JPH02199038A - 多孔質ガラス母材の脱水焼結炉 - Google Patents
多孔質ガラス母材の脱水焼結炉Info
- Publication number
- JPH02199038A JPH02199038A JP1623289A JP1623289A JPH02199038A JP H02199038 A JPH02199038 A JP H02199038A JP 1623289 A JP1623289 A JP 1623289A JP 1623289 A JP1623289 A JP 1623289A JP H02199038 A JPH02199038 A JP H02199038A
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- JP
- Japan
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- pressure
- tube
- buffer
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- porous glass
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01446—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
- C03B37/0146—Furnaces therefor, e.g. muffle tubes, furnace linings
-
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は、火災加水分解等によって得られる多孔質ガ
ラス母材を脱水、焼結するための加熱炉に関するもので
、特に光フアイバ用多孔質ガラス母材に適用して好適な
ものを提供する。
ラス母材を脱水、焼結するための加熱炉に関するもので
、特に光フアイバ用多孔質ガラス母材に適用して好適な
ものを提供する。
（従来の技術）
第２図は、従来の光フアイバ用多孔質ガラス母材に用い
られている脱水焼結炉を示している。図において、ｌは
ＶＡＤ法等により得られた光ファイバ用多孔賞ガラス母
材、２はこの光フアイバ用多孔質ガラス母材ｌを脱水処
理、焼結処理するためのマツフルチューブで、２ａはそ
の上蓋で、２ｂは後述する母材ｌの支持体とこの上Ｍ２
ａとの隙間、３はマツフルチューブ２の底部に形成され
た開口２Ｃと連通ずるガス供給系で、脱水ガスとしての
例えばＣＺ、、脱水ガスの濃度調整および熱伝導性向上
のためのガスとしての例えばＨｅがそれぞれ流量コント
ローラ３ａ、３ｂを介して合流供給されるようになって
いる。４はマツフルチューブ２の回りを囲むヒータ、６
は母材ｌの支持体である。
られている脱水焼結炉を示している。図において、ｌは
ＶＡＤ法等により得られた光ファイバ用多孔賞ガラス母
材、２はこの光フアイバ用多孔質ガラス母材ｌを脱水処
理、焼結処理するためのマツフルチューブで、２ａはそ
の上蓋で、２ｂは後述する母材ｌの支持体とこの上Ｍ２
ａとの隙間、３はマツフルチューブ２の底部に形成され
た開口２Ｃと連通ずるガス供給系で、脱水ガスとしての
例えばＣＺ、、脱水ガスの濃度調整および熱伝導性向上
のためのガスとしての例えばＨｅがそれぞれ流量コント
ローラ３ａ、３ｂを介して合流供給されるようになって
いる。４はマツフルチューブ２の回りを囲むヒータ、６
は母材ｌの支持体である。
（発明が解決しようとする課題）
以上において、多孔質ガラス母材ｌの脱水、焼結処理を
行い、その際供給ガスの排気は隙間２ｂから行われるわ
けであるが、マツフルチューブ２内の圧力は供給ガスの
熱分解や対流等のため、ガスの供給量をコントローラ３
ａ、ｂで調整していても中微妙に変化し、隙間２ｂから
空気や異物の流入による伝送損失の悪化等の原因となっ
ている。
行い、その際供給ガスの排気は隙間２ｂから行われるわ
けであるが、マツフルチューブ２内の圧力は供給ガスの
熱分解や対流等のため、ガスの供給量をコントローラ３
ａ、ｂで調整していても中微妙に変化し、隙間２ｂから
空気や異物の流入による伝送損失の悪化等の原因となっ
ている。
このようなことからこの発明者等は排気調整のためにマ
ツフルチューブに圧力緩衝用の風船バッファを取付ける
とともに、圧力監視装置を取付けた装置を提案し、これ
により少々の圧力変動は風船バッファの緩衝作用で吸収
し、それ以上の変動については圧力監視装置を用いて供
給ガスの供給量を調整しチューブ内の圧力のコントロー
ルを図るということを行ってきた。
ツフルチューブに圧力緩衝用の風船バッファを取付ける
とともに、圧力監視装置を取付けた装置を提案し、これ
により少々の圧力変動は風船バッファの緩衝作用で吸収
し、それ以上の変動については圧力監視装置を用いて供
給ガスの供給量を調整しチューブ内の圧力のコントロー
ルを図るということを行ってきた。
しかしながら、光フアイバ用多孔質ガラス母材の大型化
にともなってマツフルチューブもまた大型化することと
なり、従来の大きさの風船バッファでは圧力変動に対応
しきれなくなってきた。
にともなってマツフルチューブもまた大型化することと
なり、従来の大きさの風船バッファでは圧力変動に対応
しきれなくなってきた。
また、脱水処理には上述のように塩素含有ガスのような
有毒ガスが用いられるため処理後に母材を外部に取出す
前には窒素ガス等と十分に置換する必要があるがそのた
めにも現在の大きさでは十分でなく大きな風船バッファ
が要求されている。さらには脱水焼結工程でふっ素を添
加する光ファイバも現れ、マツフルチューブ内での圧力
の安定化が一段と望まれる状況になっている。とはいう
ものの風船バッファを今まで以上に大きくするのでは設
置スペース上も安全性からも限界がある。
有毒ガスが用いられるため処理後に母材を外部に取出す
前には窒素ガス等と十分に置換する必要があるがそのた
めにも現在の大きさでは十分でなく大きな風船バッファ
が要求されている。さらには脱水焼結工程でふっ素を添
加する光ファイバも現れ、マツフルチューブ内での圧力
の安定化が一段と望まれる状況になっている。とはいう
ものの風船バッファを今まで以上に大きくするのでは設
置スペース上も安全性からも限界がある。
（課題を解決するための手段）
この発明は以上の観点から、風船バッファの大きさを変
えることなくマツフルチューブ内の圧力の安定化を図っ
たもので、その特徴とするところはマンフルチューブに
圧力監視装置を取付けるとともに、風船バッファに、前
記圧力監視装置からの圧力信号に応じて動作する風船バ
ッファ容積可変手段を取付けたことにある。
えることなくマツフルチューブ内の圧力の安定化を図っ
たもので、その特徴とするところはマンフルチューブに
圧力監視装置を取付けるとともに、風船バッファに、前
記圧力監視装置からの圧力信号に応じて動作する風船バ
ッファ容積可変手段を取付けたことにある。
なお、圧力監視装置は例えば差圧計、電圧変換器等をい
い、常時マンフルチューブ内の圧力をモニタする。また
風船バッファ容積可変手段は例えば弁とポンプとから構
成され、圧力監視装置からの信号を受けて弁が開閉する
。
い、常時マンフルチューブ内の圧力をモニタする。また
風船バッファ容積可変手段は例えば弁とポンプとから構
成され、圧力監視装置からの信号を受けて弁が開閉する
。
（作 用）
脱水焼結時にマツフルチューブ内に供給されたガスによ
って圧力が設定値以上になると、圧力監視装置から信号
が出て弁が開閉してポンプによってガスが排気されマツ
フルチューブ内の圧力上昇を抑制する。脱水焼結後は排
気ポンプを作動させ、風船バッファを完全に収縮させそ
の内部に有毒ガスが残留するのを防ぐ。
って圧力が設定値以上になると、圧力監視装置から信号
が出て弁が開閉してポンプによってガスが排気されマツ
フルチューブ内の圧力上昇を抑制する。脱水焼結後は排
気ポンプを作動させ、風船バッファを完全に収縮させそ
の内部に有毒ガスが残留するのを防ぐ。
（実施例）
この発明を第１図に基づいて説明する。図において、同
一符号は第２図と同一物を示す。ｌＯはマツフルチュー
ブ２の上側部間口２ｄに取付けられた風船バッファ、Ｉ
２は風船バッファ１０の容積可変手段で、弁１４とポン
プ１６とを備えており弁１４は配管１８先端に設けたコ
ネクタ（図示せず）を介して風船バッファ１０に取付け
られている。２０はマツフルチューブＩＯの上側部に設
けられた開口２ｅに取付けられた差圧計で、増幅器２２
を介して弁１４に接続されている。
一符号は第２図と同一物を示す。ｌＯはマツフルチュー
ブ２の上側部間口２ｄに取付けられた風船バッファ、Ｉ
２は風船バッファ１０の容積可変手段で、弁１４とポン
プ１６とを備えており弁１４は配管１８先端に設けたコ
ネクタ（図示せず）を介して風船バッファ１０に取付け
られている。２０はマツフルチューブＩＯの上側部に設
けられた開口２ｅに取付けられた差圧計で、増幅器２２
を介して弁１４に接続されている。
以上の構成において、マツフルチューブ１０内圧力は常
時差圧計２０で監視されている。通常その圧力変動の程
度は風船バッファ１０の吸収範囲であるが、炉口体の温
度変動にともなう供給ガスの膨脹収縮や、供給ガスがヒ
ータ４の位置するチューブ内高温部を通過するときに生
じる局部的な膨脹収縮のために起きるチューブ内圧力の
脈動、さらには供給ガスの熱分解等による体積増加にと
もなうチューブ内圧力の変動等によって、チューブ内圧
力が所定の値以上になると差圧計２０がそれを感知して
信号を増幅器２２に送りそこから弁１４に信号が送られ
て弁１４を開放する。ところで弁１４が開いている時間
はタイマで設定するか、圧力が設定値以上にある間開い
ておくようにするかは前もって実験で調べておく、排気
ポンプも応答性をよくするため常に運転状態にしておく
ほうがよい。また、脱水工程が終了すると流量コントロ
ーラ３ａを閉じ、流量コントローラ３ｂから窒素ガスを
流し、かつ弁１４を開いて排気ポンプ１６を作動させ、
風船バッファ１０が完全に収縮するまで排気する。こう
することによりマツフルチューブ２内はもちろん風船バ
ッファ１０内の有毒ガスが完全に除去される。
時差圧計２０で監視されている。通常その圧力変動の程
度は風船バッファ１０の吸収範囲であるが、炉口体の温
度変動にともなう供給ガスの膨脹収縮や、供給ガスがヒ
ータ４の位置するチューブ内高温部を通過するときに生
じる局部的な膨脹収縮のために起きるチューブ内圧力の
脈動、さらには供給ガスの熱分解等による体積増加にと
もなうチューブ内圧力の変動等によって、チューブ内圧
力が所定の値以上になると差圧計２０がそれを感知して
信号を増幅器２２に送りそこから弁１４に信号が送られ
て弁１４を開放する。ところで弁１４が開いている時間
はタイマで設定するか、圧力が設定値以上にある間開い
ておくようにするかは前もって実験で調べておく、排気
ポンプも応答性をよくするため常に運転状態にしておく
ほうがよい。また、脱水工程が終了すると流量コントロ
ーラ３ａを閉じ、流量コントローラ３ｂから窒素ガスを
流し、かつ弁１４を開いて排気ポンプ１６を作動させ、
風船バッファ１０が完全に収縮するまで排気する。こう
することによりマツフルチューブ２内はもちろん風船バ
ッファ１０内の有毒ガスが完全に除去される。
以上、この発明の実施例においては、ＶＡＤ法により得
られた光フアイバ用多孔質ガラス母材の脱水焼結炉の場
合について説明したが、この装置を外付は法による光フ
アイバ用多孔質ガラス母材や火災加水分解法等により得
られる一般の多孔質ガラス母材の脱水焼結に用いてもよ
いことはいうまでもない。さらに一般もしくは光フアイ
バ用であっても脱水処理を必要としない多孔質ガラス母
材のケースの場合、この装置を用いて焼結処理だけすれ
ばよい。
られた光フアイバ用多孔質ガラス母材の脱水焼結炉の場
合について説明したが、この装置を外付は法による光フ
アイバ用多孔質ガラス母材や火災加水分解法等により得
られる一般の多孔質ガラス母材の脱水焼結に用いてもよ
いことはいうまでもない。さらに一般もしくは光フアイ
バ用であっても脱水処理を必要としない多孔質ガラス母
材のケースの場合、この装置を用いて焼結処理だけすれ
ばよい。
（発明の効果）
この発明は、以上のようにマツフルチューブ内の圧力緩
衝用の風船バッファに、その容積を可変しうる手段を設
け、チューブ内圧力が所定値を越えたときに、この容積
可変手段が作動するようにある。
衝用の風船バッファに、その容積を可変しうる手段を設
け、チューブ内圧力が所定値を越えたときに、この容積
可変手段が作動するようにある。
第１図は、この発明による脱水焼結装置の説明図、第２
図は従来の脱水焼結装置の説明図。 図において、１０：風船バッファ、１２：風船バッファ
容積可変手段、２０：差圧計。
図は従来の脱水焼結装置の説明図。 図において、１０：風船バッファ、１２：風船バッファ
容積可変手段、２０：差圧計。
Claims (1)
- 多孔質ガラス母材を収容するマツフルチューブと、この
マツフルチューブを囲むヒータと、このマツフルチュー
ブにそれぞれ取付けられたガス供給装置、マツフルチュ
ーブ内圧力監視装置およびマツフルチューブ内圧力緩衝
用風船バッファとを具備する多孔質ガラス母材の脱水焼
結炉において、前記風船バッファに、前記圧力監視装置
からの圧力信号に応じて動作する風船バッファ容積可変
手段を設けたことを特徴とする多孔質ガラス母材の脱水
焼結炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1623289A JPH02199038A (ja) | 1989-01-27 | 1989-01-27 | 多孔質ガラス母材の脱水焼結炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1623289A JPH02199038A (ja) | 1989-01-27 | 1989-01-27 | 多孔質ガラス母材の脱水焼結炉 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02199038A true JPH02199038A (ja) | 1990-08-07 |
Family
ID=11910809
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1623289A Pending JPH02199038A (ja) | 1989-01-27 | 1989-01-27 | 多孔質ガラス母材の脱水焼結炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02199038A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006056773A (ja) * | 2004-07-22 | 2006-03-02 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光ファイバ用多孔質母材の脱水焼結方法及び脱水焼結炉 |
| CN112645583A (zh) * | 2021-01-13 | 2021-04-13 | 烽火通信科技股份有限公司 | 一种光纤预制棒烧结炉炉内压力自动控制系统及方法 |
-
1989
- 1989-01-27 JP JP1623289A patent/JPH02199038A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006056773A (ja) * | 2004-07-22 | 2006-03-02 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光ファイバ用多孔質母材の脱水焼結方法及び脱水焼結炉 |
| CN112645583A (zh) * | 2021-01-13 | 2021-04-13 | 烽火通信科技股份有限公司 | 一种光纤预制棒烧结炉炉内压力自动控制系统及方法 |
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