加工１と同様の単一のパルス
を使用することもできる。

仕上げ加工２が所定回数Ｎｉ＋１回行われると、ステッ
プ（６３）に戻り仕上げ加工１を行う。そして、各ステ
ップを繰り返し、判断（６７）で累積加工ｆｌｄが指定
加工量りに対して所定値ｒ内になった場合に、該判断（
６７）でＹＥＳとなり、仕上げ加工を終了（７１）する
。

このように、この実施例にあっては、仕上げ加工１によ
り、ワーク４の加工面４ａに生成した酸化皮膜等を除去
した後に、実際の加工量Δｄｉを測定するため、前記接
触検知器４１による接触検知精度が向上し、加工量Δｄ
ｉを正確に測定することができる。また、測定した実際
の加工量Δｄｉに基づいて、面粗度向上のための仕上げ
加工２の加工回数Ｎｉを算出して変更するため、加工量
を制御しつつ仕上げ加工を行うことができ、加工量を指
定加工量りに近づけることができて、ワーク４の寸法精
度を向上させ得る。さらに、仕上げ加工２の加工回数Ｎ
ｉは自動的に算出及び設定され、仕上げ加工時間の短縮
が図れる。

第８図はこの出願の第２発明の一実施例を示すフローチ
ャートであり、この実施例の特徴は、加工量Δｄｉを測
定（６５）　Ｌ／、これに基づいて累積加工量ｄを算出
（６６）　Ｌ／た後に、電極２とワーク４との芯出しく
７２）を行うようにした点にある。

他のステップについては、第４図と同一であるため、同
一符号を付して、その詳細な説明は省略する。

ステップ（７２）の芯出しは、加工量Δｄｉを測定する
際に、電極２をＺ、ｘ及びＹ軸方向にそれぞれ移動させ
るため、仕上げ加工２の前に、改めて電極２を所定位置
に設定するためにあり、例えば第９図に示す如く行われ
る。

即ち、まず、加工量Δｄｉを測定する前記ステップ（６
５）の、ステップ（６５−２ｅ・・・第６図参照）で算
出した移動量Ｌｘ（＋）及びＬｘ（−）から、Ｘ軸方向
の平均移動量Ｌｘを、次の式（６）によって算出（７２
−１）する。

Ｌｘ＝（Ｌｘ（÷）＋Ｌｘ（−））　／　２　　　・・
・（６）そして、電極２の前記基準点Ａが、この平均移
動量ＬＸに相当する座標に位置する如く該電極２を移動
（７２−２）させるとともに、Ｙ軸方向についてもＸ軸
方向と全く同様に、平均移動ｆ！ｋＬｙを算出（７２−
３）　Ｌ／、電極２を移動（７２−４）させる。その後
、電極２を下降（７２−５）させて、ワーク４に接触（
７２−６）させ、その位置から前記ステップ−（６５−
１ｅ・・・第６図参照）で算出した移動量Ｌｚだけ上昇
（７２−７）させる。

なお、電極２とワーク４の芯出し方法は、上記実施例の
ステップ（７２−１）〜（７２−７’）を所定回数繰り
返すようにしてもよく、また、加工量Δｄｉの測定の後
に、電極２を再度Ｘ及びＹ軸方向の（＋）及び（−）方
向にそれぞれ移動させて、接触検知させ、その移動量の
１７２に相当する位置に設定するというステップを行う
ようにしてもよい。さらに、芯出しの方向もｘ、ｙ、ｚ
軸の３方向に限ぎらず、Ｘ及びＹ軸方向についてのみ行
ったり、３方向にＣ軸（ｚ軸の回転方向）方向を加える
等、適宜に変更し得るものである。

このように、この実施例にあっては、加工量を測定した
後で仕上げ加工２の前に、移動させた電極２とワーク４
との芯出しを行うため、例えばＸ軸あるいはＹ軸の（＋
）及び（−）方向の加工量に差がある場合でも、電極２
の位置を修正して仕上げ加工２を行うことができ、加工
面４ａ全域に亙って電極間隙を一定に維持し得て、加工
量を均一にすることができ、特に凹窩状に形成された三
次元形状物に適用して効果的である。

第１０図は、この出願の第３発明の一実施例を示すフロ
ーチャートであり、この実施例の特徴は、第１発明また
は第２発明の仕上げ加工２において、その加工回数Ｎｉ
を所定回数以上行わないようにした点にある。以下この
実施例ついて説明するが、この実施例における、仕上げ
加工１（８３，８５）及び仕上げ加工２（８４，９３）
、加工量Δｄｉの測定（８８）及び累積加工量ｄの算出
（８９）　、累積加工量ｄと指定加工量りの比較（９０
）等は、上記各実施例と同一であるため、その詳細な説
明は省略する。

まず、電極２とワーク４０セツト（８０）後に、データ
人力（８１）するが、ここでは、上記各実施例のデータ
の他に、仕上げ加工２の最大加工回数βと、回数Ｎｒと
して０回を入力する。この回数Ｎｒは、後述する仕上げ
加工１　（８５）と仕上げ加工２　（９３）の繰り返し
回数である。データが入力されてＣＰＵ４０に設定され
ると、仕上げ加工の自動運転が開始（８２）され、まず
、仕上げ加工１（８３）と仕上げ加工２　（８４）を最
初の仕上げ加工として行う。そして、仕上げ加工１を再
び行い（８５）　、前記回数Ｎｒを−１して回数ｎｒを
求め（８６）　、この回数ｎｒがＯより小さいか否かを
判断（８７）する。

加工開始時にはＮｒはＯ設定であるため、ｎｒ＝−１で
判断（８７）はＹＥＳとなり、加工量Δｄｉを測定（８
８）　Ｌ／、累積加工量ｄの算出（８９）及び累積加工
量ｄが指定加工量りに対して所定値ｒ内か否かの判断（
９０）を行う。そして、次の式（７）により、仕上げ加
工２の加工回数Ｎｉ＋１と繰り返し回数Ｎｒを算出する
とともに、この式（７）から加工回数Ｎ　ｉ＋１の余り
回数Ｎ　ｉ＋１”を求める（９１）。

Ｎｉ＋１／β＝Ｎ　ｒ　　（Ｎｉ＋１’　）　　・・・
（７）但し、Ｎ　ｉ＋１は前記式（５）によって算出し
た加工回数、βは仕上げ加工２の最大加工回数、Ｎｒは
繰り返し回数である。

ステップ（９１）で各加工回数が算出されると、この回
数を設定（９２）　Ｌ／、これに基づいて仕上げ加工２
を行い（９３）　、前記ステップ（８５）に戻る。

前記判断（８７）でＮｏの場合、即ち、ステップ（９１
）で算出した繰り返し回数Ｎｒが２以上になった場合は
、ｎｒがＯか否かの判断（９４）に移り、この判断（９
４）でＮｏの場合は前記ステップ（９３）に移り、また
、ＹＥＳの場合は、仕上げ加工２の加工回数βをＮｉ＋
１’に設定変更（９５）する。

ここで、以上のステップを具体的な数値例に基づいて説
明する。例えばステップ（８１）でβ＝５０を入力設定
し、ステップ（９２）で算出した加工回数Ｎ　ｉ＋１が
１２０の場合、式（７）により、Ｎｒ＝２とＮｉ＋１＝
２０が算出される。そして、ステップ（９３）で仕上げ
加工２をβ（＝５０）回行った後に、ステップ（８５）
に戻り、以降のステップに入るが、ステップ（８６）の
ｎｒはｎｒ＝２−１で１となり、判断（８７）ではＮｏ
となって、判断（９４）に移る。

ｎｒは１であるためこの判断（９４）ではＮＯとなり、
ステップ（９３）に移って再び仕上げ加工２をβ回行う
。

そして、再びステップ（８６）に移るが、ここではｎｒ
が０となり、判断（８７）でＮＯ１判断（９４）でＹＥ
Ｓとなり、ステップ（９５）に移る。このステップ（９
５）では、ステップ（９３）における仕上げ加工２の加
工回数βをＮ　ｉ＋１　’に、即ちステップ（９１）で
算出した余りの加工回数Ｎ　ｉ＋１　’に設定変更し、
仕上げ加工２をＮ　ｉ＋１　’回行う。以上により、ス
テップ（９３）における仕上げ加工２の加工回数は、β
＋β＋（Ｎ　ｉ＋１’）となり、ステップ（９２）で算
出した加工回数Ｎ　ｉ＋１の１２０回行われることにな
る。そして、この後に、判断（８７）でＹＥＳとなって
、１２０回の加工回数による加工量Δｄｉを測定（８８
）する。

なお、仕上げ加工２の最大加工回数βは、仕上げ加工１
による酸化被膜及び加工屑等の排除効果から、２５〜６
０回に設定すればより好ましいことが実験により確認さ
れている。

このように、この実施例にあっては、算出した仕上げ加
工２の加工回数Ｎｉ＋１が、設定した最大加工回数β以
上の場合は、仕上げ加工２を連続してβ回以上は行わず
、β回行った後に一旦仕上げ加工１を行うため、仕上げ
加工２によるワーク４の加工面４ａへの酸化被膜の生成
及び加工間隙内の加工屑を一定量以下に抑えることがで
き、間隙への加工屑の大量介在による加工精度及び加工
効率の低下を防止し得る。

なお、上記各実施例においては、加工量の測定時期を、
所定の加工量αが得られる加工回数に基づいて行い、そ
の測定もＺ軸、Ｘ軸及びＹ軸方向の３方向について行っ
たが、この発明はこれに何ら限定されず、例えば、測定
した加工量とその加工回数から、目標とする加工量りが
得られる加工回数Ｎを求め、この加工回数Ｎの所定比率
毎に加工量を測定するようにしてもよいし、測定方向も
Ｚ軸方向のみとしてもよい。

また、上記各実施例においては、加工量を測定する際に
、電極を移動させたが、ワークを移動させてもよいし、
さらに上記各実施例におけるフローチャートは一例にす
ぎず、各フローチャートを組み合わせ等、この出願の各
発明の要旨を逸脱しない範囲において、適宜変更可能で
あることはいうまでもない。

［発明の効果］ この出願の各発明は上述の通りに構成したので、次に記
載する効果を奏する。

（第１発明） ■　第１の条件による仕上げ加工により、ワークの加工
面に生成した酸化被膜等を除去した後に、実際の加工量
を測定するため、接触検知器による接触検知精度が向上
し、加工量を正確に測定することができる。

■　測定した実際の加工量に基づいて、面粗度向上のた
めの第２の条件による仕上げ加工の加工回数を変更する
ため、加工量を制御しつつ仕上げ加工を行い得て、加工
量を目標とする加工量に近づけることができ、寸法精度
を向上させる等、高い加工精度が得られる。

■　第２の条件による仕上げ加工の加工回数は自動的に
算出及び設定されるため、仕上げ加工時間の短縮が図れ
る。

（第２発明） 加工量を測定した後で第２の条件による仕上げ加工の前
に、電極とワークとの芯出しを行うため、ワークの加工
面全域に亙って電極間隙を一定に維持し得て、加工量を
均一にすることができ、特に三次元形状のワークであっ
ても、高い加工精度を得ることができる。

（第３発明） 第２の条件による仕上げ加工の加工回数が、設定した最
大加工回数以上の場合は、最大加工回数経過後に一旦第
１の条件による仕上げ加工を行うため、ワークの加工面
への酸化被膜の生成及び加工間隙内の加工屑の量を一定
量以下に抑えることができ、加工精度及び加工効率を向
上させることができる

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明に係る電解仕上げ加工装置の概略構
成図、第２図は同要部のブロック図、第３図は同接触検
知器の回路図、第４図は第１発明の一実施例を示すフロ
ーチャート、第５図及び第６図は同要部のフローチャー
ト、第７図は加工回数と加工量の関係を示す図、第８図
は第２発明の一実施例を示すフローチャート、第９図は
同要部のフローチャート、第１Ｏ図は第３発明の一実施
例を示すフローチャートである。 １・・・電解仕上げ加工装置、２・・・電極、２ａ・・
・電極面、　　　　　　４・・・ワーク、４＆・・・加
工面、　　　　　　８・・・電Ｒ装置、９・・・ヘッド
駆動制御部、１０・・・加工条件制御部１１・・・電解
液流制御部、　　１２・・・制御装置、１８拳・・噴出
ノズル、　　　　４０◆◆◆ＣＰＵ、４１・・・接触検
知器。 特許出願人　　静岡製機株式会社 代表者鈴木重夫 第１図 第３図 第７図 第４図 第５図 Ｃａ：カウンタａのカウント数 第８図 第９図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）イ、所定形状に加工されたワークと、このワーク
   の加工面に倣った電極面を有する電極とを、電解液中で
   所定の間隙で対向配置し、その極間に加工パルスを供給
   するとともに、前記間隙に電解液の噴流を供給して加工
   屑を排除しながら前記ワークを仕上げ加工するものにお
   いて、 ロ、前記ワークの目標とする加工量を設定するステップ
   と、 ハ、少なくとも、前記ワークの加工面に光沢面を得る第
   １の条件と、この第１の条件とは異なり前記加工面の面
   粗度を向上させる第２の条件とからなる、前記加工パル
   スの条件を設定するステップと、 ニ、前記第１の条件による仕上げ加工の後に、前記ワー
   クの加工量を測定するステップと、 ホ、この測定した加工量に基づいて前記第２の条件の加
   工回数を変更するステップと、 を具備する電解仕上げ加工方法。
2. （２）請求項１記載の電解仕上げ加工方法において、前
   記ワークの加工量を測定した後で、前記第２の条件によ
   る仕上げ加工の前に、電極とワークとの芯出しを行うス
   テップを具備する電解仕上げ加工方法。
3. （３）請求項１又は２記載の電解仕上げ加工方法におい
   て、前記第２の条件による仕上げ加工の最大加工回数を
   設定するステップを具備する電解仕上げ加工方法。